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1、(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201310349663.X(22)申请日 2013.08.12H01L 29/78(2006.01)H01L 29/08(2006.01)H01L 21/336(2006.01)(71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号(72)发明人金锋 石晶(74)专利代理机构上海浦一知识产权代理有限公司 31211代理人丁纪铁(54) 发明名称LDMOS器件及其制造方法(57) 摘要本发明公开了一种LDMOS器件，形成于硅衬底上，由浅沟槽场氧隔离出有源区，位于沟道区和漏区之间的漂移。
2、区中漏区场氧采用局部场氧，局部场氧由局部场氧区域的硅被刻蚀一定深度后局部场氧化形成，局部场氧的深度由局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义。本发明还公开了一种LDMOS器件的制造方法。本发明的漏区局部场氧较圆滑的底部，从而能够消除漏区场氧底部电流和电场集中的问题，从而能提高器件的击穿电压；也能够缩短器件的漏区电流路径的长度，从而能够降低器件的比导通电阻，提高器件的电流性能。(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书2页 说明书6页 附图5页(10)申请公布号 CN 104377242 A(43)申请公布日 2015.02.25CN 104377242 A。
3、1/2页21.一种LDMOS器件，其特征在于，LDMOS器件形成于硅衬底上，由浅沟槽场氧隔离出有源区，所述LDMOS器件包括：漂移区，由形成于所述硅衬底中的第一导电类型掺杂区组成；沟道区，由形成于所述硅衬底中的第二导电类型掺杂区组成；所述漂移区和所述沟道区横向接触；形成于所述硅衬底上方的多晶硅栅，所述多晶硅栅和所述硅衬底表面隔离有栅介质层，在横向上所述多晶硅栅从所述沟道区延伸到所述漂移区上方，被所述多晶硅栅覆盖的所述沟道区用于形成沟道；所述多晶硅栅的第一侧面位于所述沟道区上方、第二侧面位于所述漂移区上方；由第一导电类型的重掺杂区组成的源区和漏区，所述源区形成于所述沟道区中并和所述多晶硅栅的第一。
4、侧面自对准，所述漏区形成于所述漂移区中；由第二导电类型的重掺杂区组成的衬底引出区，所述衬底引出区形成于所述沟道区中并用于将所述沟道区引出，所述衬底引出区和所述源区横向接触且离所述多晶硅栅的第一侧面更远；第一浅沟槽场氧和第二浅沟槽场氧，所述第一浅沟槽场氧和所述衬底引出区横向接触且离所述多晶硅栅的第一侧面更远，所述第二浅沟槽场氧和所述漏区横向接触且离所述多晶硅栅的第二侧面更远，所述第一浅沟槽场氧和所述第二浅沟槽场氧围绕并隔离出所述LDMOS器件的有源区；局部场氧，位于所述沟道区和所述漏区之间的所述漂移区中，所述局部场氧和所述漏区横向接触，所述局部场氧和所述沟道区相隔一段距离；所述多晶硅栅延伸到所述。
5、局部场氧上方；所述局部场氧由局部场氧区域的硅被刻蚀一定深度后局部场氧化形成，所述局部场氧的深度由所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义，所述局部场氧的深度越深、所述LDMOS器件的击穿电压越高。2.如权利要求1所述的LDMOS器件，其特征在于：所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度为10埃1000埃；所述局部场氧的深度为500埃3000埃。3.如权利要求1所述的LDMOS器件，其特征在于：所述LDMOS器件为N型器件，所述第一导电类型为N型，所述第二导电类型为P型；或者，所述LDMOS器件为P型器件，所述第一导电类型为P型，所述第二导电类型为N型。4.一种制造如权利要求1所述的LDMOS器件的方法，其。
6、特征在于，采用如下步骤形成所述局部场氧和所述浅沟槽场氧：步骤一、在所述硅衬底上淀积氮化硅膜层；步骤二、用光刻工艺形成的第一光刻胶图形定义出所述局部场氧区域的位置，将所述局部场氧区域的所述氮化硅膜层刻蚀掉并露出所述硅衬底表面；步骤三、去除所述第一光刻胶图形，利用所述氮化硅膜层作为阻挡层，将所述局部场氧区域的硅刻蚀一定深度；步骤四、采用局部场氧化工艺对硅刻蚀后的所述局部场氧区域进行局部氧化生长并形成所述局部场氧，所述局部场氧的深度由步骤三中所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义，所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度越深、所述局部场氧的深度越深；权 利 要 求 书CN 104377242 A2/2页3步骤。
7、五、用光刻工艺形成的第二光刻胶图形定义出浅沟槽场氧区域的位置，将所述浅沟槽场氧区域的所述氮化硅膜层刻蚀掉制作露出所述硅衬底表面，对所述浅沟槽场氧区域的硅进行刻蚀形成浅沟槽；步骤六、去除所述第二光刻胶图形，采用氧化物淀积工艺将所述浅沟槽填充并形成所述浅沟槽场氧；进行平坦化处理，使得所述浅沟槽场氧和所述局部场氧的顶部表面和所述硅衬底的顶部表面相平。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：步骤三中所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度为10埃1000埃。6.如权利要求4所述的方法，其特征在于：步骤四中所述局部场氧的深度为500埃3000埃。7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤来形成所述L。
8、DMOS器件：步骤七、采用第一导电类型离子注入工艺在所述硅衬底中形成所述漂移区；步骤八、采用第二导电类型离子注入工艺在所述硅衬底中形成所述沟道区；步骤九、在所述硅衬底表面依次形成所述栅介质层和所述多晶硅栅；步骤十、进行第一导电类型的重掺杂离子注入同时形成所述源区和所述漏区；步骤十一、进行第二导电类型的重掺杂离子注入形成的所述衬底引出区。权 利 要 求 书CN 104377242 A1/6页4LDMOS 器件及其制造方法 技术领域0001 本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种LDMOS器件；本发明还涉及一种LDMOS器件的制造方法。 背景技术0002 浅槽隔离（STI）技术引入可以有。
9、效缩短有源区之间的距离从而进行有效场氧隔离，大大增加了集成度，但在STI工艺中集成LDMOS器件的话，LDMOS器件的漏区同样存在STI，这个时候由于STI底部的形貌容易造成LDMOS器件在STI底部击穿，降低了LDMOS器件的击穿电压，同时由于STI的形貌造成LDMOS器件导通时电流沿着STI和硅界面流通，电流路径较长，导致LDMOS器件的导通电阻较高。如图1所示，是现有第一种LDMOS器件的结构示意图；现有第一种LDMOS器件是在STI工艺中传统的LDMOS结构，以N型LDMOS器件为例进行说明如下，现有第一种LDMOS器件包括：硅衬底100，N型掺杂的漂移区101，P型掺杂的沟道区102。
10、，浅沟槽隔离用的浅沟槽场氧103，浅沟槽场氧103用于隔离出有源区；多晶硅栅104，多晶硅栅104和硅衬底100的表面隔离有栅介质层如栅氧化层，在横向上所述多晶硅栅104从所述沟道区102延伸到所述漂移区101上方，被所述多晶硅栅104覆盖的所述沟道区102用于形成沟道；所述多晶硅栅104的第一侧面位于所述沟道区上方、第二侧面位于所述漂移区101上方。N+掺杂的源区105b和漏区105a，源区105b和所述多晶硅栅104的第一侧面自对准。所述漏区105a形成于所述漂移区101中。漏区浅沟槽场氧103a形成于漏区105a到漂移区101和沟道区102的边界之间的漂移区101中，且漏区浅沟槽场氧10。
11、3a和漂移区101和沟道区102的边界相隔一段距离。多晶硅栅104延伸到漏区浅沟槽场氧103a上方并作为多晶硅场板。从漂移区101和沟道区102的边界到漏区105a之间的整个区域109为LDMOS器件的漏区扩展区。漏区浅沟槽场氧103a和用于隔离出有源区的浅沟槽场氧103的结构相同。现有第一种结构会带来如下两个问题：第一问题为，如图2所示，现有第一种LDMOS器件的电流路径示意图，LDMOS器件的电流路径将会沿着漏区浅沟槽场氧103a侧壁和底部走，这样电流走的路径会很长，导致漏区的电阻较大，LDMOS器件的线性区电流较小，影响LDMOS器件的能力。第二个问题为，如 图2所示，在漏区浅沟槽场氧1。
12、03a底部的角上即虚线框所示区域A，由于漏区浅沟槽场氧103a形貌的特点造成区域A的角上会形成80度88度的角度，这个角度的存在会让电流流经这里时产生电流积聚，在耐压时会造成电场的集中，导致击穿电压较低；如图3所示，是现有第一种LDMOS器件的碰撞电离仿真图，虚线框所示区域A1为图2中的区域A处的仿真，虚线框所示区域A2为区域A1的放大图，可以看到图2的区域A的角上的碰撞电离仿真情况，颜色越深代表碰撞电离越厉害，也就是电场越集中，区域A位置是碰撞电离比较厉害的区域，而区域A的角上是最厉害的，这里的电场最集中，最容易发生击穿。由于区域A角上是80度88度的角度，存在一个相对的尖端，在尖端电场集中。
13、会使得击穿电压的下降。 0003 如图4所示，是现有第二种LDMOS器件的结构示意图；现有第二种LDMOS器件是对图1所示的现有第一种LDMOS器件的优化，和现有第一种LDMOS器件的唯一区别为，现有第说 明 书CN 104377242 A2/6页5二种LDMOS器件的漏区浅沟槽场氧103a的深度浅于用于隔离出有源区的浅沟槽场氧103的深度，通过图2可知，漏区浅沟槽场氧103a的深度的减少会使得现有第二种LDMOS器件的整个电流路径比现有第一种LDMOS器件的要短，这样能解决现有第一种LDMOS器件所存在的第一个问题，但同样是STI的工艺，对于现有第一种LDMOS器件所存在的区域A造成的电流/。
14、电场集中问题即第二个问题仍无法解决。 发明内容0004 本发明所要解决的技术问题是提供一种LDMOS器件，能提高器件的击穿电压，降低器件的比导通电阻。为此，本发明还提供一种LDMOS器件的制造方法。 0005 为解决上述技术问题，本发明提供的LDMOS器件形成于硅衬底上，由浅沟槽场氧隔离出有源区，所述LDMOS器件包括： 0006 漂移区，由形成于所述硅衬底中的第一导电类型掺杂区组成。 0007 沟道区，由形成于所述硅衬底中的第二导电类型掺杂区组成；所述漂移区和所述沟道区横向接触。 0008 形成于所述硅衬底上方的多晶硅栅，所述多晶硅栅和所述硅衬底表面隔离有栅介质层，在横向上所述多晶硅栅从所述。
15、沟道区延伸到所述漂移区上方，被所述多晶硅栅覆盖的所述沟道区用于形成沟道；所述多晶硅栅的第一侧面位于所述沟道区上方、第二侧面位于所述漂移区上方。 0009 由第一导电类型的重掺杂区组成的源区和漏区，所述源区形成于所述沟道区中并 和所述多晶硅栅的第一侧面自对准，所述漏区形成于所述漂移区中。 0010 由第二导电类型的重掺杂区组成的衬底引出区，所述衬底引出区形成于所述沟道区中并用于将所述沟道区引出，所述衬底引出区和所述源区横向接触且离所述多晶硅栅的第一侧面更远。 0011 第一浅沟槽场氧和第二浅沟槽场氧，所述第一浅沟槽场氧和所述衬底引出区横向接触且离所述多晶硅栅的第一侧面更远，所述第二浅沟槽场氧和所。
16、述漏区横向接触且离所述多晶硅栅的第二侧面更远，所述第一浅沟槽场氧和所述第二浅沟槽场氧围绕并隔离出所述LDMOS器件的有源区。 0012 局部场氧，位于所述沟道区和所述漏区之间的所述漂移区中，所述局部场氧和所述漏区横向接触，所述局部场氧和所述沟道区相隔一段距离；所述多晶硅栅延伸到所述局部场氧上方。 0013 所述局部场氧由局部场氧区域的硅被刻蚀一定深度后局部场氧化形成，所述局部场氧的深度由所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义，所述局部场氧的深度越深、所述LDMOS器件的击穿电压越高。 0014 进一步的改进是，所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度为10埃1000埃；所述局部场氧的深度为500埃300。
17、0埃。 0015 进一步的改进是，所述LDMOS器件为N型器件，所述第一导电类型为N型，所述第二导电类型为P型；或者，所述LDMOS器件为P型器件，所述第一导电类型为P型，所述第二导电类型为N型。 0016 为解决上述技术问题，本发明提供的LDMOS器件的制造方法采用如下步骤形成所说 明 书CN 104377242 A3/6页6述局部场氧和所述浅沟槽场氧： 0017 步骤一、在所述硅衬底上淀积氮化硅膜层。 0018 步骤二、用光刻工艺形成的第一光刻胶图形定义出所述局部场氧区域的位置，将所述局部场氧区域的所述氮化硅膜层刻蚀掉并露出所述硅衬底表面。 0019 步骤三、去除所述第一光刻胶图形，利用所。
18、述氮化硅膜层作为阻挡层，将所述局部场氧区域的硅刻蚀一定深度。 0020 步骤四、采用局部场氧化工艺对硅刻蚀后的所述局部场氧区域进行局部氧化生长并形成所述局部场氧，所述局部场氧的深度由步骤三中所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义，所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度越深、所述局部场氧的深度越深。 0021 步骤五、用光刻工艺形成的第二光刻胶图形定义出浅沟槽场氧区域的位置，将所述浅沟槽场氧区域的所述氮化硅膜层刻蚀掉制作露出所述硅衬底表面，对所述浅沟槽场氧区域的硅进行刻蚀形成浅沟槽。 0022 步骤六、去除所述第二光刻胶图形，采用氧化物淀积工艺将所述浅沟槽填充并形成所述浅沟槽场氧；进行平坦化处理，使得所。
19、述浅沟槽场氧和所述局部场氧的顶部表面和所述硅衬底的顶部表面相平。 0023 进一步的改进是，步骤三中所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度为10埃1000埃。 0024 进一步的改进是，步骤四中所述局部场氧的深度为500埃3000埃。 0025 进一步的改进是，还包括如下步骤来形成所述LDMOS器件： 0026 步骤七、采用第一导电类型离子注入工艺在所述硅衬底中形成所述漂移区。 0027 步骤八、采用第二导电类型离子注入工艺在所述硅衬底中形成所述沟道区。 0028 步骤九、在所述硅衬底表面依次形成所述栅介质层和所述多晶硅栅。 0029 步骤十、进行第一导电类型的重掺杂离子注入同时形成所述源区和所述漏。
20、区。 0030 步骤十一、进行第二导电类型的重掺杂离子注入形成的所述衬底引出区。 0031 本发明LDMOS器件的漏区场氧采用局部场氧，和浅沟槽场氧相比，局部场氧较圆滑的底部，从而能够消除现有技术中漏区场氧采用浅沟槽场氧时在浅沟槽场氧的底部尖角处产生电流和电场集中的问题，从而能实现局部场氧底部的电流和电场均匀分布，也能使器件的碰撞电离区分布均匀并提高器件的击穿电压。 0032 本发明的LDMOS器件的漏区的局部场氧的深度能够通过硅刻蚀的深度来调节，从而能够实现器件的击穿电压大小可调。 0033 本发明LDMOS器件的漏区场氧采用局部场氧也能够缩短器件的漏区电流路径的长度，从而能够降低器件的比导。
21、通电阻，提高器件的电流性能。 附图说明0034 下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明： 0035 图1是现有第一种LDMOS器件的结构示意图； 0036 图2是现有第一种LDMOS器件的电流路径示意图； 0037 图3是现有第一种LDMOS器件的碰撞电离仿真图； 0038 图4是现有第二种LDMOS器件的结构示意图； 说 明 书CN 104377242 A4/6页70039 图5A是本发明实施例LDMOS器件的结构示意图； 0040 图5B是本发明实施例LDMOS器件的电流路径示意图； 0041 图6是本发明实施例LDMOS器件的碰撞电离仿真图； 0042 图7-图13是本发明。
22、实施例LDMOS器件的制造方法的各步骤中的器件结构示意图； 0043 图14是现有第一和二种LDMOS器件和本发明实施例LDMOS器件的击穿电压和比导通电阻的比较曲线。 具体实施方式0044 如图5A所示，是本发明实施例LDMOS器件的结构示意图；本发明实施例LDMOS器件形成于硅衬底200上，由浅沟槽场氧203隔离出有源区，所述LDMOS器件包括： 0045 漂移区201，由形成于所述硅衬底200中的第一导电类型掺杂区组成。 0046 沟道区202，由形成于所述硅衬底200中的第二导电类型掺杂区组成；所述漂移区201和所述沟道区202横向接触。 0047 形成于所述硅衬底200上方的多晶硅栅。
23、204，所述多晶硅栅204和所述硅衬底200表面隔离有栅介质层如栅氧化层，在横向上所述多晶硅栅204从所述沟道区202延伸到所述漂移区201上方，被所述多晶硅栅204覆盖的所述沟道区202用于形成沟道；所述多晶硅栅204的第一侧面位于所述沟道区202上方、第二侧面位于所述漂移区201上方。 0048 由第一导电类型的重掺杂区组成的源区205b和漏区205a，所述源区205b形成于所述沟道区202中并和所述多晶硅栅204的第一侧面自对准，所述漏区205a形成于所述漂移区201中。 0049 由第二导电类型的重掺杂区组成的衬底引出区206，所述衬底引出区206形成于所述沟道区202中并用于将所述沟。
24、道区202引出，所述衬底引出区206和所述源区205b横向接触且离所述多晶硅栅204的第一侧面更远。 0050 第一浅沟槽场氧203和第二浅沟槽场氧203，所述第一浅沟槽场氧203和所述衬底引出区206横向接触且离所述多晶硅栅204的第一侧面更远，所述第二浅沟槽场氧203和所述漏区205a横向接触且离所述多晶硅栅204的第二侧面更远，所述第一浅沟槽场氧203和所述第二浅沟槽场氧203围绕并隔离出所述LDMOS器件的有源区。 0051 局部场氧203a，位于所述沟道区202和所述漏区205a之间的所述漂移区201中，所述局部场氧203a和所述漏区205a横向接触，所述局部场氧203a和所述沟道区。
25、202 相隔一段距离；所述多晶硅栅204延伸到所述局部场氧203a上方。 0052 所述局部场氧203a由局部场氧区域的硅被刻蚀一定深度后局部场氧203a化形成，所述局部场氧203a的深度由所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度定义，所述局部场氧203a的深度越深、所述LDMOS器件的击穿电压越高。在较佳实施例中，所述局部场氧区域的硅被刻蚀的深度为10埃1000埃；所述局部场氧203a的深度为500埃3000埃。从漂移区201和沟道区202的边界到漏区205a之间的整个区域209为LDMOS器件的漏区扩展区。 0053 本发明实施例LDMOS器件即能为N型器件，也能为P型器件。当所述LDMOS器件为。
26、N型器件时，所述第一导电类型为N型，所述第二导电类型为P型；当所述LDMOS器件为说 明 书CN 104377242 A5/6页8P型器件时，所述第一导电类型为P型，所述第二导电类型为N型。 0054 如图5B所示，是本发明实施例LDMOS器件的电流路径示意图；可以看出所述局部场氧203a的底部较为圆滑，避免了所述浅沟槽场氧203的底部的尖角结构，所以电流在所述局部场氧203a的底部不会出现积聚的现象，而是较为平均，故能够避免电流和电场集中、使局部场氧底部的电流和电场均匀，也能使器件的碰撞电离区分布均匀并提高器件的击穿电压。 0055 图5B中Ld表示所述局部场氧203a的深度，该深度Ld能够。
27、通过硅刻蚀的深度来调节，从而能够实现器件的击穿电压大小可调。 0056 另外，比较图5B和图2可知，电流通过局部场氧的底部的路径显然要比通过浅沟槽场氧的底部路径要短，所以本发明实施例能够缩短器件的漏区电流路径的长度，从而能够降低器件的比导通电阻，提高器件的电流性能。 0057 如图6所示，是本发明实施例LDMOS器件的碰撞电离仿真图；可以看出，本发明实施例碰撞电离区分布更均匀，没有出现局部集中的问题；另外，通过电流分布的仿真也可以看出本发明实施例电流在局部场氧的底部分布比现有器件电流在浅沟槽场氧的底部分布的通路更宽更均匀。 0058 如图14所示，是现有第一和二种LDMOS器件和本发明实施例L。
28、DMOS器件的击穿电压和比导通电阻的比较曲线，可以看出本发明实施例LDMOS器件的击穿电压(BV)最高，比导通电阻（Rsp）最小。 0059 如图7至图13所示，是本发明实施例LDMOS器件的制造方法的各步骤中的器件结构示意图；本发明实施例LDMOS器件的制造方法采用如下步骤形成所述局部场氧 203a和所述浅沟槽场氧203： 0060 步骤一、如图7所示，在所述硅衬底200上淀积氮化硅膜层301。所述氮化硅膜层301的厚度为100埃500埃。 0061 步骤二、如图8所示，用光刻工艺形成的第一光刻胶图形302定义出所述局部场氧区域303a的位置，将所述局部场氧区域303a的所述氮化硅膜层301。
29、刻蚀掉并露出所述硅衬底200表面。 0062 步骤三、如图9所示，去除所述第一光刻胶图形302，利用所述氮化硅膜层301作为阻挡层，将所述局部场氧区域303a的硅刻蚀一定深度D。较佳为，深度D的大小为10埃1000埃。 0063 步骤四、如图10所示，采用局部场氧203a化工艺对硅刻蚀后的所述局部场氧区域303a进行局部氧化（LOCOS）生长并形成所述局部场氧203a，所述局部场氧203a的深度由步骤三中所述局部场氧区域303a的硅被刻蚀的深度D定义，所述局部场氧区域303a的硅被刻蚀的深度D越深、所述局部场氧203a的深度越深。 0064 本发明通过硅被刻蚀的深度D来定义局部场氧203a的深。
30、度，能够避免采用控制局部氧化生长的时间来控制局部场氧203a的深度的弊端，具体为：如果用控制局部氧化生长的时间来局部场氧203a的厚度的话，会造成鸟嘴过长，长出的鸟嘴区域氧化膜很薄，这样多晶硅栅204和漏区205a间的大电场会在这个薄弱区域集中，反而导致击穿电压下降。 0065 步骤五、如图11所示，用光刻工艺形成的第二光刻胶图形304定义出浅沟槽场氧区域的位置，将所述浅沟槽场氧区域的所述氮化硅膜层301刻蚀掉制作露出所述硅衬底说 明 书CN 104377242 A6/6页9200表面，对所述浅沟槽场氧区域的硅进行刻蚀形成浅沟槽305a。所述浅沟槽305a的深度为3000埃4000埃、所述浅沟。
31、槽305a的底部角度为70度90度。 0066 步骤六、如图12所示，去除所述第二光刻胶图形304，采用氧化物淀积工艺形成氧化层305将所述浅沟槽305a填充并形成所述浅沟槽场氧203；如图13所示，进行平坦化处理，使得所述浅沟槽场氧203和所述局部场氧203a的顶部表面和所述硅衬底200的顶部表面相平。较佳为，研磨后的所述局部场氧203a的深度为500埃3000埃。 0067 之后采用标准LDMOS工艺流程来形成完整的LDMOS器件，具体为还包括如下步骤来形成所述LDMOS器件： 0068 步骤七、如图5A所示，采用第一导电类型离子注入工艺在所述硅衬底200中形成所述漂移区201。 0069。
32、 步骤八、如图5A所示，采用第二导电类型离子注入工艺在所述硅衬底200中形成所述沟道区202。 0070 步骤九、如图5A所示，在所述硅衬底200表面依次形成所述栅介质层和所述多晶硅栅204。 0071 步骤十、如图5A所示，进行第一导电类型的重掺杂离子注入同时形成所述源区205b和所述漏区205a。 0072 步骤十一、如图5A所示，进行第二导电类型的重掺杂离子注入形成的所述衬底引出区206。最后，形成金属接触引出源极、漏极、栅极和衬底电极。 0073 以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。 说 明 书CN 104377242 A1/5页10图1图2图3说 明 书 附 图CN 104377242 A10。