有机光电子部件和用于制造有机光电子部件的方法.pdf

《有机光电子部件和用于制造有机光电子部件的方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《有机光电子部件和用于制造有机光电子部件的方法.pdf（16页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。

1、10申请公布号CN102362213A43申请公布日20120222CN102362213ACN102362213A21申请号201080013281422申请日20100324102009015574020090330DE102009022902720090527DEG02F1/00200601H01L51/00200601H01L51/52200601H01L51/5620060171申请人欧司朗光电半导体有限公司地址德国雷根斯堡72发明人安德鲁英格尔74专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人王萍李春晖54发明名称有机光电子部件和用于制造有机光电子部件的方法57摘要在有机。

2、光电子部件1的至少一个实施形式中，该部件包括支承体2以及安装在支承体2上的第一电极11。此外，部件1包含带有至少一个有机有源层33的至少一个有机层序列3。此外，部件1具有第二电极22，使得有机层序列3位于第一电极11和第二电极22之间。在横向方向上形成至少一个暗区4和至少一个亮区5。不仅在暗区4中而且在亮区5中局部地或者整面地将第一电极11和第二电极22以及有机层序列3施加在支承体2上。暗区4的第一反射性与亮区5的第二反射性相差最高15。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2011092086PCT申请的申请数据PCT/EP2010/0538442010032487PCT申请的公布数据W。

3、O2010/112381DE2010100751INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书8页附图5页CN102362230A1/2页21一种有机光电子部件1，其具有支承体2，第一电极11，该第一电极安置在支承体2上，具有至少一个有机有源层33的至少一个有机层序列3，以及第二电极22，使得所述层序列33位于第一电极11和第二电极22之间，其中在横向方向上形成至少一个暗区4和至少一个亮区5，并且其中不仅在所述暗区4中而且在所述亮区5中至少局部地将第一电极11和第二电极22以及所述层序列33施加在支承体上，并且其中所述暗区4的第一反射性与所述亮区5的第二反射性相。

4、差最高15。2根据权利要求1所述的有机部件1，其中在所述暗区4中在第一电极11的背离支承体2的主面6上施加有带有自组织的分子的单层7。3根据上一权利要求所述的有机部件1，其中单层7无色并且为电绝缘的并且具有在05NM到50NM之间的厚度，包括边界值。4根据权利要求2或3所述的有机部件1，其中单层7借助2三甲氧基硅烷乙基苯或者32三甲氧基硅烷乙基嘧啶形成或者由此构成。5根据上述权利要求之一所述的有机部件1，其中在所述暗区4中支承体2在朝向所述层序列3的侧20具有粗化部8。6根据上一权利要求所述的有机部件1，其中粗化部8的平均粗糙度在5NM到1M之间，包括边界值。7根据上述权利要求之一所述的有机部。

5、件1，其中在支承体2和第一电极11之间存在透明的中间层12，其中中间层12的厚度在10NM到200NM之间，包括边界值。8根据上述权利要求之一所述的有机部件1，其具有多个暗区4和多个亮区5，其中通过所述亮区4形成至少一个模式和/或符号，所述至少一个模式和/或符号在部件1不工作时不可见。9根据上述权利要求之一所述的有机部件1，其中所述暗区4的每个面单元的辐射功率为所述亮区5的每个面单元的辐射功率的最高50。10根据上述权利要求之一所述的有机部件1，其中支承体2借助玻璃构建，第一电极11借助透明导电氧化物构建并且第二电极22借助金属构建。11根据上述权利要求之一所述的有机部件1，其中第一电极11的。

6、背离支承体2的主面6在所述暗区4中显示出比在所述亮区5中高的逸出功，其中第一电极11的材料在所述暗区4中和在所述亮区5中相同。12一种用于制造有机光电子部件1的方法，具有以下步骤提供带有第一电极11的支承体2，将光敏材料9施加在第一电极11上，并且在区带13之外将该材料曝光，移除光敏材料9，其中第一电极11的厚度保持不变，将另外的光敏材料14施加在第一电极11上，并且在下部区域15之外将该材料曝光，移除所述另外的光敏材料14，以及至少在第一电极11上产生带有至少一个有机有源层33的有机层序列3和第权利要求书CN102362213ACN102362230A2/2页3二电极22，其中在第一电极11。

7、的背离支承体2的主面6上的逸出功在其中区带13和下部区域15交叠的至少一个交叠区域16中与第一电极11的其余区域相比下降。13根据上一权利要求所述的方法，其中在曝光步骤和移除所述另外的光敏材料14的步骤之间在另一步骤中在下部区域15之外将第一电极11的材料移除，并且其中通过所述交叠区域15成形至少一个亮区5，并且其中通过下部区域15的其余的、不属于所述亮区5的区域成形至少一个暗区4。14根据权利要求12或13所述的方法，其中第一电极11借助氧化铟锡成形或者由氧化铟锡成形，借助包括边界值的240NM到380NM之间的波长执行所述光敏材料9，14的曝光，并且将正性光刻胶用作所述光敏材料9，14并且。

8、在交叠区域16中将两种光敏材料9，14显影。权利要求书CN102362213ACN102362230A1/8页4有机光电子部件和用于制造有机光电子部件的方法0001提出了一种有机光电子部件。此外提出了一种用于制造有机光电子部件的方法。0002要解决的任务在于，提出一种具有亮区和暗区的有机光电子部件，亮区和暗区在部件不工作时不能区分。另一要解决的任务在于，提出一种用于制造这种有机部件的方法。0003根据有机部件的至少一个实施形式，这种有机部件具有支承体。支承体用于以机械方式支持部件。于是可以通过支承体将部件以机械方式稳定化。支承体可以包括以下材料中的一种或者由以下材料中的一种构成玻璃、玻璃膜、石。

9、英、塑料、塑料膜、金属、金属膜、硅。优选地，衬底对于要由部件发射的电磁辐射完全或部分地透明或者半透明。0004根据部件的至少一个实施形式，在支承体上施加有第一电极。第一电极可以与支承体直接、紧紧地接触。同样可能的是，在支承体和第一电极之间局部或者整面地施加有至少一个中间层。通过中间层可以将支承体的表面特性匹配于第一电极。例如，中间层用于支承体和第一电极之间的增附。也可以通过中间层减小支承体表面的粗糙度。如果存在中间层，则该中间层优选地相对于要由部件发射的辐射透明或者半透明地构建。0005根据部件的至少一个实施形式，第一电极对于要从部件发射的辐射透射辐射地、优选地透明地构建。例如，第一电极实施为。

10、阳极。第一电极于是用作空穴注入的材料。第一电极例如由透明导电氧化物构成。合适的材料例如尤其是氧化锌、氧化锡、氧化镉、氧化钛、氧化铟、氧化铟锌或者氧化铟锡。第一电极的材料可以具有掺杂材料并且至少局部地P掺杂或者N掺杂。0006根据部件的至少一个实施形式，在第一电极的背离支承体的主侧上施加有有机层序列。有机层序列包括至少一个有机有源层。有源层构建为在部件的工作中产生要发射的电磁辐射。辐射的波长在200NM到3000NM之间的光谱范围中、优选地在350NM到850NM之间的范围中。尤其在工作中在有源层中产生可见辐射。0007根据部件的至少一个实施形式，有机层序列除了至少一个有机有源层之外具有至少一个。

11、载流子注入层和/或载流子输运层和/或载流子停止层。0008根据部件的至少一个实施形式，有机有源层包括至少一个有机聚合物、有机低聚物、有机单体、有机的小的非聚合分子或者其组合。0009根据部件的至少一个实施形式，在有机层序列的背离支承体的侧上施加有第二电极。有机层序列于是位于第一电极和第二电极之间。例如第二电极实施为阴极。例如第二电极包括以下材料的一种或者由这种材料构成铝、钡、铟、银、金、镁、钙、锂、钢。优选地，第二电极对于在有机层序列中产生的辐射不透射和/或反射性地来构建。可能的是，除了支承体之外，第二电极以机械方式将部件稳定化。0010根据部件的至少一个实施形式，该部件具有辐射透射面。辐射透。

12、射面可以是部件的边界面，通过其，在有源层中产生的辐射或者该辐射的一部分或者大部分离开该部件。例如，辐射透射面通过支承体的背离有机层序列的主侧形成。辐射透射面也可以通过支承体的该主侧上的例如抗反射性作用的涂层来实现。0011根据有机部件的至少一个实施形式，在横向方向上构建有至少一个暗区和至少一个亮区。横向尤其表示沿着有机部件的至少一个主伸展方向。亮区在此是部件的辐射透射说明书CN102362213ACN102362230A2/8页5面的如下区域，在该区域中每个面单元发射比在暗区中大的辐射功率。尤其，在该部件的俯视图中于是在部件的工作中亮区显得比暗区亮。优选地，该部件具有多个亮区和多个暗区。亮区和。

13、暗区在此分别是部件的辐射透射面的相互连接的区域。0012根据部件的至少一个实施形式，不仅在至少一个暗区中而且在至少一个亮区中完全地或者局部地将第一电极和第二电极以及有机层序列施加在支承体上。换言之，亮区和暗区相对于电极和有机层序列具有相同的部件。例如，第二电极和有机层序列不仅在亮区中而且在暗区中在制造容差的范围中相同地制成。例如，第二电极同样是尤其连续地在暗区和亮区上伸展的层，该层优选地具有在制造容差范围中恒定的厚度。这就是说，辐射透射面在亮区和暗区中的结构化并不通过第一电极、第二电极和有机层序列的造型或者几何构型来实现。0013根据有机部件的至少一个实施形式，该有机部件具有暗区的第一反射性。。

14、例如，第一反射性是辐射透射面在暗区中的反射性。相应地，部件具有亮区的第二反射性，其例如是辐射透射面在亮区中的反射性。0014根据有机部件的至少一个实施形式，暗区的第一反射性与亮区的第二反射性彼此偏差最高15、优选地最高10、尤其最高5。换言之，在亮区中在辐射透射面上的反射性与在暗区中在辐射透射面上的反射性相等或者优选地在制造容差的范围中相等。0015反射性例如相应地为入射的辐射功率与反射性的、出射的辐射功率的商。为了确定反射性，于是例如将射到辐射透射面上的光功率测量并且与辐射透射面所反射的光功率比较。如果例如暗区的第一反射性是15，则亮区的第二反射性优选地在10到20之间，包括边界值。0016。

15、在有机光电子部件的至少一个实施形式中，该部件包括支承体以及安置在支承体上的第一电极。此外，该部件包含带有至少一个有机有源层的有机层序列。此外，该部件具有第二电极，使得有机层序列位于第一电极和第二电极之间。在横向方向上形成至少一个暗区和至少一个亮区。不仅在暗区中而且在亮区中，局部地或者整面地将第一电极和第二电极以及有机层序列施加在支承体上。暗区的第一反射性与亮区的第二反射性相差最高15。0017通过至少一个亮区和至少一个暗区可以在部件工作中构建模式和/或标签和/或符号。亮区形成例如模式的明亮、发光的区域。通过暗区不发光或者较弱地发光形成与亮区的对比。通过暗区的第一反射性与亮区的第二反射性近似相等。

16、的方式而可能的是，例如在部件工作中示出的模式在部件不工作时并不可见。换言之，当部件不工作时，以肉眼从外部可以看到部件，尤其是部件的辐射透射面显得均匀并且未结构化。这就是说，在部件不工作时，模式不能被观察者识别。0018根据部件的至少一个实施形式，在至少一个暗区中在第一电极的背离支承体的主面上施加有具有自组织的分子的单层。单层尤其仅仅在暗区中施加，使得亮区没有单层。优选地，整个暗区被单层覆盖。换言之，暗区可以仅仅在如下位置，在那里有机层序列尤其在垂直于第一电极的主面的方向上产生单层。单层优选地表示主侧上的分子的层水平仅仅为恰好一个分子。因此，在单层中优选地没有相同的分子彼此叠置。0019单层于是。

17、位于第一电极和有机层序列之间。单层例如可以通过印刷方法施加到第一电极上。单层的可实现的结构尺寸在横向方向上例如为100M、尤其为25M。优选地，说明书CN102362213ACN102362230A3/8页6结构尺寸仅仅受例如所使用的印刷方法在产生单层时的位置分辨率限制。换言之，可以产生单层的非常精致的模式。0020根据有机部件的至少一个实施形式，单层无色地构建。换言之，单层的吸收系数和/或反射系数在可见的光谱范围中近似与波长无关。例如，吸收系数和/或反射系数在470NM到650NM之间的光谱范围中在10的偏差以下、尤其3的偏差以下为恒定的。例如，吸收系数在0到10之间，尤其在001到3之间，。

18、包括边界值。0021根据有机部件的至少一个实施形式，单层电绝缘地构建。在垂直于第一电极的方向上，于是在部件的工作中不进行通过单层的电流流动。如果有机层序列具有可忽略的横向导电能力，则辐射在有机层序列中仅仅在如下区域中产生，在这些区域中未施加单层。优选此，单层在垂直于第一电极的方向上具有为至少1MV/CM、尤其为至少30MV/CM的击穿电压。0022根据有机部件的至少一个实施形式，单层的厚度在垂直于第一电极的方向上在05NM到50NM之间、尤其在10NM到30NM之间，包括边界值。单层于是与在有机层序列中产生的辐射的波长相比非常薄。因此，单层不影响或者仅仅可忽略地影响部件的光学特性、尤其是光学折。

19、射率。0023根据有机部件的至少一个实施形式，单层借助分子形成或者由如下分子构成，这些分子具有长的脂肪链并且包括作为头部基团的磷酸基、硅酸基、羧酸基、三氯甲苯基或者类似的基团。可替选地或者附加地，单层的分子也可以包含带有所结合的环系RINGSYSTEM例如苯或者环戊烷的大的基团。这种分子的示例是2三甲氧基硅烷乙基苯或者32三甲氧基硅烷乙基嘧啶。0024根据有机部件的至少一个实施形式，支承体在朝向层序列的侧在暗区中具有粗化部。换言之，支承体的朝向层序列的侧在亮区中近似平滑并且在暗区中有针对性地粗糙。粗化部于是位于支承体和第一电极之间。0025根据有机部件的至少一个实施形式，辐射透射面在制造容差的。

20、范围中在亮区中以及在暗区中具有相同的性质，例如在粗糙度方面相同的性质。换言之，尤其是支承体的背离有机层序列的侧并未结构化。0026根据有机部件的至少一个实施形式，粗化部的平均粗糙度在5NM到1M之间、尤其在20NM到500NM之间，包括边界值。粗糙度于是尤其具有如下平均粗糙度，该平均粗糙度小于或者等于在有机层序列中产生的辐射的波长。0027根据有机部件的至少一个实施形式，粗化部和/或暗区具有为至少1MM、尤其至少3MM的横向结构尺寸。换言之，粗化部以及优选地暗区在一个或两个方向上具有至少为上述值的伸展。粗化部于是可以平面地成形。0028根据有机部件的至少一个实施形式，支承体的粗化部在暗区中通过。

21、凹槽状或者沟道状的结构形成，这些结构具有与平均粗糙度对应的平均深度。凹槽状可以表示结构的平均长度比平均宽度大至少十倍。0029根据有机部件的至少一个实施形式，在支承体和第一电极之间存在中间层。中间层优选地具有如下折射率，该折射率与支承体的折射率偏差最高01、尤其最高005。支承体的折射率例如为150，则中间层的折射率优选地在145到155之间。例如，中间层是氧化物层、尤其是二氧化硅层。说明书CN102362213ACN102362230A4/8页70030根据有机部件的至少一个实施形式，中间层的厚度在垂直于第一电极的方向上在10NM到200NM之间、尤其在15NM到40NM之间，包括边界值。如。

22、果中间层施加在粗化部之上，则中间层的背离支承体的侧优选地在粗化部的区域中比支承体平滑。中间层的平均厚度可以在支承体的粗化部的平均粗糙度的范围中。0031根据有机部件的至少一个实施形式，至少一个暗区的每个面单元的平均辐射功率为至少一个亮区的每个面单元的平均辐射功率的最高60、尤其最高45。例如，在暗区中近似不发射辐射功率。同样可能的是，暗区的每个面单元的辐射功率在亮区的每个面单元的辐射功率的1到60之间、优选地在2到45之间、尤其在4到30之间，包括边界值。0032根据有机部件的至少一个实施形式，支承体借助玻璃构建，第一电极借助透明导电氧化物构建并且第二电极借助金属构建或者由所提及的材料构成。在。

23、有机层序列中产生的辐射于是穿过支承体并且尤其在支承体的背离有机层序列的主侧发射。0033根据有机部件的至少一个实施形式，第一电极的背离支承体的主面在至少一个暗区中具有比在至少一个亮区中高的逸出功。逸出功例如是最小能量，该能量被需要以便将载流子例如电子从第一电极内的点运输到第一电极的表面之外的点。例如，第一电极在暗区中的逸出功与在亮区中的逸出功相差至少010EV、优选地至少025EV、尤其至少040EV。逸出功的绝对值在此优选地在40EV到50EV之间，包括边界值，尤其为大约45EV。逸出功的修改优选地并不通过如下方式实现施加例如具有薄的、尤其是单层的有机分子的独立的涂层。换言之，第一电极于是没。

24、有这种独立的、影响逸出功的涂层。0034此外，提出了一种用于制造光电子有机部件的方法。例如可以借助该方法制造有机光电子部件，如其结合上述事实形式中的一个或多个所描述那样。因此，有机光电子部件的特征也对于在此描述的方法公开并且反之亦然。0035在该方法的至少一个实施形式中，该方法包括以下步骤0036提供带有第一电极的支承体；0037在第一电极上施加光敏材料，并且在区带之外将该光敏材料曝光，0038移除光敏材料，其中第一电极的厚度在制造容差的范围中保持不变，0039在第一电极上施加另外的光敏材料，并且在下部区域之外将该另外的光敏材料曝光，0040移除该另外的光敏材料，以及0041至少在第一电极上产。

25、生带有至少一个有机有源层的有机层序列和第二电极。在此优选地，逸出功在第一电极的背离支承体的主面上在其中区带与下部区域交叠的至少一个交叠区域中与第一电极的其余区域相比下降。0042换言之，在一个方法步骤中例如将光刻胶施加在第一电极上，并且光刻胶至少局部地曝光。随后，例如在显影之后将光刻胶移除，其中第一电极不必结构化。在该方法的另一步骤中，另一种光敏材料例如光刻胶施加在第一电极上、曝光并且尤其也显影。可选地，可以通过将第二光刻胶至少局部地移除将第一电极结构化。同样可能的是，又将第二光刻胶移除，而第一电极并不通过取走材料来结构化。0043至少一个亮区于是通过第一电极的区域形成，在该区域中曾两次将光敏。

26、材料施加并且又移除并且该区域并未经受光敏材料的曝光。现在假设，优选地通过光敏的、未曝光的说明书CN102362213ACN102362230A5/8页8材料的两次涂敷、两次移除和优选地两次显影可以将第一电极的逸出功降低。降低的逸出功又引起，如此处理的区域在所制造的部件的工作中显得更亮。0044根据该方法的至少一个实施形式，第一电极借助氧化铟锡构建或者由氧化铟锡构成。此外，光敏材料和/或另外的光敏材料通过借助O2等离子体灰化和/或通过借助溶剂冲洗来移除。0045根据该方法的至少一个实施形式，在曝光另外的光敏材料的步骤和移除另外的光敏材料的步骤之间在附加的方法步骤中在其中该另外的光敏超材料并未曝光。

27、过的下部区域之外将第一电极的材料完全或者部分地移除。换言之，第一电极通过由该另外的光敏材料形成的掩膜结构化，其中结构化通过将第一电极在下部区域之外例如通过刻蚀掉的材料取走来实现。0046根据该方法的至少一个实施形式，通过其中下部区域和区带交叠的交叠区域形成至少一个亮区。亮区于是构建第一电极的至少一个区域，0047在该区域中曾两次将光敏材料施加在第一电极上，0048该区域未曾曝光，0049在该区域中光敏材料曾分别被再次移除，以及0050在该区域中优选地光敏材料也分别显影。0051根据该方法的至少一个实施形式，在第一电极的不属于下部区域的区域中成形有至少一个暗区。至少一个亮区和至少一个暗区并不在第。

28、一电极的厚度或者材料组成方面不同，而是优选地仅仅通过在第一电极的背离支承体的主侧上的逸出功不同。0052根据该方法的至少一个实施形式，第一电极由氧化铟锡缩写ITO成形或者由ITO构成。光敏材料和另外的光敏材料的曝光借助在240NM到380NM之间包括边界值的波长进行。优选地分别将正性光刻胶用作光敏材料。尤其，在亮区中优选地进行光敏材料以及另外的光敏材料的显影。0053根据该方法的至少一个实施形式，将光敏材料完全移除。换言之，制成的、有机部件于是没有光敏材料。0054其中可以使用在此描述的有机部件的一些应用领域例如是显示器或者指示装置的背光照明。此外，可以将在此所描述的光电子部件用在用于投影目的。

29、的照明装置中、用在大灯或光辐射器中或者在通用照明的情况下使用。0055下面，借助实施实例参考附图进一步阐述在此描述的部件以及在此描述的方法。相同的附图标记在此说明各个附图中相同的元件。然而在此并未示出合乎比例的基准，更确切而言，各个元件可以为了更好的理解而夸大地示出。0056其中0057图1示出了在此描述的有机光电子部件的一个实施例的示意性截面图，0058图2示出了确定亮区和暗区的反射性的示意图，0059图3和4示出了在此描述的有机部件的另外的实施例的示意性截面图，以及0060图5示出了用于制造在此描述的有机光电子部件的在此描述的方法的一个实施例的示意图。0061在图1中可以看到有机光电子部件。

30、1的一个实施例。在支承体2的主侧20上施加有第一电极11。在第一电极11的背离支承体2的主面6上施加有带有有机有源层33的说明书CN102362213ACN102362230A6/8页9有机层序列3。在有机层序列3的背离支承体2的侧上存在第二电极22。于是，在部件1的工作中，有机层序列3通过第一电极11和第二电极22来供电。在有机层序列33中，在部件1的工作中生成电磁辐射，优选地为在可见或者近紫外的光谱范围中的电磁辐射。0062支承体2例如借助玻璃或者借助玻璃膜构建。第一电极11例如由氧化铟锡或者氧化铟锌构成。支承体2的厚度在垂直于支承体2的主侧20的方向上例如在200M到2MM之间，包括边界。

31、值。第一电极11的厚度例如在50NM到200NM之间，包括边界值，尤其为大约120NM。第一电极11的材料的折射率尤其在17到18之间，包括边界值。支承体2的材料的折射率在145到155之间，包括边界值。有机层序列3具有在100NM的量级中的厚度。第二电极22的厚度优选地在20NM到500NM之间的范围中，该第二电极例如通过气相淀积的金属或者通过钢膜形成。0063在第一电极11的主面6上局部地施加有单层7。单层7由自组织的分子构成。例如，单层7借助印刷方法施加在主面6上。单层7的厚度在垂直于第一电极11的主面6的方向上尤其在05NM到5NM之间，包括边界值。单层7的厚度于是优选地比有机层序列3。

32、的厚度小许多倍。单层7电绝缘并且在光学上透明。0064因为有机层序列3在平行于第一电极11的主面6的方向上仅仅具有可忽略的横向导电能力，所以仅仅在其中未将单层7施加在第一电极11上的区域中实现对有机有源层33的供电。其中施加单层7的区域构建暗区4。其中未施加单层7的区域形成亮区5。在有机部件1的工作中，暗区4显得明显比亮区5暗。在暗区4中，在部件1的工作中在有源层33中近似地不产生电磁辐射。0065在部件1中，于是第一电极、有机层序列3以及第二电极22并不相对于其在暗区4和在亮区5的构型而彼此不同。尤其通过第一电极11基本上覆盖支承体2的整个主侧20的方式，在部件1不工作时不可识别通过单层7形。

33、成的亮区5和暗区4的模式。因为第一电极11具有与支承体2明显不同的折射率以及由此不同的反射特性，所以在例如在暗区4中被移除的第一电极11的情况下可以在部件1不工作时识别通过暗区4并且通过亮区5形成的模式。0066在有机层序列33中产生的辐射通过支承体2离开部件1。支承体2的背离第一电极11的主侧在此形成辐射透射面17。优选地，第二电极22相对于在有机层序列3中产生的辐射反射性地和/或不透射辐射地构建。0067换言之，在部件1不工作时并且朝辐射透射面17看去，亮区4和暗区5并不可以彼此区分。在第二电极22不透光的情况下，这表示亮区4的第一反射性近似地与暗区5的第二反射性并不不同。0068在图2中。

34、进一步阐述第一反射性和第二反射性。反射性可以通过如下方式确定将在至少一个亮区4中和在至少一个暗区5中的射到辐射透射面17上的辐射R4，1、R5，1的功率与在辐射透射面17上反射的辐射R4，2、R5，2的辐射功率确定并且互相比较。暗区4的第一反射性于是为辐射功率R4，2和R4，1的商。相应地，亮区5的第二反射性是辐射功率R5，2和R5，1的商。0069例如，第一反射性和第二反射性在可见的光谱范围中，即尤其在480NM和640NM之间，以及在0到70之间包括边界值的入射角范围中并不互相偏差或者近似地并不互相偏差。说明书CN102362213ACN102362230A7/8页100070对于部件1透。

35、明或者透射辐射的情况，可以对于第一反射性和对于第二反射性可替选地或者附加地，以类似方式将部件1在暗区4和在亮区5中的透射值确定并且互相比较。优选地，于是在暗区4中和在亮区5中的透射值并不彼此不同或者近似地并不彼此不同，以及优选地其反射性也并不彼此不同或者近似地并不彼此不同。0071概括而言，暗区4和亮区5在部件1不工作时不能从部件外部以视觉方式区分的原因尤其在于第一电极11不仅覆盖暗区4而且覆盖亮区5，并且单层7并不影响或者并不显著影响在部件1上或者穿过部件1的辐射的反射性、吸收和/或透射。0072在图3中示出了部件1的另一实施例。在第一电极11和支承体2之间安置有例如由氧化硅构成的中间层12。

36、。中间层12的厚度在垂直于第一电极11的主面6的方向上例如为大约20NM。0073在暗区4中，支承体2的主侧20具有粗化部8。粗化部8被中间层12覆盖。中间层12的背离支承体2的主侧近似平滑。换言之，中间层12可以将支承体2的粗化部8完全或者部分地平滑。0074第一电极11、第二电极22以及有机层序列3于是在支承体2的主侧20上在制造容差的范围中完全相同地施加。在横向方向上，在整个有机层序列3中在部件1的工作中产生辐射。通过粗化部8实现从暗区4出来朝着亮区5离去的光偏转。由此，在辐射透射面17离开部件1的每个单位面积的平均辐射功率在暗区4中比在亮区5中小了例如50。通过粗化部近似地并不影响辐射。

37、透射面和第一电极11的反射性。在部件1不工作时，朝着辐射透射面17看于是并不能区分暗区4和亮区5。0075粗化部8的平均粗糙度例如在20NM到500NM之间，包括边界值。粗化部例如可以通过激光照射支承体2的主侧20或者通过借助带有所限定的粒度的磨削工具磨削主侧20来实现。粗化部8可以相对于支承体2的主伸展方向均质地构建或者例如以与粗糙度对应的平均深度的近似平行走向的沟道为形式来实现。0076在根据图4的实施例中，第一电极11A、11B又是在支承体2的主侧20之上连续的层。然而，第一电极11A、11B的主面6在暗区4中具有比在亮区5中高的逸出功。由此在暗区4中比在亮区5中将更少的载流子注入到有机。

38、层序列中。由此，暗区4显得较暗，因为在部件1的工作中在暗区4中产生较少辐射。在部件1不工作时，朝辐射透射面17看，无法以肉眼区分暗区4和亮区5。0077在亮区5中的第一电极11B以及在暗区4中的第一电极11A的主面6上的逸出功例如可测量，其中将第二电极22和有源层序列从第一电极11移除，其中第一电极11A、11B的主面6近似地并不改变。接下来，逸出功可以局部地例如通过光电发射分光镜来测量。0078可选地，也可以在根据图1和4的实施例中在电极11和支承体12之间施加中间层12在图1和4中未示出。0079在图5中示出了一种用于制造例如根据图4的有机光电子部件的方法。0080在一个方法步骤中，参见图。

39、5A，在支承体2的主侧20上施加有第一电极11。例如，第一电极由氧化铟锡缩写ITO构成。0081在图5B中示出，在第一电极11的主面6上施加有光敏材料9并且尤其也显影。光敏材料9的厚度例如为大约2M。光敏材料9优选地为正性光刻胶，英语为POSITIVERESIST。这就是说，通过曝光，光敏材料9尤其在显影之后至少部分地损毁或者对于确定的说明书CN102362213ACN102362230A8/8页11溶剂可溶。0082光敏材料例如是AZ1518或者OCG825。对于光敏材料，例如MIF350用作显影剂。曝光优选地借助带有大约4MW/CM2的辐射功率和大约20S的曝光持续时间的HG高压灯或者HG。

40、XE高压灯的未滤光的紫外辐射来进行。曝光例如仅仅在第一电极11的区带13外部进行。在图5B中曝光通过箭头示出。0083如在图5C中所示那样，下面剥离光敏材料9。在剥离光敏材料9时，相对于第一电极11不进行材料剥离或者不进行显著的材料剥离。换言之，第一电极11的厚度在垂直于支承体2的主侧20的方向上不受光敏材料9的剥离的影响。剥离优选地通过借助氧气离子体灰化或者通过借助溶剂例如为乙二醇酯冲洗来进行。0084此外，在第一电极11上参见图5D施加有另外的光敏材料14并且优选地也显影。另外的光敏材料14可以是正性光刻胶。在下部区域15外部也将另外的光敏材料14曝光，这通过箭头示出。可选地也可能的是，区。

41、带13和/或下部区域15包括支承体2的整个主侧20，其中于是可以省去另外的光敏材料14的曝光，同样也可以省去光敏材料9的曝光。0085第一电极11的区带13被下部区域15完全或者部分地围绕，在区带13之外已经进行光敏材料9的曝光。其中下部区域15和区带13交叠的区域为交叠区域16。在交叠区域16中于是将光敏材料9，14分别显影，然而未曝光。0086在另一可选的方法步骤中参见图5E，将另外的光敏材料在下部区域15外部移除。此外，可以在下部区域15外部将第一电极11剥离。换言之，第一电极11的结构化通过第一电极11的材料的材料剥离进行。尤其，支承体2的主侧20至少局部地暴露。0087如在图5F中所。

42、示的那样，接下来将另外的光敏材料14剥离，而不改变第一电极11在下部区域15中的厚度。0088通过两次显影和两次移除光敏材料9，14，在交叠区域16中在主面6上第一电极11B的逸出功与交叠区域16外部的第一电极11A相比下降。0089随后，部件1制成，参见图5G。在此施加带有至少一个有源层33的有机层序列3以及第二电极22。施加在此可以仅仅在第一电极11上进行或者如在图5G中所示那样也整面地进行。0090可选地可能的是，在图5G中未示出的另外的层例如为了包封部件1和尤其包封有机层序列3而施加。此外可选地可能的是，在辐射穿透面17上例如施加有抗反射层。0091在此描述的发明并不通过借助实施例的描。

43、述受限。更确切而言，本发明包括任意新特征以及特征的任意组合，这尤其包含权利要求中的特征的任意组合，即使该特征或者该组合本身并未在权利要求或者实施例中明确说明。0092该专利申请要求德国专利申请1020090155740和2020090229027的优先权，其公开内容通过引用结合于此。说明书CN102362213ACN102362230A1/5页12图1图2说明书附图CN102362213ACN102362230A2/5页13图3图4说明书附图CN102362213ACN102362230A3/5页14图5A图5B图5C说明书附图CN102362213ACN102362230A4/5页15图5D图5E图5F说明书附图CN102362213ACN102362230A5/5页16图5G说明书附图CN102362213A。