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本发明是一种电子级超细硅微粉干法表面改性方法,其特点是,选取D503-50m的超细硅微粉为原料;配制表面改性混合液;所述的表面改性混合液由以下重量比的原料配成:硅烷偶联剂80-90;硅烷表面活性剂6-12;高分子超分散剂2-8;将原料加热到80-145后,向原料中加入占原料重量0.3-3.0的表面改性混合液,对原料进行包覆改性,保温30-120分钟后出料冷却,即得。本发明对超细粉体表面改性,能有效。