《红外气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《红外气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法.pdf(15页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
本发明公开一种微流传感器的温敏电阻结构,包括:硅基座,设有气流窗口;薄膜电阻器,包括设于所述硅基座实体部分的片状电阻和悬于所述气流窗口部分的多条平行并均匀间隔排列的条状电阻;所述片状电阻和多条条状电阻之间串联;悬梁,连接所述薄膜电阻器和硅基座,并支撑所述薄膜电阻器;所述悬梁采用氮化硅材料制成。还公开一种该温敏电阻结构的制造方法、一种使用该温敏电阻结构的微流传感器,以及一种基于该微流传感器的红外气体。