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1、(10)申请公布号 CN 104018117 A (43)申请公布日 2014.09.03 CN 104018117 A (21)申请号 201310065592.0 (22)申请日 2013.03.01 C23C 14/04(2006.01) (71)申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红 杨路 888 号 (72)发明人 魏志凌 高小平 潘世珎 张炜平 (54) 发明名称 一种掩模框架及其对应的掩模组件 (57) 摘要 本发明公开了一种掩模框架及其对应的掩膜 组件， 包括边框、 连接机构、 强化槽， 其特征在于， 所述边框为两组对边构成的中空框架。
2、结构， 所述 强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且 设置在所述对边上， 所述对边上有穿过所述长条 通孔的孔， 所述孔被所述长条通孔截断形成内侧 孔和外侧孔， 所述外侧孔为通孔， 所述连接机构是 一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有 外螺纹的杆部， 所述内侧孔有螺纹且与所述杆部 连接 ； 本发明提供的掩模框架通过利用强化槽和 连接机构强化的作用下， 可以再次将掩模板绷紧 以克服下垂问题， 解决掩模板中部下垂的问题， 保 证了大尺寸产品的最终品质。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 7 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利。
3、要求书1页 说明书5页 附图7页 (10)申请公布号 CN 104018117 A CN 104018117 A 1/1 页 2 1. 一种掩模框架， 包括边框、 连接机构、 强化槽， 其特征在于， 所述边框为两组对边构 成的中空框架结构， 所述强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边 上， 所述对边上有穿过所述长条通孔的孔， 所述孔被所述长条通孔截断形成内侧孔和外侧 孔， 所述外侧孔为通孔， 所述连接机构是一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有 外螺纹的杆部， 所述内侧孔有螺纹且与所述杆部连接。 2. 根据权利要求 1 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述边框是一体成型结。
4、构或由所述 对边连接形成的结构。 3. 根据权利要求 1 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述强化槽是与所述对边一体成型 形成的结构或是由所述对边的内外侧部件连接形成的结构。 4. 根据权利要求 1 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述强化槽是至少有一组形成在所 述对边上。 5. 根据权利要求 1 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述孔是贯穿通孔或所述内侧孔是 盲孔。 6. 根据权利要求 1 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述孔在所述对边上规律排布。 7. 根据权利要求 6 所述的掩模框架， 其特征在于， 所述孔是中间密集两端稀疏排布或 均匀排布或中间稀疏两端密集。 8. 根据权利要求 1 。
5、所述的掩模框架， 其特征在于， 所述掩模框架包括支撑杆， 所述支撑 杆与所述对边的内侧连接。 9. 一种掩模组件， 其特征在于， 所述掩模组件包括权利要求 1-7 提及的所述掩模框架 和掩模部件， 所述掩模部件与所述掩模框架有固定联接部位， 所述固定联接部位固定联接 在构成所述掩模框架的所述对边的上表面且在所述强化槽的内侧， 所述掩模部件包括掩模 图案区域， 所述掩模部件是整体一块或多个单元拼接而成的结构。 10. 根据权利要求 9 所述的掩模组件， 其特征在于， 所述固定联接部位为胶联接结构或 焊接结构。 权 利 要 求 书 CN 104018117 A 2 1/5 页 3 一种掩模框架及其。
6、对应的掩模组件 技术领域 0001 本发明涉及掩模板制造领域， 具体而言， 涉及一种掩模框架及其对应的掩模组件。 0002 背景技术 0003 与现行 LCD 技术相较， 利用有机发光二级管 （OLED） 技术所制成的显示器不仅具 有可全彩化、 反应时间快、 高亮度 (100-14,000cd/m2)、 高流明效率 (16-38lm/W)、 170 度以 上的视角、 无一般 LCD 残影、 可制作成大尺寸与可挠曲性面板、 能够在摄氏 -30 度 80 度的 范围内作业等优势， 而且制程简单、 整体厚度也能缩小至 1mm 以下、 成本更仅有 TFT-LCD 的 3040%。因此， 利用 OLED。
7、 技术所制成的显示器在深得社会欢迎。 0004 目前， OLED 技术所制成的显示器在小尺寸上已经达到量产技术， 而且相对较为成 熟。 但为了通过同时制造多个OLED显示器以实现产量的提高， 或者是制造出大尺寸的OLED 显示器， 就需要增大传统大衬底的尺寸， 相应的就必须增大用于蒸镀有机材料的掩模组件 的尺寸。 0005 图1所示是传统用于蒸镀有机材料的掩模组件的结构示意图， 其包括外框11及通 过外框焊点 120 固定在外框 11 上的掩模部 12， 掩模部 12 是通过在两端施加拉力绷紧后焊 接到外框 11 上， 焊接后释放拉力。掩模组件水平放置时， 由于掩模部 12 沿原来拉力反方向 。
8、回缩导致外框 11 上下 （图 1 中上下方位） 支撑部分出现图中所示内凹现象， 从而使得掩模部 12 出现下垂 （特别是掩模部 12 中间区域） ， 如此造成的后果是蒸镀得到的图案位置精度、 尺 寸大小相对都会有一定的偏差， 从而影响产品的质量及良率。 0006 中国专利申请号为 2010101136655 公开了一种掩模组件及用于使用该掩模组件 的平板显示器的沉积设备， 其主要结构在于 ： 掩模组件的外框上设置有横跨外框构成的开 口区域的支撑棒， 从而减少掩模部的下垂量。中国专利专利号为 01138161.2 提供了一种用 于制造大尺寸显示面板的掩模， 其包括 : 具有多个孔的主框架， 自。
9、掩模根据要制造的尺寸 和图案而装配在主框架的孔内。以上方式在实现 OLED 显示器量产上有一定的作用， 但在制 作大尺寸显示屏上具有一定局限。 0007 发明内容 0008 有鉴于此， 需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种掩 模框架及其对应的掩模组件， 包括边框、 连接机构、 强化槽， 所述边框为两组对边构成的中 空框架结构， 所述强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边上， 所 述对边上有穿过所述长条通孔的孔， 所述孔被所述长条通孔截断形成内侧孔和外侧孔， 所 述外侧孔为通孔， 所述连接机构是一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有外螺纹 的杆部， 所。
10、述内侧孔有螺纹且与所述杆部连接。 0009 根据本发明背景技术中对现有技术所述， 在为了通过同时制造多个 OLED 显示器 说 明 书 CN 104018117 A 3 2/5 页 4 以实现产量的提高， 或者是制造出大尺寸的 OLED 显示器， 就需要增大传统大衬底的尺寸以 及用于蒸镀有机材料的掩模组件的尺寸， 由此则带来一个掩模板中部下垂的问题， 影响产 品的最终品质 ； 本发明提供的掩模框架通过利用强化槽和连接机构强化的作用下， 可以再 次将掩模板绷紧以克服下垂问题， 解决掩模板中部下垂的问题， 保证了大尺寸产品的最终 品质。 0010 另外， 根据本发明公开的掩模框架还具有如下附加技术。
11、特征 ： 进一步地， 所述螺纹是密纹螺纹， 密纹螺纹可以对所述框架受力情况进行微调， 更容易 调节和控制。 0011 进一步， 所述边框是一体成型结构或由所述对边连接形成的结构。 0012 所述边框一体成型可以保证更高的精度， 而由对边联接形成的结构可以让加工更 加简便成本更低。 0013 进一步， 所述强化槽是与所述对边一体成型形成的结构或是由所述对边的内外侧 部件连接形成的结构。 0014 可选地， 所述强化槽是至少有一组形成在所述对边上。 0015 强化槽可以只有一组设置在一组对边上， 也可以有两组分别设置在两组对边上。 0016 可选地， 所述孔是贯穿通孔或所述内侧孔是盲孔。 0017。
12、 所述孔可以是贯穿所述对边的通孔 ； 也可以是所述内侧孔为盲孔的结构， 当所述对边为联接结构时， 此结构可以更大限度 的保证所述框架的整体受力情况和整体精度。 0018 进一步地， 所述孔在所述对边上规律排布。 0019 更进一步地， 所述孔是中间密集两端稀疏排布或均匀排布或中间稀疏两端密集。 0020 由于所述对边受力情况一般是所述对边中部受力大， 所以中间密集两端稀疏排布 对力的分布调节更有益处。 0021 进一步地， 所述掩模框架包括支撑杆， 所述支撑杆与所述对边的内侧连接。 0022 所述支撑杆的上表面可以和所述对边的上表面处于同一平面上， 如此可以提供更 好的支撑作用。 0023 本。
13、发明还提供一种掩膜组件， 所述掩模组件包括上述提及的所述掩模框架和掩模 部件， 所述掩模部件与所述掩模框架有固定联接部位， 所述固定联接部位固定联接在构成 所述掩模框架的所述对边的上表面且在所述强化槽的内侧， 所述掩模部件包括掩模图案区 域， 所述掩模部件是整体一块或多个单元拼接而成的结构。 0024 进一步地， 所述固定联接部位为胶联接结构或焊接结构。 0025 进一步地， 所述掩模部件是一整块或多个掩模单元拼接而成的结构。 0026 本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出， 部分将从下面的描述中变 得明显， 或通过本发明的实践了解到。 0027 附图说明 0028 本发明的上述和 。
14、/ 或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变 得明显和容易理解， 其中 ： 说 明 书 CN 104018117 A 4 3/5 页 5 图 1 所示是传统用于蒸镀有机材料的掩模组件的结构示意图 ； 图 2 所示为本发明一种掩模框架的实施例示意图 ； 图 3 所示为本发明一种掩模框架的平面结构示意图 ； 图 4 所示为本发明另一种掩模框架的平面结构示意图 ； 图 5 所示为图 3 中 31 部分放大示意图 ； 图 6 所示为本发明一实施例掩模框架整体平面示意图 ； 图 7 所示为图 6 中 62 部分放大示意图 ； 图 8 所示为图 6 中 62 区域沿 A-A 方向截面示意图 ；。
15、 图 9 所示是掩模组件的结构示意图 ； 图 10 所示是图 9 中 S-S 方向所示截面示意图 ； 图 11 所示为图 10 中 101 部分放大示意图 ； 图 12 所示为本发明的一实施例示意图 ； 图 13 所示为本发明的一实施例示意图 ； 图 1 中， 外框11， 焊点120， 掩模部12 ； 图 2 中， 边框21， 连接机构22， 强化槽23， 对边211、 212 ； 图 3 中， 待放大区域31 ； 图 5 中， 611 为内侧孔， 612 为外侧孔 图 6 中， 61用于连接边框 21 与强化槽 23 的孔， 62待放大部分， A-A 方向 待解剖方向 ； 图 7 中， d边。
16、框 21 上强化槽 23 的间距 ； 图 9 中， 24掩模部件， 241焊点， S-S 待解剖观测方向 ； 图 10 中， 101待放大区域 ； 图 12 中， 213固定在边框上的横梁 ； 图 13 中， 214固定在边框上的竖梁。 0029 具体实施方式 0030 下面详细描述本发明的实施例， 所述实施例的示例在附图中示出， 其中自始至终 相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。 下面通过参考附 图描述的实施例是示例性的， 仅用于解释本发明， 而不能解释为对本发明的限制。 0031 在本发明的描述中， 需要理解的是， 术语 “上” 、“下” 、“底” 、“顶” 、。
17、“前” 、“后” 、“内” 、 “外” 、“左” 、“右” 等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便 于描述本发明和简化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以 特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本发明的限制。 0032 在本发明的描述中， 需要说明的是， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “联接” 、“连 通” 、“相连” 、“连接” 、“相联” 应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 一体地连接， 也可以是可 拆卸连接 ； 可以是两个元件内部的连通 ； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 对于本领域的普通技术人员而言， 。
18、可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。 0033 本发明的发明构思如下， 如技术背景所述， 在为了通过同时制造多个 OLED 显示器 说 明 书 CN 104018117 A 5 4/5 页 6 以实现产量的提高， 或者是制造出大尺寸的 OLED 显示器， 就需要增大传统大衬底的尺寸以 及用于蒸镀有机材料的掩模组件的尺寸， 由此则带来一个掩模板中部下垂的问题， 影响产 品的最终品质 ； 本发明提供的掩模框架通过利用强化槽和连接机构强化的作用下， 可以再 次将掩模板绷紧以克服下垂问题， 解决掩模板中部下垂的问题， 保证了大尺寸产品的最终 品质。 0034 下面将参照附图来描述本发明的掩模。
19、框架， 其中图 2 所示为本发明一种掩模框架 的实施例示意图 ； 图 3、 图 4 本发明平面结构示意图 ； 、 图 6 为本发明一实施例掩模框架整 体平面图 ； 图 9 是掩模组件的结构示意图 ； 图 12、 13 为本发明的一实施例示意图。 0035 根据本发明的实施例， 如图 2 所示， 本发明提供了一种掩模框架及其对应的掩模 组件， 包括边框21、 连接机构22、 强化槽23， 所述边框21为两组对边211、 212构成的中空框 架结构， 所述强化槽 23 为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边上， 所述 对边上有穿过所述长条通孔的孔61， 所述孔61被所述长条通孔截断形成。
20、内侧孔611和外侧 孔 612， 如图 3 所示， 所述外侧孔 612 为通孔， 所述连接机构 22 是一端具有直径大于所述外 侧孔 612 直径的端部及具有外螺纹的杆部， 如图 2-5、 8 所示， 所述内侧孔 611 有螺纹且与所 述杆部连接。 0036 根据本发明的一些实施例， 所述螺纹是密纹螺纹， 如图 8 所示， 密纹螺纹可以对所 述框架受力情况进行微调， 更容易调节和控制。 0037 根据本发明的一些实施例， 所述边框21是一体成型结构或由所述对边211、 212连 接形成的结构。 0038 所述边框 21 一体成型可以保证更高的精度， 而由对边联接形成的结构可以让加 工更加简便成。
21、本更低。 0039 根据本发明的一些实施例， 所述强化槽 23 是与所述对边一体成型形成的结构或 是由所述对边的内外侧部件连接形成的结构。 0040 可选地， 所述强化槽 23 是至少有一组形成在所述对边上， 如图 2-4、 6、 9、 12、 13 所 示。 0041 强化槽 23 可以只有一组设置在一组对边 211 或 212 上， 也可以有两组分别设置在 两组对边 211、 212 上， 如图 2-4、 6、 9、 12、 13 所示。 0042 根据本发明的一些实施例， 所述孔 61 是贯穿通孔或所述内侧孔 611 是盲孔 （如图 6-8、 11 所示） 。 0043 根据本发明的一些。
22、实施例， 所述孔 61 可以是贯穿所述对边的通孔。 0044 根据本发明的一些实施例， 所述内侧孔611为盲孔的结构， 当所述对边211、 212为 联接结构时， 此结构可以更大限度的保证所述框架的整体受力情况和整体精度。 0045 根据本发明的一些实施例， 所述孔 61 在所述对边上规律排布。 0046 根据本发明的一些实施例， 所述孔 61 是中间密集两端稀疏排布或均匀排布或中 间稀疏两端密集。 0047 由于所述对边受力情况一般是所述对边中部受力大， 所以中间密集两端稀疏排布 对力量的分布调节更有益处。 0048 根据本发明的一些实施例， 所述掩模框架包括支撑杆， 所述支撑杆包括横梁 2。
23、13 和竖梁 214， 如图 12、 13 所示， 所述支撑杆与所述对边的内侧连接。 说 明 书 CN 104018117 A 6 5/5 页 7 0049 所述支撑杆的上表面可以和所述对边的上表面处于同一平面上， 如此可以提供更 好的支撑作用。 0050 根据本发明的一个实施例， 图6所示的配对孔61具有与连接结构相对应的圆柱阶 梯通孔结构， 作为优选， 强化槽 23 上侧的边框 （图 8 中所示方向） 与没有螺纹的圆柱杆长度 相适应， 其半径要比圆柱杆的半径相应的大一些， 以便自由滑动 ； 作为优选， 强化槽 23 下侧 的边框 （图 8 中所示方向） 设有螺纹盲孔， 且其深度、 半径与密。
24、纹螺纹长度、 半径相当。 0051 本发明还提供一种掩膜组件 ： 根据本发明的一些实施例， 所述掩模组件包括上述提及的所述掩模框架和掩模部件 24， 所述掩模部件 24 与所述掩模框架有固定联接部位， 所述固定联接部位固定联接在构成 所述掩模框架的所述对边 211、 212 的上表面且在所述强化槽 23 的内侧， 如图 11 所示， 所述 掩模部件包括掩模图案区域， 所述掩模部件是整体一块或多个单元拼接而成的结构。 0052 根据本发明的一些实施例， 所述固定联接部位为胶联接结构或焊接结构， 即焊点 241， 如图 11 所示。 0053 根据本发明的一些实施例， 所述掩模部件 24 是一整块。
25、或多个掩模单元拼接而成 的结构。 0054 根据本发明的一个实施例， 将掩模部件 24 固定在前面所描述的掩模框架上。掩模 部件 24 可以是多块条形单元掩模结构拼接而成， 亦可以是一体成型的单块掩模 ； 掩模部件 24 通过胶水粘接、 激光焊接或其它方式固定在构成掩模框架的边框 21 上。如图 9 所示， 所 述掩模部件24由一组平行排列的条形单元掩模构成， 其两端通过焊点241固定在构成掩模 框架的边框 21 上 （固定在强化槽内部的边框上， 焊点焊接位置为图 8 所示强化槽 23 下方的 边框图 8 所示方向） 。 0055 根据本发明的一个实施例， 图 10 所示是图 9 所示 S-S。
26、 方向上的截面示意图， 将图 10中101部分进一步放大如图11所示， 其基本结构是在图8所示机构基础上焊接有掩模部 24。进一步作如下描述 ： 掩模部 24 通过激光焊接方式焊接到边框 21 的边 211 上 （强化槽内 侧图 11 中所示 23 左侧的边框） ， 焊点为 241。 0056 根据本发明的一些实施例， 即在掩模框架的内部设置有与构成掩模框架边框 21 的两组对边 211、 212 分别平行的支撑杆， 从而使得掩模组件可以往更大的尺寸发展。如图 12、 13 所示， 相对之前实施例， 图 12 中增加一横梁 213， 图 13 中增加两相互垂直的梁 213、 214 ； 图 1。
27、2、 13 只是一部分拓展实施例， 还可以根据需要设计更多类似 213、 214 的横梁。 0057 另外， 本发明中， 边框 211 上强化槽的间距 d 可根据需要设计。 0058 尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描 述， 但是必须理解， 本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例， 这些改进和实施 例将落在本发明原理的精神和范围之内。 具体而言， 在前述公开、 附图以及权利要求的范围 之内， 可以在零部件和 / 或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进， 而不会脱 离本发明的精神。除了零部件和 / 或布局方面的变型和改进， 其范围由所附权利要求及。
28、其 等同物限定。 说 明 书 CN 104018117 A 7 1/7 页 8 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 8 2/7 页 9 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 9 3/7 页 10 图 5 图 6 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 10 4/7 页 11 图 7 图 8 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 11 5/7 页 12 图 9 图 10 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 12 6/7 页 13 图 11 图 12 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 13 7/7 页 14 图 13 说 明 书 附 图 CN 104018117 A 14 。