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1、10申请公布号CN104211293A43申请公布日20141217CN104211293A21申请号201410165996122申请日20140423201311747220130604JPC03B33/0220060171申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪府摄津市香露园32番12号72发明人西尾仁孝74专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉54发明名称反转装置57摘要本发明是有关于一种反转装置。该反转装置可缩小用以使基板反转的空间。反转装置1具备第1保持构件3A与旋转构件2。第1保持构件3A，具有保持基板W的第1保持面。旋转构件2，将第1保持构。
2、件3A支承成可沿着第1轴滑动，且以使第1保持构件的第1保持面的正反面反转的方式旋转。第1保持构件3A在第1前进位置与第1后退位置之间滑动。本发明提供的技术方案具有能以更小空间使基板反转的优点。30优先权数据51INTCL权利要求书1页说明书7页附图6页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书7页附图6页10申请公布号CN104211293ACN104211293A1/1页21一种反转装置，是用以使基板反转，其特征在于，具备第1保持构件，具有保持该基板的第1保持面；以及旋转构件，将该第1保持构件支承成能沿着第1轴滑动，且以使该第1保持构件的第1保持面的正反面反转的方式。
3、旋转；该第1保持构件在第1前进位置与第1后退位置之间滑动，该第1后退位置相比于该第1前进位置，该第1保持面较靠该旋转构件的旋转轴侧。2根据权利要求1所述的反转装置，其特征在于其进一步具备具有保持该基板的第2保持面的第2保持构件；该旋转构件将该第2保持构件支承成能沿着与该第1轴平行延伸的第2轴滑动；该第2保持构件在第2前进位置与第2后退位置之间滑动，且借由该旋转构件的旋转使该第2保持面正反面反转，该第2后退位置相比于该第2前进位置，该第2保持面较靠该旋转轴侧；该第1前进位置与该第2前进位置以该旋转轴为中心位于相反方向。3根据权利要求1或2所述的反转装置，其特征在于其中该第1保持构件进行升降。4根。
4、据权利要求1或2所述的反转装置，其特征在于其进一步具备将该旋转构件支承成能旋转且能升降的支承构件。5根据权利要求1或2所述的反转装置，其特征在于其中该旋转构件在该第1保持构件位于该第1后退位置时旋转。6根据权利要求1或2所述的反转装置，其特征在于其中该第1保持构件具有吸附该基板的吸附部。权利要求书CN104211293A1/7页3反转装置技术领域0001本发明是关于一种使基板反转的反转装置。背景技术0002液晶装置是由以液晶层介于之间的方式借由密封材贴合第1基板与第2基板的贴合基板构成例如，专利文献1。此贴合基板，从生产性的观点等考量，一般而言是先以大尺寸状态制作，再将此大尺寸基板分断成所需尺。
5、寸以制作多个贴合基板。0003将此贴合基板分断时，一般而言，需要使贴合基板正反面反转的步骤。针对此贴合基板的分断方法的一例进行说明如后，首先，以第1基板为上侧的方式固定贴合基板，在第1基板形成刻划槽。接着，使贴合基板正反面反转，以第2基板为上侧的方式固定贴合基板，从第2基板侧按压贴合基板使其挠曲，将第1基板沿着刻划槽加以分断。接着，在第2基板为上侧的状态下，在贴合基板的第2基板形成刻划槽后，使贴合基板正反面反转，以第1基板为上侧的方式固定贴合基板。接着，从第1基板侧按压贴合基板使其挠曲，将第2基板沿着刻划槽加以分断。0004专利文献1日本特开2012203235号公报0005如上所述，将基板分。
6、断时，需要使基板反转的步骤。然而，由于基板近年来大型化，因此会有基板的反转需要较大空间的问题。发明内容0006本发明的目的在于，提供一种新型的反转装置，所要解决的技术问题是使其以更小空间使基板反转。0007本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。00081本发明实施例的反转装置，是用以使基板反转，其特征在于，具备第1保持构件与旋转构件。第1保持构件，具有保持基板的第1保持面。旋转构件，将第1保持构件支承成可沿着第1轴滑动，且以使第1保持构件的第1保持面的正反面反转的方式旋转。第1保持构件在第1前进位置与第1后退位置之间滑动。第1后退位置，相比于第1前进位置，第1保持面成为旋转构。
7、件的旋转轴侧。0009根据此构成，由于第1保持构件被支承成可在第1前进位置与第1后退位置之间滑动，因此借由使第1保持构件前进至第1前进位置，可容易地进行使基板保持在第1保持构件的第1保持面的步骤。又，借由使第1保持构件后退至第1后退位置，可缩小旋转构件旋转时的反转装置的旋转半径。其结果，能以更小空间使基板正反面反转。0010本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。00112较佳为，反转装置进一步具备具有保持基板的第2保持面的第2保持构件。旋转构件将第2保持构件支承成可沿着与第1轴平行延伸的第2轴滑动。第2保持构件在第2前进位置与第2后退位置之间滑动。第2后退位置，相比于第2。
8、前进位置，第2保持面成为旋转轴侧。第2保持构件，借由旋转构件的旋转使第2保持面正反面反转。第1前进位说明书CN104211293A2/7页4置与第2前进位置以旋转轴为中心位于相反方向。0012根据此构成，由于反转装置进一步具备第2保持构件，因此在往后续步骤传送被第1保持构件反转后的基板的期间，可借由第2保持构件接受从前置步骤传送来的另一基板。其结果，可缩短在反转步骤的基板的等待时间。00133较佳为，第1保持构件进行升降。例如，反转装置进一步具备将旋转构件支承成可旋转且可升降的支承构件。根据此构成，第1保持构件进行升降以调整第1保持面的高度成为与前置步骤的装置相同高度，借此可从前置步骤顺畅地接。
9、受基板。又，调整第1保持面的高度成为与后续步骤的装置相同高度，借此可顺畅地放置基板。00144较佳为，旋转构件在第1保持构件位于第1后退位置时旋转。根据此构成，第1保持构件位于相比于第1前进位置成为旋转轴侧的第1后退位置时，旋转构件旋转，因此可缩小在反转装置的旋转半径。00155较佳为，第1保持构件具有吸附基板的吸附部。根据此构成，第1保持构件可借由以吸附部吸附基板来保持基板。0016借由上述技术方案，本发明具有能以更小空间使基板反转的优点。0017上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能。
10、够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明0018图1是反转装置的立体图。0019图2是反转装置的侧视图。0020图3是反转装置的侧视图。0021图4是反转装置的侧视图。0022图5是反转装置的侧视图。0023图6是变形例1的反转装置的立体图。0024图7是变形例2的反转装置的侧视图。0025图8是变形例3的反转装置的立体图。0026【主要元件符号说明】00271反转装置2旋转构件00283A第1保持构件3B第2保持构件00294A第1支承构件4B第2支承构件003021旋转部22A第1架部003122B第2架部23第1及第2滑动驱动部003224A24D第1第4导轨。
11、25A,25C,25D第1第4齿条齿轮003326A第1安装构件26B第2安装构件003431A,31B棒状部32A,32B连结部003533小齿轮34A,34B吸附部003641轴承凹部5旋转驱动部0037211A第1旋转轴211B第2旋转轴说明书CN104211293A3/7页50038212A第1端部212B第2端部0039221A,221B凹部231缸管0040232可动部321A,321B滑动部0041331旋转杆W，W基板具体实施方式0042为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的反转装置其具体实施方式、结构、特征及。
12、其功效，详细说明如后。0043以下，参照图式说明本发明的反转装置的实施例。图1是本实施例的反转装置1的立体图。此外，图1中，第1保持构件3A位于第1前进位置，第2保持构件3B位于第2前进位置。0044反转装置0045如图1所示，反转装置1是用以使基板W表背面反转的装置，主要具备旋转构件2与第1及第2保持构件3A,3B。以下，说明各构件的详细内容。0046旋转构件0047旋转构件2是构成为将第1及第2保持构件3A,3B支承成可滑动且旋转以使基板W表背面反转。具体而言，旋转构件2被第1及第2支承构件4A,4B支承成可旋转。此外，第1及第2支承构件4A,4B彼此相隔间隔配置，在其间配置有旋转构件2。。
13、第1及第2支承构件4A,4B具有轴承凹部41。0048旋转构件2具备旋转部21、第1及第2架部22A,22B、第1及第2滑动驱动部23、第1第4导轨24A24D、第1第4齿条齿轮25A25D。0049旋转部21可旋转地支承在第1及第2支承构件4A,4B。具体而言，旋转部21是框状的构件，第1旋转轴211A从长边方向的第1端部212A延伸，第2旋转轴211B从长边方向的第2端部212B延伸。此外，第1旋转轴211A及第2旋转轴211B往旋转轴21的长边方向图1的X方向延伸。第1旋转轴211A可旋转地支承在第1支承构件4A的轴承凹部41，第2旋转轴211B可旋转地支承在第2支承构件4B的轴承凹部省。
14、略图示。此外，此第1及第2旋转轴211A,211B成为旋转构件2的旋转轴。0050在此旋转部21的第1旋转轴211A连结有旋转驱动部5。旋转驱动部5使旋转部21以第1及第2旋转轴211A,211B为中心旋转驱动。此旋转驱动部5是安装在第1支承构件4A。旋转驱动部5可借由例如以空气为驱动源的旋转汽缸构成。0051第1及第2架部22A,22B彼此平行延伸，且往相对于包含旋转部21的旋转轴延伸方向图1的X方向的铅垂面垂直的方向图1的Y方向延伸。第1架部22A是固定在旋转部21的第1端部212A，第2架部22B是固定在旋转部21的第2端部212B。更具体而言，第1架部22A是通过第1安装构件26A安装。
15、在旋转部21，第2架部22B是通过第2安装构件26B安装在旋转部21。0052第1架部22A是形成为长方体状，在第2架部22B侧的面形成有沿着长边方向延伸的凹部221A，又，第2架部22B是形成为长方体状，在第1架部22A侧的面形成有沿着长边方向延伸的凹部221B。说明书CN104211293A4/7页60053第1滑动驱动部省略图示是设置在第1架部22A的凹部221A内，第2滑动驱动部23是设置在第2架部22B的凹部221B内。第1滑动驱动部是用以滑动驱动第1保持构件3A的构件，第2滑动驱动部23是用以滑动驱动第2保持构件3B的构件。第1及第2滑动驱动部23彼此为相同构成，可借由例如无杆缸体。
16、等构成。使用图1所示的第2滑动驱动部23说明，第2滑动驱动部23具有在第2架部22B的凹部221B内沿着长边方向延伸的缸管231、及沿着缸管231移动的可动部232。第1滑动驱动部的可动部与第1保持构件3A连结，与第1保持构件3A一体地移动。又，第2滑动驱动部23的可动部232与第2保持构件3B连结，与第2保持构件3B一体地移动。此外，可动部232的驱动源可为例如空气。0054第1第4导轨24A24D是用以将第1或第2保持构件3A,3B导引成可滑动的轨道。第1导轨24A是设置在第1架部22A的第1面上面，第2导轨24B是设置在第1架部22A的第2面下面。又，第3导轨24C是设置在第2架部22B。
17、的第1面上面，第4导轨24D是设置在第2架部22B的第2面下面。第1及第2导轨24A,24B是沿着第1架部22A的长边方向延伸，第3及第4导轨24C,24D是沿着第2架部22B的长边方向延伸。此外，第2及第4导轨24B,24D相当于本发明的第1轴，第1及第3导轨24A,24C相当于本发明的第2轴。0055第1第4齿条齿轮25A25D是为了使第1或第2保持构件3A,3B稳定地滑动而设置。第1齿条齿轮25A是设置在第1架部22A的第1面上面，第2齿条齿轮省略图示是设置在第1架部22A的第2面下面。又，第3齿条齿轮25C是设置在第2架部22B的第1面上面，第4齿条齿轮25D是设置在第2架部22B的下。
18、面。第1齿条齿轮25A及第2齿条齿轮是沿着第1架部22A的长边方向延伸，第3及第4齿条齿轮25C,25D是沿着第2架部22B的长边方向延伸。0056第1及第2保持构件0057第1保持构件3A是用以保持基板W的构件，借由旋转构件2支承成可滑动。此第1保持构件3A在图2所示的第1前进位置与图3所示的第1后退位置之间滑动。此外，图2及图3是反转装置1的侧视图，为了方便说明，省略一部分构件的记载。0058如图1所示，第1保持构件3A形成为梳状。具体而言，第1保持构件3A具有多个棒状部31A、连结部32A、二个小齿轮33、及多个吸附部34A。0059各棒状部31A是形成为往滑动方向图1的Y方向延伸，彼此。
19、相隔间隔配置。连结部32A从第2导轨24B往第4导轨24D在旋转构件2的旋转轴方向图1的X方向延伸。在此连结部32A，各棒状部31A安装在基端侧。又，连结部32A在旋转轴方向的两端部各具有二个滑动部321A。设置在连结部32A的第2导轨24B侧的端部第1端部的二个滑动部321A是安装成可在第2导轨24B滑动。又，设置在连结部32A的第4导轨24D侧的端部第2端部的二个滑动部321A是安装成可在第4导轨24D滑动。借此，第1保持构件3A可沿着第2及第4导轨24B,24D滑动。0060在连结部32A的两端部的各个可旋转地设置有一个小齿轮33，此各小齿轮33是通过旋转杆331连结。如上述，借由通过旋。
20、转杆331连结，各小齿轮33彼此同步地旋转。设置在连结部32A的第1端部的小齿轮省略图示与第2齿条齿轮咬合，设置在第2端部的小齿轮33与第4齿条齿轮25D咬合。0061各吸附部34A是设在各棒状部31A的第1面上面。各吸附部34A具有吸附孔，说明书CN104211293A5/7页7借由从此吸附孔吸附基板W以保持基板W。各吸附部34A，用以吸附基板W的吸附面朝向上方，借由此各吸附部34A的吸附面形成第1保持构件3A的第1保持面。此外，第1保持面朝向上方。0062第2保持构件3B，与第1保持构件3A同样，是用以保持基板W的构件，借由旋转构件2支承成可滑动。此第2保持构件3B在图2所示的第2前进位置。
21、与图3所示的第2后退位置之间滑动。此外，第2前进位置，以旋转构件2的旋转轴为中心，与第1前进位置为点对称。0063第2保持构件3B具有多个棒状部31B、连结部32B、二个小齿轮、及多个吸附部34B。此外，连结部32B在两端部各具有二个滑动部321B。以上述方式构成的第2保持构件3B，与上述第1保持构件3A构成相同，因此不重复详细说明。此外，第2保持构件3B，用以吸附基板W的各吸附部34B的吸附面朝向下方，借由此各吸附部34B的吸附面形成第2保持构件3B的第2保持面。此外，第2保持面朝向下方。又，第2保持构件3B的连结部32B从第1导轨24A往第3导轨24C延伸。设置在连结部32B的第1导轨24。
22、A侧的端部的二个滑动部321B是安装成可在第1导轨24A滑动。又，设置在连结部32B的第3导轨24C侧的端部的二个滑动部321B是安装成可在第3导轨24C滑动。如上述，第2保持构件3B，在以旋转构件2的旋转轴为中心与第1保持构件3A为点对称的状态下支承在旋转构件2。0064反转装置1的动作0065接着，参照图式说明以上述方式构成的反转装置1的动作。0066如图2所示，首先，反转装置1，使第1保持构件3A往第1前进位置滑动，且使第2保持构件3B往第2前进位置滑动。第1保持构件3A位于第1前进位置时，第1保持构件3A，第1保持面位于第1及第2架部22A,22B外侧。亦即，第1保持构件3A位于第1前。
23、进位置时，第1保持构件3A的第1保持面，相比于第1及第2架部22A,22B的第1前端，位于更离开旋转构件2的旋转轴的位置。又，第2保持构件3B位于第2前进位置时，第2保持构件3B，第2保持面位于第1及第2架部22A,22B外侧。亦即，第2保持构件3B位于第2前进位置时，第2保持构件3B的第2保持面，相比于第1及第2架部22A,22B的第2前端，位于更离开旋转构件2的旋转轴的位置。0067此外，在第1保持构件3A位于第1前进位置的状态下，第1保持构件3A从前置步骤接受基板W。具体而言，借由第1保持构件3A的各吸附部34A吸附保持基板W。0068第1保持构件3A接受基板W后，第1滑动驱动部的可动部。
24、沿着缸管移动。借此，连结在第1滑动驱动部的可动部的第1保持构件3A沿着第2及第4导轨24B,24D滑动，如图3所示移动至第1后退位置。此外，第1后退位置，是相比于第1前进位置第1保持构件3A的第1保持面成为旋转部21的第1及第2旋转轴211A,211B侧的位置。具体而言，第1保持构件3A位于第1后退位置时，第1保持构件3A，在第1及第2架部22A,22B的长边方向，位于第1及第2架部22A,22B内。0069又，第1保持构件3A移动至第1后退位置时，第2保持构件3B移动至第2后退位置。具体而言，第2滑动驱动部23的可动部232沿着缸管231移动，借此，第2保持构件3B如图3所示移动至第2后退位。
25、置。此外，第2后退位置，是相比于第2前进位置第2保持构件3B的第2保持面成为旋转部21的第1及第2旋转轴211A,211B侧的位置。具体而言，第2保持构件3B位于第2后退位置时，第2保持构件3B，在第1及第2架部22A,22B的长说明书CN104211293A6/7页8边方向，位于第1及第2架部22A,22B内。0070第1保持构件3A移动至第1后退位置，第2保持构件3B移动至第2后退位置后，旋转驱动部5旋转驱动旋转构件2。借此，旋转构件2以第1及第2旋转轴211A,211B为中心顺时针或逆时针旋转180度。其结果，如图4所示，第1保持构件3A反转成第1保持面朝向下方，其结果，能使保持在第1保。
26、持构件3A的基板W的正反面反转。又，第2保持构件3B反转成第2保持面朝向上方。此外，由于第1及第2保持构件3A,3B在长边方向位于第1及第2架部22A,22B内，因此使旋转构件2旋转时的旋转半径成为第1及第2架部22A,22B的长度的一半。0071接着，借由使第1滑动驱动部作动，如图5所示，第1保持构件3A再次往第1前进位置移动。接着，将基板W交接至后续步骤。此外，在旋转构件2旋转前，第1保持构件3A往第1前进位置移动后虽往前置步骤移动，但在旋转构件2旋转后，第1保持构件3A往第1前进位置移动后往后续步骤移动。又，在第1保持构件3A将基板W交接至后续步骤的期间，第2保持构件3B往第2前进位置移。
27、动，从前置步骤接受另一基板W。0072接着，第2保持构件3B反复与上述第1保持构件3A的动作相同的动作，借此使该接受的基板W反转并将交接至后续步骤。此外，旋转构件2的旋转方向交互地反复顺时针与逆时针。借此，可防止连接于各吸附部34A,34B的管件省略图示等缠绕于旋转构件2的旋转轴。0073特征0074本实施例的反转装置1具有下述特征。00751第1保持构件3A被支承成可在第1前进位置与第1后退位置之间滑动，因此借由使第1保持构件3A前进至第1前进位置，可容易进行使基板W保持在第1保持构件3A的第1保持面的步骤。又，借由使第1保持构件3A后退至第1后退位置，能缩小旋转构件2旋转时的反转装置1的旋。
28、转半径。其结果，能以更小空间使基板W正反面反转。00762反转装置1进一步具备第2保持构件3B，因此在将被第1保持构件3A反转后的基板W搬送至后续步骤的期间，可借由第2保持构件3B接受从前置步骤搬送来的另一个基板W。其结果，可缩短在反转步骤的基板W的等待时间。00773第1及第2保持构件3A,3B的两方位于后退位置时，旋转构件2旋转，因此可缩小在反转装置1的旋转半径。00784第1及第2保持构件3A,3B可借由吸附基板W的吸附部34A,34B保持基板。0079变形例0080以上，说明了本发明的实施例，但本发明并不限于此，只要不脱离本发明的趣旨可进行各种变更。0081变形例10082可为第1保持。
29、构件3A及第2保持构件3B进行升降的构成。具体而言，如图6所示，第1及第2支承构件4A,4B安装成可相对各基座构件6升降。第1及第2支承构件4A,4B以例如线性马达为驱动源升降。根据此构成，第1保持构件3A升降以调整与前置步骤或后续步骤的装置的高度，借此可从前置步骤顺畅地接受基板W，又，第1保持构件3A可在后续步骤顺畅地放置基板。0083变形例2说明书CN104211293A7/7页90084上述实施例中，反转装置1具有第1保持构件3A与第2保持构件3B的二个保持构件，但并不限于此。例如，反转装置1，如图7所示，仅具有第1保持构件3A，不具有第2保持构件3B亦可。此情形，不需要第1及第3导轨2。
30、4A,24C、第1及第3齿条齿轮25A,25C、以及第2滑动驱动部23，可省略此等各构件。0085变形例30086上述实施例中，第1保持构件3A形成为由多个棒状部31A构成的梳状，但并不限于此。例如，如图8所示，第1保持构件3A可替代多个棒状部31A而使用一片板件30A。各吸附部34A设置在板件30A的第1面上面。第2保持构件3B亦同样地，可替代多个棒状部31B而使用一片板件30B。0087以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。说明书CN104211293A1/6页10图1说明书附图CN104211293A102/6页11图2图3说明书附图CN104211293A113/6页12图4图5说明书附图CN104211293A124/6页13图6说明书附图CN104211293A135/6页14图7说明书附图CN104211293A146/6页15图8说明书附图CN104211293A15。