玻璃基板的搬运装置及搬运方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103988291 A (43)申请公布日 2014.08.13 C N 1 0 3 9 8 8 2 9 1 A (21)申请号 201380004232.8 (22)申请日 2013.01.11 2012-051769 2012.03.08 JP H01L 21/677(2006.01) B65G 49/06(2006.01) (71)申请人日本电气硝子株式会社 地址日本国滋贺县 (72)发明人田川广行 塚田将夫 佐伯彰久 三成泰纪 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人刘影娜 (54) 发明名称 玻璃基板的搬运装置及搬运方法 (57。

2、) 摘要 本发明提供一种玻璃基板的搬运装置及搬运 方法。玻璃基板的搬运装置(1)具备通过把持纵 向姿态的玻璃基板(G)中的上缘部(U)来悬挂支 承玻璃基板(G)的多个把持机构(10)、(11)，并将 由把持机构(10)、(11)悬挂支承的玻璃基板(G) 在沿着上缘部(U)的搬运方向T上搬运，其中，将 多个把持机构(10)、(11)中的、至少一个把持机 构设为位置及/或姿态在水平面上可变的可动把 持机构(10)。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.06.11 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2013/050411 2013.01.11 (87)PC。

3、T国际申请的公布数据 WO2013/132882 JA 2013.09.12 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书9页 附图11页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书9页 附图11页 (10)申请公布号 CN 103988291 A CN 103988291 A 1/1页 2 1.一种玻璃基板的搬运装置，该玻璃基板的搬运装置具备通过把持纵向姿态的玻璃基 板中的上缘部来悬挂支承该玻璃基板的多个把持机构，并将由该把持机构悬挂支承的所述 玻璃基板在沿着所述上缘部的搬运方向上搬运，所述玻璃基板的搬运装置的特征在于， 所述多个把持机构中的、至少一。

4、个把持机构是位置及/或姿态在水平面上可变的可动 把持机构。 2.根据权利要求1所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述可动把持机构构成为沿着水平面上的圆轨道回旋。 3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述可动把持机构构成为绕铅垂线白转。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述可动把持机构构成为沿着与所述搬运方向垂直的方向移动。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述可动把持机构构成为沿着与所述搬运方向平行的方向移动。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 在由所。

5、述多个把持机构悬挂支承的玻璃基板在作业区域内接受规定的处理期间，所述 可动把持机构处于位置及/或姿态不发生变化的初始状态，并且其他多个把持机构把持所 述玻璃基板的下缘部。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 包括所述可动把持机构在内的所述多个把持机构与多个工序对应地分别设置在多个 区域，当将由前工序的多个把持机构悬挂支承的玻璃基板交接给后工序的多个把持机构 时，所述可动把持机构处于位置及/或姿态不发生变化的初始状态。 8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述玻璃基板的搬运装置具备：驱动所述可动把持机构的驱动机构；测定所述玻璃基。

6、 板的下缘部的翘曲的测定机构；以及基于来自该测定机构的信号而控制所述驱动机构的控 制机构。 9.根据权利要求1至8中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 包括所述可动把持机构在内的所述多个把持机构与多个工序对应地分别设置在多个 区域，当将由前工序的多个把持机构悬挂支承的玻璃基板交接给后工序的多个把持机构 时，预先存储驱动前工序的可动把持机构的驱动机构的动作信息，并基于该存储好的动作 信息而控制驱动后工序的可动把持机构的驱动机构。 10.根据权利要求1至9中任一项所述的玻璃基板的搬运装置，其特征在于， 所述多个把持机构的一部分置换为使所述玻璃基板的上缘部空有游隙地插入并对该 玻璃基板的上。

7、缘部进行引导的引导构件。 11.一种玻璃基板的搬运方法，该玻璃基板的搬运方法利用通过把持纵向姿态的玻璃 基板中的上缘部来悬挂支承该玻璃基板的多个把持机构，并将由该把持机构悬挂支承的所 述玻璃基板在沿着所述上缘部的搬运方向上搬运，其特征在于， 所述多个把持机构中的、至少一个把持机构作为位置及/或姿态在水平面上可变的可 动把持机构，从而对所述玻璃基板进行悬挂支承并搬运。 权 利 要 求 书CN 103988291 A 1/9页 3 玻璃基板的搬运装置及搬运方法 技术领域 0001 本发明涉及一种玻璃基板的搬运装置及搬运方法，详细而言，涉及一种用于在搬 运纵向姿态的基板之后实施检查、加工的技术。 背。

8、景技术 0002 众所周知，作为进行玻璃基板的检查、加工的装置的一种而广泛普及如下的装置， 即，该装置在把持并悬挂支承纵向姿态中的基板的上缘部的状态下对其进行搬运，并且在 搬运之后实施基板的检查、加工。上述那样的装置在例如下述的专利文献1中有公开。 0003 在专利文献1中公开有一种装置，该装置具备：对从上游侧搬运来的玻璃基板的 上缘部进行把持的上部把持机构；对由上部把持机构悬挂支承的基板的下缘部进行把持的 下部把持机构；沿着基板的搬运路线设置且用于检测缺陷的有无的缺陷检测机构。而且，上 述文献所公开的装置采用如下结构：将被上下的两个把持机构把持的基板向下游侧搬运， 且同时使基板通过缺陷检测机。

9、构，从而检查缺陷的有无。 0004 在先技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1：日本特开2009-236711号公报 发明概要 0007 发明要解决的课题 0008 然而，近年来大量制造的液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器所使用的薄 型的玻璃基板伴随着对主体器件的轻型化的要求的提高而推进进一步的薄壁化。缘于上述 情况，当使用上述的专利文献1所公开那样的装置进行这些基板的检查、加工时，产生如下 问题。 0009 即，当实施玻璃基板的检查、加工时，例如，由于需要使进行基板的拍摄的摄像机 的焦点与基板吻合、将切断基板的刀具按压于基板等，因此必须把持基板的上缘部和下缘 部这两者而使基板。

10、具备张力。 0010 然而，推进薄壁化的玻璃基板随着基板的厚度变薄而刚性变低，因此因在基板产 生的微小的内部应力之差而导致容易产生翘曲。因此，被悬挂支承的基板的下缘部有时因 翘曲而弯曲为弓形状。其结果是，如上述的专利文献1所公开的那样存在如下问题，即，在 当实施基板的检查时对以仅把持上缘部的状态搬运的基板的下缘部进行把持之际，难以用 把持机构顺利地把持基板的下缘部，或者把持本身变得不可能。 0011 若产生上述情况，当将玻璃基板的下缘部安放于把持机构时，弯曲的下缘部与把 持机构发生冲突，基板产生破裂、破损，由此不仅导致产品成品率的降低，还产生破损了的 基板的破片残存于把持机构上这样的不良状况。。

11、 0012 因此，为了防止上述问题，当实施玻璃基板的检查、加工时，需要在用于容易把持 基板的下缘部这方面下功夫，然而，关于对此的措置，当前并没有充分地研究。 说 明 书CN 103988291 A 2/9页 4 0013 发明内容 0014 鉴于上述情况的本发明的技术性课题在于，在悬挂支承并搬运纵向姿态的玻璃基 板之后实施检查、加工时，容易把持基板的下缘部而实现产品成品率的改善等。 0015 解决方案 0016 为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的装置是一种玻璃基板的搬运装置，该 玻璃基板的搬运装置具备通过把持纵向姿态的玻璃基板中的上缘部来悬挂支承该玻璃基 板的多个把持机构，并将由该把持机构。

12、悬挂支承的所述玻璃基板在沿着所述上缘部的搬运 方向上搬运，其特征在于，所述多个把持机构中的、至少一个把持机构是位置及/或姿态在 水平面上可变的可动把持机构。 0017 根据上述结构，在由包含可动把持机构在内的多个把持机构来悬挂支承并搬运玻 璃基板的情况下，若该基板是具有挠性的薄壁的玻璃基板，则该基板的下缘部在俯视观察 下呈较大地弯曲的形状。在上述那样的状态下，在为了在搬运玻璃基板之后实施基板的检 查、加工而需要把持基板的下缘部这种情况下，获得下述那样的优选方式。即，在多个把持 机构把持玻璃基板的上缘部的状态下，若使可动把持机构的水平面上中的位置及/或姿态 发生变化，则基板的上缘部的形状从直线形。

13、状变形为非直线形状(弯曲形状)，与此同时， 基板的下缘部的形状也随着上缘部的形状变化而发生变形。因此，当可动把持机构使基板 的上缘部变形为非直线形状时，若适度地调整其变形的方向及程度，则能够使基板的下缘 部从较大地弯曲的形状变形为近似于直线形状的形状。因此，当进行玻璃基板的检查、加工 时，能够利用存在于下方的其他把持机构容易且顺利地把持变形为近似于直线形状的形状 的下缘部。其结果是，能够防止缘于其他把持机构与玻璃基板的下缘部发生干涉等而可能 产生的基板的破裂、破损，从而能够实现产品成品率的改善等。 0018 在上述结构的基础上，优选地，所述可动把持机构构成为沿着水平面上的圆轨道 回旋。 001。

14、9 这样的话，通过使可动把持机构回旋，玻璃基板的上缘部变形为非直线形状(弯 曲形状)，与此相伴地，基板的下缘部能够矫正为近似于直线形状的形状。在该情况下，“可 动把持机构回旋”意味着可动把持机构的位置及姿态可变。需要说明的是，在该情况下，能 够避免在玻璃基板中的被可变把持机构把持的部位的附近局部地产生缘于弯曲的较大应 力这样的不良状况。 0020 在上述结构的基础上，优选地，所述可动把持机构构成为绕铅垂线白转。 0021 这样的话，通过使可动把持机构白转，玻璃基板的上缘部变形为非直线形状(弯 曲形状)，与此相伴地，基板的下缘部能够矫正为近似于直线形状的形状。在该情况下，“可 动把持机构白转”意。

15、味着可动把持机构的姿态可变。而且，如上述那样若使可动把持机构一 边回旋一边白转，则对将基板的下缘部矫正为近似于直线形状的形状这方面更有利。 0022 在上述结构的基础上，优选地，所述可动把持机构构成为沿着与所述搬运方向垂 直的方向移动。 0023 这样的话，通过使可动把持机构沿着与搬运方向成直角的方向移动，玻璃基板的 上缘部变形为非直线形状(弯曲形状)，与此相伴地，基板的下缘部能够矫正为近似于直线 形状的形状。在该情况下，“可动把持机构沿着与搬运方向成直角的方向移动”意味着可动 把持机构的位置可变。而且，如上述那样若使可动把持机构一边回旋一边沿着与搬运方向 说 明 书CN 103988291 。

16、A 3/9页 5 成直角的方向移动、或一边白转一边沿着与搬运方向成直角的方向移动，则对将基板的下 缘部矫正为近似于直线形状的形状这方面更有利。 0024 在上述结构的基础上，优选地，所述可动把持机构沿着与所述搬运方向平行的方 向移动。 0025 这样的话，通过使可动把持机构沿着与搬运方向平行的方向移动，玻璃基板的上 缘部变形为非直线形状(弯曲形状)，与此相伴地，基板的下缘部能够矫正为近似于直线形 状的形状。在该情况下，“可动把持机构沿着与搬运方向平行的方向移动”意味着可动把持 机构的位置可变。而且，如上述那样若使可动把持机构一边回旋一边沿着与搬运方向平行 的方向移动、或一边白转一边沿着与搬运方。

17、向平行的方向移动、进而一边沿着与搬运方向 成直角的方向移动一边沿着与搬运方向平行的方向移动，则对将基板的下缘部矫正为近似 于直线形状的形状这方面更有利。 0026 在上述结构的基础上，优选地，在由所述多个把持机构悬挂支承的玻璃基板在作 业区域内接受规定的处理期间，所述可动把持机构处于位置及/或姿态不发生变化的初始 状态，并且其他多个把持机构把持所述玻璃基板的下缘部。 0027 这样的话，能够在玻璃基板接受规定的处理期间内使基板的上缘部与下缘部这两 者呈直线形状。因此，基板整体的弯曲得以消除而维持为适于实施规定的处理的平板状的 形状。其结果是，能够顺畅且正确地进行对玻璃基板的规定的处理。 002。

18、8 在上述结构的基础上，优选地，包括所述可动把持机构在内的所述多个把持机构 与多个工序对应地分别设置在多个区域，当将由前工序的多个把持机构悬挂支承的玻璃基 板交接给后工序的多个把持机构时，所述可动把持机构处于位置及/或姿态不发生变化的 初始状态。 0029 这样的话，由于能够在将玻璃基板交接给后工序时使基板的上缘部恢复至直线形 状，因此能够实现基板在工序间的顺畅交接。 0030 在上述结构的基础上，优选地，所述玻璃基板的搬运装置具备：驱动所述可动把持 机构的驱动机构；测定所述玻璃基板的下缘部的翘曲的测定机构；以及基于来自该测定机 构的信号而控制所述驱动机构的控制机构。 0031 这样的话，即便。

19、在玻璃基板的制造条件等发生变更而导致基板的翘曲的大小时刻 变化的情况下，通过具备有基于来自测定机构的信号而控制驱动机构的控制机构，能够根 据各个基板所具有的翘曲的大小来调整上缘部的变形。 0032 在上述结构的基础上，优选地，包括所述可动把持机构在内的所述多个把持机构 与多个工序对应地分别设置在多个区域，当将由前工序的多个把持机构悬挂支承的玻璃基 板交接给后工序的多个把持机构时，预先存储驱动前工序的可动把持机构的驱动机构的动 作信息，并基于该存储好的动作信息而控制驱动后工序的可动把持机构的驱动机构。 0033 这样的话，例如，在为了在对玻璃基板实施了规定的处理之后在后工序中实施其 他处理而需要。

20、再次把持基板的下缘部的情况下，优选获得如下的优选方式。即，通过存储有 前工序的驱动机构的动作信息，基于该动作信息而使后工序的驱动机构进行与前工序的驱 动机构相同的动作，则可动把持机构也必然进行与前工序的可动把持机构相同的动作。由 此，在后工序中，即便不对可动把持机构进行任何控制，也能够将基板的下缘部矫正为近似 于直线形状的形状，因此在工序间的作业流程得以大幅度顺畅化。 说 明 书CN 103988291 A 4/9页 6 0034 在上述结构的基础上，也可以将所述多个把持机构的一部分置换为使所述玻璃基 板的上缘部空有游隙地插入并对其进行引导的引导构件。 0035 这样的话，空有游隙地插入玻璃基。

21、板中的引导构件的部位不处于被完全约束的状 态，因此当可动把持机构的位置及/或姿态发生变化时，能够降低在该部位处局部地产生 较大的应力的可能性。 0036 另外，为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的方法是一种玻璃基板的搬运方 法，该玻璃基板的搬运方法利用通过把持纵向姿态的玻璃基板中的上缘部来悬挂支承该玻 璃基板的多个把持机构，并将由该把持机构悬挂支承的所述玻璃基板在沿着所述上缘部的 搬运方向上搬运，其特征在于，所述多个把持机构中的、至少一个把持机构作为位置及/或 姿态在水平面上可变的可动把持机构，从而悬挂支承并搬运所述玻璃基板。 0037 根据上述方法，能够起到与对上述的玻璃基板的搬运装置已经。

22、说明过的事项相同 的作用效果。 0038 发明效果 0039 如上所述，根据本发明，当在悬挂支承并搬运纵向姿态的玻璃基板之后实施基板 的检查、加工时，由于容易把持基板的下缘部，因此缘于把持不合格的产品成品率降低的问 题得以消除。 附图说明 0040 图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0041 图2是表示搬运玻璃基板的搬运路线的侧视图。 0042 图3a是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0043 图3b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0044 图4是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0045 图5a是表示。

23、玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0046 图5b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0047 图6是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0048 图7a是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0049 图7b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0050 图8是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0051 图9a是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0052 图9b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0053 图10是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0。

24、054 图11a是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0055 图11b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0056 图12是表示本发明的第六实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置的立体图。 0057 图13a是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 0058 图13b是表示玻璃基板的上缘部及下缘部的变形的俯视图。 具体实施方式 说 明 书CN 103988291 A 5/9页 7 0059 以下，参考附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在下述的各实施方 式中，作为可动把持机构而使用可动卡盘10，作为可动把持机构以外的把持机构而使用固 定卡盘11。另外，作为引。

25、导构件而使用可动引导件12及固定引导件13。此外，作为驱动可 动把持机构的驱动机构而使用伺服马达6、工作缸7、马达8，作为把持基板的下缘部的其他 把持机构而使用下缘部把持卡盘20。此外，作为测定基板的下缘部的翘曲的测定机构而使 用第一传感器40，作为对基板实施处理的作业区域而设置检查区域A2。 0060 图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。如 图1所示，玻璃基板的搬运装置1具备沿着导轨GR而向图中所示的搬运方向T移动的主框 架2；从主框架2悬挂下来的三根子框架3；分别固定于各子框架3且把持玻璃基板G(以 下，仅称作基板G)的上缘部U的可动卡盘10及固定卡盘11。。

26、 0061 三根子框架3中的、位于中央的子框架3以借助两个臂5而从主框架2悬挂下来 的方式被固定。另外，位于两端的两根子框架3借助固定于主框架2的带减速器的伺服马 达6而从主框架2悬挂下来。而且，伺服马达6所具备的旋转驱动部6a伴随着向图中的R 方向旋转而使固定于旋转驱动部6a的下部的子框架3从图示的初始状态向S方向回旋。 0062 位于中央的子框架3具备固定卡盘11，位于两端的两根子框架3分别具备可动卡 盘10，并且可动卡盘10与固定卡盘11配置为，在初始状态下，当从上方及侧方观察这些卡 盘时各自在一条直线上排列。另外，两卡盘10、11具有作为把持基板G的上缘部U的部位 的一对爪部10a、1。

27、1a，该一对爪部10a、11a通过以固定于两卡盘10、11的轴10b、11b为中心 而在空气压的作用下旋转来进行开闭。此外，可动卡盘10构成为，伴随着子框架3向S方 向回旋而在与基板G的上端面Ua平行的未图示的假想平面上、即在水平面上沿着圆轨道回 旋。 0063 以下，基于图2对上述第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1搬运基板G 的搬运路线的结构进行说明。需要说明的是，下述说明的结构是在搬运基板G的中途检查 缺陷的有无、然后将基板G向后工序交接的情况下的结构。需要说明的是，在后工序中，使 用与上述相同的结构的搬运装置1。 0064 图2是表示基板G的搬运路线的侧视图。需要说明的是，在图2中。

28、，省略关于上述 第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的结构中的、可动卡盘10与固定卡盘11以 外的构成要素的图示。基板G的搬运路线沿着图示的搬运方向T而包括测定基板G的下缘 部D中的翘曲的大小的测定区域A1、检查缺陷的有无的检查区域A2、将基板G向后工序移 送的移送区域A3。 0065 测定区域A1具备对从上游侧搬运来的基板G的下缘部D中的翘曲的大小进行测 定的第一传感器40。基于第一传感器40的测定结果的信息通过未图示的电路而作为电信 号向未图示的控制机构传递。然后，基于该信号而控制伺服马达6，由此进行反馈控制。 0066 检查区域A2具备对从测定区域A1搬运来的基板G的下缘部D进行把持。

29、的三个下 缘部把持卡盘20、对可动卡盘10的白初始状态起的位置及/或姿态的变化进行测定的第二 传感器50、对基板G的表面背面上的缺陷的有无进行检查的线性传感器30。 0067 下缘部把持卡盘20以从上方及侧方观察时各自在一条直线上排列的方式配置。 而且，配置在下缘部把持卡盘20且用于把持基板G的下缘部D的把持部20a是沿着基板G 的厚度方向滑动而进行移动的一对板状构件，基板G的把持及该把持的解除变得可能。另 说 明 书CN 103988291 A 6/9页 8 外，由第二传感器50测定出的可动卡盘10的白初始状态起的位置及/或姿态的变化的信 息在存储于未图示的存储机构后，能够传递至在后工序中使。

30、用的相同的可动卡盘10的伺 服马达6。需要说明的是，上述的可动卡盘10的白初始状态起的位置及/或姿态的变化的 信息也可以作为伺服马达6的旋转角度(或后述的工作缸7的移动量、马达8的旋转量)而 存储于存储机构。此外，线性传感器30具备在上下方向上排列的多个摄像机30a，由基板G 的背面侧对向基板G的表面侧照射的光进行受光，并基于受光了的光量的变化而检查缺陷 的有无。 0068 移送区域A3在结束缺陷的有无的检查并将解除了下缘部D的把持的基板G搬运 至搬运路线的下游端为止之后，向后工序交接。 0069 以下，基于图2及图3对使用上述第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1 而将基板G沿着上述搬运路。

31、线进行搬运的搬运方法进行说明。在此，被搬运的基板G具有 挠性，其厚度优选为0.20.7mm。 0070 首先，在测定区域A1中，使从上游侧搬运来的基板G停止在第一传感器40上，并 测定基板G的下缘部D中的翘曲的大小。此时，当翘曲的大小的测定值比检查区域A2所具 备的下缘部把持卡盘20的可动范围L大时，如图3所示，完成下缘部D中的翘曲的大小的 矫正。 0071 图3a是表示从铅直上方观察停止在第一传感器40上的基板G的初始状态时的状 态的俯视图，由实线表示基板G的上缘部U的轮廓，由点划线表示下缘部D的轮廓。需要说 明的是，在该附图中还省略关于玻璃基板的搬运装置1的结构中的、可动卡盘10与固定卡 。

32、盘11以外的构成要素的图示。 0072 当测定下缘部D中的翘曲的大小且其值比下缘部把持卡盘20的可动范围L大时， 该测定值的信息通过电路而作为电信号向未图示的控制机构传递。然后，基于该信号而控 制伺服马达6，由此进行反馈控制。由此，伺服马达6所具备的旋转驱动部6a旋转，固定于 子框架3的可动卡盘10向S方向回旋。其结果是，伴随着上缘部U的变形，如图3b所示， 进行矫正，以使得下缘部D中的翘曲的大小收敛于下缘部把持卡盘20的可动范围L内。然 后，矫正过下缘部D中的翘曲的大小的基板G向检查区域A2搬运。 0073 搬运至检查区域A2的基板G在检查缺陷的有无时因下缘部D被下缘部把持卡盘 20所具备的。

33、把持部20a把持而处于带有张力的状态。此时，在测定区域A1中，通过矫正下 缘部D中的翘曲的大小，能够顺利地把持下缘部D。因此，能够消除缘于把持不合格的产品 成品率降低的问题。 0074 此外，当基板G的下缘部D被下缘部把持卡盘20把持时，可动卡盘10的白初始状 态起的位置及姿态的变化由第二传感器50测定，其测定值的信息向后工序传递。由此，即 便在为了在后工序中使用相同结构的玻璃基板的搬运装置1来实施其他检查、加工而需要 再次把持基板G的下缘部D的情况下，通过将可动卡盘10的位置及姿态的变化的信息向后 工序交接，也能够在后工序中顺利地把持基板G的下缘部D。 0075 如上述那样，当下缘部D被下缘。

34、部把持卡盘20把持时，使伺服马达6所具备的旋 转驱动部6a沿着R方向而逆向地旋转。与此相伴地，子框架3沿着S方向而向初期位置回 旋，由此子框架3所具备的可动卡盘10也同样地向初始状态恢复。其结果是，基板G的上 缘部U中的轮廓向直线形状恢复。然后，将上缘部U及下缘部D被把持的基板G向下游侧 说 明 书CN 103988291 A 7/9页 9 搬运并通过线性传感器30，由此利用线性传感器30所具备的摄像机30a来检查缺陷的有 无。 0076 结束缺陷的有无的检查的基板G解除由下缘部把持卡盘20进行的把持，在仅上缘 部U被把持的状态下，朝向后工序而在移送区域A3中搬运。然后，当到达至移送区域A3的。

35、 下游端为止时，基板G向后工序交接。 0077 图4是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。需 要说明的是，在图4中，对具有与上述第一实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1相同的 功能或形状的构成要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。此外，在后述的第三实施 方式第六实施方式中，也同样对具有与已经说明过的各实施方式所涉及的玻璃基板的搬 运装置相同的功能或形状的构成要素省略重复的说明。另外，在本实施方式及后述的第三 实施方式第六实施方式中，搬运基板G的搬运路线的结构是与上述第一实施方式相同的 结构。 0078 该第二实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1与上述的第一实施方式。

36、所涉及 的玻璃基板的搬运装置1的不同点在于，在位于中央的子框架3中，使用固定引导件13来 代替固定卡盘11。固定引导件13具备用于引导基板G的上缘部U的引导部13a，引导部 13a是在空气压的作用下能够沿着基板G的厚度方向滑动的一对板状构件。另外，在引导部 13a与基板G之间设置游隙，并不完全地约束基板G。 0079 根据使用了该搬运装置1的玻璃基板的搬运方法，如图5a、图5b所示，在矫正下 缘部D的形状时获得以下优选的方式，以使得下缘部D中的翘曲的大小收敛于下缘部把持 卡盘20的可动范围L内。即，当可动卡盘10进行动作、基板G的上缘部U发生变形时，由 于被引导部13a引导的部位未被完全地约束。

37、，因此能够减小在基板G产生局部的应力的可 能性。另外，能够适当地防止因玻璃基板的搬运装置1的振动、向下缘部把持卡盘20的安 放时的精度的偏差而在基板G产生破裂、基板G发生破损这样的情况。需要说明的是，在图 5a、5b中，与上述第一实施方式相同地，由实线表示搬运来的基板G的上缘部U的轮廓，由点 划线表示下缘部D的轮廓。另外，在该附图中还省略关于玻璃基板的搬运装置1的结构中 的、可动卡盘10与固定引导件13所具备的引导部13a以外的构成要素的图示。上述的记 载对于后述的第三实施方式第六实施方式也相同。 0080 图6是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。如 图6所示，玻璃。

38、基板的搬运装置1具备：沿着导轨GR而向图示的搬运方向T移动的主框架 2；固定于主框架2的三个臂5；把持基板G的上缘部U的固定卡盘11；引导基板G的上缘 部U的可动引导件12。 0081 在三个臂5中的、位于两端的两个臂5的下部分别固定有工作缸7，内置于该工作 缸7的活塞进行运动，由此可动引导件12能够在水平面上沿着图示的Y方向(直线轨道) 移动。另外，可动引导件12具备用于引导基板G的上缘部U的引导部12a，引导部12a是在 空气压的作用下能够沿着基板G的厚度方向滑动的一对板状构件。此外，在引导部12a与 基板G之间设置游隙，并不完全地约束基板G。而且，在位于中央的臂5的前端固定有固定 卡盘1。

39、1。 0082 根据使用了该搬运装置1的玻璃基板的搬运方法，如图7a、图7b所示，通过使可动 引导件12向Y方向移动而能够矫正下缘部D的形状，以使得下缘部D中的翘曲的大小收敛 说 明 书CN 103988291 A 8/9页 10 于下缘部把持卡盘20的可动范围L内。另外，该玻璃基板的搬运装置1还具有装置的构造 简单这样的优点。 0083 图8是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。该 第四实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1采用与上述的第三实施方式所涉及的玻璃 基板的搬运装置1在以下方面有所不同的结构。其一是在位于两端的臂的前端固定有固定 引导件13；其二是在位于中央。

40、的臂5的下部固定有工作缸7，借助该工作缸7的活塞运动而 使可动卡盘10能够在水平面上沿着图示的Z方向(直线轨道)移动。 0084 根据使用有该搬运装置1的玻璃基板的搬运方法，如图9a、图9b所示，通过使可动 卡盘10向Z方向移动而能够矫正下缘部D的形状，以使得下缘部D中的翘曲的大小收敛于 下缘部把持卡盘20的可动范围L内。另外，该玻璃基板的搬运装置1与上述第三实施方式 所涉及的玻璃基板的搬运装置1相同地，还具有装置的构造简单这样的优点。 0085 图10是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。如 图10所示，玻璃基板的搬运装置1具备：沿着导轨GR而向图示的搬运方向T移动。

41、的主框架 2；固定于主框架2的三个臂5；把持基板G的上缘部U的可动卡盘10；引导基板G的上缘 部U的固定引导件13。 0086 在位于中央的臂5固定有马达8。马达8的旋转轴贯穿臂5而与臂5的下方所具 备的可动卡盘10连接，伴随着马达8的旋转，可动卡盘10能够以可动卡盘10自身为旋转 轴而向图示的V方向白转。另外，在位于两端的臂5的下部固定有固定引导件13。 0087 根据使用有该搬运装置1的玻璃基板的搬运方法，如图11a、图11b所示，通过使 可动卡盘10向V方向自转而能够矫正下缘部D的形状，以使得下缘部D中的翘曲的大小收 敛于下缘部把持卡盘20的可动范围L内。另外，由于能够使基板G的上缘部U。

42、弯曲为S字 状，因此具有抗弯曲性强这样的优点。在该情况下，通过使基板G弯曲为S字状，虽然产生 较大的应力局部地作用于基板G这样的危险，但由于基板G的上缘部U的长边方向上的两 端仅被固定引导件13所具备的引导部13a引导而未被约束，因此能适当地排除上述危险。 0088 图12是表示本发明的第六实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1的立体图。该 第六实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1采用与上述的第四实施方式所涉及的玻璃 基板的搬运装置1在以下方面有所不同的结构。在上述的第四实施方式中，在引导基板G 的上缘部U的两个固定引导件13之间仅具备一个可动卡盘10，而在本实施方式中，具备两 个可动卡盘10。。

43、通过使内置于工作缸7的活塞进行运动，该两个可动卡盘10能够在水平面 上沿着图示的W方向(直线轨道)移动。另外，两个可动卡盘10在W方向上朝向相互相反 的方向移动。 0089 根据使用有该玻璃基板的搬运装置1的玻璃基板的搬运方法，如图13a、图13b所 示，通过使两个可动卡盘10向W方向移动而能够矫正下缘部D的形状，以使得下缘部D中的 翘曲的大小收敛于下缘部把持卡盘20的可动范围L内。另外，与上述的第五实施方式相同 地，由于能够使基板G的上缘部U弯曲为S字状，因此具有抗弯曲性强这样的优点。另外， 装置的构造也可以是简单的构造。 0090 在此，本发明所涉及的玻璃基板的搬运装置的结构并不局限于上述。

44、的第一实施方 式第六实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置1。在上述的各实施方式中，虽然可动卡 盘10或可动引导件12构成为在水平面上沿着圆轨道回旋、或沿着直线轨道移动，但也可以 说 明 书CN 103988291 A 10 9/9页 11 沿着将这些轨道组合而成的轨道进行动作。另外，也可以同时采用沿着这些轨道的动作和 第五实施方式所公开的白转动作。此外，各实施方式所涉及的玻璃基板的搬运装置所具备 的可动引导件12或固定引导件13也可以与基板G的搬运方向平行地移动，这样的话，能够 进一步减小局部的应力作用于基板G的可能性。此外，可动卡盘10、固定卡盘11、可动引导 件12、固定引导件13的数量、配。

45、置位置也并不局限于在各实施方式中公开的结构，也可以 考虑搬运的基板G的尺寸、重量而适当地加以变更。 0091 另外，基板G的搬运路线的结构也并不局限于上述的实施方式所公开的结构。在 上述的各实施方式中，在测定区域A1配置进行基板G的下缘部D中的翘曲的大小的测定的 第一传感器40，在检查区域A2配置进行可动卡盘10的白初始状态起的位置及姿态的变化 的测定的第二传感器50，但也可以将两个传感器配置在相同的区域并同时进行测定。此外， 在上述的各实施方式中，虽然公开了在基板G的搬运的中途检查缺陷的有无的情况，但本 发明所涉及的玻璃基板的搬运装置也可以在上述的情况以外使用，例如，能够在基板G的 搬运的中。

46、途进行基板G的切断加工那样的情况下使用。 0092 此外，在上述的各实施方式中，在对基板G的缺陷的有无进行了检查之后，在将基板G 的上缘部U保持为直线形状的状态下进行搬运，但也可以是例如使上缘部U变形为S字状而进 行搬运。这样的话，即便在装置内部中的气流的紊乱、装置的振动等作用于基板G的情况下，由 于基板G难以摇晃，因此能够可靠地避免基板G与搬运路线的周边所具备的构件等接触这样的 情况。另外，在上述情况下，若采用本发明所涉及的玻璃基板的搬运装置作为后工序中的基板G 的搬运装置，则也可以在搬运路线的下游端(移送区域A3的下游端)处，在将上缘部U的形状 保持为S字状的状态下将基板G向后工序交接。这。

47、样的话，由于在检查区域A2测定出的可动 把持机构的白初始状态起的位置及/或姿态的变化向后工序传递，因此即便不使上缘部U恢复 为直线形状，存在于后工序的可动卡盘10、固定卡盘11也能够顺利地把持基板G的上缘部U。 0093 附图标记说明如下： 0094 1 玻璃基板的搬运装置 0095 6 伺服马达 0096 7 工作缸 0097 8 马达 0098 10 可动卡盘 0099 11 固定卡盘 0100 12 可动引导件 0101 13 固定引导件 0102 T 搬运方向 0103 G 玻璃基板 0104 U 玻璃基板的上缘部 0105 D 玻璃基板的下缘部 0106 Ua 玻璃基板的上端面 01。

48、07 20 下缘部把持卡盘 0108 40 第一传感器 0109 50 第二传感器 说 明 书CN 103988291 A 11 1/11页 12 图1 说 明 书 附 图CN 103988291 A 12 2/11页 13 图2 说 明 书 附 图CN 103988291 A 13 3/11页 14 图3a 图3b 说 明 书 附 图CN 103988291 A 14 4/11页 15 图4 图5a 说 明 书 附 图CN 103988291 A 15 5/11页 16 图5b 图6 说 明 书 附 图CN 103988291 A 16 6/11页 17 图7a 图7b 说 明 书 附 图CN 103988291 A 17 7/11页 18 图8 图9a 说 明 书 附 图CN 103988291 A 18 8/11页 19 图9b 说 明 书 附 图CN 103988291 A 19 9/11页 20 说 明 书 附 图CN 103988291 A 20 10/11页 21 图11b 图12 说 明 书 附 图CN 103988291 A 21 11/11页 22 图13a 图13b 说 明 书 附 图CN 103988291 A 22 。