喷出装置、彩色滤光片基板及电致发光显示装置的制造装置.pdf

本发明的目的在于，使被喷出部上的涂布不均减少。其解决方法是，使第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移第1长度的1/2倍；使第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍；使上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍。上述第1长度是喷头的X轴方向喷嘴间距。上述第2长度是上述第1长度和喷头的喷嘴数/4的积。

1.  一种喷出装置，具备：
台架、和
相对于上述台架相对移动的喷头组，其特征在于，
上述喷头组由第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头构成，
上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个具有P个喷出嘴，
按照上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度的方式配置上述P个喷出嘴，
上述第1喷头和上述第2喷头在Y轴方向上互相邻接，
上述第3喷头和上述第4喷头在上述Y轴方向上互相邻接，上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，
上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，
上述第2长度是上述第1长度的P/4倍，
P是2以上的自然数，
上述X轴方向和Y轴方向互相垂直。

2.  根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，在上述4个喷头的每个中，上述P个喷出嘴在上述X轴方向排列。

3.  根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，
上述4个喷头的每个中的上述P的喷嘴都在上述X轴方向上形成延长的第1列和第2列，
在上述第1列和上述第2列的每个中，上述多个喷嘴以上述第1长度的2倍的间距排列，
上述第1列相对于上述第2列在上述X轴方向上仅偏移上述第1长度。

4.  根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，
上述4个喷头的每个中的上述P个喷出嘴形成每个在X轴方向上延长的M个列，
在上述M个列的每个中，上述P个喷出嘴以上述第1长度的M倍的间距排列，
相对于上述M个列的一个，其它的(M-1)个列在不重复的X轴方向上仅偏移上述第1长度的i倍的长度，
M是2以上的自然数，
i是从1到(M-1)的自然数。

5.  根据权利要求1～4的任一项所述的喷出装置，其特征在于，
上述台架保持具有被喷出部的基体，
通过上述喷头组相对于上述基体沿上述Y轴方向相对移动，在上述P个喷出嘴的至少1个喷出嘴侵入与上述被喷出部对应的区域的情况下，从上述至少1个喷出嘴向上述被喷出部喷出液状材料。

6.  根据权利要求5所述的喷出装置，其特征在于，
上述被喷出部的平面像是由其长边和短边决定的大体的矩形，
上述台架按照上述长边的方向与上述X轴方向平行、同时上述短边的方向与上述Y轴方向平行的方式保持上述基体，
通过上述喷头组相对于上述基体沿上述y轴方向相对移动，在上述P个喷出嘴的至少2个喷出嘴大体同时侵入与上述被喷出部对应的区域的情况下，从上述至少2个喷出嘴大体同时向上述被喷出部喷出上述液状材料。

7.  一种彩色滤光片基板的制造装置，其喷出装置具备：
保持基体的台架、和
相对于上述台架相对移动的喷头组，其特征在于，
上述喷头组由第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头构成，
上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个具有向上述基体可喷出液状的彩色滤光片材料的P个喷出嘴，
按照上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度的方式配置上述P个喷出嘴，
上述第1喷头和上述第2喷头在Y轴方向上互相邻接，
上述第3喷头和上述第4喷头在上述Y轴方向上互相邻接，上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，
上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，
上述第2长度是上述第1长度的P/4倍，
P是2以上的自然数，
上述X轴方向和Y轴方向互相垂直。

8.  一种电致发光显示装置的制造装置，其喷出装置具备：
保持基体的台架、和
相对于上述台架相对移动的喷头组，其特征在于，
上述喷头组由第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头构成，
上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个具有向上述基体可喷出液状的发光材料的P个喷出嘴，
按照上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度的方式配置上述P个喷出嘴，
上述第1喷头和上述第2喷头在Y轴方向上互相邻接，
上述第3喷头和上述第4喷头在上述Y轴方向上互相邻接，上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，
上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，
上述第2长度是上述第1长度的P/4倍，
P是2以上的自然数，
上述X轴方向和Y轴方向互相垂直。

9.  一种等离子显示装置的制造装置，其喷出装置具备：
保持基体的台架、和
相对于上述台架相对移动的喷头组，其特征在于，
上述喷头组由第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头构成，
上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个具有向上述基体可喷出液状的萤光材料的P个喷出嘴，
按照上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度的方式配置上述P个喷出嘴，
上述第1喷头和上述第2喷头在Y轴方向上互相邻接，
上述第3喷头和上述第4喷头在上述Y轴方向上互相邻接，上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍，
上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，
上述第2长度是上述第1长度的P/4倍，
P是2以上的自然数，
上述X轴方向和Y轴方向互相垂直。

10.  一种喷出方法，包括：
将具有被喷出部的基体载置在台架上的步骤(a)；和
使按照各自的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度的方式在各自中配置P个喷出嘴的第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头相对于上述基体沿Y轴方向相对移动的步骤(b)，其特征在于，
上述步骤(b)包括步骤(b1)，该步骤(b1)在1个扫描期间内，使上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍；使上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍；使上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，同时使上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头，相对于上述基体沿Y轴方向相对移动，
上述步骤(b1)包括使上述第1喷头和上述第2喷头中的一方连续地向另一方相对移动，同时使上述第3喷头和上述第4喷头中的一方连续地向另一方相对移动的步骤，
上述P是2以上的自然数，
上述第2长度是上述第1长度的P/4倍。

11.  根据权利要求10所述的喷出方法，其特征在于，上述步骤(b)包括使在上述X轴方向上每个具有排列的上述P的喷嘴的上述4个喷头相对于上述基体沿上述Y轴方向相对移动的步骤(b2)。

12.  根据权利要求10或11所述的喷出方法，其特征在于，还包括在通过上述步骤(b)使上述P个喷出嘴的至少1个喷出嘴侵入与上述被喷出部对应的区域内时、从上述至少1个喷嘴向上述被喷出部喷出液状材料的步骤(c)。

13.  根据权利要求12所述的喷出方法，其特征在于，
上述被喷出部的平面像是由其长边和短边决定的大体的矩形，
上述步骤(a)包括按照上述被喷出部的长边的方向与上述X轴方向平行、同时上述短边的方向与上述Y轴方向平行的方式载置上述基体的步骤(a1)，
上述步骤(c)还包括在上述P个喷出嘴的至少2个喷出嘴大体同时侵入与上述被喷出部对应的区域内时，从上述至少2个喷出嘴大体同时向上述被喷出部喷出上述液状材料的步骤(c1)。

喷出装置、彩色滤光片基板及电致发光显示装置的制造装置
技术领域
本发明涉及喷出液状材料的喷出装置和喷出方法，更具体地说，涉及适于彩色滤光片基板和矩阵型显示装置等在周期地配置的区域内涂布液状材料的工序的喷出装置和喷出方法。
背景技术
众所周知，用喷墨装置可以在像素化区域内涂布材料。例如，已知用喷墨装置可以形成彩色滤光片基板的滤光片元件和矩阵型显示装置矩阵状配置的发光部(例如，专利文献1)。
【专利文献1】  特开2003-127343号公报
大多数情况下，要涂布材料的多个被喷出部的间距与喷墨装置的喷嘴间距不一致。所谓被喷出部，例如是指要设滤光片元件的部位。
因此，现有的喷墨装置中，按照使2个被喷出部之间的距离和2个喷出嘴之间的距离相一致那样，喷头(或者喷嘴排列的方向)相对于被喷出部排列的方向倾斜。但是，这样的构成时，在2个被喷出部之间的距离与每个彩色滤光片不同的情况下，对每个彩色滤光片要花费变更喷头的安装角度的工夫。为了变更喷头的安装角度，要花费根据喷头的角度重新制造车架的工夫和将喷头重新安装到其新的车架上的工夫。
另外，由1个被喷出部必须喷出的材料的体积增大时，相对于1个被喷出部的喷出次数增多。此时，喷嘴间的喷出量的波动容易表现为涂布不均。
发明内容
鉴于上述课题，本发明的目的之一在于，使被喷出部上的涂布不均减少。
本发明的喷出装置具备台架、相对于上述台架而相对移动的喷头组。另外，上述喷头组由第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头构成。上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个具有P个喷出嘴，按照上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头的每个的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度那样，配置有上述P个喷出嘴。上述第1喷头和上述第2喷头在Y轴方向上互相邻接，上述第3喷头和上述第4喷头在上述Y轴方向上互相邻接。而且，上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍。上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍。而且，上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍。另外，上述第2长度是上述第1长度的P/4倍，P是2以上的自然数，上述X轴方向和Y轴方向互相垂直。
根据上述特征，即使喷头中的每个喷嘴的位置由喷嘴的液滴的喷出量不同，对于由喷头组喷出的液滴的列，也难以出现喷出量的差别。由于喷头的属于各种区域的喷嘴在喷头组中沿X轴方向邻接，所以成为消除喷出量的差别的原因。
优选的是，在上述4个喷头的每个中，上述P个喷出嘴在上述X轴方向排列。
根据上述特征，在X轴方向排列的弹落位置上可以同时喷出液滴。
根据上述特征，在X轴方向上多个喷嘴排列。因此，相对于在X轴方向上延长的目标(被喷出部)，从上述多个喷嘴可以大体同时地喷出液状材料。其结果，相对于多个喷嘴可以共用用于喷出液状材料的驱动信号。另外，由于从在一个方向排列的多个喷嘴喷出的时间大体是同时地，所以可以不要用于延迟驱动信号的电路构成等。其结果，驱动信号中的波形发生不充分的要因少，因此，可以用精密的驱动波形驱动喷头。
优选的是，上述4个喷头的每个中的上述P的喷嘴都在上述X轴方向上形成延长的第1列和第2列，在上述第1列和上述第2列的每个中，上述多个喷嘴以上述第1长度的2倍的间距排列，上述第1列相对于上述第2列在上述X轴方向上仅偏移上述第1长度。
根据上述特征，可以使喷头的X轴方向的喷嘴间距变小。因此，喷头的X轴方向的喷嘴线密度可以大。
根据本发明的某种方式，上述4个喷头的每个中的上述P个喷出嘴形成在每个X轴方向上延长的M个列，在上述M个列的每个中，上述P个喷出嘴以上述第1长度的M倍的间距排列，相对于上述M个列的一个，其它的(M-1)个列在不重复的X轴方向上仅偏移上述第1长度的i倍的长度。另外，M是2以上的自然数，i是从1至(M-1)的自然数。
根据上述特征，可以使喷头的X轴方向的喷嘴间距更小。因此，喷头的X轴方向的喷嘴线密度可以更大。
优选的是，上述台架保持具有被喷出部的基体，通过上述喷头组相对于上述基体沿上述Y轴方向相对移动，在上述多个喷嘴的至少1个喷嘴与上述被喷出部重合的情况下，从上述至少1个喷嘴向上述被喷出部喷出液状材料。
根据上述特征，可以对被喷出部选择地涂布材料。
根据本发明的另一种方式，上述被喷出部的平面像是由其长边和短边决定的大体的矩形，上述台架按照上述长边的方向与上述X轴方向平行、同时上述短边的方向与上述Y轴方向平行那样保持上述基体，通过上述喷头组相对于上述基体沿上述y轴方向相对移动，在上述多个喷嘴的至少2个喷出嘴大体同时与上述被喷出部重合的情况下，从上述至少2个喷出嘴大体同时向上述被喷出部喷出上述液状材料。
根据上述特征，喷头组在Y轴方向上相对移动1次的期间内(1次的扫描期间内)，可以向1个被喷出部喷出必要体积的液状材料。其原因在于，多个喷嘴相对于1个被喷出部可以同时喷出液状材料。
另外，本发明可以以各种方式实现，例如，可以以彩色滤光片的制造装置和电致发光显示装置的制造装置和等离子显示装置的制造装置等的方式来实现。
本发明的喷出方法包括：将具有被喷出部的基体载置在台架上的步骤(a)；和使按照各自的X轴方向的喷嘴间距成为第1长度那样在各自中配置P个喷出嘴的第1喷头、第2喷头、第3喷头和第4喷头相对于上述基体沿Y轴方向相对移动的步骤(b)。而且，上述步骤(b)包括步骤(b1)，该步骤(b1)在1个扫描期间内，使上述第2喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第1喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍；使上述第4喷头的基准喷嘴的X坐标，相对于从上述第3喷头的基准喷嘴的X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，再偏移上述第1长度的1/2倍；使上述第3喷头的基准喷嘴的上述X坐标，相对于从上述第2喷头的基准喷嘴的上述X坐标仅偏移上述第2长度的X坐标，偏移上述第1长度的1/4倍或者3/4倍，同时使上述第1喷头、上述第2喷头、上述第3喷头和上述第4喷头，相对于上述基体沿Y轴方向相对移动。上述步骤(b1)还包括使上述第1喷头和上述第2喷头中的一方连续地向另一方相对移动，同时使上述第3喷头和上述第4喷头中的一方连续地向另一方相对移动的步骤。另外，上述P是2以上的自然数，上述第2长度是上述第1长度的P/4倍。
根据上述特征，即使喷头中的每个喷嘴的位置由喷嘴的液滴的喷出量不同，对于由喷头组喷出的液滴的列，也难以出现喷出量的差别。由于喷头的属于各种区域的喷嘴在喷头组中沿X轴方向邻接，所以成为消除喷出量的差别的原因。
优选的是，上述步骤(b)包括使在上述X轴方向各自具有排列的上述P的喷嘴的上述4个喷头，相对于上述基体沿上述Y轴方向相对移动的步骤(b2)。
更优选的是，上述喷出方法还包括在通过上述步骤(b)，使上述多个喷嘴的至少1个喷嘴侵入与上述被喷出部对应的区域内时、从上述至少1个喷嘴向上述被喷出部喷出液状材料的步骤(c)。
根据上述特征，对于被喷出部可以选择地涂布材料。
根据本发明的另一种方式，上述被喷出部的平面像是由长边和短边决定的大体的矩形，上述步骤(a)包括按照上述被喷出部的长边的方向与上述X轴方向平行、同时上述短边的方向与上述Y轴方向平行那样载置上述基体的步骤(a1)；上述步骤(c)还包括在上述多个喷嘴的至少2个喷出嘴大体同时侵入与上述被喷出部对应的区域内时，从上述至少2个喷出嘴大体同时向上述被喷出部喷出上述液状材料的步骤(c1)。
根据上述特征，在1次的扫描期间内，可以向1个被喷出部喷出必要体积的液状材料。其原因在于，多个喷嘴相对于1个被喷出部可以同时喷出液状材料。
附图说明
图1是表示实施例1的喷出装置的模式图。
图2是表示实施例1的车架的模式图。
图3是表示实施例1的喷头的模式图。
图4(a)和(b)是表示实施例1的喷头的喷出部的模式图。
图5是表示实施例1的喷头组中的喷头的相对位置关系的模式图。
图6是表示实施例1的控制部的模式图。
图7(a)是表示实施例1的喷头驱动部的模式图，(b)是表示喷头驱动部中的驱动信号、选择信号和喷出信号的时间图。
图8(a)和(b)是表示实施例1的从喷头组的液滴喷出顺序的模式图。
图9是表示实施例2的基体的模式图。
图10是表示实施例2的制造装置的模式图。
图11是表示实施例2的喷出装置的模式图。
图12是表示实施例2的喷出方法的模式图。
图13是表示实施例2的制造方法的模式图。
图14(a)和(b)是表示实施例3的基体的模式图。
图15是表示实施例3的制造装置的模式图。
图16是表示实施例3的喷出装置的模式图。
图17是表示实施例3的制造方法的模式图。
图18(a)和(b)是表示实施例4的基体的模式图。
图19是表示实施例4的制造装置的模式图。
图20是表示实施例4的喷出装置的模式图。
图21是表示实施例4的制造方法的模式图。
图22是表示实施例4的制造方法的模式图。
图23(a)和(b)是表示实施例5的基体的模式图。
图24是表示实施例5的制造装置的模式图。
图25是表示实施例5的喷出装置的模式图。
图26是表示实施例5的制造方法的模式图。
图27是表示实施例5的制造方法的模式图。
图28是表示实施例5的制造方法的模式图。
图29是表示扫描范围的模式图。
图30是模式地表示实施例1的喷出量的分布的曲线图。
图中，
1·2·3·4-制造装置
1A·1B·2A·2B·3A·3B·4A·4B-喷嘴列
10A·30A·50A·70A-基体
100·100R·100G·100B·100C·200R·200G·200B·300R·300G·300B·400-喷出装置
102-喷出扫描部
103-车架
104-第1位置控制装置
106-台架
108-第2位置控制装置
111-液状材料
111R·111G·111B-彩色滤光片材料
114·1141·1142·1143·1144-喷头
112-控制部
114G-喷头组
116A·116B-喷嘴列
118-喷嘴
118R-基准喷嘴
124-振动器
124C-压电元件
124A·124B-电极
127-喷出部
208-喷头驱动部
203-驱动信号生成部
AS-模拟开关
DS-驱动信号
204-处理部
SC-选择信号
ES-喷出信号
10A·30A·50A·70A-基体
10-彩色滤光片基板
18R·18G·18B·38R·38G·38B·58R·58G·58B·78-被喷出部
111FR·111FG·111FB-彩色滤光片层
134-扫描范围
30-电致发光显示装置
50B-等离子显示装置的背面基板
50-等离子显示装置
具体实施方式
[实施例1]
以下，按照下面叙述顺序说明本实施例的喷出装置和喷出方法。
·A.喷出装置的全体构成
·B.车架
·C.喷头
·D.喷头组
·E.控制部
·F.喷出方法的一例
(A.喷出装置的全体构成)
如图1所示，喷出装置100具备保持液状材料111的容器101、管路110和借助于管路110从容器101供给液状材料111的喷出扫描部102。喷出扫描部102具备保持多个喷头114(图2)的车架103、控制车架103的位置的第1位置控制装置104、保持后述的基体10A的台架106、控制台架106的位置的第2位置控制装置108和控制部112。容器101和车架103中的多个喷头114由管路110连接，用压缩空气将液状材料111从容器101供给各多个喷头114。
第1控制装置104根据来自控制部112的信号沿X轴方向和与X轴方向垂直的Z轴方向移动车架103。另外，第1控制装置104还具有以与Z轴平行的轴回转的方式回转车架103的功能。在本实施例中，Z轴方向是与垂直方向(即重力加速度的方向)平行的方向。第2位置控制装置108根据来自控制部112的信号，沿与X轴方向和Z轴方向的双方垂直的Y轴方向移动台架106。另外，第2位置控制装置108也具有以与Z轴平行的轴回转的方式旋转台架106的功能。另外，在本说明书中，将第1位置控制装置104和第2位置控制装置108表记为“扫描部”。
台架106具有与X轴方向和Z轴方向的双方平行的平面。另外，台架106按照可以将具有必须涂布规定材料的被喷出部的基体固定或保持在其平面上那样构成。另外，在本说明书中将具有被喷出部的基体表记为“接受基板”。
本说明书中的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向与车架103和台架106的任一方相对于另一方相对移动的方向一致。另外，规定X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的XYZ坐标系的假想的原点固定在喷出装置100的基准部分。本说明书中，X坐标、Y坐标和Z坐标就是这样的XYZ坐标系中的坐标。另外，上述假想的原点，不仅可以是基准部分，而且既可以固定于台架106，也可以固定于车架103。
如上所述，车架103通过第1位置控制装置104沿X轴方向移动。另一方面，台架106通过第2位置控制装置108沿Y轴方向移动。即，通过第1位置控制装置104和第2位置控制装置108可以改变相对于台架106的喷头114的相对位置。更具体地说，通过它们的动作，车架103、喷头组114G(图2)、喷头114或者喷嘴118(图3)，相对于由台架106决定位置的被喷出部，在Z轴方向上保持规定的距离，同时在X轴方向和Y轴方向相对地移动，即相对地扫描。这里，相对于静止的被喷出部，车架103也可以沿Y轴方向移动。
而且，也可以在车架103沿Y轴方向移动规定的2点间距的期间内，相对于静止的被喷出部从喷嘴118喷出材料111。所谓“相对移动”或者“相对扫描”包括使喷出液状材料111的一侧和由该侧的喷出物弹落的一侧(被喷出部侧)的至少一方相对于另一方的移动。
另外，所谓车架103、喷头组114G(图2)、喷头114或者喷嘴118(图3)进行相对移动是指相对于台架106、基体或者被喷出部的它们的相对位置的变化。因此，在本说明书中，即使是车架103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对于喷出装置100静止、仅台架106移动的情况下，车架103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118也表记为相对于台架106、基体或者被喷出部相对移动。另外，有时也将相对扫描或相对移动和材料的喷出的组合表记为“涂布扫描”。
车架103和台架106还具有上述以外的平行移动和旋转的自由度。但是，在本实施例中，关于上述自由度以外的自由度的记载因是容易达到目的而省略其说明。
控制部112按照可以从外部信息处理装置接收表示必须喷出液状材料111的相对位置的喷出数据那样构成。控制部112的详细的构成和功能见后述。
(B.车架)
图2是从台架106侧观察车架103的图，与图2的纸面垂直的方向是Z轴方向。另外，图2的纸面的左右方向是X轴方向，纸面的上下方向是Y轴方向。
如图2所示，车架103保持分别具有大体相同构造的多个喷头114。在本实施例中，车架103保持的喷头114的数量是24个。各自的喷头114具有设有后述的多个喷嘴118的底面。各自的喷头114的该底面的形状是具有2个长边和2个短边的多角形。如图2所示，喷头114的底面向着台架106侧，另外，喷头114的长边方向和短边方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。另外，喷头114彼此的相对位置关系的详细情况将在后述。
在本说明书中，有时将在Y轴方向上邻接的4个喷头114表记为“喷头组114G”。根据该表记，图2的车架103可以表现为保持6个喷头组114G。
(C.喷头)
图3是表示喷头114的底面。喷头114具有在X轴方向上排列的多个喷嘴118。该多个喷嘴118按照喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP成为约70μm那样配置。这里，“喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP”与使喷头114中的全部喷嘴118沿Y轴方向在X轴上射像而得到的多个喷嘴像间的间距相当。
在本实施例中，喷头114中的多个喷嘴118都在X轴方向上形成延长的喷嘴列116A和喷嘴列116B。喷嘴列116A和喷嘴列116B在Y轴方向上排列。而且，在喷嘴列116A和喷嘴列116B的每个中，90个喷嘴118以一定间隔在X轴方向上排列成一列。在本实施例中，该一定间隔是约140μm。即，喷嘴列116A的喷嘴间距LNP和喷嘴列116B的喷嘴间距LNP都是约140μm。
喷嘴列116B的位置相对于喷嘴列116A的位置在X轴方向的正的方向(图3的右方向)偏移喷嘴间距LNP的一半的长度(约70μm)。因此，喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP是喷嘴列116A(或者喷嘴列116B)的喷嘴间距LNP的一半的长度(约70μm)。
因此，喷头114的X轴方向的喷嘴线密度是喷嘴列116A(或喷嘴列116B)的喷嘴线密度的2倍。另外，在本说明书中，“X轴方向的喷嘴线密度”与使多个喷嘴沿Y轴方向在X轴上射像得到的多个喷嘴像的平均单位长度的数相当。
不用说，喷头114含有的喷嘴列的数不只限定于2个。喷头114也可以含有M个喷嘴列。这里，M是1以上的自然数。该情况下，M个喷嘴列的每个中的多个喷嘴118以喷嘴间距HXP的M倍的长度的间距排列。另外，M是2以上的自然数的情况下，相对于M个喷嘴列的一个，其它的(M-1)个喷嘴列在不重复的X轴方向上仅偏移喷嘴间距HXP的i倍的长度。这里，i是从1到(M-1)的自然数。
那么，由于喷嘴列116A和喷嘴列116B的各自由90个喷嘴构成，所以1个喷头114就具有180个喷嘴。但是，在喷嘴列116A的两端的分别5个喷嘴作为“闲置喷嘴”而设定。同样，在喷嘴列116B的两端的分别5个喷嘴也作为“闲置喷嘴”而设定。而且，从该20个“闲置喷嘴”中不喷出液状材料111。因此，喷头114的180个嘴118中仅160个喷嘴118具有作为可以喷出液状材料111的喷嘴的功能。在本说明书中，将这些160个喷嘴118表记为“喷出嘴”。
另外，1个喷头114中的喷嘴118的数量不限定于180个。1个喷头114上也可以设360个喷嘴。该情况下，喷嘴列116A和喷嘴列116B各自只要由180个喷嘴118构成就行。另外，本发明中的喷嘴数不限定于160个。在1个喷头114上也可以有P个喷出嘴。这里，P是2以上的自然数，只要在喷头114中的全部喷嘴数以下就可以。
在本说明书中，以说明喷头114彼此的相对位置关系为目的，喷嘴列116A中含有的90个喷嘴118中，将从左起第6个喷嘴118表记为喷头114的“基准喷嘴118R”。即，喷嘴列116A中的80个喷嘴中，最左侧的喷嘴是喷头114的“基准喷嘴118R”。另外，由于相对于所有的喷头114只要“基准喷嘴118R”的指定方法相同就行，所以“基准喷嘴118R”的位置也可以不是上述位置。
如图4(a)和(b)所示，每个的喷头114是喷墨头。更具体地说，每个的喷头114具备振动板126、喷嘴板128。借助于孔131从容器101经常填充供给的液状材料111的积液槽129位于振动板126和喷嘴板128之间。
另外，多个隔壁122位于振动板126和喷嘴板128之间。而且，由振动板126、喷嘴板128和1对隔壁122围住的部分是空腔120。由于空腔120与喷嘴118相对应而设，所以空腔120的数量和喷嘴118的数量相同。借助于位于1对隔壁122之间的供给口130，从积液槽129将液状材料111供给空腔120。
在振动板126上，与各自的空腔120相对应定位振动器124。振动器124包含压电元件124C和夹持压电元件124C的一对电极124A、124B。赋予该一对电极124A、124B间以驱动电压时，由相应的喷嘴118喷出液状材料111。另外，按照在Z轴方向上从喷嘴118喷出液状材料那样调整喷嘴118的形状。
这里，在本说明书中的“液状材料”是指从喷嘴可喷出的具有粘度的材料。该情况下，不管材料是水性还是油性。只要具备从喷嘴可喷出的流动性是充分的，即使混入固体物质，只要作为全体是流动体就可以。
控制部112(图1)也可以按照互相独立地将信号赋予各多个振动器124那样构成。即，也可以根据来自控制部112的信号，对每个喷嘴118控制从喷嘴118喷出的材料111的体积。在这样的情况下下，由各喷嘴118喷出的材料111的体积在0p1～42p1(皮可升)之间可变化。另外，如后述那样，控制部112也可以设定在涂布扫描之间进行喷出动作的喷嘴118和不进行喷出动作的喷嘴118。
在本说明书中，有时也将包含1个喷嘴118、与喷嘴118对应的空腔120和与空腔120对应的振动器124的部分表记为“喷出部127”。根据该表记，1个喷头114具有与喷嘴118的数量相同数量的喷出部127。喷出部127也可以具有电热转换元件而代替压电元件。即，喷出部127也可以具有利用由电热转换元件产生的材料热膨胀而喷出材料的构成。
(D.喷头组)
以下，说明喷头组114G中的4个喷头114的相对位置关系。图5表示了图2的车架103在Y轴方向上邻接的2个喷头组114G。
如图5所示，各喷头组114G由4个喷头114构成。而且，按照喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP成为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍的长度那样在喷头组114G中配置有4个喷墨头114。在本实施例中，由于喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP是约70μm，所以喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP是其1/4倍的约17.5μm。这里，“喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP”与使喷头组114G中的全部喷嘴118沿Y轴方向在X轴方向上射像得到的多个喷嘴像之间的间距相当。
当然，喷头组114G含有的喷头114的数量不限定于4个。喷头组114G也可以由N个喷头114构成。这里，N是2以上的自然数。该情况下，只要按照喷嘴间距GXP成为喷嘴间距HXP的1/N倍的长度那样在喷头组114G中配置N个喷头114就可以。
以下，更具体地说明本实施例的喷头114的相对位置关系。
首先，以浅易地说明为目的，将图5的左上的喷头组114G中含有的4个喷头114从上起分别表记为喷头1141、喷头1142、喷头1143和喷头1144。同样，将图5的右下的喷头组114G中含有的4个喷头114从上起分别表记为喷头1145、喷头1146、喷头1147和喷头1148。
而且，将喷头1141中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列1A、1B，将喷头1142中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列2A、2B，将喷头1143中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列3A、3B，将喷头1144中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列4A、4B。同样，将喷头1145中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列5A、5B，将喷头1146中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列6A、6B，将喷头1147中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列7A、7B，将喷头1148中的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列8A、8B。
这些喷嘴列1A～8B的每个实际上由90个喷嘴118构成。而且，如上所述，喷嘴列1A～8B的每个中，该90个喷嘴在X轴方向上排列。但是，在图5中，为说明方便，喷嘴列1A～8B的每个按照由4个喷嘴(喷嘴118)构成那样进行描述。另外，图5中喷嘴列1A的最左的喷嘴118是喷头1141的基准喷嘴118R，喷嘴列2A的最左的喷嘴118是喷头1142的基准喷嘴118R，喷嘴列3A的最左的喷嘴118是喷头1143的基准喷嘴118R，喷嘴列4A的最左的喷嘴118是喷头1144的基准喷嘴118R，喷嘴列5A的最左的喷嘴118是喷头1145的基准喷嘴118R。
在本实施例中，有时也将喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP和喷头114的喷嘴数的积表记为“喷头的有效长度HL”。在图5例的情况下，由于喷嘴间距HXP是70μm，同时喷嘴的数量是8，所以喷头的有效长度HL是560μm。另外，在本实施例中，1个喷头114由连续的4个子区域SR构成。各子区域SR的X轴方向的长度DL是喷头有效长度HL的1/4倍。以下，为说明方便，将喷头114的4个子区域SR面向X轴方向的正的方向(图右侧)表记为子区域SR1、SR2、SR3、SR4。
如果根据以上的表记，各喷头114的基准喷嘴118R的X坐标按照以下表现。
喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标，相对于从喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移长度DL的X坐标，再偏移喷嘴间距HXP的1/2倍。在图5的例中，喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标，相对于喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标，在X轴方向的正的方向(图5的右方向)上仅偏移相对于长度DL增加喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。
喷头1144的基准喷嘴118R的X坐标，相对于从喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移长度DL的X坐标，再偏移喷嘴间距HXP的1/2倍。在图5的例中，喷头1144的基准喷嘴118R的X坐标，相对于喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标，在X轴方向的正的方向(图5的右方向)上仅偏移相对于长度DL增加喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。
喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标，相对于由喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移长度DL的X坐标，再偏移喷嘴间距HXP的1/4倍或者3/4倍。在图5的例中，喷头1143的基准喷嘴118R的位置，相对于喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标，在X轴方向的正的方向(图5的右方向)上仅偏移由长度DL延长喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。另外，所谓“X轴方向上偏移”的记载不仅包括在X轴方向的正的方向上偏移，也包括在X轴方向的负的方向上偏移。
另外，在本实施例中，向着Y轴方向的负的方向(图的下方向)，喷头1141、1142、1143、1144以该顺序排列。但是，在Y轴方向上排列的该4个喷头114的顺序也可以不是本实施例的顺序。具体地说，只要是喷头1141和喷头1142在Y轴方向上互相邻接，同时喷头1143和喷头1144在Y轴方向上互相邻接，也可以是无论怎样的排列。
图5的右下的喷头组114G中的喷头1145、1146、1147、1148的配置、即组合与喷头1141、1142、1143、1144的配置也是同样的。
根据喷头1145和喷头1141之间的相对位置关系说明在X轴方向上互相邻接的2个喷头组114G之间的相对位置关系。
喷头1145的基准喷嘴118R的X坐标，在X轴方向的正的方向上由喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP和喷头114中的喷嘴的数量的积的长度。在本实施例中，由于喷嘴间距HXP是约70μm，同时1个喷头114中的喷嘴的数量是160个，所以喷头1145的基准喷嘴118R的X坐标在X轴方向的正的方向上由喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移11.2mm(70μm×160)。但是，在图5中，为说明方便，由于喷头1141中喷嘴的数量是8个，所以喷头1145的基准喷嘴118R的X坐标按照由喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标仅偏移560μm(70μm×8)那样描述。
由于喷头1141和喷头1145按照上述那样配置，所以喷嘴列1A的最右的喷嘴的X坐标和喷嘴列5A的最左喷嘴的X坐标仅偏移喷嘴间距LNP。因此，2个喷头组114G全体的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍。
按照作为车架103全体的X轴方向的喷嘴间距都成为17.5μm、即成为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍的长度那样配置6个喷头组114G。
另外，在本说明书中，将喷头1141、喷头1144、喷头1145等的1个喷头组114G中的两端的喷头114表记为“基准喷头”。
在本实施例中，将沿X轴方向的在喷嘴间距HXP的长度的范围内收纳4个喷嘴118的X坐标的部分表记为重叠部G(图5中G1～G7)。例如，在图5中，重叠部G1包含喷嘴列1A的最右的喷嘴118、由喷嘴列2A的左起的第3个喷嘴118、由喷嘴列3A的左起的第2个喷出嘴118和喷嘴列4A的最左的喷嘴118。同样，重叠部G2包含喷嘴列1B的最右的喷嘴118、由喷嘴列2B的右起的第2个喷出嘴118、由喷嘴列3B的左起的第2个喷出嘴118和喷嘴列4B的最左的喷嘴118。另外，重叠部G3包含喷嘴列2A的最右的喷嘴118、喷嘴列3A的右起的第2个喷嘴118、喷嘴列4A的左起第2个喷出嘴118和喷嘴列5A的最左的喷嘴118。
根据本实施例的喷头的配置，重叠部G1～G7的任一个都包含属于子区域SR1的喷嘴118、属于子区域SR2的喷嘴118、属于子区域SR3的喷嘴118、属于子区域SR4的喷嘴118。而且，1个重叠部(例如重叠部G1)中含有的子区域SR1的喷嘴数、子区域SR2的喷嘴数、子区域SR3的喷嘴数和子区域SR4的喷嘴数是相同的。例如，图5的情况下，在重叠部G1中，属于子区域SR4的喷嘴118、属于子区域SR3的喷嘴118、属于子区域SR2的喷嘴118、属于子区域SR1的喷嘴118各含1个。
另外，根据本实施例的喷头的配置，喷嘴列1B的最右的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最右的喷嘴118的X坐标和喷嘴列5A的最左的喷嘴118的X坐标的中间大体一致。而且，由喷嘴列2A的右侧的第2个喷出嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最右的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最右的喷嘴118的X坐标的中间大体一致。由喷嘴列3A的左起的第2个喷出嘴118的X坐标与喷嘴列1A的最右的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的右起的第2个喷出嘴118的X坐标的中间大体一致。喷嘴列4A的最左的喷嘴118的X坐标与由喷嘴列2A的右起的第2个喷出嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最右的喷嘴118的X坐标的中间大体一致。
(E.控制部)
以下，说明控制部112的构成。如图6所示，控制部112具备输入缓冲存储器200、存储装置202、处理部204、扫描驱动部206和喷头驱动部208。输入缓冲存储器200和处理部204相互可通信地连接。处理部204与存储装置202相互可通信地连接。处理部204和扫描驱动部206相互可通信地连接。处理部204和喷头驱动部208相互可通信地连接。另外，扫描驱动部206与第1位置控制装置104和第2位置控制装置108相互可通信地连接。同样，喷头驱动部208与多个喷头114的每个相互可通信地连接。
输入缓冲存储器200接收来自外部信息处理装置的用于进行液状材料111的液滴的喷出的喷出数据。喷出数据包括表示基体上的全部被喷出部的相对位置的数据、表示将液状材料111涂布在全部的被喷出部直至希望的厚度时所必须的相对扫描次数的数据、具有作为打开喷嘴118A功能的指定喷嘴118的数据和具有作为关闭喷嘴118B功能的指定喷嘴118的数据。打开喷嘴118A和关闭喷嘴118B的说明将在后述。输入缓冲存储器200将喷出数据供给处理部204，处理部204将喷出数据存储在存储装置202中。在图6中，存储装置202是RAM。
处理部204根据存储装置202内的喷出数据，将表示相对于被喷出部的喷嘴118的相对位置的数据赋予扫描驱动部206。扫描驱动部206将根据该数据和后述的喷出周期EP(图7)的驱动信号赋予第1位置控制装置104和第2位置控制装置108。其结果，喷头114相对于被喷出部进行相对扫描。另一方面，处理部204根据存储装置202中存储的喷出数据和喷出周期EP，将指定每喷出时间的喷嘴118的打开·关闭的选择信号SC赋予喷头驱动部208。喷头驱动部208根据选择信号SC将液状材料111的喷出所必要的喷出信号ES赋予喷头114。其结果，从喷头114中的对应的喷嘴118中，作为液滴喷出液状材料111。
控制部112也可以是含有CPU、ROM、RAM的计算机。该情况下，控制部112的上述功能通过由计算机实行的软件程序来实现。无须说，控制部112也可以通过专用电路(硬件)来实现。
以下，说明控制部112中的喷头驱动部208的构成和功能。
如图7(a)所示，喷头驱动部208具有1个驱动信号生成部203和多个模拟开关AS。如图7(b)所示，驱动信号生成部203生成驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对于基准电位L随时间变化。具体地说，驱动信号DS含有以喷出周期EP反复的多个喷出波形P。这里，喷出波形P与用于从喷嘴118喷出1滴液滴要施加到振动器124的一对电极间的驱动电压的波形相对应。
将驱动信号DS供给各模拟开关AS的输入端子。各模拟开关AS与各喷出部127相对应而设置。即，模拟开关AS的数量和喷出部127的数量(即，喷嘴118的数量)相同。
处理部204将表示喷嘴118的打开·关闭的选择信号SC(图7中的SC1、SC2…)赋予各模拟开关AS。这里，每一个选择信号SC可以独立地取高电平和低电平的任一种状态。
另一方面，模拟开关AS根据驱动信号DS和选择信号SC，将喷出信号ES(图7中的ES1、ES2…)供给振动器124的电极124A。具体地说，选择信号SC是高电平的情况下，模拟开关AS将作为喷出信号ES的驱动信号DS传递给电极124A。另一方面，选择信号SC是低电平的情况下，模拟开关AS输出的喷出信号ES的电位成为基准电位L。赋予振动器124的电极124A以驱动信号DS时，液状材料111从与该振动器124对应的喷嘴118中喷出。另外，在各振动器124的电极124B上赋予基准电位L。
图7(b)中所示的例中，按照在2个喷出信号ES1、ES2的每个中以喷出周期EP的2倍的周期2EP表现喷出波形P那样设定2个选择信号SC1、SC2的每个中的高电平期间和低电平期间。藉此，液状材料111就会以周期2EP从对应的2个喷出嘴118的每个喷出。另外，可以将来自共同的驱动信号生成部203的共同的驱动信号DS赋予与该2个喷出嘴118对应的各振动器124。因此，可以在大体相同的时间内从2个喷出嘴118中喷出液状材料111。
由以上的构成，喷出装置100根据赋予控制部112的喷出数据可以进行液状材料111的涂布扫描。
(F.喷出方法的一例)
参照图8(a)和(b)，同时说明对于与X轴方向平行的带状目标、即被喷出部18L，喷出装置100喷出液状材料111的方法。另外，在图8(a)所示的例中，通过车架103向Y轴方向的相对移动，图5中说明的喷头1141、1142、1143、1144、1145、1146、1147以该顺序与被喷出部18L重合。另外，图8也表示了图5中的重叠部G1～G7。
如图8(a)所示，首先，车架103相对于台架106在Y轴方向上开始相对移动。而且，喷嘴列1A与被喷出部18L重合时，从喷嘴列1A的喷嘴118中的重叠部G1含有的喷嘴118中相对于被喷出部18L喷出材料111。在图8(b)的标记“1A”的右侧，由喷嘴列1A的喷出形成的弹落位置用黑圆描述。如图8(b)所示，通过喷嘴列1A的喷出，液状材料111以X轴方向上大体140μm的间距弹落被喷出部18L。
喷嘴列1A之后，喷嘴列1B与被喷出部18L重合。喷嘴列1B与被喷出部18L重合时，从喷嘴列1B的喷嘴118中的重叠部G1含有的喷嘴118中相对于被喷出部18L喷出液状材料111。在图8(b)的标记“1B”的右侧，由喷嘴列1B的喷出形成的弹落位置用黑圆描述。另外，由领先于喷嘴列1B的喷嘴列的喷出形成的弹落位置用白圆描绘。
喷嘴列1B之后，喷嘴列2A与被喷出部18L重合。喷嘴列2A与被喷出部18L重合时，从喷嘴列2A的喷嘴118中的重叠部G1含有的喷嘴118、重叠部G2含有的喷嘴118、重叠部G3含有的喷嘴118和重叠部4含有的喷嘴118中，相对于被喷出部18L同时喷出液状材料111。在图8(b)的标记“2A”的右侧，由喷嘴列2A的喷出形成的弹落位置用黑圆描绘，另外，由领先于喷嘴列2A的喷嘴列形成的弹落位置用白圆描绘。
喷嘴列2A之后，喷嘴列2B与被喷出部18L重合。喷嘴列2B与被喷出部18L重合时，从喷嘴列2B的喷嘴118中的重叠部G1含有的喷嘴118、重叠部G2含有的喷嘴118、重叠部G3含有的喷嘴118和重叠部4含有的喷嘴118中，相对于被喷出部18L同时喷出液状材料111。在图8(b)的标记“2B”的右侧，由喷嘴列2B的喷出形成的弹落位置用黑圆描绘，另外，由领先于喷嘴列2B的喷嘴列的喷出形成的弹落位置用白圆描绘。
其后，喷嘴列3A、3B、4A、4B、5A、5B、6A、6B、7A、7B以该顺序与被喷出部18L重合，从各喷嘴列3A、3B、4A、4B、5A、5B、6A、6B、7A、7B相对于被喷出部18L与喷嘴列1A、1B、2A、2B同样喷出液状材料111。其结果，在喷头组114G相对于被喷出部18L沿Y轴方向仅相对移动1次的期间内，液状材料111以喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍的长度、即17.5μm的间距弹落。
上述带状的被喷出部18L的例的之一是用于形成金属配线的部分。因而，本实施例的喷出装置100可以适用于以喷出液状的配线材料的方式制造金属配线的配线制造装置。例如，可以适用于在后述的等离子显示装置50(图20～22)中的支持基板52上形成地址电极54的配线制造装置。
图30(a)是模式地表示沿X轴方向的喷头114喷出量的分布的曲线图。另一方面，图30(b)是模式地表示沿X轴方向的喷头组114G中的重叠部G1～G7的喷出量的分布的曲线图。图30(a)和(b)的2个曲线图的横轴是与X轴方向平行的轴，同时与喷头114中的喷嘴118的位置相对应。另一方面，图30(a)和(b)的2个曲线图的纵轴表示从喷嘴118的喷出量。另外，喷出量的分布用在图5说明的喷头的有效长度HL的范围内插补实测值来描述。
如图30(a)所示，由喷头114的两端的喷嘴118的喷出量最多，由喷头114的大体中央的喷嘴118的喷出量最少。而且，沿X轴方向的喷嘴118的喷出量的分布形状是与喷头中央相关而大体对称的形状。图30的分布取为这样的形状的理由是依据喷头114的制造工序方面的理由，但在这里省略该理由的详细叙述。
另一方面，如图30(b)所述，沿X轴方向的重叠部G1～G7的喷出量的分布在喷头的有效长度HL的长度的1/4倍(即长度DL)的周期内大体具有反复的形状。其理由如下所述。
如图5所示和说明的那样，相对于在Y轴方向排列的4个喷头114的1个中的基准喷嘴118R的X坐标，其它3个喷头114的基准喷嘴118R的X坐标一边以大体长度DL的整数倍的程度一边不重复地在X轴方向上互相偏移。
而且，根据本实施例的喷头配置，重叠部G(图5中的G1～G7)的任一个中都包含属于子区域SR1的喷嘴118、属于子区域SR2的喷嘴118、属于子区域SR3的喷嘴118、属于子区域SR4的喷嘴118。因此，喷头114的属于各种子区域SR的喷嘴118在X轴方向上邻接。另外，1个重叠部G中含有的子区域SR1的喷嘴118的数量、子区域SR2的喷嘴118的数量、子区域SR3的喷嘴118的数量和子区域SR4的喷嘴118的数量是相同的。因此，与X轴方向平行的线，例如相对于1个带状的被喷出部18L，由重叠部G1～G7喷出的液滴的总体积，任一个都大体相同。
因而，重叠部G1·G2的沿X轴方向的喷出量的分布、重叠部G3·G4的沿X轴方向的喷出量的分布、重叠部G5·G6的沿X轴方向的喷出量的分布和重叠部G7·G8的沿X轴方向的喷出量的分布，任一个也是大体相同的形状。另外，与互相邻接的2个重叠部G对应的X轴方向的长度等于DL。
这样，根据本实施例，如图30(b)所示，即使在喷头114中的喷嘴118的每个位置上从喷嘴118中的液滴的喷出量不同，但是对于由喷头组114G喷出的液滴的列，却难以表现出喷出量的差别。其原因在于，属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，因此消除了喷出量的差别。另外，在喷头的有效长度HL的范围内，上述重叠部G排列8个。因而，在喷头114的有效长度HL的范围内的沿X轴方向的喷出量的差别也就进一步减小。
这里，相对于喷头组114G相对移动的方向，在基准喷头114位于最前面的重叠部G中，液状材料111的液滴的弹落顺序按照以下进行。首先，液滴在X轴方向上规定距离的2个位置上弹落。而且后面的液滴弹落已经用液滴覆盖的该2个位置的中间位置。而且反复这样的弹落位置的图形。例如，由图8的重叠部G1和G2，首先液滴分别弹落X轴方向上仅偏离喷嘴间距HXP的P1和P2。然后液滴弹落位于P1和P2的中间的P3，而且接着液滴弹落位于P1和P3的中间的P4。而且液滴弹落位于P3和P2的中间的P5。
这样，根据本实施例的喷头配置，液滴在相对于自己的弹落位置对称的2个位置上可以与先弹落的2个液滴连接。因此，在后面弹落的液滴中，相反的向2个方向的力动作，其结果，后弹落的液滴由其弹落位置以对称的形状扩展。从该理由出发，根据本实施例的喷出方法，就难以发生液状材料的涂布不均。
另外，即使喷头114不具有图30所示那样的形状的喷出分布，也可以适用本发明。具体地说，即使不是与喷头的有效长度HL的中心有关而对称的形状，也可以适用本发明。其原因在于，只要按照由重叠部G的喷出量的总量任一个都相同那样在各重叠部G中含有子区域SR，就可以得到上述的效果。
另外，根据本实施例，喷出装置100中在与车架103相对移动的方向(Y轴方向)垂直的方向(X轴方向)上，多个喷嘴118排列。因此，相对于沿X轴方向延长的被喷出部18L，由多个喷嘴118可以大体同时地喷出液状材料111。其结果，生成驱动信号DS的驱动信号生成部203相对于多个喷嘴118可以是1个。另外，由于从在1个方向上排列的多个喷嘴118喷出的时间大体是同时的，所以不需要用于延迟来自驱动信号生成部203的驱动信号DS的电路构成。其结果，驱动信号DS中的波形发生不充分的要因少，因此，可以将精密的喷出波形P施加到振动器124上。因而，由喷嘴118的液状材料111的喷出可以更稳定。
另外，根据本实施例，喷出装置100中喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距是喷头的X轴方向的喷嘴间距的1/N倍的长度。这里，N是喷头组114G中含有的喷头114的数量。因此，喷出装置100的X轴方向的喷嘴线密度比通常的喷墨装置的X轴方向的喷嘴线密度更高。其结果，在沿Y轴方向仅相对移动1次车架103的期间内，沿X轴方向可以形成更细密的弹落图形。
[实施例2]
说明将本发明适用于彩色滤光片基板的制造装置中的例子。
如图9(a)和(b)所示的基体10A是经过由后述的制造装置1(图10)的处理成为彩色滤光片基板10的基板。基体10A具有矩阵状配置的多个被喷出部18R、18G、18B。
具体地说，基体10A包含具有光透过性支持基板12、在支持基板12上形成的黑底(black matrix)14和在黑底14上形成的贮格围堰16。黑底14由具有遮光性的材料形成。而且，黑底14和黑底14上的贮格围堰16按照在支持基板12上规定矩阵状的多个透光部分、即矩阵状的多个像素区域那样定位。
在各像素区域中，用支持基板12、黑底14和贮格围堰16规定的凹部与被喷出部18R、被喷出部18G、被喷出部18B相对应。被喷出部18R是要形成只透过红色波长区域的光线的彩色滤光片层111FR的区域，被喷出部18G是要形成只透过绿色波长区域的光线的彩色滤光片层111FG的区域，被喷出部18B是要形成只透过蓝色波长区域的光线的彩色滤光片层111FB的区域。
图9(b)所示的基体10A位于与X轴方向和Y轴方向的双方平行的假设的平面上。而且，多个被喷出部18R、18G、18B形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。在基体10A中，被喷出部18R、被喷出部18G和被喷出部18B在Y轴方向上以该顺序周期地排列。另一方面，被喷出部18R彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，另外，被喷出部18G彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，而且，被喷出部18B彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列。另外，X轴方向和Y轴方向互相垂直。
被喷出部18R彼此的沿Y轴方向的一定的间隔LRY、即间距大体是560μm。该间隔与被喷出部18G彼此的沿Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部18B彼此的沿Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部18R的平面像是由长边和短边决定的矩形。具体地说，被喷出部18R的Y轴方向的长度大体是100μm，X轴方向的长度大体是300μm。被喷出部18G和被喷出部18B也具有与被喷出部18R相同的形状·大小。被喷出部18R彼此的上述间隔和被喷出部18R的上述大小与在40英寸左右大小的高清晰度电视中的相应于同一色的像素区域的间隔和大小相对应。
图10所示的制造装置1是相对于图9的基体10A的各被喷出部18R、18G、18B喷出相应的彩色滤光片材料的装置。具体地说，制造装置1备有：向被喷出部18R的全部涂布彩色滤光片材料111R的喷出装置100R、干燥被喷出部18R上的彩色滤光片材料111R的干燥装置150R、向被喷出部18G的全部涂布彩色滤光片材料111的喷出装置100G、干燥被喷出部18G上的彩色滤光片材料111G的干燥装置150G、向被喷出部18B的全部涂布彩色滤光片材料111B的喷出装置100B、干燥被喷出部18B上的彩色滤光片材料111B的干燥装置150B、再次加热(二次烘烤)彩色滤光片材料111R、111G、111B的干燥炉160、在已二次烘烤的彩色滤光片材料111R、111G、111B的层上设保护膜20的喷出装置100C、干燥保护膜20的干燥装置150C和再次加热已干燥的保护膜20进行固化的固化装置165。另外，制造装置1还备有按照喷出装置100R、干燥装置150R、喷出装置100G、干燥装置150G、喷出装置100B、干燥装置150B、喷出装置100C、干燥装置150C和固化装置165的顺序传送基体10A的传送装置170。
如图11所示，喷出装置100R的构成与实施例1的喷出装置100的构成基本上是相同的。但是，在喷出装置100R具备液状的彩色滤光片材料111R用容器101R和管路110R代替容器101和管路110这点上，喷出装置100R的构成与喷出装置100的构成不同。另外，喷出装置100R的构成要素中，与喷出装置100的构成要素同样的部分赋予与实施例1相同的参照符号，省略其重复的说明。
喷出装置100G的构成、喷出装置100B的构成、喷出装置100C的构成，其任一种也与喷出装置100R的结构基本上是相同的。但是，在喷出装置100G具备彩色滤光片材料111G用容器和管路、代替喷出装置100R中的容器101R和管路110R这点上，喷出装置100G的构成与喷出装置100R的构成不同。同样，在喷出装置100B具备彩色滤光片材料111B用容器和管路、代替容器101R和管路110R这点上，喷出装置100B的构成与喷出装置100R的构成不同。另外，在喷出装置100C具备保护膜材料用容器和管路、代替容器101R和管路110R这点上，喷出装置100C的构成与喷出装置100R的构成不同。另外，本实施例中的液状的彩色滤光片材料111R、111G、111B是本发明的液状材料的一例。
以下，说明喷出装置100R的动作。喷出装置100R向基体10A上矩阵状配置的多个被喷出部18R喷出相同的材料。另外，如实施例3～5说明的那样，基体10A既可以置换成电致发光显示装置用的基板，也可以置换成等离子显示装置用的背面基板，还可以置换成具备电子发射元件的图像显示装置的基板。
按照被喷出部18R的长边方向和短边方向分别与X轴方向和Y轴方向相一致那样，将图12的基体10A保持在台架106上。
首先，在开始第1扫描期间之前，控制部112根据喷出数据，按照将重叠部G(图12中的G1、G2…)中含有的几个喷嘴118的X坐标收纳在被喷出部18R的X坐标范围内那样，相对于基体10A在X轴方向上相对移动车架103，即喷头组114G。被喷出部18R的X坐标范围是由被喷出部18R的长边的两端的X坐标决定的范围。在本实施例中，被喷出部18R的长边的长度是约300μm，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距HXP是17.5μm。因此，喷头组114G中的16个或17个喷嘴118进入1个被喷出部18R的X坐标范围内，在扫描期间内，从X坐标范围外的喷嘴118一点也不喷出彩色滤光片材料111R。
这里，如图29所示，本实施例中所谓“扫描期间”是指，将车架103的一边沿Y轴方向从扫描范围134的一端E1(或者另一端E2)相对移动至另一端E2(或者一端E1)进行1次的时间。所谓“扫描范围134”是指用于向基体材料A上的全部的被喷出部18R涂布材料的车架103相对移动的范围，通过扫描范围134可以覆盖全部被喷出部18R。另外，根据情况，用语“扫描范围”有时也指相对移动1个喷嘴118的范围，有时也指相对移动1个喷嘴列116的范围，有时也指相对移动1个喷头114的范围。
控制部112按照在每个喷出周期EP((图7(b))的整数倍的时间间隔内1个喷嘴118和在Y轴方向上排列的被喷出部18R重合那样决定车架103的相对移动速度。如果这样，含有该1个喷嘴118的喷嘴列中的其它喷嘴118也在每个喷出周期EP的整数倍的时间间隔内，与各自的被喷出部18R重合。在本实施例中，由于被喷出部18R的Y轴方向的间距是LRY(图9(b))，所以将相对于台架106的车架103的相对移动的速度取为V时，V＝LRY/(K·EP)。这里，K是整数。
第1扫描期间开始时，从扫描范围134的一端E1在Y轴方向的正的方向(图12的纸面的上方向)上开始相对移动喷头组114G。这样，以喷嘴列1A、1B、2A、2B、3A、3B、4A、4B、5A、5B、6A、6B、7A、7B的顺序，这些喷嘴列侵入与被喷出部18R相对应的区域。另外，在第1扫描期间的中间，喷头组114G的X坐标不变化。
图12所示的例中，在左下的被喷出部18R的左起的由第1个到第4个弹落位置上，由属于重叠部G1的喷嘴118喷出彩色滤光片材料111R。向着左起的由第5个到第8个弹落位置，由属于重叠部G2的喷嘴118喷出彩色滤光片材料111R。向着左起的由第9个到第12个弹落位置，由属于重叠部G3的喷嘴118喷出彩色滤光片材料111R。向着左起的由第13个到第16个弹落位置，由属于重叠部G4的喷嘴118喷出彩色滤光片材料111R。
在1个被喷出部18R内，由多个重叠部G喷出彩色滤光片材料111R的液滴。由各重叠部G喷出的液滴的总体积(即，由1个重叠部G中含有的全部的喷嘴118喷出的液滴的总体积)任一个都是相同的，因而，被喷出部18R内被彩色滤光片材料111R均匀地覆盖。而且，如实施例1中说明的那样，由于属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，所以依存于喷嘴118位置的喷出量的差别就容易被消除。其结果，被喷出部18R彼此间的涂布不均也就不显著。
另外，根据本实施例，在1个扫描期间内，可以喷出针对1个被喷出部18R所必要的体积的彩色滤光片材料111R。这是由于，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP大体是1个喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4，因此，在1个扫描期间内，更多的喷嘴118可以与1个被喷出部重合。
另一方面，如图12所示，在第1扫描期间内，喷嘴列1A中的最左侧的喷嘴118、喷嘴列2A中的右起第2个喷出嘴118、喷嘴列3A中的右起第2个喷出嘴118、喷嘴列4A中的右起第2个喷出嘴118一度不与被喷出部18R重合。因而，由这些喷嘴一点也不进行彩色滤光片材料111R的喷出。
第1扫描期间结束时，控制部112由在X轴方向上相对移动喷头组114G开始下一个扫描期间，向还未涂布的被喷出部18R喷出彩色滤光片材料111R。
以上仅说明了向被喷出部18R涂布彩色滤光片材料的工序。以下说明通过制造装置1直至得到彩色滤光片基板的一系列工序。
首先，按照以下的顺序制成图9的基体10A。首先，通过溅射法或真空镀膜法在支持基板12上形成金属薄膜。其后，通过光刻法工序由该金属薄膜形成格子状黑底14。黑底14的材料的例子可以是金属铬或氧化铬。另外，支持基板12是对可见光具有光透过性的基板，例如是玻璃基板。接着，按照覆盖支持基板12和黑底14那样涂布由阴性型的感光性树脂组成物构成的抗蚀剂层。而且，在该抗蚀剂层上粘接形成矩阵图形形状的掩模膜，同时使该抗蚀剂层曝光。然后用蚀刻处理除去抗蚀剂层的未曝光部分，得到贮格围堰16。通过以上工序，得到基体10A。
另外，也可以用树脂黑颜料构成的贮格围堰来代替贮格围堰16。该情况下，不要金属薄膜(黑底14)，贮格围堰层只成为1层。
接着，通过大气压下的氧等离子体处理使基体10A亲液化。通过该处理，在支持基板12、黑底14和贮格围堰16上规定的各自的凹部(像素区域的一部分)中的支持基板12的表面上、黑底14的表面上和贮格围堰16的表面上就呈亲液性。另外，其后，对基体10A进行以四氟代甲烷作为处理气体的等离子处理。通过用四氟代甲烷的等离子处理，各自的凹部中的贮格围堰16的表面被氟化处理(疏液性处理)，这样贮格围堰16的表面就呈疏液性。另外，通过用四氟代甲烷的等离子体处理，先赋予亲液性的支持基板12的表面和黑底14的表面失去了一些亲液性，但是即使这样，其表面也可以维持亲液性。这样，通过对由支持基板12、黑底14和贮格围堰16规定的凹部的表面实施规定的表面处理，凹部的表面就成为被喷出部18R、18G、18B。
另外，根据支持基板12的材质、黑底14的材质和贮格围堰16的材质，即使不进行上述那样的表面处理，也可以得到呈希望的亲液性和疏液性的表面。在这样的情况下下，即使不实施上述表面处理，由支持基板12、黑底14和贮格围堰16规定的凹部的表面也可以是被喷出部18R、18G、18B。
形成被喷出部18R、18G、18B的基体10A，由传送装置170运到喷出装置100R的台架106上。而且，如图13(a)所示，喷出装置100R按照在全部被喷出部18R上形成彩色滤光片材料111R层那样由喷头114喷出彩色滤光片材料111R。具体地说，喷出装置100R用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部18R涂布彩色滤光片材料111R。在基体10A的全部被喷出部18R上形成彩色滤光片材料111R的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150R内。而且，完全干燥被喷出部18R上的彩色滤光片材料111R，在被喷出部18R上得到彩色滤光片层111FR。
接着，传送装置170使基体10A位于喷出装置100G的台架106上。而且，如图13(b)所示，喷出装置100G按照在全部被喷出部18G上形成彩色滤光片材料111G层那样由喷头114喷出彩色滤光片材料111G。具体地说，喷出装置100G用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部18G涂布彩色滤光片材料111G。在基体10A的全部被喷出部18G上形成彩色滤光片材料111G的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150G内。而且，完全干燥被喷出部18G上的彩色滤光片材料111G，在被喷出部18G上得到彩色滤光片层111FG。
接着，传送装置170使基体10A位于喷出装置100B的台架106上。而且，如图13(c)所示，喷出装置100B按照在全部被喷出部18B上形成彩色滤光片材料111B层那样由喷头114喷出彩色滤光片材料111B。具体地说，喷出装置100B用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部18B涂布彩色滤光片材料111B。在基体10A的全部被喷出部18B上形成彩色滤光片材料111B的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150B内。而且，完全干燥被喷出部18B上的彩色滤光片材料111B，在被喷出部18B上得到彩色滤光片层111FB。
接着，传送装置170使基体10A位于干燥炉160内。其后，干燥炉160再加热彩色滤光片层111FR、111FG、111FB。
接着，传送装置170使基体10A位于喷出装置100C的台架上。而且，喷出装置100C按照覆盖彩色滤光片层111FR、111FG、111FB和贮格围堰16而形成保护膜20那样喷出液状的保护膜材料。形成覆盖彩色滤光片层111FR、111FG、111FB和贮格围堰16的保护膜20后，传送装置170使基体10A位于干燥炉150C内。而且，干燥炉150完全干燥保护膜20后，固化装置165加热保护膜20而完全固化，从而，基体10A成为彩色滤光片基板10。
根据本实施例，在各喷出装置100R、100G、100B中，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距的1/N倍的长度。这里，N是喷头组114G中含有的喷头114的数量。因此，喷出装置100R、100G、100B的X轴方向的喷嘴线密度比通常的喷墨装置的X轴方向的喷嘴线密度更高。因而，制造装置1只要变更喷出数据就可以向各种大小的被喷出部涂布彩色滤光片材料。另外，制造装置1只要变更喷出数据就可以制造各种间距的彩色滤光片基板。
另外，根据本实施例，由多个重叠部G向各被喷出部18R、18G、18B喷出彩色滤光片材料111R的液滴。由各重叠部G喷出的液滴的总体积(即，由1个重叠部G中含有的全部的喷嘴118喷出的液滴的总体积)任一个都是相同的，因而，被喷出部18R、18G、18B内被彩色滤光片材料111R均匀地覆盖。而且，如实施例1中说明的那样，由于属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，所以依存于喷嘴118位置的喷出量的差别就容易被消除。其结果，被喷出部18R彼此间的涂布不均、被喷出部18G彼此间的涂布不均和被喷出部18B彼此间的涂布不均也就不显著。
另外，根据本实施例，彩色滤光片材料111R、111G、111B的液滴在已经用液滴覆盖的2个位置的中间位置上弹落。因此，后弹落的液滴在相对于自己的弹落位置对称的2个位置上可以与先弹落的2个液滴连接。因此，在后弹落的液滴中，相反的向2个方向的力动作，其结果，后弹落的液滴由其弹落位置以对称的形状扩展。从该理由出发，根据本实施例的喷出方法，就难以发生彩色滤光片材料111R、111G、111B的涂布不均。
[实施例3]
以下，说明将本发明适用于电致发光显示装置的制造装置中的例子。
图14(a)和(b)所示的基体30A是通过由后述的制造装置2(图15)处理成为电致发光显示装置30的基板。基体30A具有矩阵状配置的多个被喷出部38R、38G、38B。
具体地说，基体30A具有：支持基板32、在支持基板32上形成的电路元件层34、在电路元件层34上形成的多个像素电极36和在多个像素电极36之间形成的贮格围堰40。支持基板是对于可见光具有透过性的基板，例如可以是玻璃基板。各多个像素电极36是对于可见光具有透过性的电极，例如可以是ITO(氧化铟锡)电极。另外，多个像素电极36矩阵状地配置在电路元件层34上，各自规定像素区域。而且，贮格围堰40具有格子形状，分别围住多个像素电极36。另外，贮格围堰40由在电路元件层34上形成的无机物贮格围堰40A和位于无机物贮格围堰40A上的有机物贮格围堰40B构成。
电路元件层34具有以下各层：在支持基板32上以所定的方向延长的多个扫描电极、覆盖多个扫描电极而形成的绝缘膜42、位于绝缘膜42上同时在与多个扫描电极延长的方向垂直的方向上延长的多个信号电极、位于扫描电极和信号电极的交点附近的多个开关元件44和覆盖多个开关元件44而形成的聚酰亚胺等的层间绝缘膜45。各开关元件44的栅电极44G和源电极44S分别与对应的扫描电极和对应的信号电极电连接。多个像素电极36位于层间绝缘膜45上。在层间绝缘膜45上，在与各开关元件44的地址电极44D对应的部位上设通孔44V，借助于该通孔44形成开关元件44和对应的像素电极36之间的电连接。另外，各开关元件44位于与贮格围堰40对应的位置上。即，从与图14(b)的纸面垂直的方向观察时，多个开关元件44的每个按照被贮格围堰40覆盖那样定位。
在基体30A的像素电极36和贮格围堰40上规定的凹部(像素区域的一部分)与被喷出部38R、被喷出部38G、被喷出部38B相对应。被喷出部38R是要形成使红色波长区域的光线发光的发光层211FR的区域，被喷出部38G是要形成使绿色波长区域的光线发光的发光层211FG的区域，被喷出部38B是要形成使蓝色波长区域的光线发光的发光层211FB的区域。
图14(b)所示的基体30A位于与X轴方向和Y轴方向的双方平行的假设的平面上。而且，多个被喷出部38R、38G、38B形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。在基体30A中，被喷出部38R、被喷出部38G和被喷出部38B在Y轴方向上以该顺序周期地排列。另一方面，被喷出部38R彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，另外，被喷出部38G彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，同样，被喷出部38B彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列。另外，X轴方向和Y轴方向互相垂直。
被喷出部38R彼此的沿Y轴方向的一定的间隔LRY、即间距大体是560μm。该间隔与被喷出部38G彼此的沿Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部38B彼此的沿Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部38R的平面像是由长边和短边决定的矩形。具体地说，被喷出部38R的Y轴方向的长度大体是100μm，X轴方向的长度大体是300μm。被喷出部38G和被喷出部38B也具有与被喷出部38R相同的形状·大小。被喷出部38R彼此的上述间隔和被喷出部38R的上述大小与在40英寸左右大小的高清晰度电视中的相应于同一色的像素区域的间隔和大小相对应。
图15所示的制造装置2是相对于图14的基体30A的各被喷出部38R、38G、38B喷出相应的发光材料的装置。制造装置2具备：向全部被喷出部38R涂布发光材料211R的喷出装置200R、干燥被喷出部38R上的发光材料211R的干燥装置250R、向全部被喷出部38G涂布发光材料211G的喷出装置200G、干燥被喷出部38G上的发光材料211G的干燥装置250G、向全部被喷出部38B涂布发光材料211B的喷出装置200B、干燥被喷出部38B上的发光材料211B的干燥装置250B。另外，制造装置2还具备按照喷出装置200R、干燥装置250R、喷出装置200G、干燥装置250G、喷出装置200B、干燥装置250B的顺序传送基体30A的传送装置270。
图16所示的喷出装置200R具备：保持液状的发光材料211R的容器201R、管路210R和借助于管路210R从容器201R供给发光材料211R的喷出扫描部102。由于喷出扫描部102的构成与实施例1的喷出扫描部102(图1)的构成是相同的，所以对同样的构成要素赋予相同的参照符号，同时省略其重复的说明。另外，喷出装置200G的构成和喷出装置200B的构成，任一个都与喷出装置200R基本相同。但是，在喷出装置200G具备发光材料211G用容器和管路代替容器201R和管路210R这点上，喷出装置200G的构成与喷出装置200R的构成不同。同样，在喷出装置200B具备发光材料211B用容器和管路代替容器201R和管路210R这点上，喷出装置200B的构成与喷出装置200R的构成不同。另外，本实施例中的液状的发光材料211R、211B、211G是本发明的液状材料的一例。
说明用制造装置2的电致发光显示装置30的制造方法。首先，用公知的制膜技术和制作配线图形技术制造图14所示的基体30A。
接着，通过大气压下的氧等离子体处理使基体30A亲液化。通过该处理，在像素电极36和贮格围堰40上规定的各自的凹部(像素区域的一部分)中的像素电极36的表面、无机物贮格围堰40A的表面和有机物贮格围堰40B的表面就呈亲液性。另外，其后，对基体30A进行以四氟代甲烷作为处理气体的等离子体处理。通过用四氟代甲烷的等离子体处理，各自的凹部中的有机物贮格围堰40B的表面被氟化处理(疏液性处理)，这样，有机物贮格围堰40B的表面就呈疏液性。另外，通过用四氟代甲烷的等离子体处理，先赋予亲液性的像素电极36的表面和无机物贮格围堰40A的表面失去了一些亲液性，但是即使这样，也可以维持亲液性。这样，通过对由像素电极36和贮格围堰40规定的凹部的表面实施规定的表面处理，凹部的表面就成为被喷出部38R、38G、38B。
另外，根据像素电极36的材质、无机物贮格围堰40的材质和有机物贮格围堰40的材质，即使不进行上述那样的表面处理，也可以得到呈希望的亲液性和疏液性的表面。在这样的情况下下，即使不实施上述表面处理，由像素电极36和贮格围堰40规定的凹部的表面也可以是被喷出部38R、38G、38B。
这里，也可以形成与实施表面处理的各多个像素电极36上对应的空穴输送层37R、37G、37B。如果空穴输送层37R、37G、37B位于像素电极36和后述的发光层211RF、211GF、211BF之间，电致发光显示装置的发光效率增高。在多个像素电极36的每个上设空穴输送层的情况下，由空穴输送层和贮格围堰40规定的凹部与被喷出部38R、38G、38B对应。
另外，也可以通过喷墨法形成空穴输送层37R、37G、37B。该情况下，将含有用于形成空穴输送层37R、37G、37B的材料以所定量涂布在各像素区域，然后，通过干燥，可以形成空穴输送层。
形成被喷出部38R、38G、38B的基体30A，由传送装置270运到喷出装置200R的台架106上。而且，如图17(a)所示，喷出装置200R按照在全部被喷出部38R上形成发光材料211R层那样由喷头114喷出发光材料211R。具体地说，喷出装置200R用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部38R涂布发光材料211R。在基体30A的全部被喷出部38R上形成发光材料211R的层的情况下下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250R内。而且，通过完全干燥被喷出部38R上的发光材料211R，在被喷出部38R上得到发光层211FR。
接着，传送装置270使基体30A位于喷出装置200G的台架106上。而且，如图17(b)所示，喷出装置200G按照在全部被喷出部38G上形成发光材料211G层那样由喷头114喷出发光材料211G。具体地说，喷出装置200G用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部38G涂布发光材料211G。在基体30A的全部被喷出部38G上形成发光材料211G的层的情况下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250G内。而且，通过完全干燥被喷出部38G上的发光材料111G，在被喷出部38G上得到发光层211FG。
接着，传送装置270使基体30A位于喷出装置200B的台架106上。而且，如图17(c)所示，喷出装置200B按照在全部被喷出部38B上形成发光材料211B层那样由喷头114喷出发光材料211B。具体地说，喷出装置200B用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部38B涂布发光材料211B。在基体30A的全部被喷出部38B上形成发光材料211B的层的情况下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250B内。而且，通过完全干燥被喷出部38B上的发光材料211B，在被喷出部38B上得到发光层211FB。
如图17(d)所示，然后，按照覆盖发光层211FR、211FG、211FB和贮格围堰40那样设对向电极46。对向电极46具有作为阴极的功能。
然后，通过相互的周边部粘接密封基板48和基体30A，得到如图17(d)所示的电致发光显示装置30。另外，在密封基板48和基体30A之间封入有惰性气体49。
在电致发光显示装置30中，由发光层211FR、211FG、211FB发光的光借助于像素电极36、电路元件层34和支持基板32而射出。这样的借助于电路元件层34而将光射出的电致发光显示装置称为底部发射型显示装置。
根据本实施例，在各喷出装置200R、200G、200B3中，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距的1/N倍的长度。这里，N是喷头组114G中含有的喷头114的数量。因此，喷出装置200R、200G、200B的X轴方向的喷嘴线密度比通常的喷墨装置的X轴方向的喷嘴线密度更高。因而，制造装置2只要变更喷出数据就可以向各种大小的被喷出部涂布发光材料。另外，制造装置2只要变更喷出数据就可以制造各种间距的电致发光显示装置。
另外，根据本实施例，由多个重叠部G向1个被喷出部38R、38G、38B的每个中喷出发光材料211R、211G、211B的液滴。由各重叠部G喷出的液滴的总体积(即，由1个重叠部G中含有的全部的喷嘴118喷出的液滴的总体积)任一个都是相同的，因而，被喷出部38R、38G、38B内被发光材料211R、211B、211G均匀地覆盖。而且，如实施例1中说明的那样，由于属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，所以依存于喷嘴118位置的喷出量的差别就容易被消除。其结果，被喷出部38R彼此间的涂布不均、被喷出部38G彼此间的涂布不均和被喷出部38B彼此间的涂布不均也就不显著。
另外，根据本实施例，发光材料211R、211G、211B的液滴在已经用液滴覆盖的2个位置的中间位置上弹落。因此，后弹落的液滴可以在相对于自己的弹落位置对称的2个位置上与先弹落的2个液滴连接。因此，在后弹落的液滴中，相反的向2个方向的力动作，其结果，后弹落的液滴由其弹落位置以对称的形状扩展。从该理由出发，根据本实施例的喷出方法，就难以发生发光材料211R、211G、211B的涂布不均。
[实施例4]
说明将本发明适用于等离子显示装置的背面基板的制造装置。
图18(a)和(b)所示的基体50A是通过由后述的制造装置3(图19)的处理成为等离子显示装置的背面基板50B的基板。基体50A具有矩阵状配置的多个被喷出部58R、58G、58B。
具体地说，基体50A含有支持基板52、在支持基板52上带状形成的多个地址电极54、覆盖地址电极54而形成的电介质玻璃层和具有格子状同时规定多个像素区域的隔壁60。多个像素区域以矩阵状定位，形成多个像素区域的各矩阵的列与各多个地址电极54对应。这样的基体50A用公知的网版印刷技术形成。
在基体50A的各自的像素区域中，由电介质玻璃层56和隔壁60规定的凹部与被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B相对应。被喷出部58R是要形成使红色波长区域的光线发光的萤光层311FR的区域，被喷出部58G是要形成使绿色波长区域的光线发光的萤光层311FG的区域，被喷出部58B是要形成使蓝色波长区域的光线发光的萤光层311FB的区域。
图18(b)所示的基体50A位于与X轴方向和Y轴方向的双方平行的假设的平面上。而且，多个被喷出部58R、58G、58B形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。在基体50A中，被喷出部58R、被喷出部58G和被喷出部58B在Y轴方向上以该顺序周期地排列。另一方面，被喷出部58R彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，另外，被喷出部58G彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列，同样，被喷出部58B彼此在X轴方向上以规定的一定间隔排列为1列。另外，X轴方向和Y轴方向互相垂直。
被喷出部58R彼此的沿Y轴方向的一定的间隔LRY、即间距大体是560μm。该间隔与被喷出部58G彼此的沿Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部58B彼此的沿Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部58R的平面像是由长边和短边决定的矩形。具体地说，被喷出部58R的Y轴方向的长度大体是100μm，X轴方向的长度大体是300μm。被喷出部58G和被喷出部58B也具有与被喷出部58R相同的形状·大小。被喷出部58R彼此的上述间隔和被喷出部58R的上述大小与在40英寸左右大小的高清晰度电视中的相应于同一色的像素区域的间隔和大小相对应。
图19所示的制造装置3是相对于图18的基体50A的每个被喷出部58R、58G、58B喷出相应的萤光材料的装置。制造装置3备有：向全部被喷出部58R涂布萤光材料311R的喷出装置300R、干燥被喷出部58R上的萤光材料311R的干燥装置350R、向全部被喷出部58G涂布萤光材料311G的喷出装置300G、干燥被喷出部58G上的萤光材料311G的干燥装置350G、向全部被喷出部58B涂布萤光材料311B的喷出装置300B、干燥被喷出部58B上的萤光材料311B的干燥装置350B。另外，制造装置3还备有按照喷出装置300R、干燥装置350R、喷出装置300G、干燥装置350G、喷出装置300B、干燥装置350B的顺序传送基体50A的传送装置370。
图20所示的喷出装置300R具备：保持液状的萤光材料311R的容器301R、管路310R和借助于管路310R从容器301R供给萤光材料311R的喷出扫描部102。喷出扫描部102的构成，因实施例1已说明而省略重复的说明。
喷出装置300G的构成和喷出装置300B的构成，任一个都与喷出装置300R基本相同。但是，在喷出装置300G具备萤光材料311G用容器和管路代替容器301R和管路310R这点上，喷出装置300G的构成与喷出装置300R的构成不同。同样，在喷出装置300B具备萤光材料311B用容器和管路代替容器301R和管路310R这点上，喷出装置300B的构成与喷出装置300R的构成不同。另外，本实施例中的液状的萤光材料311R、311B、311G是本发明的液状材料的一例。
说明用制造装置3的等离子显示装置的制造方法。首先，用公知的网版印刷技术在支持基板52上形成多个地址电极54、电介质玻璃层56和隔壁60，得到图18所示的基体50A。
接着，通过大气压下的氧等离子体处理使基体50A亲液化。通过该处理，在由隔壁60和电介质玻璃层56规定的各自的凹部(像素区域的一部分)的隔壁60的表面、电介质玻璃层56的表面就呈亲液性。这些表面成为被喷出部58R、58G、58B。另外，根据材质，即使不进行上述那样的表面处理，也可以得到呈希望的亲液性的表面。在这样的情况下下，即使不实施上述表面处理，由隔壁60和电介质玻璃层56规定的凹部的表面也可以是被喷出部58R、58G、58B。
形成被喷出部58R、58G、58B的基体50A，由传送装置370运到喷出装置300R的台架106上。而且，如图21(a)所示，喷出装置300R按照在全部被喷出部58R上形成萤光材料311R层那样由喷头114喷出萤光材料311R。具体地说，喷出装置300R用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部58R涂布萤光材料311R。在基体50A的全部被喷出部58R上形成发光材料311R的层的情况下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350R内。而且，完全干燥被喷出部58R上的发光材料311R，在被喷出部58R上得到萤光层311FR。
接着，传送装置370使基体50A位于喷出装置300G的台架106上。而且，如图21(b)所示，喷出装置300G按照在全部被喷出部58G上形成萤光材料311G层那样由喷头114喷出发光材料311G。具体地说，喷出装置300G用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部58G涂布萤光材料311G。在基体50A的全部被喷出部58G上形成萤光材料311G的层的情况下下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350G内。而且，完全干燥被喷出部58G上的萤光材料311G，在被喷出部58G上得到萤光层311FG。
接着，传送装置370使基体50A位于喷出装置300B的台架106上。而且，如图21(c)所示，喷出装置300B按照在全部被喷出部58B上形成萤光材料311B层那样由喷头114喷出萤光材料311B。具体地说，喷出装置300B用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部58B涂布萤光材料311B。在基体50A的全部被喷出部58B上形成萤光材料311B的层的情况下下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350B内。而且，完全干燥被喷出部58B上的萤光材料311B，在被喷出部58B上得到萤光层311FB。
通过以上工序，基体50A形成等离子显示装置的背面基板50B。
然后，如图22所示，用公知的方法粘接背面基板50B和前面基板50C，得到等离子显示装置50。前面基板50C具有：玻璃基板68、在玻璃基板68上互相平行制作配线图形的显示电极66A和显示扫描电极66B、覆盖显示电极66A和显示扫描电极66B而形成的电介质玻璃层64、和在电介质玻璃层64上形成的MgO保护层62。背面基板50B和前面基板50C按照背面基板50B的地址电极54和前面基板50C的显示电极66A·显示扫描电极66B互相垂直那样定位而合在一起。在用各隔壁60围住的单元(像素区域)内，以规定的压力封入放电气体。
根据本实施例，在各喷出装置300R、300G、300B中，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距的1/N倍的长度。这里，N是喷头组114G中含有的喷头114的数量。因此，喷出装置300R、300G、300B的X轴方向的喷嘴线密度比通常的喷墨装置的X轴方向的喷嘴线密度更高。因而，制造装置3只要变更喷出数据就可以向各种大小的被喷出部涂布萤光材料。另外，制造装置3只要变更喷出数据就可以制造各种间距的等离子显示装置。
另外，根据本实施例，由多个重叠部G向1个被喷出部58R、58G、58B的每个喷出萤光材料311R、311G、311B的液滴。由各重叠部G喷出的液滴的总体积(即，由1个重叠部G中含有的全部的喷嘴118喷出的液滴的总体积)任一个都是相同的，因而，被喷出部58R、58G、58B内被萤光材料311R、311B、311G均匀地覆盖。而且，如实施例1中说明的那样，由于属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，所以依存于喷嘴118位置的喷出量的差别就容易被消除。其结果，被喷出部58R彼此间的涂布不均、被喷出部58G彼此间的涂布不均和被喷出部58B彼此间的涂布不均也就不显著。
另外，根据本实施例，萤光材料311R、311G、311B的液滴在已经用液滴覆盖的2个位置的中间位置上弹落。因此，后弹落的液滴可以在相对于自己的弹落位置对称的2个位置上与先弹落的2个液滴连接。因此，在后弹落的液滴中，相反的向2个方向的力动作，其结果，后弹落的液滴由其弹落位置以对称的形状扩展。从该理由出发，根据本实施例的喷出方法，就难以发生萤光材料311R、311G、311B的涂布不均。
[实施例5]
以下，说明将本发明适用于具备电子发射元件的图像显示装置的制造装置的例子。
图23(a)和(b)所示的基体70A是通过由后述的制造装置4(图24)的处理成为图像显示装置的电子源基板70B的基板。基体70A具有矩阵状配置的多个被喷出部78。
具体地说，基体70A备有基体72、位于基体72上的钠扩散防止层74、位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多个金属配线79A和位于多个元件电极76B上的多个金属配线79B。各多个金属配线79A具有沿X轴方向延长的形状。另一方面，各多个金属配线79B具有沿Y轴方向延长的形状。由于在金属配线79A和金属配线79B之间形成绝缘膜75，所以金属配线79A和金属配线79B可以电绝缘。
含有1对元件电极76A和元件电极76B的部分与1个像素区域相对应。1对元件电极76A和元件电极76B仅互相分离规定的间隔，在钠扩散防止层74上对置。与某像素区域对应的元件电极76A与对应的金属配线79A电连接。另外，与该像素区域对应的元件电极76B与对应的金属配线79B电连接。另外，在本说明书中，将基体72和钠扩散防止层74合起来的部分表记为支持基板。
在基体70A的各像素区域中，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74与被喷出部78对应。更具体地说，被喷出部78是要形成导电性薄膜411F(图27)的区域，导电性薄膜411F按照覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分和元件电极76A、76B之间的间隙那样形成。如图23(b)中用虚线表示的那样，本实施例中的被喷出部78的平面形状是圆形。按照这样，本发明的被喷出部的平面形状也可以是由X坐标范围和Y坐标范围决定的圆形。
图23(b)所示的基体70A位于与X轴方向和Y轴方向的双方平行的假设的平面上。而且，多个被喷出部78形成的矩阵的行方向和列方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。即，在基体70A中，多个被喷出部78在X轴方向和Y轴方向上排列。另外，X轴方向和Y轴方向互相垂直。
被喷出部78彼此的沿Y轴方向的一定的间隔L、即间距大体是190μm。另外，被喷出部78的X轴方向的长度(X坐标范围的长度)大体是100μm，Y轴方向的长度(Y坐标范围的长度)大体也是100μm。被喷出部78彼此的上述间隔和被喷出部的上述大小与在40英寸左右大小的高清晰度电视中的像素区域的间隔和大小相对应。
图24所示的制造装置4是相对于图23的基体70A的各被喷出部78喷出导电性薄膜材料411的装置。具体地说，制造装置4备有：向全部被喷出部78涂布导电性薄膜材料411的喷出装置400和干燥被喷出部78上的导电性薄膜材料411的干燥装置450。另外，制造装置4还备有按照喷出装置400、干燥装置450的顺序传送基体70A的传送装置470。
图25所示的喷出装置400具备：保持液状的导电性薄膜材料41 1的容器401、管路410和借助于管路410从容器401供给导电性薄膜材料411的喷出扫描部102。喷出扫描部102的说明因实施例1已说明而省略。另外，本实施例中的液状的导电性薄膜材料411是有机钯溶液。另外，本实施例中的液状的导电性薄膜材料411是本发明的液状材料的一例。
说明用制造装置4的图像显示装置的制造方法。首先，在由钠玻璃等形成的基体72上形成以SiO₂作为主成分的钠扩散防止层74。具体地说，通过用溅射法在基体72上形成厚度1μm的SiO₂膜而得到钠扩散防止层74。然后，在钠扩散防止层74上用溅射法或真空镀敷法形成厚度5nm的钛层。而且，用光刻法技术或蚀刻技术，由该钛层多对地形成仅互相分离规定的距离而定位的1对元件电极76A和元件电极76B。
然后，用网版印刷技术在钠扩散防止层74和多个元件电极76A上涂布Ag糊并烧成，形成沿X轴方向延长的多个金属配线79A。接着，用网版印刷技术在各金属配线79A的一部分上涂布玻璃糊并烧成，形成绝缘膜75。而且，用网版印刷技术在钠扩散防止层74和多个元件电极76B上涂布Ag糊并烧成，形成沿Y轴方向延长的多个金属配线79B。另外，制作金属配线79B的情况下，金属配线79B借助于绝缘膜75按照与金属配线79A交叉那样涂布Ag糊。通过以上的工序得到图23所示的基体70A。
接着，通过大气压下的氧等离子体处理使基体70A亲液化。通过该处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面一部分和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的支持基板的表面被亲液化。而且，这些表面成为被喷出部78。另外，根据材质，即使不进行上述那样的表面处理，也可以得到呈所希望的亲液性的表面。在这样的情况下下，即使不实施上述表面处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面一部分和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的表面也可以是被喷出部78。
形成被喷出部78的基体70A，由传送装置470运到喷出装置400的台架106上。而且，如图26所示，喷出装置400按照在全部被喷出部78上形成导电性薄膜材料411层那样由喷头114喷出导电性薄膜材料411。具体地说，喷出装置400用边参照图12边按说明的喷出方法向被喷出部78涂布导电性薄膜材料411。在本实施例中，按照在被喷出部78上弹落的导电性薄膜材料411的液滴的直径成为60μm～80μm的范围内那样，控制部112赋予喷头114以信号。在基体70A的全部被喷出部78上形成导电性薄膜材料411的层的情况下，传送装置470使基体70A位于干燥装置450R内。而且，完全干燥被喷出部78上的导电性薄膜材料411，在被喷出部78上得到以氧化钯作为主成分的导电性薄膜411F。这样，在各像素区域中，形成覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的导电性薄膜411F。
然后，在元件电极76A和元件电极76B之间施加脉冲状的规定的电压，导电性薄膜411F的一部分形成电子发射部411D。另外，优选在有机物气氛气体下或真空条件下分别进行元件电极76A和元件电极76B之间的电压施加。其原因在于，如果是这样，由电子发射部411D的电子发射效率更高。元件电极76A、对应的元件电极76B和设电子发射部411D的导电性薄膜411F是电子发射元件。另外，各电子发射元件与各像素区域相对应。
通过以上工序，如图27所示，基体70A成为电子源基板70B。
然后，如图28所示，用公知的方法粘接电子源基板70B和前面基板70C，得到图像显示装置70。前面基板70C具有：玻璃基板82、在玻璃基板82上矩阵状定位的多个萤光部84、覆盖多个萤光部84的金属板86。金属板86具有作为用于使来自电子发射部411D的电子束加速的电极的功能。电子源基板70B和前面基板70C按照各多个电子发射元件与各多个萤光部84对向那样定位并合在一起。另外，电子源基板70B和前面基板70C之间保持为真空状态。
另外，有时也将具备上述电子发射元件的图像显示装置70称为SED(表面传导电子发射显示器)或FED(场发射显示器)。
根据本实施例，在喷出装置400中，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距是喷头114的X轴方向的喷嘴间距的1/N倍的长度。这里，N是喷头组114G中含有的喷头114的数量。因此，喷出装置400的X轴方向的喷嘴线密度比通常的喷墨装置的X轴方向的喷嘴线密度更高。因而，制造装置4只要变更喷出数据就可以向各种大小的被喷出部涂布导电性薄膜材料411。另外，制造装置4只要变更喷出数据就可以制造各种间距的电子源基板。
另外，根据本实施例，由多个重叠部G向被喷出部78喷出导电性薄膜材料411的液滴。由各重叠部G喷出的液滴的总体积(即，由1个重叠部G中含有的全部的喷嘴118喷出的液滴的总体积)任一个都是相同的，因而，被喷出部78内被导电性薄膜材料411均匀地覆盖。而且，如实施例1中说明的那样，由于属于各种子区域SR的喷嘴118在喷头组114G中沿X轴方向邻接，所以依存于喷嘴118位置的喷出量的差别就容易被消除。其结果，被喷出部78彼此间的涂布不均也就不显著。
另外，根据本实施例，导电性薄膜材料411的液滴在已经用液滴覆盖的2个位置的中间位置上弹落。因此，后弹落的液滴可以在相对于自己的弹落位置对称的2个位置上与先弹落的2个液滴连接。因此，在后弹落的液滴中，相反的向2个方向的力动作，其结果，后弹落的液滴由其弹落位置以对称的形状扩展。从该理由出发，根据本实施例的喷出方法，就难以发生导电性薄膜材料411的涂布不均。