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本发明公开了一种新型的,属于“锌黄锡矿”类的,“铜锌锡硒”薄膜太阳能电池,与“铜铟镓硒”薄膜太阳能电池的结构十分相近,但它对“铜,锌,锡,硒”的化学成分匹配更为严格,我们使用四元素陶瓷靶,一次性“低温溅射,后硒化”工艺制造的“铜锌锡硒”薄膜太阳能电池,在钠钙玻璃基板上镀有约0.35至1.0微米厚的钼薄膜,在钼薄膜层上镀上约0.7至1.5微米厚的“铜锌锡硒”薄膜,经退火后,结成晶体,在“铜锌锡硫”薄。