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本发明公开了一种非晶Si-B-C-N四元陶瓷前驱物的制备方法及其制该前驱物的装置,该制备方法首先采用含乙烯基的氯硅烷和硼烷为原料制得反应中间体,然后向反应中间体中通入氨气交联聚合制得非晶Si-B-C-N四元陶瓷前驱物,制得的前驱物中经红外光谱检测未发现氯化铵。通过该装置上部设置的多个接口,以及多孔陶瓷板,能够较为方便地与外部设置的多种气源、冷却系统、加热系统、回流系统等进行组合与拆分来制备不同化学。