具体实施方式
本发明一个实施方式的工作腔具有第1工作腔分体与第2工作腔分体、第1连接机构、第1密封部件。
上述第1工作腔分体与第2工作腔分体为多面体形状的且分别具有第1开口端部。第1连接机构通过使上述第1工作腔分体与第2工作腔分体的各上述第1开口端部相互接合从而形成第1接合部。第1密封部件沿上述第1接合部安装且密封上述第1工作腔分体与第2工作腔分体的内部。
在安装具有上述结构的工作腔时，将第1工作腔分体与第2工作腔分体相互接合在一起后，沿其接合部(第1接合部)安装密封部件(第1密封部件)。所以，在接合工作腔分体时能够较容易地对接合位置进行微调。进而，能够改善密封部件的安装操作性从而保证了适当的密封性。
关于上述工作腔，典型的为内部压力比大气压低的真空腔，然而，也不仅限于此，也可以是内部压力比大气压高的压力腔(正压腔)。上述第1工作腔分体与第2工作腔分体为箱体状的多面体，在其内部形成有空间，但形成有上述第1开口端部的面并没有特别限制。
作为上述第1连接机构而言，包括使上述第1工作腔分体与第2工作腔分体连接的连接件、连接材料、连接夹具等。该连接件包括螺栓或带螺纹件、卡具等的紧固件。作为上述连接材料而言，包括由粘结剂、胶带、由焊接材料或通过焊接方法而形成的焊缝等，连接夹具一般采用临时固定用的夹具，可以在工作腔组装完成后不将其取下而存留在工作腔上。如果第1连接机构仅用于临时固定工作腔分体时，于密封部件安装完成后，再用各种连接件或连接材料将接合部固定。
上述接合部由各个工作腔分体的开口端部相互接合而形成。典型的为，在各工作腔分体的开口端部的周缘形成法兰部，使这些法兰部的端面相互接合从而形成接合部。对于这种结构，作为上述连接机构而言，可以采用多个螺栓对两个法兰部进行紧固。而密封部件可以安装在螺栓的紧固位置的外周侧，也可以安装在螺栓的紧固位置的内周侧。若采用第一种方法，为了保证在螺栓的紧固位置处的密封性，可以在上述螺栓上形成用于保持其与工作腔分体之间的气密性的密封部。
作为上述密封部件而言，典型的为O形环等的环形密封部件。密封部件的截面形状没有特别限制，可以为圆形，也可以为多边形。上述密封部件安装在上述接合部的外周侧且依靠其弹性与接合部的外周侧紧密贴合，当然上述密封部件也可以安装在上述接合部的内周侧。
也可以沿着上述第1接合部形成用于收装上述第1密封部件的槽，从而提高该密封部件的安装操作性。
上述槽是在上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体相接合后而形成，从而能够保证接合部具有合适的密封性。不过，也可在工作腔分体相接合后再另外形成上述槽。
上述工作腔可以还具有将上述第1密封部件固定在上述第1接合部上的固定部件。从而能够将第1密封部件稳固地固定在第1接合部上，以保证具有良好的密封性。
上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体还可分别具有与上述第1开口端部相连的第2开口端部，在由上述第1连接机构使上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体接合时，该两方的第2开口端部相连。这种情况下，所述工作腔还具有将上述第1工作腔分体与上述第2工作腔分体的第2开口端部一并覆盖的工作腔盖板。
采用这样的结构，可提高构成上述工作腔的工作腔分体的设计自由度，可根据规格、安装操作以及实际加工条件等来适当地设计工作腔分体。在由上述第1连接机构使第1工作腔分体与第2工作腔分体接合时，上述第2开口端部可以设置在与上述第1开口端部位于同一平面内，但也可以不这样。
在上述结构的基础上，上述第1密封部件具有：沿着上述第1接合部安装第1密封部，以及安装在上述各第2开口端部与上述工作腔盖板之间的第2密封部。
这种情况下，在各工作腔分体相接合后，将第1密封部沿着第1接合部安装。并且，将第2密封部沿着第2开口端部安装，在此状态下接合工作腔盖板。
上述第2工作腔分体可以还具有与上述第1开口端部相正对且与上述第2开口端部连接的第3开口端部。这种情况下，上述工作腔还具有第3工作腔分体、第2连接机构、第2密封部件。
第3工作腔分体为多面体形状的且具有第1开口端部。第2连接机构使上述第2工作腔分体的上述第3开口端部与上述第3工作腔分体的上述第1开口端部相互接合从而形成第2接合部。第2密封部件沿着上述第2接合部安装。
如此，在工作腔分体的数量增加的情况下，可形成与上述第1接合部相同的第2接合部，从而按照与上述步骤相同的步骤来接合各工作腔分体。上述第2连接机构以及第2密封部件的结构与上述第1连接机构以及第1密封部件相同。
上述第3工作腔分体还可具有第2开口端部，在由上述第2连接机构使上述第2工作腔分体与上述第3工作腔分体相接合时，该第3工作腔分体的第2开口端部与上述第2工作腔分体的上述第2开口端部连接。上述工作腔盖板一并覆盖上述第1工作腔分体、第2工作腔分体和第3工作腔分体的各个上述第2开口端部。
这种情况下，上述第1密封部件与上述第2密封部件由共通的密封部件构成。该共通的密封部件具有：沿着上述第1接合部安装的第1密封部；沿上述第2接合部安装的第2密封部；安装在上述各第2开口端部与上述工作腔盖板之间的第3密封部。
本发明其他实施方式的工作腔具有多个工作腔分体、连接机构、密封部件。
上述多个工作腔分体相互接合且分别具有至少一个开口端部。上述连接机构使上述多个工作腔分体的各个上述开口端部相互接合从而形成多个接合部。上述密封部件沿着上述各个接合部安装且密封上述多个工作腔分体的内部。
在具有上述结构的工作腔中，多个工作腔分体被相互接合在一起后，将密封部件安装到接合部上。所以，在接合工作腔分体时能够较容易地对接合位置进行微调。进而，能够改善密封部件的安装操作性从而保证了适当的密封性。
本发明一个实施方式的工作腔的制作方法为，使第1工作腔分体与第2工作腔分体的开口端部相互接合，之后通过上述各开口端部安装密封部件，并且沿着上述第1工作腔分体与第2工作腔分体的相互接合的边界部安装该密封部件。
采用这样的工作腔的制作方法，第1工作腔分体与第2工作腔分体被相互接合在一起后，将密封部件沿着接合部，从而，在接合工作腔分体时能够较容易地对接合位置进行微调。进而，能够改善密封部件的安装操作性从而保证了适当的密封性能。
在上述工作腔的制作方法的基础上，可以在安装上述密封部件后，将上述密封部件固定在上述边界部。从而可将第1密封部件稳固地固定在第1接合部上，以保证具有良好的密封性。
下面参照附图对本发明的具体实施方式进行说明。在下述的实施方式中，以作为真空处理装置的真空腔为例对本发明的工作腔进行说明。
【第1实施方式】
图1为表示本发明第一实施方式的真空腔1的结构的斜视图。图2为真空腔1的分解结构斜视图。图3为说明真空腔1的制作方法的斜视图。
本实施方式中，图示X方向为真空腔1的宽度方向，Y轴方向为长度方向，Z轴方向为高度方向。真空腔1具有第1腔体10、第2腔体20、密封部件71、腔盖板50。
第1工作腔分体10与第2工作腔分体20在长度方向上相正对地接合在一起，从而构成真空腔1的机身。各工作腔分体10、20由不锈钢或铝合金等的金属材料形成，经过压力加工与焊接等加工工序形成为内部具有空间部S1及S2的多面体。在本实施方式中，工作腔分体10、20形成为在两个端部具有开口的六面体。
第1及第2工作腔分体10、20分别具有在Y轴方向开口的开口端部11及21(第1开口端部)。开口端部11形成在第1工作腔分体10的4个侧面中的一个位置。开口端部21也形成在第2工作腔分体20的4个侧面中的一个位置。将开口端部11与开口端部21相互对接，就可使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20形成为一个整体。
开口端部11与21分别具有向外伸出的法兰部11F及21F。使法兰部11F与法兰部21F相互接合从而使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20形成为一个整体。法兰部11F与21F分别具有多个螺纹孔h11及h21，螺纹孔h11与h21在第1工作腔分体10与第2工作腔分体20接合时相互对齐。通过使螺栓部件B1旋合在螺纹孔h11与h21上从而使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合。从而，在开口端部11及21的外周形成第1工作腔分体10与第2工作腔分体20的接合部J1(第1接合部)。
在接合部J1的外周部形成有用于收装密封部件71的第1密封部71a的槽T1。具体点说是，在法兰部11F与21F的各个接合面的外周缘部分别形成有内凹的槽部t1，从而，在第1工作腔分体10与第2工作腔分体20接合时，由两方的槽部t1沿着接合部J1形成槽T1。槽部t1的形成位置比螺纹孔h11及h21更靠近外周侧。
第1工作腔分体10与第2工作腔分体20分别具有在Z轴方向上开口的开口端部12及22(第2开口端部)。开口端部12形成在第1工作腔分体10的上表面。开口端部22形成在第2工作腔分体20的上表面。在第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互对接时，开口端部12与开口端部22相互连接从而形成为一个完整的开口端部。工作腔盖板50接合在工作腔分体10及20上并覆盖开口端部12、22。从而，在第1、第2工作腔分体10、20与工作腔盖板50之间形成接合部J0。
在开口端部12及22的周缘分别形成有多个螺纹孔h12及h22。在这些螺纹孔h12及h22的内周一侧，分别形成有用于收装密封部件71的第2密封部71b的槽T12及T22。在第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合时，槽T12与槽T22相互连接从而形成为一个环形槽。
第1工作腔分体10在其的与开口端部11正对的侧壁面上形成有开口部19。同样，第2工作腔分体20在其的与开口端部21正对的侧壁面上形成有开口部29。这些开口部19与29在真空腔1的内部与外部之间形成用于搬运半导体晶片或玻璃基板等处理基板的通道。在开口部19与29的周缘部分分别形成有多个螺纹孔h13与h23，用于连接真空搬运室或真空腔等的真空室、或者控制阀等的真空部件。另外，根据实际需要，可以省去这些开口部19与29中的一方。或者，在其中一方开口部不使用时，将其用盖子封闭。
工作腔盖板50为由不锈钢或铝合金等的金属材料形成的平板状部件。且该工作腔盖板50为尺寸与接合后的工作腔分体10与20的上表面大致相同的长方形。在工作腔盖板50的周缘上形成有多个螺纹孔h50，在工作腔分体10与20接合时，这些螺纹孔h50与开口端部12、22的各螺纹孔h12及h22相互连接。
密封部件71由真空密封用的各种弹性材料形成，具有第1密封部71a与第2密封部72b。关于第1密封部71a与第2密封部71b的截面形状，并没有特别限制，可以为圆形，也可以为四边形。在本实施方式中，第1密封部71a与第2密封部72b为一体结构，不过也可以分别形成第1密封部71a与第2密封部72b。
第1密封部71a形成为在与XZ平面平行的平面内的环形。在第1工作腔分体1与第2工作腔分体20接合后，第1密封部71a被安装在沿着接合部J1形成的槽T1中，从而密封住该接合部J1。第2密封部71b形成为在与XY平面平行的平面内的环形。在第1工作腔分体1与第2工作腔分体20接合后，第2密封部71b被安装在槽T12与槽T22中，从而密封住接合部J0。
本实施方式的真空腔1具有固定部件6，用于将安装在接合部J1上的密封部件71(第1密封部71a)固定在接合部J1上。用螺栓部件B3隔着形成在接合部J1上的槽T1将固定部件6安装在接合部J1上，从而由该固定部件6将第1密封部71a保持在槽T1中。h14与h24表示与螺栓部件B3相旋合的螺纹孔。在本实施方式中，固定部件6由多个长方形的板片构成，该多个板片沿着接合部J1的外周部以等间隔配置。然而，也不仅限于此，也可由与接合部J1的各边的长度对应的长条状的板片构成固定部件6。
接下来，对具有上述结构的本实施方式的真空腔1的制作方法进行说明。
首先，使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相接合。在该工序中，使工作腔分体10及20的第1开口端部11与21相正对，使两个法兰部11F及21F重合对齐。并且，使螺栓部件B1穿过互相对齐的螺纹孔h11及h21，从而使两个法兰部11F与21F相互接合，从而形成接合部J1。本实施方式中，采用螺栓部件B1与螺纹孔h11、h21相旋合的结构，然而，也不仅限于此，使用螺母部件与螺栓部件B1相配合从而将两个法兰部11F与21F紧固在一起也可。
在本实施方式中，在法兰部11F与法兰部12F之间不存在密封部件而是直接将二者接合在一起，因此，法兰部11F与12F之间的滑动阻力也小从而易于对二者的接合位置进行微调。从而，螺栓部件B1的安装较容易，可实现操作性的提高。
然后，利用密封部件71的第1密封部71a的弹性变形，将其安装在于接合部J1的外周部形成的槽T1中。因槽T1是在形成接合部J1的同时形成的，所以，接合部J1形成的较好槽T1也就能够较好地形成。从而，只需将第1密封部71a安装在上述槽T1中，即可使接合部J1具有适当的密封性。
在这里，因为螺栓部件B1配置在比第1密封部71a的安装位置更靠近内侧的位置处，所以，螺栓部件B1与螺纹孔h11、h21之间的密封性有可能达不到规定要求。此时，为了确保此处的密封性，可以在螺栓部件B1的螺纹部上缠绕密封带，或者采用在螺栓部件B1(及螺母部件)上安装密封环等的方法。上述密封带及密封环构成保持螺栓部件与工作腔分体之间的密封性的密封部件。
另外，密封部件71的第2密封部71b被安装在工作腔分体10与20的第2开口端部12及22上形成的槽T12及槽T22中。将第2密封部71b安装到槽T12及槽T22中的安装操作，可以在将第1密封部71a安装到接合部J1的槽T1中之前进行，也可在其后进行，或者也可以同时进行。
接下来，用螺栓部件B2将工作腔盖板50接合在工作腔分体10、20的开口端部12、22上，从而形成接合部J0。第2密封部71b被夹在工作腔盖板50与工作腔分体10、20之间，从而确保接合部J0的密封性。
最后，用螺栓部件B3将固定部件6安装在接合部J1的外周。从而，可防止第1密封部71a相对于接合部J1产生位置偏差，并确保接合部J1的密封性。
按照上述步骤，从而制作出内部具有空间部S的真空腔1。
在本实施方式中，真空腔1分为第1工作腔分体10.、第2工作腔分体20、工作腔盖板50三个部分。从而，即使工作腔尺寸较大，也能够避免因加工设备的大型化而带来的制作成本的上升，并能够解决安装操作性的降低与输送麻烦的问题。从而，可提供一种能够充分满足基板的大型化的要求的大型真空腔。
采用本实施方式的真空腔1，与现有的分体式真空腔相比具有多个优点。图4所示为作为比较例的现有的分体结构的真空腔1000的结构。
比较例的真空腔1000具有第1工作腔分体100、第2工作腔分体200、工作腔盖板500、密封部件15。第1工作腔分体100与第2工作腔分体200在Y轴方向上分开，且分别具有在Y轴方向上开口的第1开口端部111及121。使第1工作腔分体100与第2工作腔分体200的开口端部111与121相正对，用多个螺栓部件将法兰部111F及121F连接在一起从而使第1工作腔分体100与第2工作腔分体200接合在一起。密封部件15为一体式结构，具有第1密封部15a与第2密封部15b。在第1工作腔分体100与第2工作腔分体200接合在一起时，第1密封部15a被安装在法兰部111F与另一个法兰部121F之间。在法兰部111F与121F各自的接合面上分别形成有用于收装第1密封部15a的槽V1。用多个螺栓将盖板500接合在工作腔分体100及200的上面，并使其覆盖住在Z轴方向上开口的第2开口端部112、122。此时，密封部件15的第2密封部15b被安装在形成在开口端部112、122的接合面上的槽V21、V22中。
在具有上述结构的作为比较例的真空腔1000中，当使工作腔分体100、200相互接合时，必需要使第1密封部15a位于法兰部111F、121F之间的适当位置。即，在各法兰部111F、121F的接合面上形成有用于保持密封部15a的位置的槽V1，因此，在组装工作腔分体100、200时，必需要在使密封部15a嵌在槽V1中的状态下进行螺栓的旋紧操作。
然而，若使两个法兰部111F、121F重合对齐，则很难用眼睛确认密封部15a的安装位置，所以，要求操作者有较高的操作熟练度以正确地安装密封部15a。而且，因密封部15a位于两个法兰部111F、121F之间，所以需要对工作腔分体100、200的位置进行微调时会有些困难，因这样的原因使工作腔的组装操作性降低。
与此相比，本实施方式的真空腔1是，在第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合后，将密封部71a沿着第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合而形成的接合部J1安装。所以，在使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20接合时，能够较容易地对接合位置进行微调。
而且，采用本实施方式的真空腔1，因为在形成接合部J1后安装密封部71a，所以能够大大提高密封部71a的安装操作性。
另外，通过如上所述地较好地形成接合部J1，从而可提高形成在接合部J1的外周侧的槽T1的形成精度。进而提高密封部71a的安装精度，保证接合部J1具有较好的密封性。
还有，在上述实施方式中，用螺栓部件B1将工作腔分体10、20的各法兰部11F、21F紧固在一起以形成接合部J1，因此，工作腔分体10、20以及工作腔盖板50可自由安装拆卸，易于进行真理工作腔1的分拆作业。当然，也并不仅限于此，例如，通过焊接将两个法兰部11F、21F接合在一起也可。或者，使用卡具、各种粘结剂、胶带中的一种或几种的组合而将两个法兰部11F、21F接合在一起从而形成接合部J1。甚至是可以不形成法兰部11F、21F而直接将工作腔分体10、20的开口端部11、21接合在一起。
在形成接合部J1时使用的连接件可以不保留在最终产品上。例如，使用连接件将法兰部11F与21F接合并安装好密封部71a后，将该连接件卸下而通过别的连接机构(螺栓等的连接件或者连接材料)将两个法兰部接合。
还有，形成在接合部J1的外周面上、用于安装密封部的槽T1可以不是如上所述地与接合部J1同时形成。例如，可以在接合部J1形成后，在其外周部上形成密封部71a的安装槽，或者另外设置安装密封部71a的密封面。
上面说明的各种情况与变形例在以下的其他实施方式中也同样适用。
【第2实施方式】
图5为本发明第2实施方式的真空腔2的分解结构斜视图。另外，与上述第1实施方式相对应的部分也使用相同的附图标记，并省略其详细的说明。
本实施方式的真空腔2具有第1工作腔分体10、第2工作腔分体20、密封部件72、第1工作腔盖板51、第2工作腔盖板52。
第1工作腔分体10具有在Y轴方向开口的开口端部11(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的两个开口端部12及13(第2开口端部)。同样地，第2工作腔分体20具有在Y轴方向上开口的开口端部21(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的两个开口端部22及23(第2开口端部)。第1工作腔分体10与第2工作腔分体20被相互接合在一起，并且在二者之间安装密封部件72的第1密封部72a。第1及第2工作腔分体10、20与第1工作腔盖板51被相互接合在一起，并在第1及第2工作腔分体10、20与第1工作腔盖板51之间安装密封部件72的第2密封部72b。第1及第2工作腔分体10、20与第2工作腔盖板52被相互接合在一起，并在第1及第2工作腔分体10、20与第2工作腔盖板52之间安装密封部件72的第3密封部72c。
第1及第2工作腔分体10、20的各开口端部11、21分别具有在X轴方向延出的法兰部11F、21F，通过多个螺栓部件将这些法兰部11F、21F紧固在一起，从而使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合在一起，且由法兰部11F、21F形成工作腔分体10、20的接合部J1(第1接合部)。在各法兰部11F、21F的接合面的周缘部形成有槽部t1，在接合部J1形成后该槽部t1形成用于收装第1密封部72a的槽。
第1及第2工作腔分体10、20的各开口端部12、22上分别形成有用于收装第2密封部72b的槽T12、T22。在工作腔分体10、20相互接合时这些槽T12、T22相连接而形成为一个环形槽。同样地，在开口端部12、23上分别形成有用于收装第3密封部72c的槽，在工作腔分体10、20相互接合时这些槽相连接而形成为一个环形槽。
密封部件72为一体式结构，具有第1密封部72a、第2密封部72b、第3密封部72c。第1密封部72a连接在环形的第2及第3密封部72b、72c之间。
用多个螺栓部件使第1工作腔盖板51被接合在工作腔分体10、20的上面，并覆盖开口端部12、22，而且其与工作腔分体10、20之间安装第2密封部72b。用多个螺栓部件使第2工作腔盖板52被接合在工作腔分体10、20的上面，并覆盖开口端部13、23，而且其与工作腔分体10、20之间安装第3密封部72c。
与上述第1实施方式相同，本实施方式的真空腔2在第1及第2工作腔分体10、20相互接合后，将第1密封部72a沿着接合部J1安装。在安装第1密封部72a时，第2密封部72b被安装在开口端部12、22的槽T12、T22中，第3密封部72c被安装在开口端部13、23的如上所述的槽中。之后，第1及第2工作腔盖板51、52被分别接合在工作腔分体10、20上。并且，通过使固定部件6接合在接合部J1上从而将第1密封部72a保持在接合部J1上。
如上，即可制得本实施方式的真空腔2。采用本实施方式的真空腔2，也能够获得与第1实施方式相同的作用与效果。
【第3实施方式】
图6为本发明第3实施方式的真空腔3的分解结构斜视图。另外，与上述第1实施方式相对应的部分也使用相同的附图标记，并省略其详细的说明。
本实施方式的真空腔3具有第1工作腔分体10、第2工作腔分体20、第3工作腔分体30、第4工作腔分体40、密封部件73、盖板50。
第1及第4工作腔分体10、40具有在Y轴方向上开口的开口端部11、41(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的开口端部12、42(第2开口端部)。第2及第3工作腔分体20、30具有在Y轴方向上开口的开口端部21、31(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的开口端部22、32(第2开口端部)、与开口端部21、31相正对的开口端部24、34(第3开口端部)。
第1工作腔分体10与第2工作腔分体20通过密封部件73的第1密封部73a相互接合在一起。第2工作腔分体20与第3工作腔分体30通过密封部件73的第2密封部73b相互接合在一起。第3工作腔分体30与第4工作腔分体40通过密封部件73的第3密封部73c相互接合在一起。并且，第1～第4工作腔分体10～40与工作腔盖板51通过密封部件73的第4密封部73d相互接合在一起。
第1及第2工作腔分体10、20的各开口端部11、21分别具有法兰部11F、21F，用多个螺栓部件将这些法兰部11F、21F紧固在一起，从而使第1工作腔分体10与第2工作腔分体20相互接合在一起，且由法兰部11F、21F形成工作腔分体10、20的接合部J1(第1接合部)。在各法兰部11F、21F的接合面的周缘部分别形成有槽部t1，在接合部J1形成时，该槽部t1形成用于收装第1密封部73a的槽。
第2及第3工作腔分体20、30的各开口端部24、31分别具有法兰部24F、31F，用多个螺栓部件将这些法兰部24F、31F紧固在一起，从而使第2工作腔分体20与第3工作腔分体30相互接合在一起，且由法兰部24F、31F形成工作腔分体20、30的接合部J2(第2接合部)。在各法兰部24F、31F的接合面的周缘部分别形成有槽部t2，在接合部J2形成时，该槽部t2形成用于收装第2密封部73b的槽。
第3及第4工作腔分体30、40的各开口端部34、41分别具有法兰部34F、41F，用多个螺栓部件将这些法兰部34F、41F紧固在一起，从而使第3工作腔分体30与第4工作腔分体40相互接合在一起，且由法兰部34F、41F形成工作腔分体30、40的接合部J3(第3接合部)。在各法兰部34F、41F的接合面的周缘部分别形成有槽部t3，在接合部J3形成时，该槽部t3形成用于收装第3密封部73c的槽。
在第1～第4工作腔分体10～40的各开口端部12、22、32、42上形成有用于收装第4密封部73d的槽T12、T22、T32、T42。在工作腔分体10～40接合时这些槽T12、T22、T32、T42相连接从而形成为一个环形槽。
密封部件73具有第1密封部73a、第2密封部73b、第3密封部73c、第4密封部73d。第1～第3密封部73a～73c分别与第4密封部73d连接。
用多个螺栓部件使工作腔盖板51被接合在工作腔分体10～40上面，并覆盖开口端部12、22、32、42，而且在工作腔盖板51与工作腔分体10～41之间安装第4密封部件73d。
本实施方式的真空腔3在第1～第4工作腔分体10～40相互接合后，将密封部73a～73c沿着接合部J1安装。在安装密封部73a～73c时，第4密封部73d被安装在开口端部12、22、32、42的槽T12、T22、T32、T42中。之后，工作腔盖板51被接合在工作腔分体10～40上。并且，通过使固定部件6分别接合在接合部J1～J4上从而将密封部73a～73c分别保持在接合部J1～J3上。
如上，即可制得本实施方式的真空腔3。采用本实施方式的真空腔3，即使在工作腔分体部被分为3个分体以上时，也能够获得与第1实施方式相同的作用与效果。
【第4实施方式】
图7为本发明第4实施方式的真空腔4的分解结构斜视图。另外，与上述第2实施方式相对应的部分也使用相同的附图标记，并省略其详细的说明。
上述各实施方式的真空腔1～3，其工作腔分体在X轴方向上分体，而本实施方式的真空腔4既在X轴方向上分体又在Y轴方向上分体。本实施方式的真空腔4具有第1工作腔分体10A、第2工作腔分体10B、第3工作腔分体20A、第4工作腔分体20B、密封部件74、第1工作腔盖板61、第2工作腔盖板52。
第1及第2工作腔分体10A、10B分别具有法兰部19AF、19BF，该两个法兰部19AF、19BF在X轴方向上相互接合。用螺栓部件使该两个法兰部19AF、19BF相互接合，从而构成具有接合部J4的第1工作腔分体单元110。在法兰部19AF、19BF的接合面的周缘部分别形成有用于收装密封部件74的密封部d1、d2的槽部t4。另外，通过第1工作腔分体10A与第2工作腔分体10B相互接合从而在第1工作腔分体单元110的一侧面形成开口部19。第1及第2工作腔分体10A、10B分别具有槽T19A、T19B，该槽T19A、T19B沿着开口部19的周缘部形成，用于收装密封部件74的密封部74d。
第3及第4工作腔分体20A、20B分别具有法兰部29AF、29BF，该两个法兰部29AF、29BF在X轴方向上相互接合。用螺栓部件使该两个法兰部29AF、29BF相互接合，从而构成具有接合部J5的第2工作腔分体单元120。在法兰部29AF、29BF的接合面的周缘部分别形成有用于收装密封部件74的密封部e1、e2的槽部t5。另外，通过第3工作腔分体20A与第4工作腔分体20B相互接合从而在第2工作腔分体单元120的一侧面形成开口部29。第3及第4工作腔分体20A、20B分别具有槽(未图示)，该槽沿着开口部29形成，用于收装密封部件74的密封部74e。
第1工作腔分体单元110具有在Y轴方向上开口的开口端部11(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的两个开口端部12及13(第2开口端部)。同样地，第2工作腔分体单元120具有在Y轴方向上开口的开口端部21(第1开口端部)、在Z轴方向上开口的两个开口端部22及23(第2开口端部)。第1工作腔分体单元110与第2工作腔分体单元120通过密封部件74的密封部74a相互接合在一起。第1及第2工作腔分体单元110、120与第1工作腔盖板51通过密封部件74的密封部74b相互接合在一起。并且，第1及第2工作腔分体单元110、120与第2工作腔盖板52通过密封部件74的密封部74c相互接合在一起。
第1及第2工作腔分体单元110、120的各开口端部11、21分别具有在X轴方向上延出的法兰部11AF、11BF、21AF、21BF，用螺栓使这些法兰部11AF、11BF、21AF、21BF接合在一起，从而使第1及第2工作腔分体单元110、120接合在一起，并且由这些法兰部11AF、11BF、21AF、21BF形成工作腔分体单元110、120的接合部J1(第1接合部)。在个法兰部的接合面的周缘部分别形成有槽部t1，在接合部J1形成时该槽部t1形成收装密封部74a的槽。
第1及第2工作腔分体单元110、120的各开口端部12、22分别形成有用于收装密封部74b的槽T12A、T12B、T22A、T22B。这些槽在工作腔分体单元110、120相互接合时相连接从而形成为一个环形槽。同样地，第1及第2工作腔分体单元110、120各自的开口端部13、23分别形成有用于收装密封部74c的槽。这些槽在工作腔分体单元110、120相互接合时相连接从而形成为一个环形槽。
密封部件74为一体式结构，具有第1密封部74a、第2密封部74b、第3密封部74c、第4密封部d1、d2、第5密封部e1、e2、第6密封部74d、第7密封部74e。第1密封部74a连接在环形的第2及第3密封部74b、74c之间。第4密封部d1、d2分别连接在环形的密封部74b与第6密封部74d、密封部74c与第6密封部74d之间。第5密封部74e1、74e2分别连接在环形的密封部74b与第7密封部74e、密封部74c与第7密封部74e之间。
用多个螺栓部件使第1工作腔盖板51被接合在工作腔分体单元110与120上面，并覆盖开口端部12、22，而且在第1工作腔盖板51与工作腔分体单元110与120之间安装密封部74b。用多个螺栓部件使第2工作腔盖板52被接合在工作腔分体单元110与120下面，并覆盖开口端部13、23，而且在第2工作腔盖板52与工作腔分体单元110与120之间安装密封部74c。
在本实施方式中，在第1及第2工作腔分体单元110、120分别组装完成后，使该第1及第2工作腔分体110、120相互接合，之后将密封部74a沿着接合部J1安装，将密封部d1、d2安装在沿着接合部J4形成的槽部t4中，将密封部e1、e2安装在沿着接合部J5形成的槽部t5中，将密封部74b安装在开口端部12、22的槽T12A、T12B、T22A、T22B中，将密封部件74c安装在开口端部12、23的上述槽中。然后，使第1及第2工作腔盖板51、52接合在工作腔分体单元110、120上。另外，密封部74d被安装在开口部19的槽T19A、T19B中，密封部74e被安装在开口部29的槽中。并且，通过使固定部件6接合在接合部J1上从而将密封部74a保持在接合部J1上。
如上，即可制得本实施方式的真空腔4。采用本实施方式的真空腔4，即使在工作腔分体部被分为4个分体以上时，也能够获得与第1实施方式相同的作用与效果。
以上，就本发明的具体实施方式进行了说明，不言而喻，本发明不仅限于上述的说明，可以基于本发明的技术思想进行各种变更。
例如，在上述各实施方式中，以本发明应用为真空腔为例进行说明，然而，并不仅限于此，本发明也可应用为内部压力维持在比外部压力高的压力工作腔(正压工作腔)。
还有，在上述实施方式中，工作腔分体大致形成为六面体形状，不过，也可以形成为八面体形状等的其他的多面体形状。还有，也不仅限于在一个接合部上接合两个工作腔分体的情况，还可以由三个以上的工作腔分体的开口端部形成一个接合部。
还有，在上述实施方式中，密封部件安装在工作腔分体的接合部的外周部，然而也可将该密封部件安装在接合部的内周部。这种结构尤其适合将本发明应用为正压工作腔的情况。