《薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法.pdf（9页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 103966553 A (43)申请公布日 2014.08.06 CN 103966553 A (21)申请号 201310291168.8 (22)申请日 2013.07.11 10-2013-0010702 2013.01.30 KR C23C 14/24(2006.01) (71)申请人 三星显示有限公司 地址 韩国京畿道龙仁市 (72)发明人 朱儇佑 许明洙 李勇锡 赵喆来 金善浩 (74)专利代理机构 北京铭硕知识产权代理有限 公司 11286 代理人 张云珠 邱玲 (54) 发明名称 薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法 (57) 摘要 本发明公开薄膜蒸镀装。
2、置及利用此的薄膜蒸 镀方法。所公开薄膜蒸镀装置包括 ： 蒸镀源， 生 成将蒸镀到基板的蒸镀蒸汽 ； 喷射部， 向安装有 基板的所述蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽 ； 管制部， 使 预定的压力作用于所述喷射部， 以调节为向蒸镀 室内喷射蒸镀蒸汽或停止向蒸镀室内喷射蒸镀蒸 汽。 根据这种构成， 能够在蒸镀室内正确地且有效 率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射， 因此采用本发明 时， 可以期待生产效率的提高和产品品质的稳定 化。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 。
3、(10)申请公布号 CN 103966553 A CN 103966553 A 1/1 页 2 1. 一种薄膜蒸镀装置， 其中， 包括 ： 蒸镀室， 用于安装基板 ； 蒸镀源， 生成将蒸镀到所述基板的蒸镀蒸汽 ； 喷射部， 向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽 ； 管制部， 使适宜的压力作用于所述喷射部， 以调节为向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸 汽或停止向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽。 2. 如权利要求 1 所述的薄膜蒸镀装置， 其中， 所述喷射部包括 ： 与所述蒸镀源连接的主 体 ； 设置于所述主体的多个喷嘴， 以用于向所述基板喷射所述蒸镀蒸汽。 3. 如权利要求 2 所述的薄膜蒸镀装置， 其中， 。
4、所述管制部包括 ： 与所述喷射部连接的连 接管 ； 通过所述连接管使压力作用于所述喷射部的真空泵。 4. 如权利要求 3 所述的薄膜蒸镀装置， 其中， 所述连接管包括 ： 与所述喷嘴一对一对应 地连接到所述喷射部的主体的多个第一连接管 ； 连接所述多个第一连接管和所述真空泵之 间的第二连接管， 所述第一连接管和第二连接管分别设有可开闭的第一阀门和第二阀门。 5. 如权利要求 4 所述的薄膜蒸镀装置， 其中， 还具备测量所述喷射部的压力的压力传 感器。 6. 如权利要求 4 所述的薄膜蒸镀装置， 其中， 还具备用于连接所述蒸镀源和所述喷射 部的第三连接管。 7. 一种薄膜蒸镀方法， 其中， 包括。
5、如下步骤 ： 分别准备生成蒸镀蒸汽的蒸镀源和向安装有基板的蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽的喷 射部以及管制部， 该管制部使预定压力作用于所述喷射部， 以调节为向所述蒸镀室内喷射 所述蒸镀蒸汽或停止向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽 ； 处于蒸镀待机模式时， 运行所述管制部， 使第一压力作用于所述喷射部， 以避免向所述 蒸镀室喷射蒸镀蒸汽 ； 处于蒸镀进行模式时， 运行所述管制部， 使第二压力作用于所述喷射部， 以向所述蒸镀 室喷射蒸镀蒸汽。 8. 如权利要求 7 所述的薄膜蒸镀方法， 其中， 所述喷射部包括与所述蒸镀源连接的主 体和设置于所述主体的多个喷嘴， 且通过所述多个喷嘴向所述基板喷射所述蒸镀蒸汽。
6、。 9. 如权利要求 8 所述的薄膜蒸镀方法， 其中， 所述管制部包括与所述喷射部连接的连 接管和与所述连接管连接的真空泵， 且运行所述真空泵使压力作用于通过所述连接管连接 的所述喷射部。 10. 如权利要求 9 所述的薄膜蒸镀方法， 其中， 所述连接管包括 ： 与所述喷嘴一对一对 应地连接到所述喷射部的主体的多个第一连接管 ； 连接所述多个第一连接管和所述真空泵 之间的第二连接管， 且所述第一连接管和第二连接管分别设有可开闭的第一阀门和第二阀 门， 在处于所述蒸镀待机模式时， 关闭所述第一阀门并开放所述第二阀门， 在处于所述蒸 镀进行模式时， 开放所述第一阀门并关闭所述第二阀门。 11. 如。
7、权利要求 10 所述的薄膜蒸镀方法， 其中， 还包括测量所述喷射部的压力的步骤。 权 利 要 求 书 CN 103966553 A 2 1/4 页 3 薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法 技术领域 0001 本发明涉及通过产生蒸镀源的蒸汽而在基板表面形成薄膜的蒸镀装置， 尤其涉及 控制蒸镀蒸汽的喷射的功能得到改善的薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法。 背景技术 0002 例如形成有机发光显示装置的薄膜包封层之类的薄膜制造工艺中， 大多会利用通 过产生蒸镀源的蒸汽以使其粘附到基板表面的蒸镀工艺。 0003 即， 通过蒸镀工艺使适宜厚度的薄膜按照所期望的图案形成于基板上。 0004 而且， 在用于。
8、进行这种蒸镀工艺的蒸镀室内， 配备有用于在需要时喷射蒸镀源的 蒸汽的遮板 （shutter） 。即， 不可以在不需要的时间点也喷射蒸镀源的蒸汽， 因此通过设置 遮板而挡住蒸镀源的喷射口的前面， 并在需要的时间点开放遮板的方式进行蒸镀。 0005 然而， 即便使用这种遮板也难以完全阻断蒸镀源的蒸汽， 因此在基板上频繁地发 生无意的薄膜的蒸镀。 0006 如果这样， 将不会形成精密的薄膜， 因此只能使产品的品质极大地降低。 0007 因此， 为了解决这种问题， 需要一种能够更加正确地按照所期望的意图管制朝向 基板喷射蒸镀源的蒸汽的动作的新的方案。 发明内容 0008 本发明的实施例提供一种薄膜蒸镀。
9、装置及利用此的薄膜蒸镀方法， 该薄膜蒸镀装 置被改善为在蒸镀室内能够正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射。 0009 本发明的一实施例所提供的薄膜蒸镀装置包括 ： 蒸镀室， 用于安装基板 ； 蒸镀源， 生成将蒸镀到所述基板的蒸镀蒸汽 ； 喷射部， 向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽 ； 管制部， 使预定压力作用于所述喷射部， 以调节为向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽或停止向所述 蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽。 0010 所述喷射部可包括 ： 与所述蒸镀源连接的主体 ； 设置于所述主体的多个喷嘴， 以 用于向所述基板喷射所述蒸镀蒸汽。 0011 所述管制部可包括 ： 与所述喷射部连接的连接管 ； 通过所。
10、述连接管使压力作用于 所述喷射部的真空泵。 0012 所述连接管可包括 ： 与所述喷嘴一对一对应地连接到所述喷射部的主体的多个第 一连接管 ； 连接所述多个第一连接管和所述真空泵之间的第二连接管， 所述第一连接管和 第二连接管可分别设有可开闭的第一阀门和第二阀门。 0013 还可具备测量所述喷射部的压力的压力传感器。 0014 还可具备用于连接所述蒸镀源和所述喷射部的第三连接管。 0015 并且， 本发明的一实施例所提供的薄膜蒸镀方法包括如下步骤 ： 分别准备生成蒸 镀蒸汽的蒸镀源和向安装有基板的蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽的喷射部以及管制部， 该管 制部使预定的压力作用于所述喷射部， 以调节为使。
11、所述蒸镀蒸汽朝所述蒸镀室内喷射或停 说 明 书 CN 103966553 A 3 2/4 页 4 止向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽 ； 处于蒸镀待机模式时， 运行所述管制部， 使第一压力 作用于所述喷射部， 以避免向所述蒸镀室喷射蒸镀蒸汽 ； 处于蒸镀进行模式时， 运行所述管 制部， 使第二压力作用于所述喷射部， 以向所述蒸镀室喷射蒸镀蒸汽。 0016 所述喷射部可包括与所述蒸镀源连接的主体和设置于所述主体的多个喷嘴， 且可 通过所述多个喷嘴向所述基板喷射所述蒸镀蒸汽。 0017 所述管制部可包括与所述喷射部连接的连接管和与所述连接管连接的真空泵， 且 可通过运行所述真空泵使压力作用于通过所述。
12、连接管连接的所述喷射部。 0018 所述连接管可包括 ： 与所述喷嘴一对一对应地连接到所述喷射部的主体的多个 第一连接管 ； 连接所述多个第一连接管和所述真空泵之间连接的第二连接管， 且所述第一 连接管和第二连接管可分别设有可开闭的第一阀门和第二阀门， 在处于所述蒸镀待机模式 时， 可关闭所述第一阀门并开放所述第二阀门， 在处于所述蒸镀进行模式时， 可开放所述第 一阀门并关闭所述第二阀门。 0019 还可包括测量所述喷射部的压力的步骤。 0020 根据如上所述的本发明所提供的薄膜蒸镀装置和薄膜蒸镀方法， 能够在蒸镀室内 正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射， 因此采用本发明时， 可以期待生产。
13、效率的提 高和产品品质的稳定化。 附图说明 0021 图 1 为概略地示出本发明的一实施例所提供的薄膜蒸镀装置的结构的图。 0022 图 2 为示出图 1 所示的薄膜蒸镀装置的蒸镀源和喷射部以及管制部的结构的图。 0023 图 3a 为绘制出图 2 的蒸镀进行模式的图。 0024 图 3b 为绘制出图 2 的蒸镀待机模式的图。 具体实施方式 0025 以下， 参照附图对本发明的优选实施例进行详细的说明。 0026 首先， 参照图 1 和图 2 说明本发明的一实施例所提供的薄膜蒸镀装置。 0027 如图 1 所示， 本实施例所提供的薄膜蒸镀装置具备蒸镀室 300， 该蒸镀室 300 分别 设有将。
14、要形成薄膜 （未图示） 的基板200和朝该基板200喷射蒸镀蒸汽的蒸汽喷射单元100。 即， 在维持真空的蒸镀室 300 内设置基板 200， 通过运行蒸汽喷射单元 100， 在基板 200 上形 成具有所期望的图案的薄膜。 0028 图 2 为示出该蒸汽喷射单元 100 的详细结构的图， 为了能够有效地管制朝向基板 200 的蒸镀蒸汽的喷射， 构成为如下。 0029 首先， 分别具备 ： 生成蒸镀蒸汽的蒸镀源 160 ； 将由该蒸镀源 160 生成的蒸镀蒸汽 朝向基板200而向蒸镀室300里面喷射的喷射部 ； 管制部， 管制为仅在需要的时间点执行蒸 镀蒸汽的喷射。 0030 所述喷射部包括主。
15、体 110， 该主体 110 具备多个喷嘴 111 且与所述蒸镀源 160 连 接。进而， 当从所述蒸镀源 160 供应蒸镀蒸汽时， 该蒸镀蒸汽流入至所述主体 110 之后， 通 过多个喷嘴 111 被喷射到蒸镀室 300 内。 0031 而且， 所述管制部具备与所述主体 110 连接的第一连接管 121 和连接于该第一连 说 明 书 CN 103966553 A 4 3/4 页 5 接管 121 的第二连接管 122 以及连接于第二连接管 122 的真空泵 130 等， 所述第一连接管 121 和第二连接管 122 分别设置有开闭用第一阀门 151 和第二阀门 152。 0032 所述第一连。
16、接管 121 布置数量与所述多个喷嘴 111 相同， 以与所述多个喷嘴 111 一对一地对应， 据此， 使由所述真空泵 130 产生的压力均匀地作用于各个喷嘴 111。 0033 符号 “123” 表示用于连接蒸镀源 160 和喷射部的第三连接管。 0034 而且， 符号 “140” 表示用于测量所述喷射部主体 110 内部的压力的压力传感器， 例 如可使用电容压力计 （Baratron gauge） 。 0035 并且， 所述第一阀门 151 和第二阀门 152 可使用通常的开 / 闭阀门， 例如可使用钟 摆式阀门 （pendulum valve） 。 0036 而且， 所述真空泵 130 。
17、可使用涡轮分子泵 （turbo molecular pump） ， 符号 “170” 表 示用于控制这种真空泵 130 和第一阀门 151、 第二阀门 152、 第三阀门 153 等的操作的控制 器。 0037 具备如此构成的蒸汽喷射单元 100 的薄膜蒸镀装置可运用为如下。 0038 首先， 将欲要进行蒸镀的基板 200 安装到蒸镀室 300 内之后， 将蒸镀室 300 里面制 造成真空氛围。 0039 当蒸镀室300内的真空氛围的准备完成时， 仅接着如图3a所示地运行所述蒸汽喷 射单元 100 而进行蒸镀。 0040 此时， 控制器 170 开启所述第一阀门 151， 使由所述蒸镀源 16。
18、0 生成的蒸镀蒸汽通 过第三连接管123和第一连接管121顺畅地流入至喷射部的主体110。 但是， 关闭第二阀门 152。 0041 如此， 流入至所述主体 110 的蒸镀蒸汽将通过多个喷嘴 111 顺畅地喷射至维持真 空的蒸镀室 300 内。即， 此时处于所述真空泵 130 的吸力没有作用于主体 110 的状况， 因此 相比于主体 110 内的压力， 蒸镀室 300 内的压力更低， 从而蒸镀蒸汽顺利地向蒸镀室 300 侧 喷射。也就是说， 比所述蒸镀室 300 内的压力相对更高的压力作用于喷射部的主体 110， 因 此根据压力差， 使蒸镀蒸汽能够向基板 200 侧顺畅地喷射。此时， 所述主体。
19、 110 内的压力借 助压力传感器 140 进行监控。 0042 另外， 薄膜蒸镀结束， 作业模式转换为蒸镀待机模式时， 此次控制器 170 开放第二 阀门 152， 使真空泵 130 的吸力作用于喷射部的主体 110。如此， 由蒸镀源 160 生成的蒸镀 蒸汽不能朝喷射部的主体 110 流动， 而是通过第二阀门 152 被吸入到真空泵 130 侧， 且残留 于主体 110 里面的部分蒸镀蒸汽也被吸入到真空泵 130 侧。即， 使真空泵 130 的吸力作用 于喷射部， 从而使内部压力相比蒸镀室 300 更低， 据此在不需要蒸镀蒸汽的期间， 避免向基 板 200 侧喷射蒸镀蒸汽。 0043 而且。
20、， 若通过压力传感器140确认到喷射部的主体110的压力已足够降低， 则关闭 所述第一阀门151， 以阻断蒸镀源123的蒸镀蒸汽， 避免其流动至喷射部。 即， 在模式转换初 期， 需要吸出残留于主体110里面的蒸镀蒸汽， 因此暂时开放第一阀门151， 然而当主体110 的内部压力已足够降低， 从而检测为几乎没有残留蒸汽时， 关闭第一阀门 151， 以完全阻断 朝向喷射部的流出。 0044 于是， 在蒸镀进行模式中能够顺畅地喷射蒸镀蒸汽的同时顺利地进行蒸镀， 在蒸 镀待机模式中能够可靠地阻止蒸镀蒸汽的泄漏， 以避免发生不期望的蒸镀。 因此， 在蒸镀待 说 明 书 CN 103966553 A 5。
21、 4/4 页 6 机模式中， 将低于蒸镀室 300 的内压的第一压力作用于喷射部， 据此防止蒸镀蒸汽的泄漏， 在蒸镀进行模式中， 将高于蒸镀室 300 的内压的第二压力作用于喷射部， 以使蒸镀蒸汽的 喷射能够顺畅地进行。 0045 因此， 能够正确地执行蒸镀蒸汽的喷射和阻断， 从而能够非常有效率地执行蒸镀 作业。 0046 综上所述， 当利用以上所说明的薄膜蒸镀装置时， 能够在蒸镀室内正确地且有效 率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射， 因此采用该装置时， 可以期待生产效率的提高和产品品质 的稳定化。 0047 本发明将附图所示的实施例作为参考进行了说明， 但这只是示例性的， 本技术领 域中具有通常的知识的技术人员应当理解可由本发明进行多种变形和等同的其他实施例。 因此， 本发明真正的技术保护范围应当由权利要求书的技术思想来确定。 说 明 书 CN 103966553 A 6 1/3 页 7 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103966553 A 7 2/3 页 8 图 3a 说 明 书 附 图 CN 103966553 A 8 3/3 页 9 图 3b 说 明 书 附 图 CN 103966553 A 9 。