圆盘状基板的制造方法以及圆盘状基板的收纳用工具.pdf

本发明提供圆盘状基板的制造方法等，当将工件收纳于工件盒时，工件彼此难以接触，能够抑制工件的损伤，并且容易将工件收纳于工件盒。一种圆盘状基板的制造方法，将收纳用工具安装于工件盒的开口部，借助收纳用工具通过手动作业将工件收纳于工件盒，在收纳之后拆卸该收纳用工具，使用工件盒使工件移动从而制造工件，工件盒形成有多个工件的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片工件，收纳用工具形成有多个工件的插入引导部，该圆盘状基板的制造方法的特征在于，收纳用工具的插入引导部是开口宽度从两端部朝向中央部变大的孔部，工件的边缘部由插入引导部引导并配置于保持引导部。

1.  一种圆盘状基板的制造方法，其中，将插入辅助部件安装于圆盘状基板盒的开口部，借助该插入辅助部件通过手动作业将圆盘状基板收纳于该圆盘状基板盒，在收纳之后拆卸该插入辅助部件，使用该圆盘状基板盒使圆盘状基板移动从而制造圆盘状基板，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述插入辅助部件形成有多个该圆盘状基板的插入引导部，所述圆盘状基板的制造方法的特征在于，
所述插入辅助部件的所述插入引导部的开口宽度从两端部朝向中央部变大，由此，所述圆盘状基板的边缘部由该插入引导部引导并配置于所述保持引导部。

2.  根据权利要求1所述的圆盘状基板的制造方法，其特征在于，
当所述圆盘状基板被收纳配置于所述圆盘状基板盒的所述保持引导部时，该圆盘状基板的边缘部的一部分穿过所述插入引导部而能够进行目视确认。

3.  根据权利要求1或2所述的圆盘状基板的制造方法，其特征在于，
能够在水中将所述圆盘状基板收纳于所述圆盘状基板盒。

4.  一种圆盘状基板的收纳用工具，该收纳用工具用于安装在圆盘状基板盒的开口部并通过手动作业将圆盘状基板收纳于该圆盘状基板盒，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述圆盘状基板的收纳用工具的特征在于，
所述圆盘状基板的收纳用工具具有多个孔部，所述孔部的开口宽度从两端部朝向中央部变大，
所述孔部形成为：所述圆盘状基板的边缘部由该孔部的两端部引导并配置于所述保持引导部。

5.  根据权利要求4所述的圆盘状基板的收纳用工具，其特征在于，
所述圆盘状基板的收纳用工具在安装于所述圆盘状基板盒的所述开口部之后还能够卸下。

6.  根据权利要求4或5所述的圆盘状基板的收纳用工具，其特征在于，
所述孔部形成为大致椭圆形状。

圆盘状基板的制造方法以及圆盘状基板的收纳用工具
技术领域
本发明涉及例如磁记录介质用玻璃基板等圆盘状基板的制造方法等。
背景技术
近年来，随着作为记录介质的需要的提高，磁盘等信息记录介质的制造也活跃起来。此处，作为用作磁盘用基板的圆盘状基板，广泛使用铝基板和玻璃基板。该铝基板在加工性高且价格低廉这点上有特长，另一方面，玻璃基板在强度、表面的平滑性、平坦性优异这点上有特长。特别是最近，盘式基板的小型化和高密度化的要求显著提高，从而基板的表面的粗糙度小且能够实现高密度化的玻璃基板的关注度变高。
专利文献1中公开了如下的盘盒(disc case)，所述盘盒具备：盒主体部，该盒主体部具有对盘进行收纳保持的多个槽部；以及引导部件，该引导部件能够相对于盒主体部进行装卸，并具有多个引导板，并且引导板彼此之间与盒主体部的槽部对应，各引导板上具有保护材料，该保护材料相对于盘的磨光性与对该盘在收纳于该盘盒后实施的磨光处理同等、或者在该磨光处理以下。
并且，专利文献2中公开了一种磁盘用玻璃盘的收纳用工具，该收纳用工具是在将玻璃盘1从上方插入设于侧壁的多个肋的间隙中、从而以竖立状态排列收纳多片玻璃盘的盘盒中使用的工具，该收纳用工具的特征在于，具备载置于盘盒上的主体和设于主体的多个引导部，引导部能够对插入玻璃盘时的位置和倾斜进行引导，引导部的间隔是肋的间隔的整数倍，并且主体能够相对于盘盒在玻璃盘的排列方向上相对移动。
[专利文献1]日本特开2007-95200号公报
[专利文献2]日本特开2007-261594号公报
然而，在引导板上具有保护材料的盘盒中，需要将盘插入形成于引导板彼此之间的狭缝状的间隙。为了使盘彼此不会接触从而防止盘的损伤，该间隙整体制作得狭窄。因此存在难以插入盘的问题。
并且，对于具备载置于盘盒上的主体和设于主体的多个引导部的磁盘用玻璃盘的收纳用工具，其引导部由设于框体的对置的两边的内侧的一对切口部构成。当将磁盘用玻璃盘收纳于盘盒时，需要通过该切口部插入磁盘，但是存在难以判别插入哪个切口部才能正确地收纳的问题。
发明内容
本发明就是为了解决上述技术课题而完成的，其目的在于，提供一种圆盘状基板的收纳用工具，当将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒时，圆盘状基板彼此难以接触，能够抑制圆盘状基板的损伤，并且容易将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒。
为了达成上述目的，在本发明的圆盘状基板的制造方法中，其中，将插入辅助部件安装于圆盘状基板盒的开口部，借助插入辅助部件通过手动作业将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒，在收纳之后拆卸插入辅助部件，使用圆盘状基板盒使圆盘状基板移动，从而制造圆盘状基板，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述插入辅助部件形成有多个圆盘状基板的插入引导部，所述圆盘状基板的制造方法的特征在于，插入辅助部件的插入引导部的开口宽度从两端部朝向中央部变大，由此，圆盘状基板的边缘部由插入引导部引导，插入作业变得容易，并且能够以不会对圆盘状基板的表面(两面)造成损伤的方式配置于保持引导部。
此处，优选当圆盘状基板被收纳配置于圆盘状基板盒的保持引导部时，圆盘状基板的边缘部的一部分穿过插入引导部而能够进行目视确认，有时，优选能够在水中将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒。
并且，对于本发明的圆盘状基板的收纳用工具，该收纳用工具用于安装在圆盘状基板盒的开口部并通过手动作业将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述圆盘状基板的收纳用工具的特征在于，圆盘状基板的收纳用工具具有多个开口宽度从两端部朝向中央部变大的孔部，该孔部形成为：圆盘状基板的边缘部由孔部的两端部引导并配置于保持引导部。
此处，优选圆盘状基板的收纳用工具在安装于圆盘状基板盒的开口部之后还能够卸下，并且，更加优选孔部形成为大致椭圆形状。
根据以上述方式构成的本发明，与未采用上述结构的情况相比，能够提供成品率高的圆盘状基板的制造方法等。
附图说明
图1-1(a)～(d)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。
图1-2(e)～(h)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。
图2是说明研磨机的构造的图。
图3是进一步对托架进行详细说明的图。
图4是示出在内周磨光工序中使用的刷的一例的图。
图5是对工件盒(work case)和将工件收纳于工件盒时使用的收纳器具进行说明的图。
图6是进一步对应用本实施方式的收纳用工具进行详细说明的图。
标号说明
10：工件；11：表面；12：开孔；13：外周；30：托架；40：研磨机；50：抛光机；100：工件盒；106：保持引导部；108：开口部；200：收纳用工具；202：孔部；202a：两端部；202b：中央部。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。
图1-1(a)～(d)、图1-2(e)～(h)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。
(一次研磨(1ap)工序)
图1-1(a)示出一次研磨工序。在该工序中，首先，利用研磨机(lapping machine)40进行第一次研磨，平滑地磨削作为圆盘状基板的工件10的表面11。
此处，图2是对研磨机40的构造进行说明的图。
图2所示的研磨机40具备下盘21a和上盘21b，该下盘21a用于载置工件10，该上盘21b从上部按压工件10并对工件10施加用于进行研磨所需的压力。
此处，在下盘21a的外周部设有齿部42，并且，在下盘21a的中央部设有太阳齿轮44。进一步，在下盘21a设置有圆盘状的托架30，该托架30在进行研磨时对工件10进行定位。
在图2所示的研磨机40中设置有5个托架30。在该托架30的外周部具备齿部32，该齿部32与下盘21a的齿部42和太阳齿轮44这两者啮合。并且，在下盘21a和上盘21b的中心部分别设有用于使下盘21a和上盘21b旋转的旋转轴46a、46b。
在该一次研磨工序中，首先利用托架30将工件10载置于研磨机40的下盘21a。
图3是进一步对托架30进行详细说明的图。在图3所示的托架30中，如上所述，在外周部具备齿部32。并且，在托架30中开有多个圆形形状的孔部34，当进行研磨时，工件10载置在孔部34的内部。该孔部34的直径比工件10的直径稍大。这样，能够抑制进行研磨时对工件10的外周端的一部分施加过多的应力的情况，因此工件10的外周端难以损伤。在本实施方式中，孔部34的直径比工件10的直径大例如大约1mm。并且，孔部34大体上等间隔地排列，在本实施方式的情况下，孔部34例如开有35个。
作为托架30的材料例如可以使用通过混入芳香族聚酰胺纤维或玻璃纤维而强化了的环氧树脂。并且，托架30的厚度制作得比本工序中的工件10的精加工厚度薄，以免在本工序中当进行研磨时该托架30与上盘21b接触而阻碍研磨。例如，当设工件10的精加工厚度为1mm时，托架30的厚度比工件10的精加工厚度薄0.2mm～0.6mm。
在将工件10载置于托架30的孔部34之后，使上盘21b移动直至该上盘21b与工件10接触，并使研磨机40工作。
使用图2对此时的研磨机40的动作进行说明。当研磨机40工作时，使图中上方的旋转轴46b朝一个方向旋转，并使上盘21b朝同样的一个方向旋转。并且，使图中下方的旋转轴46a朝与旋转轴46b的旋转方向相反的方向旋转，并使下盘21a朝与旋转轴46a的旋转方向同样的方向旋转。由此，下盘21a的齿部42也朝与旋转轴46a的旋转方向同样的方向旋转。并且，中央部的太阳齿轮44也朝与旋转轴46a的旋转方向同样的方向旋转。
通过使上盘21b、下盘21a以及太阳齿轮44以上述方式旋转，从而与它们的齿轮啮合的托架30进行组合了自转运动和公转运动的所谓的行星运动。同样，嵌入于托架30的工件10也进行行星运动。这样，能够更高精度、并且迅速地进行工件10的研磨。
在本实施方式中，研磨可以使用磨削剂进行。作为磨削剂并无特殊限定，例如可以将由氧化铝或金刚石构成的磨削剂浆液(slurry)化进行使用。并且，上盘21b和下盘21a也可以使用分散含有这些磨削剂的磨石。
(内外周磨削工序)
图1-1(b)示出内外周磨削工序。在该工序中，进行作为工件10的开孔12的内周面以及工件10的外周13的外周面的粗加工的磨削。并且，在本实施方式中，同时进行内周面和外周面的磨削。具体地说，利用内周磨石22对设于工件10的中心的开孔12进行磨削，利用外周磨石23对工件10的外周13进行磨削。此时，利用内周磨石22和外周磨石23夹着工件10的内周面和外周面同时进行加工。由此，能够容易确保工件10的内径和外径的同轴度。
在本实施方式中，内周磨石22和外周磨石23具有波形状的表面。因此，不仅能够对工件10的开孔12的内周面和外周13的外周面进行磨削，而且能够一并对开口12和外周13的边缘部进行倒角。
(内周磨光工序)
图1-1(c)示出内周磨光工序。在该工序中，进行使在图1-1(b)所示的内外周磨削工序中进行了作为粗加工的磨削后的工件10的开孔12的内周面更平滑的磨光。
具体地说，首先层叠工件10，并将其放置于未图示的保持器中。然后，将刷24插入放置于该保持器中的工件10的开口12的中心。进而，使磨光液流入工件10的开孔12，并使刷24高速旋转，由此对工件10的内周面进行磨光。在本实施方式中，由于在磨光时使用刷24，因此能够对工件10的内周面进行磨光，并且还能够对在上述内外周磨削工序中进行了加工的开孔12的边缘部的倒角部分同样地进行磨光。另外，作为磨光液例如可以使用将氧化铈磨粒分散于水中从而浆液化而成的磨光液。
图4是示出在内周磨光工序中使用的刷24的一例的图。该刷24具备刷部61和轴62，刷部61的毛尖排列成螺旋状，轴62连续地形成于该刷部61的两端部，从而形成一端和另一端。在对工件10的开孔12为例如0.85英寸等小径盘的内周面进行磨光的情况下，需要使刷24的芯较细。因此，在本实施方式中，例如能够通过将刷的毛(材质：例如尼龙(杜邦公司的商品名))夹在多根金属丝(材质：例如软钢线材(SWRM)、硬钢线材(SWRH)、不锈钢线材(SUSW)、黄铜线(BSW)等，能够根据加工性、刚性等适当选定)之间，并扭转该夹有毛的金属丝来形成刷部61。此处，通过扭转该金属丝来形成刷部61，从而能够使形成于刷部61的刷的毛尖形成螺旋状，能够使磨光液在该刷所插入的工件10的开孔12中沿轴向流动。因此能够良好地输送磨光液。
(二次研磨工序)
图1-1(d)示出二次研磨工序。在该工序中，通过再次对在图1-1(a)所示的一次研磨工序中进行了研磨后的工件10的表面11进行研磨从而将该表面11研磨得更加平滑。
在二次研磨工序中，作为进行研磨的装置可以使用图1-1(a)所示的研磨机40。并且，研磨的方法、条件等能够以与图1-1(a)中说明了的情况同样的情况进行。
(外周磨光工序)
图1-2(e)示出外周磨光工序。在该工序中，进行使在图1-1(b)所示的内外周磨削工序中进行了作为粗加工的磨削后的工件10的外周13的外周面更平滑的磨光。
具体地说，首先使工具25穿过工件10的开口12的部分以层叠工件10，从而将工件10放置于工具25。进而，一边使磨光液流入工件10的外周13的部位，一边使刷26与层叠的工件10接触并高速旋转。由此，能够对工件10的外周面进行磨光。在本实施方式中，由于在磨光时使用刷26，因此能够对工件10的外周面进行磨光，并且还能够对在上述内外周磨削工序中进行了加工的外周13的边缘部的倒角部分同样地进行磨光。另外，作为磨光液，与内周磨光工序的情况同样，例如可以使用将氧化铈磨粒分散于水中从而浆液化而成的磨光液。
(一次抛光工序)
图1-2(f)示出一次抛光工序。在该工序中，使用抛光机(polishingmachine)50对在图1-1(d)所示的二次研磨工序中进行了研磨的工件10的表面11进行抛光，由此进一步进行磨光从而提高平滑度。该抛光机50具有与上述的研磨机40大体上相同的结构，但是，如下面所述，磨光中使用的材料等有一部分不同。
在本实施方式中，当进行抛光时例如使用由聚氨酯形成的硬质磨光布，并且，作为磨光材料可以使用将氧化铈磨粒分散于水中从而浆液化而成的磨光材料。
(二次抛光工序)
图1-2(g)示出二次抛光工序。在该工序中，对在图1-2(f)所示的一次抛光工序中进行了抛光后的工件10的表面11进行精密抛光，由此进一步进行磨光，从而对表面11进行最终的精加工。
在本实施方式中，当进行该抛光时例如使用绒面革(suede)状的软质磨光布，并且，作为磨光材料可以使用将氧化铈磨粒或者硅胶(colloidalsilica)分散于水等溶剂中从而浆液化而成的磨光材料。
(最终清洗·检查工序)
图1-2(h)示出最终清洗·检查工序。在最终清洗中，除去在上述的一系列的工序中使用的磨光剂等污垢。在清洗中可以使用同时利用超声波的基于清洗剂(药品)进行的化学清洗等方法。
并且，在检查工序中，通过例如使用激光的光学式检查器来检查工件10的表面有无损伤或变形等。
此处，在以上说明了的工序中，当使工件10从前一工序朝后一工序移动时，有时使用作为圆盘状基板盒的工件盒。例如，在利用一次研磨工序对工件10的表面11进行磨光之后，当向内外周磨削工序转移时，需要将工件10从托架30(参照图1-1)取出，暂时收纳于工件盒中，并使其移动至进行内外周磨削的磨削机。
此处，图5是对工件盒和将工件收纳于工件盒时使用的收纳器具进行说明的图。
图5所示的收纳器具由工件盒100和工件10的收纳用工具200构成，工件盒100用于收纳配置工件10，收纳用工具200是将工件10收纳于工件盒100时使用的插入辅助部件。
此处，在设图5中的插入工件10的方向为下方向的情况下，工件盒100在对置的侧壁102内侧大致等间隔地沿上下方向形成有多个凸部104。进而，利用凸部104形成用于在制造工序中隔开间隔收纳配置多片工件10的保持引导部106。并且，工件盒100在上部具有开口部108，并具备切口部110和把手部112，该切口部110用于在拆卸收纳用工具200时进行操作，把手部110安装于切口部110的边缘部分，用于供作业者把持工件盒100。
并且，收纳用工具200形成为长方形的板形状，且具备多个孔部202和卡合部204，该卡合部204用于在将收纳用工具200安装于工件盒100时规定该收纳用工具200的位置。
收纳用工具200制作成能够通过嵌入工件盒100的开口部108中进行安装。实际安装时，收纳用工具200的卡合部204进入工件盒100的开口部108的两端部的内侧。由此，能够规定收纳用工具200的位置来进行安装。并且，收纳用工具200能够容易地拆卸。实际拆卸时，作业者将手伸入工件盒100的切口部110，抓住收纳用工具200并朝上部拉起。由此，卡合部204从工件盒100脱出，从而能够拆卸收纳用工具200。
工件盒100和收纳用工具200的材质并无特殊限定，但是，从更难以对工件100造成损伤的观点出发，例如优选利用树脂等制造。
图6是进一步对应用本实施方式的收纳用工具进行详细说明的图。
图6所示的收纳用工具200是从将工件10插入工件盒100的方向观察的图。如上所述，在收纳用工具200中形成有多个孔部202。进而，该孔部202的开口宽度从两端部202a朝向中央部202b变大。
该孔部202制作成：当将收纳用工具200安装于工件盒100时，孔部202的上下方向的位置与保持引导部106的位置对齐。孔部202的形状只要是开口宽度从两端部202a朝向中央部202b变大的形状即可，并无特殊限定，能够采用纺锤形形状、菱形形状等。但是，从插入工件10时难以对表面11(参照图1-1)造成损伤的观点出发，优选为没有角部的大致椭圆形状。
下面，使用图5和图6对使用收纳用工具200将工件10收纳配置于工件盒100的步骤进行说明。
首先，以上述方式将收纳用工具200安装于工件盒100。然后，借助收纳用工具200通过手动作业将工件10收纳于工件盒100。
此时，形成于收纳用工具200的孔部202承担作为插入引导部的作用。即，工件10在边缘部由孔部202的两端部202a引导的同时被插入孔部202中。进而，如上所述，由于孔部202的位置与保持引导部106的位置在上下方向一致，因此，通过孔部202后的工件10直接被收纳配置于工件盒100的保持引导部106。此时，由于工件10的边缘部在由孔部202的两端部202a引导的同时插入孔部202中，因此插入作业变得容易。进而，能够将工件10收纳配置于保持引导部106，而难以对圆盘状基板的表面(两面)造成损伤，并且不会与先前插入的工件10接触。并且，由于孔部202形成为开口宽度从两端部202a朝向中央部202b变大，因此，作业者只要将工件10插入该具有大的开口宽度的中央部202b即可，作业者所进行的插入工件10的插入作业变得更加容易。
此处，优选当工件10被收纳配置于工件盒100的保持引导部106时，工件10的边缘部的一部分穿过孔部202而能够进行目视确认。例如，考虑以下述方式制作工件盒100：在将工件10收纳配置于保持引导部106的状态下，工件10的上端的边缘部并未完全通过孔部202，而是位于孔部202的部位。
这样，通过使工件10的边缘部的一部分穿过孔部202而能够进行目视确认，由此，作业者能够容易地判断到工件盒100的哪个部位为止收纳有工件10。因此，容易防止发生下述错误：将多片工件10收纳于同一保持引导部106、或者漏过一个保持引导部106而插入工件10。
并且，对于该一系列的作业，根据工序的不同，有时可以在水中将工件10收纳于工件盒100。在该情况下，能够通过由水产生的缓冲作用进一步抑制工件10的损伤。
在将预定片数的工件10收纳于工件盒100之后，作业者以上述方式拆卸收纳用工具200，把持把手部112将收纳用工具200抬起，能够集中高效地移动工件10。此时，优选预先将工件盒100制作成能够装载多个。由此，能够更加高效地移动工件10。