一种新型抽气管路连接件.pdf

一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。本发明有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了气流阻力，减少了零件体积，为设备预留了更多维护空间。

1.一种新型抽气管路连接件，其特征在：包括双孔法兰盘，锥
形法兰管，底部法兰盘和法兰接头；双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗
的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端，法兰接头固定在锥
形法兰管的外面。

一种新型抽气管路连接件

技术领域：本发明涉及一种抽气管路的连接件，尤其是一种对等
离子增强化学气相沉积腔体进行抽气的新型管路连接件。

背景技术：目前连接PECVD(等离子增强化学气相沉积)腔体
和Foreline(前级真空管线)的连接件都是一个入口一个出口的结
构，这样势必会增大连接件的体积，对设备的维护空间减小了。

发明内容：针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种新型抽
气管路连接件。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种新型抽气管路
连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双
孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管
细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。

本发明有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了气
流阻力，减少了零件体积，为设备预留了更多维护空间。

附图说明：

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式：

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方
案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部
分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普
通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，
都属于本发明保护的范围。

如图1所示：一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘1，锥
形法兰管2，底部法兰盘4和法兰接头4。双孔法兰盘1固定在锥形
法兰管2粗的一端，底部法兰盘4固定在锥形法兰管2细的一端。法
兰接头4固定在锥形法兰管2的外面。