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1、(10)申请公布号 CN 103436224 A (43)申请公布日 2013.12.11 CN 103436224 A *CN103436224A* (21)申请号 201310387662.4 (22)申请日 2013.08.31 C09K 3/14(2006.01) (71)申请人 青岛承天伟业机械制造有限公司 地址 266199 山东省青岛市李沧区郑佛路 17 号综合楼 131 室 (72)发明人 张竹香 (54) 发明名称 一种机械设备节能研磨剂 (57) 摘要 本发明公开了一种机械设备节能研磨剂， 其 特征在于， 包括下列重量份数的物质 ： 硫氰酸盐 15-35 份， 水杨酸盐 1。
2、5-25 份， 乙烯基双硬脂酰胺 7-16 份， 硬脂酸单甘油酯 9-13 份， 三硬脂酸甘油 酯 9-14 份， 还原剂 1-3 份， 柔软剂 5-8 份， 纳米有 机蒙脱土 4-10 份， 滑石粉 4-6 份， 硬脂酸锌 4-6 份， 硬脂酸钙 1-3 份， 硬脂酸 4-10 份， 聚丙烯酯 5-9 份。本发明的有益效果是 ： 腐蚀速度低， 研磨 效果好， 对半导体损伤小。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书1页 (10)申请公布号 CN 103436224 A CN 1034362。
3、24 A *CN103436224A* 1/1 页 2 1. 一种机械设备节能研磨剂， 其特征在于， 包括下列重量份数的物质 ： 硫氰酸盐 15-35 份， 水杨酸盐 15-25 份， 乙烯基双硬脂酰胺 7-16 份， 硬脂酸单甘油酯 9-13 份， 三硬脂酸甘油 酯 9-14 份， 还原剂 1-3 份， 柔软剂 5-8 份， 纳米有机蒙脱土 4-10 份， 滑石粉 4-6 份， 硬脂酸 锌 4-6 份， 硬脂酸钙 1-3 份， 硬脂酸 4-10 份， 聚丙烯酯 5-9 份。 权 利 要 求 书 CN 103436224 A 2 1/1 页 3 一种机械设备节能研磨剂 技术领域 0001 本发。
4、明涉及一种机械设备节能研磨剂。 背景技术 0002 近年来， 伴随着半导体集成电路(以下记作LSI)的高集成化， 高性能化， 开发了新 型的细微加工技术， 化学研磨法就是其中一种， 特别是在多层布线形成工序中的层间绝缘 膜的平坦化， 金属栓塞形成、 埋入布线形成中频繁地应用。 发明内容 0003 本发明所要解决的技术问题是提供一种机械设备节能研磨剂。 0004 为解决上述技术问题， 本发明采用的技术方案是 ： 一种机械设备节能研磨剂， 其特征在于， 包括下列重量份数的物质 ： 硫氰酸盐 15-35 份， 水杨酸盐 15-25 份， 乙烯基双硬脂酰胺 7-16 份， 硬脂酸单甘油酯 9-13 份。
5、， 三硬脂酸甘油 酯 9-14 份， 还原剂 1-3 份， 柔软剂 5-8 份， 纳米有机蒙脱土 4-10 份， 滑石粉 4-6 份， 硬脂酸 锌 4-6 份， 硬脂酸钙 1-3 份， 硬脂酸 4-10 份， 聚丙烯酯 5-9 份。 0005 本发明的有益效果是 ： 腐蚀速度低， 研磨效果好， 对半导体损伤小。 具体实施方式 0006 实施例 1 一种机械设备节能研磨剂， 其特征在于， 包括下列重量份数的物质 ： 硫氰酸盐 15-35 份， 水杨酸盐 15-25 份， 乙烯基双硬脂酰胺 7-16 份， 硬脂酸单甘油酯 9-13 份， 三硬脂酸甘油 酯 9-14 份， 还原剂 1-3 份， 柔软剂 5-8 份， 纳米有机蒙脱土 4-10 份， 滑石粉 4-6 份， 硬脂酸 锌 4-6 份， 硬脂酸钙 1-3 份， 硬脂酸 4-10 份， 聚丙烯酯 5-9 份。 说 明 书 CN 103436224 A 3 。