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本发明涉及一种CO低温精馏法生产碳-13同位素专用填料,该填料包括盘式填料及颗粒填料,所述的盘式填料包括多片由不锈钢丝网压制而成的波纹片、不锈钢丝网托盘以及不锈钢丝网外框,所述的多片由不锈钢丝网压制而成的波纹片垂直排列在不锈钢丝网外框内,且相邻两波纹片的波纹方向相反,所述的不锈钢丝网托盘设在垂直排列的不锈钢丝网波纹片底部,所述的不锈钢丝网波纹片为倾斜波纹片,该波纹片的峰线或谷线与填料盘的垂直轴线有。