像素位置特定方法、图像偏移修正方法、及图像形成装置.pdf

提供像素位置特定方法，图像偏移修正方法，以及图像形成装置。第1曝光头连接点附近的第1连接像素打开，沿Y轴方向移动光束位置检测机构，在受光面上检测XY坐标中的第1曝光光束位置，将第2曝光头连接点附近的第2连接像素打开，沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测上述受光面上的曝光光束的XY坐标位置，由上述光束位置检测机构在Y轴方向上的移动量，和在上述受光面上的第1曝光头和上述第2曝光头曝光光束位置，特定上述第1和第2特定像素的位置。在多头曝光装置中减小由各曝光头形成的图像之间的偏移。

1.  一种像素位置的特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点的像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
在上述曝光光束位置的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动的光束位置检测机构，同时，
将第1曝光头连接点附近的第1连接像素打开，在上述光束位置检测机构具备的受光面上，检测XY坐标中的第1曝光光束位置，
将第2曝光头连接点附近的第2连接像素打开，同时，沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测上述受光面上XY坐标中的第2曝光光束位置，
由上述光束位置检测机构在Y轴方向上的移动量，和第1曝光头和上述第2曝光头在上述受光面上的曝光光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置，以特定连接像素的位置。

2.  根据权利要求1所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述光束位置检测机构是为2维PSD、4分割光探测器、2维CCD、和2维CMOS中的任何一种像素位置检测元件。

3.  根据权利要求1所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述曝光头，根据输入的图像数据，由调制光源光的空间调制元件，选择性地对多个像素进行打开/关闭。

4.  一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素而形成的同时，相对于扫描方向倾斜配置的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点的像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
在上述曝光光束位置的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，能够在基准面上移动的光束位置检测机构，同时，
依次打开位于上述第1曝光头连接点附近的像素，沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，将在基准面上能够移动的光束位置检测机构的受光面上的XY坐标中，将与射入最接近X＝0的位置中的曝光光束相对应的像素，特定为第1连接像素，
将上述被特定为第1连接像素的第1连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，并检测上述第1曝光头的曝光光束照射在上述受光面上的XY坐标的原点时，作为上述光束位置检测机构在基准面上的位置的第1光束位置，
依次打开位于上述第2曝光头连接点附近的像素，在上述光束位置检测机构受光面上的XY坐标中，将相对于射入最接近X＝0的位置中的曝光光束相对应的像素，特定为第2连接像素，
将上述特定为第2连接像素的第2连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测出上述第2曝光头的曝光光束照射在上述受光面上XY坐标的原点时，作为上述光束位置检测机构在基准面上的位置的第2光束位置，
根据上述第1光束位置和上述第2光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置。

5.  根据权利要求4所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述光束位置检测机构是为2维PSD、4分割光探测器、2维CCD、和2维CMOS中的任何一种像素位置检测元件。

6.  根据权利要求4所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述曝光头，根据输入的图像数据，由调制光源光的空间调制元件，选择性地对多个像素进行打开/关闭。

7.  一种像素位置特定方法，是在将选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，特定上述曝光头的连接点处的像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
在上述曝光光束的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向和与Y轴方向正交的X轴方向，在基准面上能够移动的光束位置检测机构，同时，
将第1曝光头的连接点附近的第1连接像素打开，沿着X轴和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测曝光光束照射到上述光束位置检测机构受光面中的原点(x＝0，y＝0)时，作为上述光束位置检测机构在上述基准面上的位置的第1光束位置(X1，Y1)，
打开在第2曝光头连接点附近的第2连接像素，沿着X轴和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测曝光光束照射在上述光束位置检测机构受光面中的原点时，作为上述光束位置检测机构在上述基准面上的位置的第2光束位置(X2，Y2)，
根据上述第1光束位置和第2光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置。

8.  根据权利要求7所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述光束位置检测机构是为2维PSD、4分割光探测器、2维CCD、和2维CMOS中的任何一种像素位置检测元件。

9.  根据权利要求7所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述曝光头，根据输入的图像数据，由调制光源光的空间调制元件，选择性地对多个像素进行打开/关闭。

10.  一种图像偏移的修正方法，是在将选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，对各曝光头之间的图像偏移或重叠进行修正的图像偏移修正方法，其特征在于，
通过权利要求1所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和上述第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的位置，
根据上述特定了像素位置的第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，以使上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

11.  根据权利要求10所述的图像偏移修正方法，通过权利要求1所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和上述第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的像素位置，
根据上述特定了像素位置的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像，
在上述图像数据的修正中，其特征在于，
对于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的偏移，根据上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的距离和上述曝光头的扫描速度，通过设定上述第1曝光头和上述第2曝光头的曝光定时，进行去除，同时，
对于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在X轴方向上的偏移，通过向第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中形成重合，加以去除。

12.  根据权利要求10所述的图像偏移修正方法，其特征在于，对于3个以上的曝光头，也是通过上述像素位置特定方法，特定各个曝光头中的连接像素在上述基准面上的位置，
根据由上述像素位置特定方法特定的连接像素位置，修正向上述各曝光头中输入的图像数据，以使上述连接像素连接图像。

13.  一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具备能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，由上述曝光头按一定方向扫描图像形成面进行曝光，以形成图像的曝光机构，
在上述曝光光束位置的测定中，通过能够沿着与扫描方向平行的Y轴方向在基准面上移动的光束位置检测机构，测定具备曝光机构的各个曝光头的曝光光束位置，特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构，和
根据上述光束位置检测机构中的像素位置检测结果，控制上述曝光头的曝光控制机构，
其中，上述光束位置检测机构，是通过权利要求1所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的位置，
上述曝光控制机构，是根据由上述像素位置特定机构特定的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

14.  根据权利要求13所述的图像形成装置，其特征在于，上述像素位置特定机构，作为上述光束位置检测机构，具备选自2维PSD、4分割光探测器、2维CCD、和2维CMOS中的像素位置检测元件。

15.  根据权利要求13所述的图像形成装置，其特征在于，上述曝光头具备根据输入的图像数据，调制来自光源光的空间光调制元件，通过上述空间调制元件选择性地对多个像素进行打开/关闭。

16.  根据权利要求15所述的图像形成装置，其特征在于，上述空间调制元件具有相对于上述扫描方向呈倾斜配置的多个像素。

17.  根据权利要求16所述的图像形成装置，其特征在于，上述空间调制元件的像素是以2维配置而成的。

18.  一种像素位置的特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，特定上述曝光头连接点处像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
使用具有沿着相对于上述曝光装置扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动形成的，相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，彼此交叉配置的至少1对狭缝部和测量透过上述狭缝部的曝光光量的光量测定机构的光束位置检测机构，测定上述曝光光束的位置，同时，
将在第1曝光头中的图像连接点附近的第1连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据上述狭缝部的一方和另一方，使透过的曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和上述狭缝部的位置，和上述狭缝部相互形成的角度，以特定上述第1连接像素的位置，
将在第2曝光头中的图像连接点附近的第2连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据上述狭缝部的一方和另一方，使透过的曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和上述狭缝部形成的角度，以特定第2连接像素的位置，

19.  一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点处像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
使用具备相对于上述曝光头的像素排列，呈相对倾斜，使一方沿着与曝光装置扫描方向平行的Y轴配置，另一方沿着相对于Y轴方向正交的X轴方向配置的至少1对狭缝部，和测量透过上述狭缝部曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构，以测定上述曝光光束的位置，
同时，依次打开在上述第1曝光头的图像连接点附近的像素，根据上述光束位置检测机构中，透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，上述光束位置检测机构中，透过另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，和上述2个像素在Y坐标之差，特定第1连接像素的位置，
依次打开在上述第2曝光头的图像连接点附近的像素，根据上述光束位置检测机构中，透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，上述光束位置检测机构中，透过另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，和上述2个像素在Y坐标之差，特定第2连接像素的位置。

20.  一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，特定上述曝光头连接点处像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
使用具有在基准面上沿着Y轴方向和X轴方向可移动形成的，Y轴方向上为长的第1狭缝部和X轴方向上为长的第2狭缝部，和测量透过上述第1和第2狭缝部曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构，以测定上述曝光光束的位置，同时，
打开在第1曝光头的图像连接点附近的第1特定像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，以特定上述第1连接像素的位置，
打开在第2曝光头的图像连接点附近的第2特定像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，以特定第2连接像素的位置。

21.  一种图像偏移的修正方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，修正各曝光头之间图像偏移或重叠的图像偏移修正方法，其特征在于，
通过权利要求1所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头的图像连接点附近的第1连接像素，和特定第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素的位置，
根据上述特定了的像素位置的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

22.  根据权利要求21所述的图像偏移修正方法，其特征在于，在上述图像数据修正步骤中，
关于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的图像偏移，是通过根据上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的距离和上述曝光头的扫描速度，设定上述第1曝光头和上述第2曝光头的曝光定时而进行去除，
关于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在X轴方向上的图像偏移，是通过向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中重合而进行去除。

23.  根据权利要求21所述的图像偏移修正方法，其特征在于，即使对于3个以上的曝光头，也是
通过上述像素位置的特定方法，特定各个曝光头的连接像素在上述基准面上的位置，
根据由上述像素位置的特定方法特定的连接像素位置，修正向各个曝光头中输入的图像数据，使以上述连接像素连接图像。

24.  一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具备选择性地打开/关闭多个像素的机构，同时，具备按一定方向扫描图像形成面进行曝光而形成图像的多个曝光头的曝光机构；
作为检测各曝光头的曝光光束位置的光束位置检测机构，具有沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动地形成，并相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，彼此交叉地配置的至少1对狭缝部，和测定透过上述狭缝部的上述曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据由上述光束位置检测机构检测的曝光光束位置，特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，是在上述曝光机构中，打开在第1曝光头中图像连接点附近的第1连接像素，同时，沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述光束位置检测机构所具备的上述狭缝部的一方和另一方曝光光束光量达到峰值时的光束位置检测机构的位置和上述狭缝部形成的角度，特定上述第1连接像素的位置，
在上述曝光机构中，打开在第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素，同时沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述狭缝部的一方和另一方曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和狭缝部形成的角度，特定上述第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述光束位置检测机构所特定的第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

25.  一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具选择性地打开/关闭多个像素的机构，具备按一定方向对图像形成面进行扫描曝光，形成图像的多个曝光头，同时，上述曝光头的像素相对于上述扫描方向呈倾斜排列的曝光机构；
作为检测各个曝光头的曝光光束位置的光束位置检测机构，具有相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，使一方沿着与上述曝光装置的扫描方向平行的Y轴配置，而另一方沿着相对于Y轴方向正交的X轴方向配置的至少1对狭缝部和测定透过上述狭缝部的上述曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据上述由光束位置检测机构检测的曝光光束位置，特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述由像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，依次打开在上述第1曝光头图像连接点附近的像素，由在上述光束位置检测机构中，使透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、上述光束位置检测机构中，使透过上述另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、和上述2个像素的Y坐标之差，以特定第1连接像素的位置，
依次打开在第2曝光头的像素，由上述光束位置检测机构中，使透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、上述光束位置检测机构中，使透过上述另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、和上述2个像素的Y坐标之差，以特定第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述由像素位置特定机构特定的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

26.  一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具有选择性地打开/关闭多个像素的机构，同时具备按一定方向对图像形成面进行扫描曝光而形成图像的多个曝光头的曝光机构；
具有在基准面上沿Y轴方向和X轴方向能够移动地形成的，Y轴方向上为长的第1狭缝部和X轴方向上为长的第2狭缝部，和测定透过上述第1和第2狭缝部的曝光光束的光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据上述由光束位置检测机构检测出的曝光光束位置，特定上述曝光头像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述由像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，打开上述曝光机构中第1曝光头的图像连接点附近的第1连接像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的上述光束位置检测机构的位置，特定上述第1连接像素的位置，
打开上述曝光机构中第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的上述光束位置检测机构的位置，特定上述第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述由光束位置检测机构特定的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。

27.  根据权利要求24所述的图像形成装置，其特征在于，上述曝光头中，选择性地打开/关闭多个像素的机构，是根据输入的图像数据，调制光源的光，以形成图像的空间光调光调制元件。

28.  根据权利要求27所述的图像形成装置，其特征在于，上述空间光调制元件，具备多个反射来自光源的光，同时可以采用2个位置中的任何一方的微小反射镜，通过根据图像数据，将上述反射镜的位置切换到上述2个位置中的任何一方，并切换上述来自光源光的反射路径，以形成像素的DMD。

像素位置特定方法、图像偏移修正方法、及图像形成装置
技术领域
本发明是关于像素位置特定方法、图像偏移的修正方法，及图像的形成装置。尤其是关于具备多个曝光头的图像形成装置中，即使曝光头之间的相对位置发生变化，也能以高精度特定曝光头中相连像素位置的像素位置特定方法，可形成连接点不显著的高质量图像的图像偏移修正方法，及利用图像偏移修正方法修正曝光头之间的图像偏移的图像形成装置。
背景技术
多年来，作为图像记录装置的一方实例，提出了各种利用数字·微反射镜·器件(DMD)等空间光调制的元件(SLM)，用依照图像数据所调制的光束进行图像曝光的曝光装置(例如，Larry J.Hornbeck，Digital LightProcessing and MEMS：reflecting the digital display needs of the networkedsociety，THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICALENGINEERING，Proceedings of SPIE Volume：2783，8/1996，P.2-13和W.E.Nelson and Robit L Bnuva，Digital micromirror device imaging barfor hard copy，THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICALENGINEERING，Proceeding of SPIE Volume：2413，4/1995，P.58-65)。这种DMD，例如，通过在SRAM的各个存储单元上设置多个微小的微反射镜构成，以储畜在各存储单元中的电荷产生的静电力，改变微反射镜的反射面角度。实际进行描绘时，在将图像数据写入各SRAM中的状态下，重调各个微反射镜，形成所定的角度，将光的反射方向作为此要求的方向。
作为曝光装置的一方应用领域，例如，制造液晶显示器等。
作为制造屏用的曝光装置，有：以扩展曝光范围为目的，将具备DMD的曝光头，沿着与输送基板等感光材料方向成交叉方向，排列多个曝光头的多头曝光装置。
多头曝光装置中，可将各个头之间的相对位置，以高精度调整到在实用上连接点无问题的程度。
然而，近年来，随着基板的集成度增高，进而要求更高的分辨率，所以与各曝光头相对应的图像相对位置，其偏移必须减小到允许值。
进而曝光头存在的问题是，由于从光源到成像面，使用了许多光学部件和机械部件，各个部件随着温度变化而发生热膨胀和热收缩，同时，因长时间使用，随时间变化的累积，上述图像的各个图像头，在连接点部分产生的偏移或重叠会达到不容忽视的程度，并导致图像质量的降低。
在和上述多头曝光装置同样目的使用的多光束曝光装置中，提出了利用Position-Sensing Device(PSD)或4分割检测等位置检测元件，检测各光束的位置，修正由各光束形成的图像间产生偏移的方法(例如，特开平10-31170号公报)。
然而，在多头曝光装置中，由于曝光头的间距远远小于相邻光束的间距，所以上述方法很难适用于多头曝光装置。
发明内容
本发明就是为解决上述问题而完成的，其目的是对上述多头曝光装置等的图像形成装置，提供一种由各曝光头的曝光光束位置，可以特定与上述曝光光束相对应的像素位置的像素位置特定方法，并能使各曝光头连接点部分的图像偏移或重叠极小的图像偏移修正方法，以及图像形成装置。
本发明的第1个方面是提供一种像素位置的特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点的像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
在上述曝光光束位置的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动的光束位置检测机构，同时，
将第1曝光头连接点附近的第1连接像素打开，在上述光束位置检测机构具备的受光面上，检测XY坐标中的第1曝光光束位置，
将第2曝光头连接点附近的第2连接像素打开，同时，沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测上述受光面上XY坐标中的第2曝光光束位置，
由上述光束位置检测机构在Y轴方向上的移动量，第1曝光头和上述第2曝光头在上述受光面上的曝光光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置，以特定连接像素的位置。
上述光束检测机构的受光面中的X轴和Y轴，分别相对于基准面的X轴和Y轴平行。
因为从上述曝光头照射的曝光光束相互平行，相对上述基准面垂直，所以上述曝光头中，在上述第1曝光光束的位置检测步骤和上述第2曝光光束位置的检测步骤中，检测出的曝光光束位置，分别相当于第1连接像素和上述第2连接像素地位置。
这样，在上述像素位置的特定方法中，在检测第1曝光光束位置的步骤中，检测出第1曝光头的曝光光束，在检测第2曝光光束位置的步骤中，沿着Y轴方向移动上述光束检测机构，检测出第2曝光头的曝光光束。
因此，上述第1曝光光束位置检测步骤中和第2曝光光束位置检测步骤中的曝光光束在X轴方向上的位置之差，相当于第1连接像素和上述第2连接像素在X轴方向上的相对位置之差。
同样，第1连接像素和上述第2连接像素在Y轴方向上的相对位置之差，是检测上述第1曝光光束位置的步骤中和检测第2曝光光束位置的步骤中的曝光光束在Y轴方向上的位置之差与检测第2曝光光束位置步骤中上述光束检测机构的移动量之和。
因此，只要测定第1曝光头和上述第2曝光头的曝光光束照射位置，就可以特定上述第1连接像素和上述第2连接像素的相对位置之差。
在此，对于修正上述第1曝光头和上述第2曝光头之间的偏移或重叠，只要充分判断上述第1连接像素和上述第2连接像素的相对位置之差就可以。
因此，通过第1方面的像素位置特定方法，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素的相对位置之差，根据特定的相对位置之差，就可修正输入给第1曝光头和上述第2曝光头的图像数据，即使是第1曝光头和上述第2曝光头从初始位置就产生偏移的情况下，也可以防止上述偏移引起曝光头连接点部分的图像产生偏移的重叠。
本发明的第2个方面是提供一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素而形成的同时，相对于扫描方向倾斜配置的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点的像素位置，其特征在于，
在上述曝光光束位置的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，能够在基准面上移动的光束位置检测机构，同时，
依次打开位于上述第1曝光头连接点附近的像素，沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，将在基准面上能够移动的光束位置检测机构的受光面上的XY坐标中，将与射入最接近X＝0的位置中的曝光光束相对应的像素，特定为第1连接像素，
将上述特定为第1连接像素的第1连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，并检测上述第1曝光头的曝光光束照射在上述受光面上的XY坐标的原点时，作为上述光束位置检测机构在基准面上的位置的第1光束位置，
依次打开位于上述第2曝光头连接点附近的像素，在上述光束位置检测机构受光面上的XY坐标中，将相对于射入最接近X＝0的位置中的曝光光束相对应的像素，特定为第2连接像素，
将上述特定为第2连接像素的第2连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测出上述第2曝光头的曝光光束照射在上述受光面上XY坐标的原点时，作为上述光束位置检测机构在基准面上的位置的第2光束位置，
根据上述第1光束位置和上述第2光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置。
根据第2方面的像素位置特定方法，在上述第1光束位置检测步骤中，检测出第1光束位置后，在Y轴方向上移动上述光束位置检测机构，再检测第2光束位置。因此，第1光束位置和第2光束位置处于相同的X坐标上。因此，第1光束位置和第2光束位置是分别与第1连接像素和上述第2连接像素相对应的曝光光束照射位置。因此，被特定的第1连接像素和上述第2连接像素也处于相同的X坐标上。这样，如前所述，上述第1连接像素和上述第2连接像素，都存在于第1曝光头和上述第2曝光头的连接点部分内。因此，通过将要特定的第1连接像素和上述第2连接像素连接图像，沿着X轴方向可形成无间断点的图像。而且，根据第1光束位置和第2光束位置之间的距离，即，第1连接像素和上述第2连接像素在Y轴方向上的距离和曝光头的扫描方向，通过调节各曝光头之间的曝光定位时，可沿着Y轴方向形成无偏移和无重叠的图像。
本发明的第3个方面是提供一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，以形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，特定上述曝光头的连接点处的像素位置，其特征在于，
在上述曝光光束的测定中，使用沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向和相对于Y轴方向正交的X轴方向，并在基准面上能够移动的光束位置检测机构，同时，
将第1曝光头的连接点附近的第1连接像素打开，沿着X轴和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测曝光光束照射到上述光束位置检测机构受光面中的原点(x＝0，y＝0)时，作为上述光束位置检测机构在上述基准面上的位置的第1光束位置(X1，Y1)，
打开在第2曝光头连接点附近的第2连接像素，沿着X轴和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，检测曝光光束照射在上述光束位置检测机构受光面中的原点时，作为上述光束位置检测机构在上述基准面上的位置的第2光束位置(X2，Y2)，
根据上述第1光束位置和第2光束位置，特定上述第1连接像素和上述第2连接像素在上述基准面上的位置。
由曝光头照射的曝光光束相互平行，对上述基准面呈垂直，所以上述第1光束位置和第2光束位置，分别位于上述第1连接像素和上述第2连接像素的基准面上。
上述像素位置的特定方法中，对于第1连接像素和上述第2连接像素的检测，使用了可沿着X轴和Y轴方向移动的光束位置检测机构。这样，当来自第1连接像素的曝光光束照射到上述光束位置检测机构的原点，将上述光束位置检测机构的XY坐标上的位置作为第1光束位置，来自第2连接像素的曝光光束照射到上述光束位置检测机构的原点时，将上述光束位置检测机构的XY坐标上的位置作为第2光束位置。
光束位置检测机构，因为可以特定的曝光光束位置范围不是很宽，所以使用小型的检测元件。
光束位置检测机构可以是2维PSD、4分割光检测器、2维CCD、和2维CMOS中的任何一种。
2维PSD、4分割光检测器、2维CCD、和2维CMOS，都可以通过曝光头以2维特定如打开、关闭的像素的那样的点光位置，因此，在光束位置检测机构中，以2维特定第1和第2连接像素的位置时，用单一的元件即可完成。
另外，也可以是根据上述第3方面中所述的像素位置特定方法，其特征在于，上述曝光头，根据输入的图像数据，由调制光源光的空间调制元件，选择性地对多个像素进行打开/关闭。
在根据输入的图像数据，由调制光源光的空间调制元件，选择性地将多个像素形成打开/关闭形态的曝光头中，因为能以高精度特定连接像素的位置，所以不管是什么原因，使曝光头偏离了最初位置的情况下，也可以防止曝光头之间产生偏移或重叠。
另外，本发明是一种图像偏移的修正方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，以形成图像的图像形成装置中，对各曝光头之间的图像偏移或重叠进行修正，其特征在于，
通过第一方面所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和上述第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的位置，
根据上述特定了像素位置的第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，以使上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
在上述图像偏移的修正方法中，在特定像素位置的步骤中，只测定第1曝光头和上述第2曝光头的曝光光束照射位置，就能特定第1连接像素和上述第2连接像素的相对位置之差。
这样，在修正图像数据的步骤中，根据上述像素位置特定步骤中特定的第1连接像素和第2连接像素的相对位置之差，修正向第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，以使上述第1连接像素和第2连接像素连接图像。
因此，不管什么原因引起第1曝光头和上述第2曝光头从初始位置发生偏移时，都能防止上述偏移引起曝光头连接点部分中产生图像偏移或重叠。
另外，本发明是一种图像偏移修正方法，其特征在于，通过上述第一方面所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的像素位置，
根据上述特定了像素位置的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素而连接图像，
在上述图像数据的修正中，
对于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的偏移，根据上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的距离和上述曝光头的扫描速度，通过设定上述第1曝光头和上述第2曝光头的曝光定时而进行去除，同时，
对于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在X轴方向上的偏移，通过向第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中形成重合，加以去除。
将检测出第1连接像素的光束检测机构沿Y轴方向移动，检测出第2像素后，上述第1连接像素和上述第2连接像素，在Y坐标上的位置不同，但在X坐标上的位置大致相等。
因此，向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，以使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中形成重合。同时，根据设定第1曝光头和上述第2曝光头的曝光定时，以使在Y轴方向上不产生偏移，可以使上述第1连接像素和上述第2像素形成无偏移或无重叠的图像。
另外，本发明的图像偏移修正方法，对于3个以上的曝光头，也是通过上述像素位置特定方法，特定各个曝光头中的连接像素在上述基准面上的位置，
根据由上述像素位置特定方法特定的连接像素位置，修正向上述各曝光头中输入的图像数据，以使上述连接像素连接图像。
在具备多个曝光头的图像形成装置中，通过在一方曝光头和与上述一方曝光头连接图像的其他曝光头之间，修正图像的偏移或重叠，可在曝光头之间形成无偏移和无重叠，质量优良的图像。
本发明的第4个方面是提供一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具备能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，由上述曝光头按一定方向扫描图像形成面进行曝光，以形成图像的曝光机构，
在上述曝光光束位置的测定中，通过能够沿着与扫描方向平行的Y轴方向在基准面上移动的光束位置检测机构，测定具备曝光机构的各个曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构，和
根据上述光束位置检测机构中的像素位置的检测结果，控制上述曝光头的曝光控制机构，
其中，上述光束位置检测机构，是通过本发明第一方面所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头连接点附近的第1连接像素和第2曝光头连接点附近的第2连接像素在上述基准面上的位置，
上述曝光控制机构，是根据由上述像素位置特定机构特定的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
在上述图像形成装置中，通过本发明的像素位置特定方法，以特定第1连接像素和第2连接像素的相对位置关系，根据上述相对的位置关系，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，由第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
因此，不管什么理由引起的曝光头位置发生偏移，都能自动地修正曝光头之间的图像偏移或重叠。为此，不会产生图像偏移或重叠。
本发明的第4个方面中所述的图像形成装置，其中，上述像素位置特定机构，作为上述光束位置检测机构，具备选自2维PSD、4分割光探测器、2维CCD、和2维CMOS中的像素位置检测元件。
2维PSD、4分割光检测器、2维CCD、和2维CMOS，都可以以2维，由上述曝光头特定如打开、关闭像素的点光的位置。因此，在光束位置检测机构中，由于以2维特定第1和第2连接像素的位置，所以用单一的元件即可完成。
另外，这些像素位置检测元件，任何一方感度都高。为此，特定第1连接像素和第2连接像素的相对位置关系，修正曝光头之间的图像偏移或重叠时，减小上述曝光头的光量，形成图像时，能够增大上述曝光头的光量，等操作。
另外，本发明的第四方面所述的图像形成装置，其中，上述曝光头具备根据输入的图像数据，调制来自光源光的空间光调制元件，通过上述空间调制元件选择性地对多个像素进行打开/关闭。
进而，本发明的第四方面所述的图像形成装置，其中，上述空间调制元件具有相对于上述扫描方向呈倾斜配置的多个像素。
根据上述图像形成装置，在曝光头之间不产生间隙地容易形成图像。而且，可以很好地适用本发明的像素位置特定方法。
进而，本发明的第四方面所述的图像形成装置，其中，上述空间调制元件的像素是以2维配置而成的。
使用多个设置了以2维配置像素的空间调制元件的曝光头，进行曝光的图像形成装置，虽然广泛用于液晶显示器等的制造中，但，上述图像形成装置中，仍需通过本发明的图像偏移修正方法，修正曝光头之间的图像偏移。因此，即使使用多个曝光头形成大面积图像时，曝光头之间也不会产生偏移或重叠。
本发明的第5个方面是提供一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点处像素位置，其特征在于，
使用具有沿着相对于上述曝光装置扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动形成的，相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，彼此交叉配置的至少1对狭缝部和测量透过上述狭缝部的曝光光量的光量测定机构的光束位置检测机构，测定上述曝光光束的位置，同时，
将在第1曝光头中的图像连接点附近的第1连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据上述狭缝部的一方和另一方，使透过的曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和上述狭缝部的位置，和上述狭缝部相互形成的角度，以特定上述第1连接像素的位置，
将在第2曝光头中的图像连接点附近的第2连接像素打开，沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据上述狭缝部的一方和另一方，使透过的曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和上述狭缝部形成的角度，以特定第2连接像素的位置。
在上述像素位置特定方法中，相对于上述曝光头的像素排列，以相对倾斜而相互交叉配置的狭缝部，至少形成1对的光束位置检测机构，使其在Y轴方向上移动，检测出第1连接像素和第2连接像素。
例如，上述光束位置检测机构通过第1连接像素的下方时，透过上述1对狭缝部的一方时，曝光光束的光量达到峰值后，透过上述1对狭缝部的另一方时，曝光光束的光量也会达到峰值。
因此，根据上述一方狭缝部中曝光光束的透过光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，和上述另一方狭缝部中曝光光束的透过光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，与上述一方和另一方狭缝部形成的角度，可以特定上述第1连接像素的位置。这对于第2连接像素也是同样。因此，作为上述光束位置检测机构的位置，虽然可以采用上述光束位置检测机构上的某个特定点的位置，但通常将上述狭缝部的交点位置作为基准。
进而，通常以与基准面成直角的方向由曝光头照射曝光光束，点亮曝光头的某个像素时，上述基准面上的曝光光束照射位置等于上述像素的位置。因此，在特定上述第1像素位置的步骤和特定第2像素位置的步骤中，可以将以上述光束位置检测机构检测出的曝光光束位置作为第1或第2连接像素的位置。
这样，可以高精度特定第1连接像素和第2连接像素的实际位置。因此，在不管什么理由引起第1曝光头和第2曝光头之间产生位置偏移的情况下，通过对特定的第1连接像素和第2连接像素的位置，控制曝光头的曝光定时，可以除去曝光头之间的图像偏移或重叠。
另外，上述光量测定机构，因为很容易测定透过上述狭缝部的曝光光束量，所以用普通的受光元件就足够。因此，没有必要使用2维PSD或4分割检测器等昂贵的位置检测元件，检测上述曝光光束的位置。由此，可以廉价构成光束位置检测机构。
另外，在以往的技术栏中讲述的多头曝光装置，通常具有载置想要曝光的基板并按一定方向移送的曝光台架，上述曝光台架依靠线性编码器等，可以高精度检测出移送方向，即Y轴方向上的位置。
因此，将上述光束位置检测机构固定在上述曝光台架的非曝光面上，一边使上述曝光台架沿移送方向输送，一边由上述线性编码器进行位置检测，也可以高精度检测上述光束位置检测机构的位置。由此，也能以高精度特定上述第1连接像素和第2连接像素的实际装置。
大体上直接使用以往的多头曝光装置，就能以高精度进行特定上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置。
进而，沿Y轴方向即扫描方向，移动光束位置检测机构，选择第1连接像素和上述第2连接像素，特定位置。据此，作为第2连接像素，可以选择与第1连接像素在X坐标上差异小的像素。
因此，只控制上述第1连接像素和第2连接像素的曝光定时，去除Y轴方向的偏移，就能消除第1曝光头和上述第2曝光头之间的图像偏移。
另外，作为上述狭缝部，除狭缝部外还可使用衍射光栅。
对于上述光束位置检测机构，使上述狭缝部向着X轴方向敞开，以V字型、X字型、或T字型配置。
本发明的第6个方面是提供一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点处像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
使用具备相对于上述曝光头的像素排列呈相对倾斜，使一方沿着与曝光装置扫描方向平行的Y轴配置，另一方沿着相对于Y轴方向正交的X轴方向配置的至少1对狭缝部，和测量透过上述狭缝部曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构，以测定上述曝光光束的位置，
同时，依次打开在上述第1曝光头的图像连接点附近的像素，根据上述光束位置检测机构中，透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，上述光束位置检测机构中透过另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，和上述2个像素在Y坐标之差，特定第1连接像素的位置，
依次打开在上述第2曝光头的图像连接点附近的像素，根据上述光束位置检测机构中，透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，上述光束位置检测机构中透过另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置，和上述2个像素在Y坐标之差，特定第2连接像素的位置。
上述像素位置的特定方法中，光束位置检测机构的狭缝部，一方沿Y轴方向配置，另一方沿X轴方向配置，同时，相对于曝光头的像素排列形成为倾斜。
按行方向依次点亮第1曝光头连接点附近的像素，检测透过沿Y轴方向的狭缝部的曝光光束的量，当上述光量达到峰值时点亮像素，选定为第1连接像素。同样，按列方向依次点亮上述第1连接像素附近的像素，测定沿X轴方向的透过狭缝部的曝光光量，当上述光量达到峰值时点亮的像素，选定为第1连接像素在Y轴方向上的位置辅助像素。
选定第1连接像素和辅助像素后，由辅助像素的Y坐标、和上述辅助像素与第1连接像素的Y坐标之差，特定第1连接像素的Y坐标。
根据需要，沿Y轴方向移动上述光束检测机构，按行方向依次点亮第2曝光头连接点附近的像素，根据和第1连接像素的情况同样的顺序，选定为特定第2连接像素和第1连接像素在Y轴方向上的位置的辅助像素，由上述辅助像素的Y坐标，和上述辅助像素与第2连接像素的Y坐标之差，特定第2连接像素的Y坐标。
本像素位置特定方法，在特定第1像素位置的步骤中和特定第2像素位置的步骤中，不移动上述光束位置检测机构，就可以特定曝光光束的位置。
另外，上述光束位置检测机构只沿Y轴方向移动。因此，第1连接像素和上述第2连接像素的X坐标是同一坐标。因此，根据第1连接像素和第2连接像素沿Y轴方向的距离和扫描速度，只控制第1和第2曝光头的曝光定时，就可以消除第1曝光头和第2曝光头之间的图像偏移或重叠。
本发明的第7个方面是提供一种像素位置特定方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，测定各曝光头的曝光光束位置，以特定上述曝光头连接点处像素位置的像素位置特定方法，其特征在于，
使用具有在基准面上沿着Y轴方向和X轴方向能够移动地形成的，Y轴方向上为长的第1狭缝部和X轴方向上为长的第2狭缝部，和测量透过上述第1和第2狭缝部曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构，以测定上述曝光光束的位置，同时，
打开在第1曝光头的图像连接点附近的第1特定像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，特定上述第1连接像素的位置，
打开在第2曝光头的图像连接点附近的第2特定像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时上述光束位置检测机构的位置，特定第2连接像素的位置。
在上述像素位置特定方法中，在特定上述第1和第2像素位置的步骤中，沿X轴方向移动上述光束位置检测机构，探测上述第1狭缝部中的曝光光束。由此，求出上述第1连接像素和上述第2连接像素在X轴方向上的位置，沿Y轴方向移动光束位置检测机构，探测第2狭缝部中的曝光光束，求出上述第1连接像素和上述第2连接像素在Y轴方向上的位置。
另外，上述第1连接像素和上述第2连接像素在X轴方向，或在Y轴方向上，即使分离的情况下，也可以准确特定两者的实际位置。由此，通过控制第1和第2曝光头，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像，并能去除图像的偏移。
作为光束位置检测机构，可以举出，在多曝光头的曝光台架上的非曝光面上，具备可以高精度沿X轴方向移动的台座，可由线性编码器探头检测出台座的位置，同时在上述台座上设有上述第1狭缝部和第2狭缝部的光束检测装置等。
另外，本发明是一种图像偏移的修正方法，其在将能够选择性地打开/关闭多个像素的多个曝光头，按一定方向进行扫描，形成图像的图像形成装置中，修正各曝光头之间图像偏移或重叠的图像偏移修正方法，其特征在于，
通过本发明的第一方面所述的像素位置特定方法，特定第1曝光头的图像连接点附近的第1连接像素，和特定第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素的位置，
根据上述特定了的像素位置的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
在上述图像偏移的修正方法中，在特定像素位置的步骤中，特定第1连接像素和第2连接像素的实际位置。
同样，在修正图像数据的步骤中，根据特定的第1连接像素和第2连接像素的位置之差，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
因此，不管什么原因引起第1曝光头和上述第2曝光头从该处的位置偏移了的情况下，也都能有效地去除上述偏移引起曝光头连接点的图像偏移或重叠。
另外，根据所述的图像偏移修正方法，在上述图像数据修正步骤中，
关于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的图像偏移，是通过根据上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在Y轴方向上的距离和上述曝光头的扫描速度，设定上述第1曝光头和上述第2曝光头的曝光定时而进行去除，
关于上述第1连接像素和上述第2连接像素之间在X轴方向上的图像偏移，是通过向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中重合而进行去除。
向Y轴方向移动已检测第1连接像素的光束位置检测机构，检测出第2像素。由此，上述第1连接像素和上述第2连接像素在Y坐标上的位置不同，但在X坐标上的位置大致相同。
因此，向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入图像数据，使图像数据在上述第1连接像素和上述第2连接像素中重合，同时，设定第1曝光头和第2曝光头的曝光定时，以不产生Y轴方向偏移，从而可以使上述第1连接像素和上述第2连接像素不产生图像偏移或重叠。
另外，根据所述的图像偏移修正方法，即使对于3个以上的曝光头，也是
通过上述像素位置的特定方法，特定各个曝光头的连接像素在上述基准面上的位置，
根据由上述像素位置的特定方法特定的连接像素位置，修正向各个曝光头中输入的图像数据，使以上述连接像素连接图像。
即使是具备多个曝光头的图像形成装置中，通过在一方曝光头，和与前一方曝光头连接图像的另一方曝光头之间，通过上述图像偏移修正方法修正图像的偏移或重叠。可以形成曝光头之间无偏移或重叠的优质图像。
本发明的第8个方面是提供一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具备选择性地打开/关闭多个像素的机构，同时，具备按一定方向扫描图像形成面进行曝光而形成图像的多个曝光头的曝光机构；
作为检测各曝光头的曝光光束的位置的光束位置检测机构，具有沿着相对于上述扫描方向平行的Y轴方向，在基准面上能够移动地形成，并相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，彼此交叉地配置的至少1对狭缝部，和测定透过上述狭缝部的上述曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据由上述光束位置检测机构检测的曝光光束位置，特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，是在上述曝光机构中，打开在第1曝光头中图像连接点附近的第1连接像素，同时，沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述光束位置检测机构所具备的上述狭缝部的一方和另一方曝光光束光量达到峰值时的光束位置检测机构的位置和上述狭缝部形成的角度，特定上述第1连接像素的位置，
在上述曝光机构中，打开在第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素，同时沿着Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述狭缝部的一方和另一方曝光光束光量达到峰值时，上述光束位置检测机构的位置和狭缝部形成的角度，特定上述第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述光束位置检测机构所特定的第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
上述图像形成装置中，通过本发明的像素位置特定方法，特定第1连接像素和第2连接像素的实际位置，根据上述位置，修正向上述第1曝光光头和第2曝光光头中输入的图像数据，以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
因此，不管什么原因导致曝光头的位置发生偏移时，也都能自动修正曝光头之间产生的图像偏移或重叠。由此，不会产生上述的图像偏移或重叠。
本发明的第9个方面是一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具选择性地打开/关闭多个像素的机构，具备按一定方向对图像形成面进行扫描曝光而形成图像的多个曝光头，同时，上述曝光头的像素相对于上述扫描方向呈倾斜排列的曝光机构；
作为检测各个曝光头的曝光光束位置的光束位置检测机构，具有相对于上述曝光头的像素排列相对倾斜，使一方沿着相对于上述曝光装置的扫描方向平行的Y轴配置，而另一方沿着相对于Y轴方向正交的X轴方向配置的至少1对狭缝部和测定透过上述狭缝部的上述曝光光束光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据上述由光束位置检测机构检测出的曝光光束位置，特定上述曝光头的像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述由像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，依次打开在上述第1曝光头图像连接点附近的像素，由在上述光束位置检测机构中，使透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、上述光束位置检测机构中，使透过上述另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、和上述2个像素的Y坐标之差，以特定第1连接像素的位置，
依次打开在第2曝光头的像素，由在上述光束位置检测机构中，使透过上述一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、上述光束位置检测机构中，使透过上述另一方狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的像素位置、和上述2个像素的Y坐标之差，以特定第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述由像素位置特定机构特定的上述第1连接像素和上述第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和上述第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
在上述图像形成装置中，通过本发明的图像位置特定方法，特定第1连接像素和第2连接像素的实际位置。
因此，特定第1连接像素和上述第2连接像素的位置期间，不需要移动光束位置检测机构，由此可以更简化像素位置的特定操作。
本发明的第10个方面是一种图像形成装置，其特征在于，具备：
具有选择性地打开/关闭多个像素机构，同时具备按一定方向对图像形成面进行扫描曝光而形成图像的多个曝光头的曝光机构；
具有在基准面上沿Y轴方向和X轴方向能够移动地形成的，Y轴方向上为长的第1狭缝部和X轴方向上为长的第2狭缝部，和测定透过上述第1和第2狭缝部的曝光光束的光量的光量测定机构的光束位置检测机构；
根据上述由光束位置检测机构检测出的曝光光束位置，特定上述曝光头像素位置的像素位置特定机构；和
根据上述由像素位置特定机构特定的像素位置，控制上述曝光头的曝光控制机构，其中，
上述像素位置特定机构，打开上述曝光机构中第1曝光头的图像连接点附近的第1连接像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的上述光束位置检测机构的位置，特定上述第1连接像素的位置，
打开上述曝光机构中第2曝光头的图像连接点附近的第2连接像素，沿着X轴方向和Y轴方向移动上述光束位置检测机构，根据透过上述第1狭缝部和第2狭缝部的曝光光束光量达到峰值时的上述光束位置检测机构的位置，特定上述第2连接像素的位置，
上述曝光控制机构，根据上述由光束位置检测机构特定的上述第1连接像素和第2连接像素的位置，修正向上述第1曝光头和第2曝光头中输入的图像数据，使以上述第1连接像素和上述第2连接像素连接图像。
上述的图像形成装置中，通过本发明的像素位置特定方法，特定第1连接像素和上述第2连接像素的实际位置。
因此，第1连接像素和第2连接像素，不仅是在Y轴方向上，即使在X轴方向上产生分离时，通过特定第1连接像素和第2连接像素的实际位置，根据该位置，控制第1曝光头和第2曝光头的曝光，仍可去除图像的偏移或重叠。
另外，根据本发明的第八方面所述的图像形成装置，其特征在于，上述曝光头中，选择性地打开/关闭多个像素的机构，是根据输入的图像数据，调制光源的光，以形成图像的空间光调光调制元件。
进而，根据上述图像形成装置，其特征在于，上述空间光调制元件，是具备多个反射来自光源的光，同时可以采用2个位置中的任何一方的微小反射镜，通过根据图像数据，将上述反射镜的位置切换到上述2个位置中的任何一方，并切换上述来自光源光的反射路径，以形成像素的DMD。
附图说明
图1是表示本发明实施方式的曝光装置立体图。
图2是表示具备本发明实施方式的曝光装置的扫描器构成立体图。
图3是表示在感光材料上形成曝光完毕的区域平面图和由各曝光头形成曝光区排列的示意图。
图4是表示具备本发明实施方式曝光装置的曝光头简要构成立体图。
图5是沿图4所示曝光头构成的光轴的扫描方向的剖面图。
图6是表示具备图4所示曝光头的DMD构成的局部放大图。
图7是图6所示DMD工作原理的说明图。
图8是表示由具备本发明实施方式曝光装置的曝光头中的像素选择连接像素，连接图像的顺序的平面图。
图9是表示一例按图8所示顺序连接图像的平面图。
图10是表示本发明另一实施方式的曝光装置的构成的立体图。
图11是表示由具备图10所示曝光装置的曝光头中的像素选择连接像素，连接图像的顺序的平面图。
图12是表示本发明又一实施方式的曝光装置构成的立体图。
图13是表示具备图12所示曝光装置的面探测器及其周边的详细构成的放大平面图。
图14是表示用图13的面探测器特定连接像素P1和P2位置的顺序的简要平面图。
图15是表示本发明又一实施方式曝光装置的构成的立体图。
图16是表示图15的曝光装置中，通过一个曝光头照射的一个图像区域，和通过另一曝光头照射，同时与前一图像区域连接的图像区域之间位置关系的平面图。
图17是表示前一图像区域和另一图像区域与设在曝光台架上曝光装置的狭缝部之间位置关系的平面图。
图18是表示通过上述狭缝部特定的一个曝光头的连接像素与一个连接像素位置的顺序的说明图。
图19是表示通过狭缝部特定上述另一曝光头的像素中，与前一个图像区域连接的像素位置的顺序的说明图。
图20是表示从上述另一曝光头的像素中，由图19中顺序特定了位置的像素中，选择另一连接像素的顺序的说明图。
图21是表示由上述一个连接像素和另一连接像素连接成一个图像区域和另一图像区域的状态的平面图。
图22是本发明又一实施方式曝光装置的构成的立体图。
图23是表示通过图22的曝光装置中，设在曝光台架上的狭缝部，特定一个曝光头中一连接像素位置的顺序的说明图。
图24是表示连接像素P1和辅助像素P’1沿Y轴方向的位置之差的说明图。
图25是表示利用图22的曝光装置中相互平行的多个狭缝部，特定连接像素位置顺序的说明图。
图26是表示本发明又一实施方式曝光装置的构成立体图。
图27是表示具备图26所示曝光装置的光束检测装置构成的放大图。
图28是表示通过图26所示曝光装置中的光束位置检测装置，特定连接像素的XY坐标的顺序的说明图。
具体实施方式
实施方式1
对于包含在本发明的图像形成装置中的一例曝光装置，其整体构成示于图1。
实施方式1的曝光装置，是所谓平板型的，如图1所示，具备表面上吸附片状感光材料150而保持平板状的台架152。台架152的吸附保持感光材料150的侧面，和感光材料150的曝光面，相当于本发明的图像形成装置中的图像形成面。
上述曝光装置备有由4个支座154支撑的厚板状设置台156，和设置台156上面的2条导轨158。导轨158被设置在沿图1中箭头所示的台架移动方向。台架152的配置是其纵向向着台架的移动方向。台架152由导轨158能够往复移动地支撑，由驱动装置(未图示)沿导轨158进行移动。
在设置台156的中央部分，设有跨越台架152的移动路径，呈コ字状的门架160。コ字状的门架160的各端部固定在设置台156的两个侧面上。在门架160的一方侧面上设有扫描器162。而在另一侧面上设有检测感光材料150前端和后端的多个检测传感器164(例如，本实施方式中2个)。扫描器162和检测传感器164分别安装在门架160上，并固定设置在台架152的移动路径上方。扫描器162和检测传感器164与控制它们的控制器100连接，如下述，利用曝光头166曝光时，按规定的定时控制曝光。
在台架152中的台架移动方向的下流侧的端部上，设有由输送装置182，沿相对于台架移动方向或直角方向，即下述的X轴方向，移动的面探测器180。面探测器180是可以以2维特定曝光光束照射位置的探测器，相当于本发明像素位置特定方法、图像偏移修正方法、和图像形成装置中的光束位置检测机构。另外，台架152的表面，相当于上述像素位置特定方法和图像偏移修正方法中的基准面。作为面探测器180，具体可以使用PSD或四分割光检测器等。而且，作为输送装置182也可以使用使用了圆头螺栓或线状导轨的带状驱动机构等，只要是线状输送装置都可以使用。
扫描器162相当于本发明的图像形成装置中的曝光机构，如图2和图3B所示，备有以m行n列(例如本实施方式中2行5列)的大致呈矩阵状排列的多个曝光头166。
如图2所示，由曝光头166被曝光的曝光区域168，是短边沿扫描方向的矩形状，相对于扫描方向，以所定的倾斜角θ倾斜。这样，伴随着台架152的移动，每个曝光头166在感光材料150上形成曝光完毕的带状区域170。如图1和图2所示，扫描方向与台架移动方向相反。
如图3A和3B所示，曝光头166，就以线状排列而言，是在排列方向上，以所定间距(曝光区长边的数倍，本实施方式中为1倍)错开配置，使曝光完毕带状区域170，分别与邻接的曝光完毕的区域170形成部分重叠。曝光头166相当于本发明的图像形成装置中的SLM曝光头。
如图1所示，实施方式1的曝光装置，还与控制台架152移送和各曝光头166中曝光等的控制器100相连接。控制器100相当于本发明的图像形成装置具备的曝光控制机构。
如图5A和图5B所示，各个曝光头166A-166J，备有DMD 50，以作为依照图像数据，按各像素每一个调制入射光束的SLM。该DMD 50与具备数据处理部和镜驱动控制部的控制器(未图示)相连接。由上述控制器的数据处理部，根据输入的图像数据，对各曝光头166每一个，生成驱动控制DMD50的应控制的区域内的各微反射镜的控制信号。
另外，在反射镜驱动控制部，根据图像数据处理部生成的控制信号，控制按各曝光头166每一个中DMD 50的各微反射镜的反射面角度。而且，对反射面角度的控制如下述。
在DMD 50的光入射侧，按以下顺序配置有：具备光纤射出端部(发光点)，沿着与曝光区域168的纵向相对应方向排列成一列的激光射出部的纤维阵列光源66；修正从纤维阵列光源66射出的激光，向DMD上进行聚光的透镜系列67；使透过透镜系列67的激光向DMD 50进行反射的反射镜69。
透镜系列67由以下透镜构成，即，将由纤维阵列光源66射出的激光形成平行光的1对组合透镜71，使平行化的激光光量分布形成均匀的，进行修正的1对组合透镜73，和使修正光量分布的激光光向DMD进行聚光的聚光透镜75。组合透镜73备有相对于激光射出端的排列方向，接近透镜光轴的部分，使光束扩展，而离开光轴的部分，使光束收缩，而且，相对于与该排列方向成正交的方向，使光源直接通过的功能，并对激光进行修正，形成均匀的光量分布。
在DMD 50的光反射侧，配置有使DMD 50反射的激光在感光材料150的扫描面(被曝光面)56上成像的透镜系列54、58。配置透镜系列54和58，可使DMD 50与被曝光面56形成共轭关系。
本实施方式中，由纤维阵列光源66射出的激光，成形为均匀地照射DMD 50上的像素后，各个像素被设定为使由这些透镜系列54、58放大约5倍。
如图6所示，DMD 50是在SRAM单元(存储单元)60上，由支柱支撑而配置微小反射镜(微反射镜)62的部件，将构成像素(图像单元)的多个(例如，间距13.68μm，1024个×768个)微小反射镜，以格子状排列构成的反射镜装置。各个图像单元中，设有最上部由支柱支撑的微反射镜62，在微反射镜62的表面上，蒸镀有铝等反射率高的材料。而且，微反射镜62的反射率在90％以上。在微反射镜62的正下面，通过含有铰链和支架的支柱，配置着通常由半导体存储器制造线制造的硅栅CMOS的SRAM单元60，全体构成为单块集成体(一体型)。
向DMD 50的SRAM单元60中，写入显示微反射镜62呈倾斜状态(调制状态)的数字信号。进而，由SRAM单元60向微反射镜62输出数字信号时，由支柱支撑的微反射镜62，将对角线作为中心，相对于配置DMD 50的基板侧，以±α度(例如±10度)的范围形成倾斜。在图7A中，示出了作为打开状态的微反射镜62以±α度倾斜状态。而图7B中，示出了作为关闭状态的微反射镜62以-α度倾斜状态。因此，如图6、图7A和7B所示，通过根据图像信号，控制DMD 50的各图像单元中的微反射镜62倾斜度，射入DMD 50的光，向各个微反射镜62倾斜的方向反射。
另外，各个微反射镜62的打开/关闭控制，由与DMD 50连接的未图示控制器进行。在由关闭态的微反射镜62反射光束的方向上，配置有光吸收体(未图示)。
如上述，在扫描器162中，如图3A和3B所示，曝光头166A-166J，第1行和第2行，在列方向上以所定间隔向右方向错开配置。
因此，例如，位于最左侧第1行的曝光区域168A，和位于曝光区域168A右侧的曝光区域168C之间未曝光部分，由位于曝光区域168A右下方的曝光区域168B进行曝光。同样，曝光区域168B，和与曝光区域168B邻接的曝光区域168D之间未曝光的部分，由位于曝光区域168B右上方的曝光区域168C进行曝光。以下相同。这样，在由曝光头166A～166J在感光材料150的表面上形成一个连续的图像时，有必要在与位于各个曝光区域右侧的曝光区域之间连接图像。以下将在曝光区域168A和曝光区域168B之间连接图像的情况作为实例，利用图8进行说明。以下将感光材料150的输送方向作为Y轴方向，将与上述输送方向成正交方向作为X轴方向。
首先，移动台架152，使探测器180位于曝光区域168A，通过输送装置82移动探测器180。
接着，选择作为通过由曝光头166A的曝光光束在曝光区域168A形成的像素而在曝光区域168B形成的图像连接的连接像素P1，并点亮。连接像素P1的个数，可以只一个，也可以2个以上。连接像素P1相当于本发明中的第1连接像素。
并且，由探测器180检测连接像素P1(检测第1曝光光束位置)。将由探测器180检测连接像素P1时的，连接像素P1在探测器180上的位置取为(X1，Y1)。
接着，在曝光头166B中，选择有可能与曝光区域168A连接的像素P，并点亮。移动台架152，换句话说，沿着Y轴方向移动探测器180，直到检测出上述像素中的任何1个(第2曝光光束位置检测)。将在曝光区域168B中检测上述像素时的台架152移动量，即探测器180的移动量取为Y0。
由探测器180检测的曝光头166B的像素P中，将与连接像素P1之间在X轴方向上的距离最小的，选作连接像素P2。将连接P2在探测器180上的坐标取为(X2，Y2)。
如上所述，检测出连接像素P1(X1，Y1)后，沿Y轴方向移动探测器180，检测连接像素P2(X2，Y2)。即，检测连接像素P1(X1，Y1)时，和检测连接像素P2(X2，Y2)时，探测器180的X坐标是相同的。另外，如图8所示，探测器上的X轴和Y轴，分别与X轴和Y轴平行。因此，连接像素P1和连接像素P2在X轴方向上的距离，由X坐标上的位置之差X2-X1给出。而X轴方向上的距离，是在Y坐标上的位置之差Y2-Y1上，加探测器180在Y轴方向上的移动距离Y0，即由Y2-Y1+Y0给出。
因此，控制器100，根据连接像素P1和连接像素P2之间的距离(X2-X1，Y2-Y1+Y0)和感光材料150的输送速度，即台架152的移动速度V，设定曝光头166A和曝光头166B的曝光定时，以将连接像素P1和连接像素P2之间的图像偏移减到最小。向曝光头166A和曝光头166B输入图像数据。使以连接像素P1和连接像素P2形成重合图像。根据需要，对于输入的图像数据，进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等的修正。
如前所述，设定曝光头166A和曝光头166B的曝光定时的时候，将感光材料150上形成的图像示于图9中。在图9中，图像169A是由曝光头166A在感光材料150上形成的图像，图像169B是由曝光头166B在感光材料150上形成的图像。
如图9所明确，将连接图像169A和图像169B的连接像素P1和连接像素P2，在X轴方向上的位置大致相等。而且通过修正曝光头166A和曝光头166B的曝光定时，连接像素P1和连接像素P2之间，在Y轴方向上不会产生偏移或重叠。因此，图像169A和图像169B，在连接点处，几乎不产生偏移或重叠。
接着，由输送装置182驱动探测器180，移动到曝光头166B和曝光头166C的接缝处。以和曝光头166A和曝光头166B同样的顺序，特定分别在曝光头166B和曝光头166C中形成的图像169B和图像169C的连接像素。通过依次重复该顺序，特定整个吸光装置的曝光头166卷的连接像素，对输入到各曝光头166中的图像数据，进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等修正，使图像在连接像素中重合。由此，在整个曝光区域内形成无接缝偏移或重叠的图像。
这样，在实施方式1的曝光装置中，即使受温度变化引起各部件的热膨胀或热收缩，和因长期使用随时间变化的累积，曝光头166A～曝光头166J相互间的位置发生变化时，也可以将由曝光头166A～曝光头166J形成的图像169A～图像169J连接点处的图像偏移或重叠限制到最小限度。为此，即使制作大面积图像时，也能得到无明显接缝和偏移的优质图像。
因此，感光材料150为大面积时，也可以形成高质量的图像，所以将上述曝光装置用于制造大面积的印刷配线基板、TFT、液晶显示装置的彩色滤光片、和等离子体显示屏时，仍能有效地防止因曝光头166之间的图像偏移而产生不合格产品。
实施方式2
关于另一例包含在本发明的图像形成装置中的曝光装置，图10中示出了整体构成。关于与实施方式1相同的构成部分，省去重复说明。与实施方式1相同的符号，原则上是指相同的构成要件。
实施方式2的曝光装置和实施方式1的曝光装置同样，是所谓的平板型的，如图10所示，备有表面吸附保持片状感光材料150的平板状台架152。
但是，沿着台架移动方向，在台架152中的下流侧的端部，取代实施方式1的曝光装置具备的探测器180，而配置有沿X轴方向，即与台架移动方向成正交方向固定的，具有6个面探测器184a-184f的面探测器184。面探测器184也相当于本发明中的光束位置检测机构。面探测器184与实施方式1中的面探测器180同样。而且，面探测器184的检测面上的X轴和Y轴分别平行于曝光装置的X轴和Y轴。因此，曝光头166的像素相对于面探测器184的X轴和Y轴呈倾斜而排列的。
以下对在曝光区域168A和曝光区域168B中选择连接像素P1和连接像素P2的顺序进行说明。
首先，移动台架152，使面探测器184位于曝光区域168的下方。
接着，在曝光区域168A中依次点亮曝光头166A的像素，如图11A所示，用面探测器184a～184f中的任何一方检测上述像素，以下为简化起见，将用面探测器184a检测上述像素的情况作为实例进行说明。
用面探测器184a检测上述像素后，将上述像素中与面探测器184中X＝0的位置最接近的像素作为连接像素P1(a，b)。而(a，b)就是连接像素P1在XY平面上的位置。
接着移动台架152，换句话说，就是在Y轴方向上移动面探测器184，使连接像素P1位于面探测器184a中Y＝0的线上，检测此时的台架152的移动量Y1。上述Y1相当于移动探测器184之前的连接像素P1的Y坐标b。因此，将连接像素P1的XY坐标特定为(a，Y1)。
设定连接像素P1的XY坐标后，和P1的情况同样，依次点亮曝光头166B的像素，将曝光区域168B中与探测器184a中X＝0的位置最接近的像素取为连接像素P2(c，d)。而(c，d)就是连接像素P2在XY平面上的位置。
接着，移动台架152，使连接像素P2位于探测器184a的原点(o，o)上，检测此时台架152的移动量Y2。上述Y2相当于移动探测器184a之前连接像素P2的Y坐标d。因此，将连接像素P2的XY坐标特定为(c，Y2)。
因此，连接像素P1和连接像素P2是与同一方面探测器184a中X＝0的位置最接近的像素，所以X轴方向上的距离，即X轴方向上的距离几乎为0。
因此，选定连接像素P1和连接像素P2，特定为XY坐标后，控制器100根据连接像素P1和连接像素P2之间在Y轴方向上的距离(Y2-Y1)和感光材料150的移送速度，即台架152的移动速度V，设定曝光头166A和曝光头166B的曝光定时，在连接像素P1和连接像素P2的Y轴方向上使图像重合。同时，向曝光头166A和曝光头166B输入图像数据，在X轴方向上，由连接像素P1和连接像素P2形成为同一图像。
据此，如图9所示，可以防止图像169A和图像169B之间产生偏移或重叠。
在实施方式2的曝光装置中，将X轴方向上的位置实际相等的连接像素P1和P2选作连接像素，进行图像数据变换，使图像在连接像素P1和连接像素P2中重合一致。为此，与实施方式1的曝光装置相比，可以形成图像连接点处偏移或重叠极少的图像。
接着，以同样的顺序，通过探测器184b特定由曝光头166B和曝光头166C分别形成的图像169B和图像169C的连接像素。通过依次重复该顺序，特定曝光装置所有曝光头之间的连接像素，对向各曝光头166输入的图像数据，修正图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等，使图像在连接像素中形成重合。由此在整个曝光区域内，可以形成连接点处无偏移或重叠的图像。
因此，在将上述曝光装置用于制造大面积印刷配线基板、TFT、液晶显示装置的彩色滤光片，和等离子体显示屏的情况下，仍能有效地防止因曝光头166之间的图像偏移导致不合格产品的发生。
实施方式3
对于本发明的图像形成装置中包含的又一例曝光装置，其整体构成示于图12中。对于和实施方式1同样的构成部分，其说明省略，与实施方式1相同的符号，原则上是指同一构成要件。
实施方式3的曝光装置与实施方式1的曝光装置相同，是所谓的平板型的，如图12所示，备有表面上吸附保持片状感光材料150的平板状台架152。
但是，在台架152中的沿台架移动方向下流侧的端部，设有由高精度移送装置187能够沿X轴方向移动的面探测器186，如图13所示，在台架152的下流侧的端部，在整个宽度上设有沿X轴方向的沟185。面探测器186在沟185的内侧中滑动。在沟185中还设有检测面探测器186在X轴方向上位置的线性编码器188，并以夹持住线性编码器188的形态设有2个移送面探测器186的输送装置187。作为输送装置187可以使用圆头螺栓和直线电动机等。另外，作为输送装置187而使用圆头螺栓时，如果对于圆头螺栓的驱动使用脉冲电机，则可以根据脉冲电机输送的脉冲个数和每个脉冲使面探测器186的移动距离，特定面探测器186的位置。因此，也就不需要线性编码器188。
对于实施方式3的曝光装置中特定连接像素位置的顺序，参照图14进行说明。
首先，在曝光头166A的像素中，选择要与曝光区域168B连接的像素，指定为连接像素P1，并点亮。连接像素P1可以是1个，也可以是2个以上。
接着，由输送装置187沿着X轴方向移动面探测器186，同时，移动台架152，使面探测器186在Y轴方向上移动，在来自连接像素P1的曝光光束射入面探测器186的原点(0，0)时刻，停止面探测器186的移动。根据此时由线性编码器188检测出的面探测器186位置，和由台架152的移动量求出的台架152的位置，求出连接像素P1在XY面上的位置(X1，Y1)。
接着在曝光头166B的像素中选择要与曝光区域168A连接的像素，并将这些像素全部点亮。同样，通过和已叙述的连接像素P1时同样的顺序，求出上述像素的XY坐标。而且，在上述像素中，将X坐标与连接像素P1的X坐标X1最接近的像素取为连接像素P2(X2，Y2)。
求出曝光区域168A的连接像素P1(X1，Y1)和曝光区域168B的连接像素P2(X2，Y2)后，控制器100根据连接像素P1和连接像素P2之间在Y轴方向上的距离(Y2-Y1)和感光材料150的移送速度，即台架152的移动速度V，向曝光头166A和曝光头166B设定曝光定时，使连接像素P1和连接像素P2之间的偏移最小。另外，曝光头166A和曝光头166B中，根据需要，进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等的修正。由此，得到如图9所示的图像168A和图像168B。
实施方式3的曝光头中，不仅使面探测器186在Y轴方向上移动，而且在X轴方向上也移动，求出连接像素P1和连接像素P2的位置。
因此，连接像素P1和连接像素P2在X轴方向上的距离，即使很大的情况下，也可以特定连接像素P1和连接像素P2在XY面上的实际位置。同样，根据上述实际位置，通过控制曝光头166A和曝光头166B的图像信号输入，可以防止在曝光头166A和曝光头166B之间形成图像的偏移或重叠。
接着，由输送装置187将探测器180移动到曝光头166B和曝光头166C的连接点处，按照同样的顺序，特定由曝光头166B和曝光头166C分别形成图像169B和图像169C的连接像素。通过依次重复该顺序，特定曝光装置所有曝光头166之间的连接像素，通过相对于向曝光头166输入的图像数据实施图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等修正，使图像在连接像素中重合，可以在整个曝光区域内形成连接点处无偏移或重叠的图像。
这样，使用实施方式3的曝光装置，即使使用多个曝光头166进行大面积的感光材料150进行曝光的情况下，仍能在感光材料150上形成连续很大的图像，并且曝光区域168之间无偏移和间隙，无重叠。
因此，将上述曝光装置用于制造大面积印刷配线基板、TFT、液晶显示装置的彩色滤光片、和等离子体显示屏时，仍能有效地防止因曝光头166之间的图像偏移而产生不合格产品。
如以上说明，根据本发明可提供一种在上述多头曝光装置中，由曝光头进行曝光的曝光区域之间偏移极小，并能形成连续的大型图像的图像形成装置和图像偏移修正方法。
实施方式4
关于本发明的图像形成装置中包含的又一例曝光装置，整体构成示于图15。对于和实施方式1同样的构成部分，省略其说明，与实施方式1同样的符号，原则上是指同一构成要件。
实施方式4的曝光装置，和实施方式1同样，是所谓的平板型的，如图1所示，备有表面上吸附保持片状感光材料150的平板状曝光台架152。控制扫描器162和检测传感器164的控制器省去图示。
在实施方式4中，在曝光台架152中沿着输送方向(扫描方向)的上流侧(以下有时只称“上流侧”)的端部，形成多个向着X轴方向敞开，以箭头形状形成的狭缝部120。
狭缝部120是由位于上流侧的狭缝部120a和位于下流侧的狭缝部120b构成。狭缝部120a和狭缝部120b相互交叉，相对于Y轴，狭缝部120a具有135度的角度，狭缝部120b具有45度的角度。
在狭缝部120的下方，形成检测从曝光头166发出光的探测器(未图示)。
狭缝部120和上述探测器与曝光台架152一起沿Y轴方向移动。而且，狭缝部120和上述探测器相当于本发明中的光束位置检测机构。
狭缝部120a和狭缝部120b，在本实施方式中，相对于扫描方向，以45度的角度形成。但是，狭缝部120a和狭缝部120b，相对于曝光头166的像素排列形成倾斜，同时，相对于扫描方向，即台架移动方向形成倾斜，相对于扫描方向的角度，并不限定为上述角度。也可以使用衍射光栅取代狭缝部120。
和实施方式1同样，扫描器162中，位于第1行最左侧的图像区域168A，和位于图像区域168A右侧的图像区域168C之间不能曝光的部分，由位于第2行最左侧的图像区域168B进行曝光。由此，与图像区域168A连接的图像区域是图像区域168B。在图16中示出了图像区域168A和图像区域168B的位置关系。在图16以后中，将扫描方向取为X轴，将曝光头166的排列方向取为Y轴。
如图16所示，图像区域168A和图像区域168B，在曝光头166A的像素连接像素P1和曝光头166B的像素连接像素P2中进行连接。连接像素P1和连接像素P2分别是本发明中第1连接像素和上述第2连接像素的实例。
以下对选择连接像素P1和连接像素P2，特定实际位置的顺序进行说明。
首先，移动曝光台架152，使狭缝部120位于扫描器162的下方，将曝光头166A的像素中，与曝光头166B的像素重合的像素，选作连接像素P1，并点亮。
接着，如图17和图18所示，慢慢移动曝光台架152，使狭缝部120沿Y轴方向移动，位于图像区域168A内。将此时的狭缝部120a和狭缝部120b的交点取为(X0，Y0)。因此，如上所述，狭缝部120a相对Y轴成135度的角度，狭缝部120b相对Y轴成45度的角度。而且，图1 8以后中，将从Y轴，以反时针方向进行旋转的方向取为正的角。
接着，如图18所示，移动曝光台架152，使狭缝部120沿Y轴移动到图18中的右方。这样如图18中双点划线所示，来自连接像素P1的光通过左侧的狭缝部120a，在由探测器检测出时，停止移动曝光台架152。将此时狭缝部120a和狭缝部120b的交点取为(X0，Y11)。
再次移动曝光台架152，使狭缝部120沿Y轴移动到图18中的左方。这样，如图18中双点划线所示，来自连接像素P1的光通过右侧的狭缝部120b，由探测器检测出的时刻，停止移动曝光台架152。将此时狭缝部120a和狭缝部120b的交点取为(X0，Y12)。
因此，将连接像素P1的坐标取为(X1，Y1)时，以X1＝X0+(Y11-Y12)/2表示，以Y1＝(Y11+Y12)/2表示。
求出连接像素P1的坐标后，熄灭连接像素P1，将曝光头166B的像素中，应与图像区域168A连接的所有像素中，位置最接近的连接像素P1的像素，选作连接像素P2，并进行点亮。
而且，只沿Y轴移动曝光台架152，使狭缝部120位于图像区域168B中。将此时的狭缝部120a和狭缝部120b的交点坐标取为(X0，Y0+Y)。
同样，如图19所示，移动曝光台架152，使狭缝部120沿Y轴移动到图19中的右方。如图19中双点划线所示，来自连接像素P2的光通过左侧的狭缝部120a，由探测器检测出的时刻，停止移动曝光台架152。将此时狭缝部120a和狭缝部120b的交点取为(X0，Y21)。
再次移动曝光台架152，使狭缝部120沿Y轴移动到图19中的左方。同样，和图19中双点划线所示，来自连接像素P2的光，通过右侧的狭缝部120b，由探测器检测出的时刻，停止移动曝光台架152。将此时狭缝部120a和狭缝部120b的交点取为(X0，Y22)。
因此，将连接像素P2的坐标取为(X2，Y2)时，以X2＝X0+(Y21-Y22)/2表示，Y2＝(Y21+Y22)/2表示。
对于如此求出的连接像素P2(X2，Y2)，如图20所示，求出与连接像素P1的X坐标之差ΔX＝X2-X1。而且，将上述像素P2中，X坐标之差ΔX最小的像素选作连接像素P2(X2，Y2)。
连接像素P1和连接像素P2，在X轴方向上的偏移极小。因此，通过修正曝光定时，去除Y轴方向的偏移，通过控制向曝光头166A和曝光头166B输入的图像数据，使之对于X轴方向图像重合，如图21所示，可以除去连接像素P1和连接像素P2之间的图像偏移或重叠。
在曝光头166A中指定多个连接像素P1，对于该多个连接像素P1分别按上述顺序特定实际的XY坐标(X1，Y1)，同时，对于上述各个连接像素P1，从曝光头166B的像素中指定连接像素P2，只要特定实际的XY坐标(X2，Y2)，则进一步减少曝光头166A和曝光头166B之间的图像偏移或重叠。
在实施方式4的曝光装置中，移动曝光台架，由探测器检测透过狭缝部120a和狭缝部120b的曝光光束的光量。据此，可以从曝光头166A和曝光头166B的像素中选出连接像素P1和连接像素P2，同时特定其实际位置。
因此，在选择连接像素P1和连接像素P2，并特定其位置时，不需要昂贵的大型附加设备。
进而，曝光头166A和曝光头166B之间的相对位置关系，不管什么原因引起偏差时，根据有关连接像素P1和连接像素P2的实际位置信息，通过控制向曝光头166A和曝光头166B中输入的图像数据，可以高精度修正曝光头166A和曝光头166B之间的图像偏移或重叠。
以上对通过使用狭缝部120a和狭缝部120b，以特定曝光头166A和曝光头166B的连接像素，形成无偏移或重叠的图像的方法作了叙述。通过依次重复同样的顺序，特定曝光装置100的所有曝光头166之间的连接像素，对向上述曝光头166输入的图像数据可以进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等修正，使图像在上述连接像素中重合，并在整个曝光区域内可以形成连接点处偏移极少的图像。
实施方式5
关于本发明的图像形成装置中包含的另一例曝光装置，整体构成示于图22中。另外，对于和实施方式1同样的构成部分，省去其说明。与实施方式1相同的符号，原则上是指同一构成要件。进而省去了控制扫描器162和检测传感器164的控制器的图示。
如图22所示，实施方式5的曝光装置中，在曝光台架152中的上流侧端部，设有由平行于Y轴的狭缝部130a和平行于X轴的狭缝部130b而成的狭缝部130。狭缝部130a和狭缝部130b以T字形设置。在狭缝部130a和狭缝部130b的下方，设有检测透过狭缝部130a和狭缝部130b的曝光光束的探测器。
以下对实施方式5的曝光装置中，从曝光头166A的像素中选定连接像素P1，并特定位置的顺序进行说明。
首先，移动曝光台架152，使狭缝部130位于图像区域168A和图像区域168B的连接点附近。
在狭缝部130位于曝光头166A和曝光头166B的下方后，使曝光台架152停止在上述位置上。并且，如图23所示，沿着曝光头166A的某个行方向(横方向)依次点亮像素。同样，沿曝光头166A的某列方向(纵方向)，从下方向上方依次点亮像素。
如图23所示，点亮像素P1(a，n)时，探测器检测出狭缝部130a的光量峰值，点亮像素P’1(m，b)时，探测器检测出狭缝部130b的光量峰值时，将曝光头166A的像素P1选作连接像素P2，将像素P’1选作辅助像素。连接像素P1(a，n)和辅助像素P’1(m，b)的(a，n)和(m，b)，分别表示连接像素P1和辅助像素P’1的X坐标和Y坐标。
因此，如图24所示，连接像素P1(a，n)和辅助像素P’1(m，b)在Y轴方向上的位置差ΔY1，以下式给出。
     ΔY1＝b-n
接着，将曝光台架152只移动距离Ys，从左方向右方依次点亮曝光头168B的某行像素，同样地，沿着X轴方向，从下方向上方依次点亮某列的像素。
这时，点亮像素P2(c，n’)时，探测器检测出狭缝部130a的光量峰值，点亮像素P’2(m’，d)时，探测器检测出狭缝部130b的光量峰值时，将上述像素P2(c，n’)选作连接像素，将像素P’2选作辅助像素。
连接像素P2(c，n’)和辅助像素P’2(m’，b)在Y轴方向上的位置差ΔY2，以下式给出。
    ΔY2＝(d-n’)
检测连接像素P1(a，n)时，和检测连接像素P2(c，n’)时，狭缝部130在X轴方向上完全不移动，因此，连接像素P1(a，n)和连接像素P2(c，n’)的X坐标是一致的。而Y轴方向的距离，以下式给出。
Ys+ΔY2-ΔY1＝Ys+d-n’-(b-n)
因此，通过进行在连接像素P1(a，n)和连接像素P2(c，n’)之间，根据上述Y轴方向的距离修正点亮定时，可以除去曝光头166A和曝光头166B之间的偏移或重叠。
以上对利用狭缝部130a和狭缝部130b每一方选定连接像素P1(a，n)和连接像素P2(c，n’)，特定位置的实例作了叙述。另外，如图25所示，使狭缝部130a和狭缝部130b与沿着曝光头166A和曝光头166B的像素的X轴方向和Y轴方向的间距一致而设定多个，以增加透光量。由此可以提高像素的检测精度，并更高精度的图像连接成为可能。
在实施方式5的曝光装置中，连接像素P2与连接像素P1的X坐标是相同的。因此，若控制向曝光头166A和曝光头166B输入的图像数据，就X轴方向输入相同的图像数据，则完全去除曝光头166A和曝光头166B之间的图像偏移。即使Y轴方向上产生图像偏移，通过调整点亮定时，也能消除连接像素P1和连接像素P2之间的偏移。
因此，比实施方式4的曝光装置，获得更高精度的图像连接成为可能。
另外，在选择好连接像素P1和连接像素P2的期间，就停止移动曝光台架。因此，与实施方式4的曝光装置比较，在连接图像的选定和位置特定时可以进一步减少移动曝光台152的频率。
以上对通过使用狭缝部130a和狭缝部130b特定曝光头166A和曝光头166B的连接像素，形成无偏移或重叠图像的方法作了讲述。通过依次重复同样的顺序，特定曝光装置所有曝光头166间的连接像素，对输入上述曝光头166的图像数据进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等的修正，以使图像在上述连接像素中重合，所以在整个曝光区域内形成连接点处极少偏移的图像。
实施方式6
本发明的图像形成装置中包含的又一例曝光装置，整体构成示于图26中。另外，对于和实施方式1相同的构成部分省去说明。与实施方式1相同的符号，原则上是指同一构成要件。进而，省去了控制扫描器162和检测传感器164的控制器的图示。
如图26所示，在实施方式6的曝光装置中，在曝光台架152的上流侧端部，设有与本发明光束位置检测机构相对应的光束位置检测装置140。
光束位置检测装置140的详细情况示于图27。
如图26和图27所示，光束位置检测装置140，在曝光台架152的上流侧端部，沿X轴方向设置的沟148的内部滑动的台座142，和沿台座142的移动方向，被设置在沟148的中央部分。另外，备有检测台座142的X轴方向上位置的线性编码器144、和在沟148内侧，移动台座142的一对圆头螺栓146。在台座142上相互平行地设有2条线性导轨(未图示)。而且，圆头螺栓146由电机(未图示)进行旋转，使台座142移动。
台座142，形成有上表面，使之位于与曝光台架152的曝光面同一方面上。在台座142的上表面上，沿X轴方向设有狭缝部140a，沿Y轴方向设有狭缝部140b。狭缝部140a和狭缝部140b相互正交。在狭缝部140a和狭缝部140b的下方，设有探测器(未图示)，以检测透过狭缝部140a和140b的透光光束。
以下，在上述曝光装置中，从曝光头166A和曝光头166B的像素中，选择特定像素P1和特定像素P2，并特定其实际位置。
首先，移动曝光台架152，沿Y轴方向移动光束位置检测装置140。另外，使光束位置检测装置140的台座142沿沟148移动，并使台座142位于图像区域168A和图像区域168B的连接点部分。
接着，在曝光头166A的像素中，选择要与图像区域168B连接的像素，作为连接像素P1。
这样，如图28所示，稍微移动曝光台架152，沿Y轴方向移动台座142。来自连接像素P1的曝光光束透过狭缝部140a的光量达到峰值时，停止移动曝光头152，由曝光台架151上设置的线性编码器144检测曝光台架152在Y轴方向上的位置。这样，将上述Y轴方向上的位置作为连接像素P1的Y坐标Y1。
接着由圆头螺栓146沿X轴方向移动台座142，当曝光光束透过狭缝部140b的光量达到峰值后，由线性编码器144检测出此时台座142在X轴方向上的位置，这样将上述X轴方向上的位置作为连接像素P1的X坐标X1。
特定连接像素P1的位置后，熄灭连接像素P1，代之点亮曝光头166B的像素中要与图像区域168A连接的像素P2，通过光束位置检测装置140，按同样的顺序，求出像素P2的XY坐标(X2，Y2)。
将求出坐标的像素P2的XY坐标(X2，Y2)与连接像素P1的XY坐标(X1，Y1)比较，将最接近连接像素P1的像素P2选作连接像素P2(X2，Y2)。
这样特定了连接像素P1和连接像素P2的实际位置后，根据上述位置，控制向曝光头166A和曝光头166B输入的图像数据，由连接像素P1和连接像素P2连接图像。
根据实施方式6的曝光装置，在很短的时间内，由光束位置检测装置140求出连接像素P1和连接像素P2的准确的XY坐标。据此，作为连接像素P1和连接像素P2，在选择X坐标不一定就是相同的时，仍能准确地连接图像。
以上对使用光束位置检测装置140，特定曝光头166A和曝光头166B的连接像素，形成无偏移或重叠图像的方法作了讲述。通过依次重复同样的顺序，特定曝光装置100的所有曝光头166之间的连接像素，并对向上述曝光头166输入的图像数据，进行图像数据偏移、图像旋转、倍率变换等的修正，可以使图像在上述连接像素中形成重合，并可以在整个曝光区域内形成连接点处极少偏移的图像。
正如以上说明，根据本发明，在上述多头曝光装置中，提供了一种由各个曝光头形成图像之间极少偏移的曝光装置，和利用上述曝光装置进行曝光，可以修正图像偏移的方法。