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1、(10)申请公布号 CN 103528964 A (43)申请公布日 2014.01.22 CN 103528964 A (21)申请号 201310269165.4 (22)申请日 2013.06.28 2012-148202 2012.07.02 JP G01N 21/21(2006.01) (71)申请人 精工爱普生株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 舟本达昭 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 余刚 吴孟秋 (54) 发明名称 分光成像仪 (57) 摘要 本发明提供一种分光成像仪, 所述分光成像 仪具备 : 光源装置和拍摄装置, 上述光源。
2、装置具 有光源部、 第一透镜组以及第一偏光单元, 上述拍 摄装置具有第二偏光单元、 第二透镜组、 滤光器以 及拍摄单元。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 5 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (10)申请公布号 CN 103528964 A CN 103528964 A 1/2 页 2 1. 一种分光成像仪, 其特征在于, 所述分光成像仪具备 : 光源装置和拍摄装置, 所述光源装置具备光源部、 第一透镜组以及第一偏光单元, 所述拍摄装置具备第二偏光单元、 第二透镜组、 滤光。
3、器以及拍摄单元。 2. 根据权利要求 1 所述的分光成像仪, 其特征在于, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元具备直线偏光部, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元被配置成使所述第一偏光单元的直线偏光方 向与所述第二偏光单元的直线偏光方向直交。 3. 根据权利要求 2 所述的分光成像仪, 其特征在于, 所述直线偏光部是直线偏光板。 4. 根据权利要求 1 所述的分光成像仪, 其特征在于, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元具备圆偏光部, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元被配置成使所述第一偏光单元的圆偏光的旋 转方向与所述第二偏光单元的圆偏光的旋转方向为相同方向。 5. 根据权利要求 4 所述的。
4、分光成像仪, 其特征在于, 所述圆偏光部包括 /4 相位差板。 6. 根据权利要求 1 至 5 中任一项所述的分光成像仪, 其特征在于, 所述滤光器是波长可变滤光器。 7. 一种分光成像仪, 其特征在于, 所述分光成像仪具备 : 光源、 第一偏光单元、 第二偏光单元、 滤光器以及拍摄单元, 所述第一偏光单元被配置在所述光源与拍摄对象之间的光路上, 所述第二偏光单元被配置在所述拍摄对象与所述拍摄单元之间的光路上。 8. 根据权利要求 7 所述的分光成像仪, 其特征在于, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元具备直线偏光部, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元被配置成使所述第一偏光单元的直线偏光方 。
5、向与所述第二偏光单元的直线偏光方向直交。 9. 一种分光成像仪, 其特征在于, 所述分光成像仪具备 : 具有光源和第一偏光单元的光源部 ; 以及具有第二偏光单元、 滤光器及受光部的拍摄部, 所述第一偏光单元和所述第二偏光单元被配置成使所述第一偏光单元的偏光方向与 所述第二偏光单元的偏光方向直交。 10. 一种分光成像仪, 其特征在于, 具备 : 光源, 向拍摄对象照射直线偏光的光 ; 以及 受光部, 入射从所述拍摄对象反射后的光, 且具备直线偏光板 ; 所述直线偏光板被配置成使偏光方向与所述光源的光的偏光方向直交。 11. 一种分光成像仪, 其特征在于, 具备 : 光源, 向拍摄对象照射圆偏光。
6、的光 ; 以及 受光部, 入射从所述拍摄对象反射后的光, 且具备直线偏光板和 /4 相位差板 ; 通过所述受光部的直线偏光板和 /4 相位差板而获得的圆偏光的旋转方向与从所述 权 利 要 求 书 CN 103528964 A 2 2/2 页 3 光源照射的光的圆偏光的旋转方向相同。 权 利 要 求 书 CN 103528964 A 3 1/7 页 4 分光成像仪 技术领域 0001 本发明涉及分光成像仪。 背景技术 0002 作为在不破坏对象物的前提下获取对象物的成分或所含物质的信息的方法, 广泛 使用获取对象物的光谱图像数据并分析该数据后得到成分信息的方法。例如, 专利文献 1 中公开了以下。
7、分光图像输入系统, 作为获取对象物的特定部位的光谱数据的方法, 包括拍 摄整个对象物后获取对象物图像的图像数据获取装置和获取比所获取的对象物图像更小 的范围内的光谱数据的光谱数据获取装置, 光谱数据获取装置具有高于图像数据获取装置 的波长分解能, 因此, 利用图像数据获取装置获取大致的对象物特征, 而光谱数据获取装置 获取该数据的特征部位的具体分析。由于装置本身具备确定该具体部位的设备, 因此不经 过操作者 ( 人 ) 的判断就可以迅速且稳定地对对象物的特征进行分析。 0003 另外, 在专利文献 2 中公开了这样的拍摄装置, 即单板数码相机, 使用具有窄带的 透射波长特性的分光滤波器, 使透。
8、射波长带进行变化后获取对象物的拍摄图像, 然后合成 获取的各波长带的图像, 从而可以得到对象物的分光图像。 0004 在先技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献 1 : 特开 2000-329617 号公报 0007 专利文献 2 : 特开 2009-33222 号公报 0008 但是, 近年来随着保康、 确保食品安全等动向, 对测量食品成分、 含糖量等的小型 食品检测仪等的需求越来越多。但是, 专利文献 1 所公开的分光图像输入系统除了获取对 象物的整体图像的拍摄装置以外, 还需要获取特定部位的光谱图像的光谱数据获取装置, 从而装置变大型。 另外, 装置的小型化换句话说虽然可以拍摄。
9、近的对象物, 但测量食品成分 等不是测量其表面, 而需要测量内部, 如果拍摄对象食品是具有光泽表面的食品, 就必须控 制来自光泽面的镜面反射光的影响。但是, 专利文献 2 所示的拍摄装置虽然启发了对邻近 对象物的拍摄方法, 但没有披露关于镜面反射的影响。 0009 在此, 提供即使是小型的分光成像仪也可以控制镜面反射的影响并对对象物进行 准确的分光分析的分光成像仪。 发明内容 0010 本发明是为了解决上述课题的至少一部分完成的, 可以作为以下的方式或应用例 来实现。 0011 应用例 1 0012 本应用例的分光成像仪的特征在于, 具备 : 光源装置和拍摄装置, 上述光源装置具 有光源部、 。
10、第一透镜组以及第一偏光单元, 上述拍摄装置具有第二偏光单元、 第二透镜组、 滤光器以及拍摄单元。 说 明 书 CN 103528964 A 4 2/7 页 5 0013 根据本应用例的分光成像仪, 利用光源装置所具备的第一偏光单元出射偏振光, 一旦该偏振光投射到被成分分析的对象物, 就进入对象物的内部, 经内部成分反射后的光 成为消除了出射光的偏光的光。 而在对象物表面被镜面反射的光保持所出射的偏振光的偏 光并被反射。分析光在拍摄装置侧入射, 上述分析光混合了通过对象物的内部成分消除了 偏光后的反射光和在对象物表面被镜面反射后的偏振光。从入射的分析光, 通过拍摄装置 的第二偏光单元吸收偏振光,。
11、 只有利用对象物的内部成分消除了偏光后的反射光到达拍摄 部。 因此, 可以使去掉了对象物表面形成的镜面反射成分后的分析光在拍摄部受光, 从而可 以得到能够形成准确的对象物分光分析图像的分光成像仪。 0014 应用例 2 0015 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元具备直 线偏光部, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元被配置成使上述第一偏光单元的直线偏 光方向与上述第二偏光单元的直线偏光方向直交。 0016 上述的应用例中的 “直交” 并不是指按照严格的 90 度角交叉的意思。而是将至 少组装一般的装置时的位置精度或者考虑到零部件其本身的标准偏差的 90 度角作。
12、为目标 值, 具有规定的角度范围。 根据上述的应用例, 第一偏光单元和第二偏光单元是偏光为直线 偏光的直线偏光部, 从而可以得到在对象物表面的镜面反射光的偏光的干扰(位移)少, 作 为拍摄装置可以得到能够进一步确实地去掉镜面反射光, 能够形成准确的对象物的分光分 析图像的分光成像仪。 0017 应用例 3 0018 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述直线偏光部是直线偏光板。 0019 根据上述的应用例, 可以得到装置结构简单, 容易调整第一偏光单元和第二偏光 单元的偏光轴的分光成像仪。 0020 应用例 4 0021 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元具备。
13、圆 偏光部, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元配置成使上述第一偏光单元的圆偏光的旋 转方向与上述第二偏光单元的圆偏光的旋转方向为相同方向。 0022 根据上述的应用例, 第一偏光单元和第二偏光单元是偏光成圆偏光的圆偏光部, 从而可以得到在对象物表面的镜面反射光的偏光的干扰(位移)少, 在拍摄装置中, 即使相 对光轴有围绕光轴的第二偏光单元的配置位移, 也可以利用圆偏光确实去掉镜面反射光。 因此, 可以得到能够形成准确的对象物的分光分析图像的分光成像仪。 0023 应用例 5 0024 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述圆偏光部包括 /4 相位差板。 0025 根据上述的应用例, 通过在偏。
14、光板上叠加 /4 相位差板, 从而可以容易地得到偏 光, 而且, 第一偏光单元和第二偏光单元可以具有相同的圆偏光部, 因此可以得到容易使圆 偏光的方向一致的分光成像仪。 0026 应用例 6 0027 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述滤光器是波长可变滤光器。 0028 根据上述的应用例, 使用波长可变滤光器, 可以在从对象物含有的多种成分中获 取的所需成分的分光图像的波长范围通过一台分光成像仪获取所需要的分光图像。 说 明 书 CN 103528964 A 5 3/7 页 6 0029 应用例 7 0030 根据上述的应用例, 其特征在于, 具备 : 光源、 第一偏光单元、 第二偏光单元。
15、、 滤光 器以及拍摄单元, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元被配置成上述第一偏光单元的直 线偏光方向与上述第二偏光单元的直线偏光方向直交。 0031 根据本应用例的分光成像仪, 利用光源装置所具备的第一偏光单元出射偏振光, 一旦该偏振光投射到被成分分析的对象物, 就进入对象物的内部, 被内部成分反射的光成 为消除了出射光的偏光的光。 而在对象物表面被镜面反射的光保持所出射的偏振光的偏振 并被反射。分析光在拍摄装置侧入射, 上述分析光混合了通过对象物的内部成分消除了偏 光的反射光和在对象物表面被镜面反射的偏振光。 通过拍摄装置的第二偏光单元从入射的 分析光吸收偏振光, 只有利用对象物的内部成分。
16、消除了偏光后的反射光到达拍摄部。 因此, 可以使去掉了对象物表面形成的镜面反射成分后的分析光在拍摄部受光, 从而可以得到能 够形成准确的对象物的分光分析图像的分光成像仪。 0032 应用例 8 0033 根据上述的应用例, 其特征在于, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元具备直 线偏光部, 上述第一偏光单元和上述第二偏光单元被配置成使上述第一偏光单元的直线偏 光方向与上述第二偏光单元的直线偏光方向直交。 0034 在上述的应用例中,“直交” 也并不是指按照严格的 90 度角交叉的意思。而是将至 少组装一般的装置时的位置精度或者考虑到零部件其本身的标准偏差的 90 度角作为目标 值, 具有规定的。
17、角度范围。 根据上述的应用例, 第一偏光单元和第二偏光单元是偏光为直线 偏光的直线偏光部, 从而可以得到在对象物表面的镜面反射光的偏光的干扰(位移)少, 作 为拍摄装置, 可以得到能够进一步确实地去掉镜面反射光, 能够形成准确的对象物的分光 分析图像的分光成像仪。 附图说明 0035 图 1 是表示第一实施方式的分光成像仪, 图 1 的 (a) 是大体结构的框图, 图 1 的 (b) 是光源装置的框图, 图 1 的 (c) 是拍摄装置的框图。 0036 图 2 是表示在第一实施方式的分光成像仪中, 图 2 的 (a) 是示意性地示出的从光 源装置出射的光与向拍摄装置入射的光的关系的概念图, 图。
18、 2 的 (b) 是说明镜面反射的光 量分布的示意图。 0037 图 3 是表示第一实施方式的分光成像仪具有的滤光器的大体结构的截面图。 0038 图 4 是表示第二实施方式的分光成像仪, 图 4 的 (a) 是大体结构的框图, 图 4 的 (b) 是光源装置的框图, 图 4 的 (c) 是拍摄装置的框图。 0039 图 5 是表示在第二实施方式的分光成像仪上, 图 5 的 (a) 是示意性地示出的从光 源装置出射的光与向拍摄装置入射的光的关系的概念图, 图 5 的 (b) 图 5 的 (d) 是说明 圆偏光的方向的记号图。 具体实施方式 0040 以下参考附图、 就本发明的实施方式进行说明。。
19、 0041 第一实施方式 说 明 书 CN 103528964 A 6 4/7 页 7 0042 图 1 是表示第一实施方式的分光成像仪 (spectroscopic image capturing apparatus) 的大体结构的框图。如图 1 的 (a) 所示, 第一实施方式的分光成像仪 100 由具 备光源装置 10 和拍摄装置 20 的图像获取装置 30( 以下称为分光相机部 30) 以及控制光源 装置 10 并对拍摄装置 20 获取的图像进行图像处理的处理控制部 40 构成。 0043 如图1的(b)所示, 光源装置10具备具有作为光源的灯的光源部1、 使来自光源部 1 的灯光 L。
20、a 成为平行光 Lb 的第一透镜组 2 以及作为使来自第一透镜组 2 的平行光 Lb 偏光 成直线偏振光 Lp 的第一偏光单元的第一偏光板 3。从光源部 1 出射的灯光 La 穿过第一透 镜组 2 和第一偏光板 3 后形成直线偏振光 Lp, 并向对象物 M 出射。另外, 在附图中用一个透 镜表示了第一透镜组 2, 也可以组合多个透镜形成第一透镜组 2。 0044 根据对象物 M 的分析项目, 适当选择从光源装置 10 发出的直线偏振光 Lp, 例如, 如果对象物 M 是食品, 分析其内部成分的情况下优选使用红外线。另外, 测量对象物 M 表面 颜色的情况下, 也可以使用可见光。因此, 使用红外。
21、线的情况下, 光源部 1 就使用钨灯、 红外 LED 等光源。 0045 如图 1 的 (c) 所示, 拍摄装置 20 具备作为将来自对象物 M 的反射光 Lr 偏光成直 线偏振光Lc的第二偏光单元的第二偏光板4、 使偏光后的直线偏振光Lc聚光以形成平行光 Ld 的第二透镜组 5、 将第二透镜组 5 形成的平行光 Ld 过滤成所需要的波长的分析光 Le 的 滤光器 6 以及作为拍摄由穿过滤光器 6 后的具有所需波长的分析光 Le 形成的图像的拍摄 单元的拍摄元件 7。另外, 在附图中用一个透镜表示了第二透镜组 5, 也可以组合多个透镜 形成第二透镜组 5。 0046 图 2 的 (a) 是示意。
22、性地示出的从光源装置 10 出射的光与向拍摄装置 20 入射的光 的关系的概念图。如图 2 的 (a) 所示, 从光源部 1 穿过第一透镜组 2 而来的平行光 Lb 是平 行光, 也是向各方向振动的光的集合。通过使该平行光 Lb 穿过在直线振动方向 P1 偏光的 第一偏光板 3, 从而向对象物 M 投射在直线振动方向 P1 偏光后的直线偏振光 Lp。 0047 被投射到对象物M上的直线偏振光Lp是上述的红外线波长范围, 因此直线偏振光 Lp 不仅到达对象物 M 的表面, 还到达内部。到达对象物 M 内部的直线偏振光 Lp 在对象物 M 内部反复反射, 从而消除偏光, 并作为向各方向振动的光的集。
23、合的反射光 Lr 进行反射。但 是, 该反射光 Lr 包含由直线偏振光 Lp 在对象物 M 的表面镜面反射而成的偏光反射光 LrP。 镜面反射得到的偏光反射光 LrP在透射到图 1 所示的拍摄元件 7 的光量分布中即反射光 Lr 的光量分布中, 如图 2 的 (b) 所示, 镜面反射得到的偏光反射光 Lrp被作为超过不含镜面反 射的其他区域的光量的光量进行反射。 这样, 由于存在因镜面反射而光量大的部位, 所以在 表示对象物 M 的内部成分的分光图像中产生很大的误差。 0048 因此, 如图 2 的 (a) 所示, 以使接收反射光 Lr 的拍摄装置 20 所具备的第二偏光板 4 的偏光轴在与第。
24、一偏光板 3 的偏光轴即偏光方向 P1 直交的方向形成偏光方向 P2 的方式 配置第二偏光板4, 从而得到清除了镜面反射成分即偏光反射光Lrp后的直线偏振光Lc。 因 此, 通过直线偏振光 Lc 穿过第二透镜组 5 和滤光器 6 后的分析光 Le 得到的分光图像可以 得到光量分布不均匀明显少的分光图像。因此, 可以得到能够获得更准确的分析结果的分 光图像。 0049 如图 1 的 (c) 所示, 穿过第二偏光板 4 并形成直线偏振光 Lc 的入射光被第二透镜 组 5 聚光, 形成平行光 Ld, 后被导向滤光器 6。在本实施方式中就滤光器 6 使用波长可变滤 说 明 书 CN 103528964。
25、 A 7 5/7 页 8 光器进行说明。波长可变滤光器被称为所谓的标准滤波器, 图 3 表示其概略截面图。如图 3 所示, 波长可变滤光器的滤光器 6 通过接合第一基板 6a 和第二基板 6b 而形成。第一基 板 6a、 第二基板 6b 是透明部件, 例如由钠钙玻璃、 水晶玻璃、 石英玻璃、 铅玻璃、 钾玻璃、 硼 硅酸盐玻璃、 无碱玻璃等各种玻璃或水晶等光透过性材料形成。 0050 在第一基板 6a 的中央部与第二基板 6b 相对的面上形成第一反射膜 6c, 在与第一 反射膜 6c 相对的第二基板 6b 的内部突起 6d 的上表面形成第二反射膜 6e。反射膜 6c、 6e 由交替层压多层高折。
26、射率层和低折射率层的电介质多层膜形成。 在可见光线或红外线的波 长区域使用滤光器 6 的情况下, 使用例如氧化钛 (TiO2)、 氧化钽 (Ta2O5)、 氧化铌 (Nb2O5) 等 作为形成电介质多层膜的高折射率层的材料, 使用例如氟化镁 (MgF2)、 氧化硅 (SiO2) 等作 为形成低折射率层的材料。另外, 在紫外线的波长区域使用滤光器 6 的情况下, 使用例如氧 化铝 (Al2O3)、 氧化铬 (HfO2)、 氧化锆 (ZrO2)、 氧化针 (ThO2) 等作为形成高折射率层的材料, 使用例如氟化镁 (MgF2)、 氧化硅 (SiO2) 等作为形成低折射率层的材料。另外, 也可以使用。
27、 例如银等金属类反射膜作为反射膜 6c、 6e。 0051 在第一基板 6a 的第一反射膜 6c 的外周形成环形的第一电极 6f。在第二基板 6b 上与第一电极 6f 相对地形成第二电极 6g。基于图 1 的 (a) 所示的处理控制部 40 的控制, 电流流过第一电极6f和第二电极6g, 并根据该电流的强度、 方向等使第一电极6f和第二电 极 6g 产生相互吸引的力。由于第一基板 6a 的形成有第一电极 6f 的区域被形成为环形的 薄壁部 6h, 该吸引力使薄壁部 6h 弯曲, 并任意改变第一反射膜 6c 和第二反射膜 6e 的间隔 G( 以下称为间隙 G), 从而通过在间隙 G 之间的光的多。
28、重干涉, 可以对入射的平行光 Ld 进行 过滤, 使规定波长的分析光 Le 出射。 0052 关于分析光 Le 如图 1 的 (c) 所示, 拍摄元件 7 例如使用 CCD(Charge Coupled Decice, 电荷耦合装置 ) 图像传感器将分析光 Le 转换成图像信号。驱动滤光器 6, 使分析 光 Le 出射 N 种波长不同的分析光 Le1、 Le2、 LeN, 并向处理控制部 40 传送基于各个分析 光 Lel、 Le2、 LeN的图像信号, 创建规定的分析图像 ( 数据 )。这些 N 种的分析光 Le1、 Le2、 LeN是从反射光 Lr 中提取赋予对象物 M 的各主要成分特点的。
29、波长的光, 由处理控 制部 40 进行图像处理, 并输出分光图像作为数据。 0053 如上所述, 第一实施方式的分光成像仪100通过使光源装置10所具备的第一偏光 板 3 与拍摄装置 20 所具备的第二偏光板 4 彼此的偏光方向直交, 从而得到来自对象物 M 的 清除了镜面反射成分的分析光Le。 因此, 可以得到高精度的分光分析用的图像。 另外, 由于 是可以容易地清除镜面反射的结构, 因此, 可以使图2的(a)所示的出射光即直线偏振光Lp 的光轴与反射光 Lr 的光轴所形成的角度 形成为容易更多地接收镜面反射的接近 0 度的 锐角并构成装置。因此, 如图 1 的 (a) 所示, 可以使分光相。
30、机部 30 进一步小型化, 例如像一 般的数码相机那样, 可以拿在手里进行分析拍摄。而且, 可以通过将处理控制部 40 也与分 光相机 30 形成一体, 得到可携带的分光成像仪 100。 0054 第二实施方式 0055 作为第二实施方式, 对与第一实施方式的分光成像仪 100 所具备的第一偏光板 3 和第二偏光板 4 是不同方式的分光成像仪 200 进行说明。在第二实施方式的分光成像仪 200 中, 与第一实施方式的分光成像仪 100 相同的结构标注相同的符号, 有时省略其说明。 0056 图 4 是表示第二实施方式的分光成像仪 200, 图 4 的 (a) 是大体结构的框图, 图 4 说 。
31、明 书 CN 103528964 A 8 6/7 页 9 的 (b) 是光源装置的结构框图, 图 4 的 (c) 是拍摄装置的结构框图。如图 4 的 (a) 所示, 分光成像仪 200 具有与第一实施方式的分光成像仪 100 相同的结构, 如图 4 的 (b)、 (c) 所 示, 在分光相机部 230 所具备的光源装置 210 和拍摄装置 220 中具有圆偏光的第一圆偏光 板 203 和第二圆偏光板 204。从光源装置 210 出射圆偏振光 Lps, 所述圆偏振光 Lps是从光 源部 l 出射的光被第一圆偏光板 203 圆偏光后的光。被出射的圆偏振光 Lps经对象物 M 反 射后的反射光Lr被。
32、第二圆偏光板204分离成右圆偏振光和左圆偏振光之后, 只使一方的圆 偏振光 Lcs穿过, 并被第二透镜组 5 聚光, 形成平行光 Ld 后被导向滤光器 6。利用滤光器 6 得到所需波长的分析光Le, 并利用拍摄元件7生成图像数据。 另外, 圆偏光板203、 204使用 使 /4 相位差板的轴向直线偏光板倾斜 45 度后接合的偏光板, 从而可以偏光成圆偏振光 后出射。 0057 图 5 是示意性地示出的从光源装置 210 出射的光与向拍摄装置 220 入射的光的关 系的概念图。如图 5 的 (a) 所示, 穿过了第一透镜组 2 后的平行光 Lb 穿过具有 /4 相位 差板的第一圆偏光板 203,。
33、 并偏光成圆偏振光 Lps后出射, 向对象物 M 照射。如从沿图示的 圆偏振光 Lps的光轴的箭头 Wp 方向观察的记号图的图 5(b) 所示, 在这个例子中, 该圆偏振 光 Lps被以在图中向左旋转出射的方式偏光。 0058 圆偏振光 Lps一旦被照射到对象物 M, 则到达对象物 M 的内部并被反射, 形成反射 光 Lr。反射光 Lr 是在对象物 M 的内部消除圆偏振光 Lps的圆偏光并且是向各方向振动的 光的集合即反射光。但是, 该反射光 Lr 包含由圆偏振光 Lps在对象物 M 的表面被镜面反射 后的圆偏振反射光 Lrs。如从沿图示的反射光 Lr 的光轴的箭头 Wr 方向观察的记号图的图。
34、 5(c) 所示, 在这个例子中, 以在图中向右旋转的方式反射该圆反射光 Lrs。即, 镜面反射光 Lrs是具有与出射后的圆偏振光 Lps的圆偏光的旋转方向的反方向旋转的圆偏振光 Lrs。 0059 反射光 Lr 入射到第二圆偏光板 204。如从沿图示的反射光 Lr 的光轴的箭头 Wr 方 向观察的记号图的图5(d)所示, 第二圆偏光板204偏光成图示中向左旋转的圆偏振光Lps。 因此, 向第二圆偏光板 204 入射的反射光 Lr 中包含的圆偏振光 Lps被偏光成反方向的旋转 的第二圆偏光板 204 吸收。 0060 因此, 在第二实施方式的分光成像仪200中, 通过使光源装置210所具备的第。
35、一圆 偏光板 203 与拍摄装置 220 所具备的第二圆偏光板 204 彼此的出射的圆偏振光的旋转方向 相同, 从而得到从对象物M清除了镜面反射成分的分析光Le。 因此, 可以得到高精度的分光 分析用图像。另外, 在第二实施方式的分光成像仪 200 中, 在图 5 的 (b) 中就圆偏振光 Lps 是向图示的左旋转, 在图 5 的 (c) 中就圆偏光反射光 Lrs 向图示的右旋转, 在图 5 的 (d) 中 就圆偏振光Lcs向图示的左旋转进行了说明, 但不限于此, 只要圆偏振光Lps和圆偏振光Lcs 是相同旋转方向的圆偏振光即可。 0061 上述的第一实施方式的分光成像仪 100 的第一偏光板。
36、 3 也可以是偏光转换元件, 例如PBS(Polarized Beam Splitter, 偏光分束器)。 通过使用偏光转换元件, 可以减少光源 装置 10 的出射光 Lp 的光量的减少量, 可以提高分析图像的亮度、 对比度等的质量。因此, 可以得到可进一步进行准确分析的分光成像仪。 0062 附图标记说明 0063 M 对象物 1 光源部 0064 2 第一透镜组 3 第一偏光板 说 明 书 CN 103528964 A 9 7/7 页 10 0065 4 第二偏光板 5 第二透镜组 0066 6 滤光器 10 光源装置 0067 20 拍摄装置 30 图像获取装置 ( 分光相机部 ) 0068 40 处理控制部 100 分光成像仪 说 明 书 CN 103528964 A 10 1/5 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 103528964 A 11 2/5 页 12 围 2 说 明 书 附 图 CN 103528964 A 12 3/5 页 13 图 3 说 明 书 附 图 CN 103528964 A 13 4/5 页 14 图 4 说 明 书 附 图 CN 103528964 A 14 5/5 页 15 图 5 说 明 书 附 图 CN 103528964 A 15 。