玻璃基板的搬送系统 【技术领域】
本发明涉及LCD(Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma DisplayPanel)、EL(E1ectro Luminescence)等玻璃基板的搬送系统。
背景技术
至今，用来在LCD的生产线例如蚀刻、光阻等的生产线中将玻璃基板从自动仓库搬送至生产线侧，又将在生产线处理完毕的玻璃基板以一次一片的方式搬送至该自动仓库侧的，所谓单片式搬运系统中，于自动仓库与生产线侧之间设置有各种搬送系统。
前述搬送系统中，例如有图22所示的搬送输送系统。该搬送系统，是沿自动仓库A’并设有堆高式起重机B’，沿该堆高式起重机的行进路并设有多台(图面中有3台，在中间的1台是预备用)的交换器(exchanger)C’及横向输送机(与直线搬送成90°移载)G’，反覆进行搬送、浮起、90°移载等，以进行向生产线的交付及从生产线的接受。
构成上述搬送系统的交换器，是具备一种机构，用来在与堆高式起重机之间接受、交付用以将玻璃基板收集并暂时贮藏的索式匣(wirecassette)(张设有索的匣，用来将玻璃基板以既定的间隔支撑成水平多段状)，且对索式匣装载玻璃基板或从索式匣卸载玻璃基板。
此外，由该搬送系统将自动仓库内的玻璃基板搬送供应至生产线侧、以及从生产线侧将处理完地玻璃基板搬送收容至自动仓库侧的动作，是以图23的流程图所示的过程来进行。此外，图23的(a)、(b)中，左行代表玻璃基板的动作等，右行代表进行该动作的机械等。
例如，在将玻璃基板搬送供应至生产线侧的场合，以堆高式起重机B’将自动仓库A’内的索式匣F’插入定位在左端的交换器C’，左端的横向输送机G’从交换器接受玻璃基板，使该接受的玻璃基板，藉该横向输送机G’的作动而浮起，在其浮动状态下通过中间的横向输送机G’并往右端的横向输送机G’上输送，当右端的横向输送机G’接受玻璃基板后，该横向输送机作动，使玻璃基板下降，再使横向输送机G’的滚轮式输送机作动来将玻璃基板搬送至生产线P’侧。
然而，当交换器的中心O与生产线的中心O’一致时，必须能将玻璃基板从输送机往输送机依序移交来进行接受、交付，且在接受交付的过程中，作横向输送机的浮起、搬送、停止、下降等复杂的动作。
再者，当交换器的中心O与生产线的中心O’不一致时，不仅在接受交付的过程中须作上述般的复杂动作，而且为了对准中心而必须对输送机作运转控制等，故无法避免工作时间的浪费、对玻璃基板造成的损伤等。此外，从交换器透过横向输送机往生产线侧搬送玻璃基板时，无法以横向输送机将在生产线侧处理完毕的玻璃基板搬送至交换器侧。亦即，横向输送机是无法同时进行玻璃基板的交付及接受。
况且，在生产线侧，有时要求玻璃基板的输入方向为相对收容于交换器内索式匣的状态经旋转90°、180°、270°的方向，在此情形下便必须作更复杂的动作(输送机的旋转、玻璃基板的前后左右的对位等的微调整)。
此外，若利用交换器的索式匣的接受/交付、或者与生产线侧的玻璃基板的输入、输出的时机一致，便能在不浪费工作时间之下在特定的时间内进行接受/交付，不过，在该时机不匹配的情形下，便必须使任一边的玻璃基板待机，导致生产效率降低。另外，亦可考虑设置缓冲用的专用空间来消除待机时间，不过，便相对需要额外的空间，尤其如后述，在玻璃基板的大型化中，将导致总设置面积扩大的问题。
再者，LCD玻璃基板，逐年趋于大型化，现在甚至存在所谓的第7代玻璃大小(2200×2000)。玻璃基板，原本是脆弱的，随着玻璃基板的大小变大，该脆弱的程度亦升高。因此，若在上述般的搬送过程中进行复杂的动作，大型的玻璃基板的损伤问题将更大。
【发明内容】
本发明就是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种搬送系统来解决上述现有的不良情形，该搬运系统，对于交换器与生产线间的逐片搬送能以不换乘定置式输送机的方式同时进行玻璃基板的交付及接受，由此能在不浪费工作时间之下高效率地搬送，而且廉价。
本发明的另一目的在于提供一种搬送系统，该搬送系统，能在必须使玻璃基板旋转、或者作中心对准的情形下，在交换器与生产线之间的玻璃基板的搬送过程中进行该等作业。
该本发明的LCD玻璃基板的搬送系统，是用来在自动仓库与多台并设的交换器之间进行匣式搬送，并于交换器与生产线之间进行逐片搬送；其特征在于：于该交换器内，配置用来对交换器内上下升降的匣装载或卸载玻璃基板的输送机，于交换器的装载/卸载玻璃基板的一侧，将用来交付玻璃基板给生产线侧的交付专用输送机、及用来接受从生产线侧排出的玻璃基板的接受专用输送机配置成沿上下方向隔有间隔、且能互相不干扰地独立行进，而且使配置于交换器内的输送机能对应交付专用输送机及接受专用输送机的高度上下升降自如(权利要求1)。
对上述交换器供应/取出的匣，是用来将玻璃基板收容成水平多段状的索式匣，用来支撑玻璃基板的索则以沿水平方向隔有既定间隔、平行且沿上下方向隔有既定间隔的方式张设而构成；且于该上下方向的索彼此间，有滚轮式输送机(用来装载/卸载玻璃基板)的滚轮(轴)。
上述交换器的装载/卸载玻璃基板的一侧，是指与交换器的匣插侧对向的一侧，亦即堆高式起重机的相反侧。
上述接受专用输送机及交付专用输送机，是若仅向一定方向搬送玻璃基板，而对生产线侧在保持原状的状态下搬送的情形下该输送机便足够，不过，有时必须因应生产线侧的处理作业旋转玻璃基板。在因应这种要求的情形下，使该接受专用输送机及交付专用输送机具备对准装置(权利要求2)。
该对准装置，是具有使玻璃基板水平旋转的旋转机构、及左右方向(输送机的搬送方向的正交方向)的微调整机构，且该等两机构能在互相不干扰之下在1处同时作调整(权利要求3)。
此外，在驱动接受专用输送机及交付专用输送机来搬送玻璃基板的情形下，调整该输送机所产生的搬送的停止位置，便能进行玻璃基板的前后方向(搬送方向)的微调整。
上述的旋转机构，是该对准装置的旋转机构，是于具有承载玻璃基板的玻璃基板承接件的旋转体的外周面，将一弯曲性佳的带状体从左卷绕，将另一弯曲性佳的带状体从右卷绕，且将各带状体的一端固定于该旋转体，将带状体的另一端固定于直线移动的移动体，通过该移动体的往复运动来使该旋转体旋转(权利要求4)。
左右带状体的他端是透过滑轮折返，用来固接该折返的端部的移动体，只要是滚珠螺杆方式、齿条齿轮方式、气压缸等直线移动的方式，认一种方式均可，不过，以无齿隙的方式为佳。又，左右带状体的旋转体上的卷绕角度大致为300°，移动体的往复运动所产生的旋转体的旋转角度为270°以上。由此，使玻璃基板能旋转90°、180°、270°。
上述对准装置，是为了使被滚轮式输送机的搬送滚轮支撑的玻璃基板，从搬送滚轮表面浮起并旋转及/或左右微调整，将玻璃基板承接件配置于搬送玻璃基板的搬送滚轮的顶点、与固接有该搬送滚轮的轴之间，当必须旋转或左右微调整玻璃基板时，藉上下机构能使玻璃基板承接件上升至，能使被搬送滚轮支撑的玻璃基板从该搬送滚轮顶点浮起的位置(权利要求5)
上下机构，气压缸是有效的，于其周围以同心圆的方式配置有前述旋转体。气压缸以外的其他上下机构的手段，例如有马达式。
此外，玻璃基板承接件，是位于比搬送滚轮的顶点更下方的位置，且必要时能向上突出搬送滚轮的顶点，因此，于该玻璃基板承接件形成有能穿过搬送滚轮的开口。此外，玻璃基板的旋转调整已定在90°、180°、270，因此，滚轮式输送机的搬送滚轮的纵横的安装间隔、及玻璃基板承接件的开口的开设间隔，是设定为相同间距，使玻璃基板承接件在该任一角度旋转均能穿过搬送滚轮。
由此，即便使玻璃基板旋转既定角度(90°、180°、270°)，且在旋转后保持原状的状态下降，仍能在不碰到搬送滚轮之下穿过，故能收藏于搬送滚轮的顶点、与搬送滚轮的轴之间。
又，该旋转机构，是载置固定于被支撑成能相对固定架左右滑动的活动台板上，且藉驱动体使活动台板能沿具有对准装置的输送机的搬送方向的正交方向微调整自如(权利要求6)。使活动台板滑动的驱动体，例如为马达、气压缸等。
由此，因将载置有旋转机构的活动台板沿左右方向微调整，故能在相同地点进行使玻璃基板旋转的动作，及将玻璃基板沿左右方向(输送机的搬送方向的正交方向)微调整的动作。此外，当然，微调整的范围，是玻璃基板承接件的开口能穿过搬送滚轮的程度。因此，若加大开设于玻璃基板承接件的开口的尺寸，则微调整的范围便相对地变广。
依据本发明，如上述，将在与交换器之间接受、交付玻璃基板的输送机，分成接受专用输送机及交付专用输送机，且使两者能在互不干扰的下独立行进，由此，即便交换器的时机、或生产线侧的时机有偏差，仍能通过该等专用输送机来对应，故能去掉待机状态。因此，能去掉工作时间的浪费，谋求生产效率的提高(权利要求1)。
此外，依据请求项2、3、6，当必须将玻璃基板旋转及/或作左右方向的微调整时，能在输送机的行进移动中进行该旋转等动作，故能节省工作时间。其次，至今，在必须旋转的过程中，均是使输送机本身旋转、或在收进制程内后藉机械人等来旋转，但通过本装置便能不需要该机械人等，也能节省空间。
再者，至今，当必须作前后左右的微调整时均是反覆进行横向输送机的浮起、搬送、停止、下降，而对玻璃基板造成损伤、污垢，但是藉本装置在1处作微调整，故不会对玻璃基板造成损伤，而且能省空间，又由于不需要机械人等而能降低成本，缩短工作时间。
又，依据权利要求4、5，能将对准装置作成薄型，由此能容易地将装有该对准装置的接受专用输送机及交付专用输送机配置成上下二段，装上HEPA(High-Efficiency Particulate Air)过滤器来将玻璃基板的搬送路保持于洁净的状态。此外，旋转方向中有直接驱动马达方式，但直接驱动马达本身具有特定程度的厚度，故装置本身相对变厚，上下二段的输送机亦变大，致交换器内的输送机的上下移动的行程亦变长，影响工作时间。
【附图说明】
图1，是表示本发明的搬送系统的概略的规划图。
图2，是表示将玻璃基板从交换器卸载至梭式输送机交付专用输送机的状态的前视图。
图3，是表示将玻璃基板从梭式输送机的接受专用输送机装载至交换器索式匣的状态的前视图。
图4，是表示交换器概略的前视图。
图5，是表示用以使交换器的索式匣上下升降的升降单元的局部缺口前视图。
图6，是图5相关的侧视图。
图7，是表示配备于交换器的滚轮式输送机的局部缺口前视图。
图8，是图7的(8)-(8)线的横剖面图。
图9，是图7的侧视图。
图10，是表示滚轮式输送机的上下移动，(a)是表示与梭式输送机的接受专用输送机的高度相对应的位置的图9相关的侧视图，(b)是表示与梭式输送机的交付专用输送机的高度相对应的位置的图9相关的侧视图。
图11，是表示梭式输送机的交付专用输送机及接受专用输送机的立体图。
图12，是表示交付专用输送机的局部缺口俯视图。
图13，是图12的(13)-(13)线的剖面图及要部放大图。
图14，是表示玻璃基板的搬送的放大图。
图15，是表示使玻璃基板从搬送滚轮浮起的状态的剖面图。
图16，是玻璃基板承接件浮起的状态的放大剖面图。
图17，是表示旋转机构概略的立体图。
图18，是表示玻璃基板的旋转动作，(a)是0°的状态图，(b)是经旋转90°的状态图。
图19，(a)为经旋转180°的状态图，(b)为经旋转270°的状态图。
图20，是表示左右微调整机构的驱动部，(a)表示移动前的状态的俯视图，(b)表示移动后的状态的俯视图。
图21，是表示梭式输送机的交付专用输送机及接受专用输送机的局部缺口前视图。
图22，是表示现有搬送系统的概略的规划图。
图23，是表示现有搬送系统的搬送动作的流程图。
图24，是表示本发明搬送系统的搬送动作的流程图。
【具体实施方式】
根据图式说明本发明的搬送系统的实施形态。其中，图式中显示的玻璃基板a，为了便于了解旋转或左右方向的调整，将角部的一部分做出缺口来表示。
构成搬送系统的自动仓库A、堆高式起重机B、交换器C、及接受专用输送机D1与交付专用输送机D2所构成的输送机(以下，称为梭式输送机)D的配置关系，如图1所示，沿堆高式起重机B的行进路并设有3台交换器C，于对该交换器C装载/卸载玻璃基板a的一侧平行地配置有梭式输送机D，且于梭式输送机D的搬出位置及搬入位置设置有用来进行向生产线侧P的送入、从生产线P侧的送出的搬送输送机G。此外，搬送输送机G，亦可由于与生产线侧P的关系而不设置，从梭式输送机D直接搬入生产线P侧。
交换器C，如图2～图3所示，能以堆高式起重机B的叉形件将用来收容玻璃基板a成多段状的索式匣F供应或取出，且将索式匣F内的玻璃基板a卸载至梭式输送机D的交付专用输送机D2，并将玻璃基板a从接受专用输送机D1装载至空的索式匣F内。
以下，根据图式说明交换器C，如图3所示，于器框1内收容配置有能承载索式匣F上下升降的升降单元2、及搬送玻璃基板a的滚轮式输送机3，能通过该升降单元2及滚轮式输送机3的动作对索式匣F装载/卸载玻璃基板a。此外，该滚轮式输送机3，于器框1的高度方向的大致中间位置，能对应配置于后述梭式输送机D的上下的交付专用输送机D2及接受专用输送机D1，在装载位置与卸载位置之间按目的上下移动。
器框1，如图5、6所示，由俯视大致矩形的台框1a、站立固定于台框1a的相对向的2边的支柱架1b，1b’、及用来连结支柱架1b，1b’的上端间的连结架1c所构成，于台框1a将脚座4安装成能上下调节自如，由此能不拘设置床面的倾斜或凹凸均将器框1设置成水平。此外，索式匣F，能通过堆高式起重机B的叉形件从支柱架1b，1b’间的侧方供应或取出。
用来使索式匣F上下升降的升降单元2，如图5、6所示，由用来承载支撑索式匣F的底部的支承架5、及用来使该支承架5左右同步上下的升降驱动部6所构成。
支承架5，是使用金属制角管等来形成俯视矩形状，于支承架5的上面固接有用来定着支撑索式匣F的底部四隅部的L字形匣支承部5’。由此，索式匣F，通过定位装置(未图示)而定位于支承架5，被很安定地载置支承。
使上述支承架5上下的升降驱动部6，是如图5、6所示，由安装于前述支承架5的左右侧边的中央上面的L字形支撑构件7、使该支撑构件7上下升降的滚珠螺杆机构8与引导构件9、及驱动左右的滚珠螺杆机构8的动力源的伺服马达10与将该伺服马达10的旋转传递至前述左右的滚珠螺杆机构的连结轴11、联结器12、斜齿轮箱13所构成。
左右的滚珠螺杆机构8及引导构件9，图5、6所示，铅直配置于器框1的支柱架1b，1b’的内侧，于与滚珠螺杆机构8的螺杆8a螺合的螺幅构件8b固接有前述支撑构件7的垂直边部，螺幅构件8b则连结于引导构件9的滑件。由此，通过螺杆8a的旋转，固接有支撑构件7的螺帽构件8b便由于引导构件9的引导作用而沿上下方向移动。此外，引导构件9、以LM导件为佳。
又，由升降驱动部6的作用来使支承架5上下升降的范围，是将承载于支承架5的索式匣F的玻璃基板加以卸载的开始位置(上限位置)、与将玻璃基板装载于索式匣F的开始位置(下限位置)之间。
对由上述升降单元2而上下升降的索式匣F装载/卸载玻璃基板a的滚轮式输送机3，是如图7～图9所示，由对收容于前述器框1内的索式匣F能在不接触下嵌的呈梳齿形状的输送机架14、安装于梳齿形的各站立框14a的上部的搬送滚轮15、及用来驱动旋转各站立框14a的搬送滚轮15的驱动源16所构成。
使输送机架14呈梳齿形状的理由，是在于将玻璃基板收容支撑成水平多段状的匣的形态，当将以多段状收容于索式匣F内的玻璃基板a卸载时，及当以多段状将玻璃基板a装载于空的索式匣F时，索式匣F，藉前述升降单元而上下升降，但在不妨碍该上下升降之下将玻璃基板a装载/卸载。亦即，在输送机架14的站立框14a相互之间隙，索式匣F的并设的索f’能在不接触下嵌入通过。
用来驱动旋转配置于输送机架14上部的各搬送滚轮15的驱动部16，有马达16a，且能将该马达16a的旋转，以利用磁铁的吸引排斥的非接触动力传递方式来传递至各搬送滚轮15的轴。由此，几乎不会产生尘埃，故能在洁净的环境下进行玻璃基板的搬送。
此外，如上述般构成的滚轮式输送机3，是能对应配置于梭式输送机D的上下二段的接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的高度，通过输送机升降单元17上下移动(参照图9、10)。
输送机升降单元17，如图7至图10所示，由支撑输送机架14的底部4处的曲柄臂17a、及使该等4处的曲柄臂17a旋动的具有齿轮箱的升降用马达17b与沿铅直方向引导输送机架14的导件17c所构成，升降用马达17b的旋转，是透过齿轮箱及连结轴传递至前述曲柄臂17a，4处的曲柄臂17a同步作动而使滚轮式输送机3上下。此外，滚轮式输送机3上下移动的距离，是与后述梭式输送机的接受专用输送机及交付专用输送机的间隔相同，由该间隔来决定。
梭式输送机D，如图11所示，由比并设的多台交换器C(图式中有3台)的全长还长的器框18、在该器框18内隔有既定间隔配置成上下二段的接受专用输送机D1与交付专用输送机D2、及使该等接受专用输送机D1与交付专用输送机D2能在互不干扰下独立行进自如的行进移动机构19、19’所构成。
器框18，如图11所示，呈沿交换器C的横长形状，于该器框18内的上下位置配置有行进移动机构19、19’，交付专用输送机D2被上侧的行进移动机构19支撑成下垂，接受专用输送机D1被下侧的行进移动机构19’载架，分别能独立行进移动。亦即，上侧的交付专用输送机D2，是在由堆高式起重机B的叉形件待供应索式匣F的交换器C的位置、与向生产线侧交付玻璃基板a的位置之间往复移动，下侧的接受专用输送机D1，是在来自生产线侧的玻璃基板a的排出位置、与由堆高式起重机B的叉形件待取出索式匣F的交换器C之间往复移动。
接受专用输送机D1及交付专用输送机D2，是均由滚轮式输送机所构成，用以承载并搬送玻璃基板a的搬送滚轮60，如图12所示，以纵向及横向的间隔相同的方式配置，且该等各列的搬送滚轮，是将马达20的旋转，以利用磁铁吸引排斥的非接触的动力传递机构21来传递至各搬送滚轮的轴而旋转。图示的动力传递机构21，是将马达20的旋转透过齿轮列21e传递至安装有磁铁环21a的驱动轴21b，于与该驱动轴21b正交配置而成的搬送滚轮60的轴21c的端部固接有磁铁环21d，该磁铁环21d，是配置成与前述磁铁环21a隔有既定间隙且正交。由此，马达20的旋转，是透过齿轮列21e传递至驱动轴21b，与该驱动轴21b正交配置而成的搬送滚轮60的轴21c，由藉磁铁环21a与磁铁环21d的作用而旋转。
此外，构成接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的滚轮式输送机，是在不必使待接受或交付的玻璃基板a旋转的情形，亦即在不必装上对准装置E的情形下，未必使搬送滚轮的纵向及横向的间隔相同，亦可使用纵向及横向的间隔不同的一般的滚轮式输送机。在此场合，搬送滚轮的驱动方式亦与上述同样地，以采用利用磁铁的非接触的动力传递机构为佳。有关利用磁铁的非接触的动力传递机构(滚轮式输送机)，例如能利用日本特开平7-177725号公报所记载的构成。
如上述般构成的接受专用输送机D1及交付专用输送机D2，如图2及图3所示，分别安装于支撑构件22、22’，该支撑构件22、22’被行进移动机构19、19’水平支撑且行进移动。
该行进移动机构19、19，，是由齿条齿轮机构23及引导机构24所构成，齿条齿轮机构23的齿条23a，是设置于固接在器框18前部的驱动部收纳盒25内，与该齿条23a啮合的小齿轮23b，固接于具有减速机的马达27的输出轴，该马达27则透过安装板26固接于前述支撑构件22的一侧缘(前侧缘)。
又，于接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的安装有具有减速机的马达27的安装板26、及安装于支撑构件22的另一侧缘(后侧缘)的安装板26’安装有引导机构24，引导机构24，用来在分别固接于器框18的前后部的驱动部收纳盒25、25’引导直线移动。
由此，接受专用输送机D1及交付专用输送机D2，小齿轮23b通过具有减速机的马达27的作动而旋转，并在齿条23a上转动行进。
此外，用以支撑上述接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的支撑构件22、22’，除了搬入/搬出玻璃基板a的方向以外闭锁着，于该支撑构件22、22’连通安装有与该支撑构件22、22’内连通的送风管(ducttube)28、28’，该送风管28、28’的另一端，与搭载于支撑构件22、22’的HEPA过滤器29、29’连接，以确保洁净的状态(参照图21)。
在必须使供应给上述梭式输送机D的接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的玻璃基板a旋转(水平旋转)的情形下，如图12所示，于前述输送机内配备对准装置E。
该对准装置E，是由旋转机构E1及微调整机构E2所构成，该旋转机构E1，是用来使送进接受专用输送机D1或交付专用输送机D2的玻璃基板a，从搬送滚轮表面浮起并相对该送进时的状态(假设此状态为0°)水平旋转90°、180°、270°，该微调整机构E2，是用来对玻璃基板a进行在接受专用输送机D1或交付专用输送机D2的搬送方向的正交方向的微调整。
此外，配备于接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的对准装置E相同，因此，以下，就配备于接受专用输送机D1的对准装置E加以说明，而配备于交付专用输送机D2的对准装置E的说明则省略。
旋转机构E1，是由使搬送滚轮60上的玻璃基板a自该搬送滚轮表面浮起并将该基板a承载的玻璃基板承接件30、使该玻璃基板承接件30自搬送滚轮的顶点向上方浮起或自搬送滚轮的顶点向下沉的上下机构31、使由上下机构31的作动而自搬送滚轮的顶点向上方浮起的玻璃基板承接件30水平旋转的旋转体32、及使该旋转体32驱动旋转的驱动部33所构成。
玻璃基板承接件30，具有能将玻璃基板a的挠曲变形抑制在最小限度来水平支撑的面积，于该承接件30的全面形成有在旋转前后能穿过构成滚轮式输送机的搬送滚轮的开口34，再者，于与玻璃基板a对向的表面(上面)散布着以点支撑玻璃基板a的树脂制支承体35。此外，该玻璃基板承接件30，配置于滚轮式输送机的搬送滚轮的顶点、与固接该搬送滚轮的轴之间，故前述开口34的大小是与该搬送滚轮的直径相同、或比该搬送滚轮的直径稍小径的圆形孔，这些开口34的纵向及横向的间隔设定成相同，以使该等开口34在旋转前后均与搬送滚轮的位置对应。此外，开口34，并不限定于圆形孔，亦可为方形孔。
使玻璃基板承接件30升降的上下机构31，如图13所示，于气压缸36的杆件36a的外周透过轴承37安装有能旋转且上下自如的安装筒38，该安装筒38的上部固接于前述玻璃基板承接件30的中心。因此，当空气供应至气压缸36的推侧时杆件36a便移动，安装筒38也透过轴承37跟着上升/下降。
上述气压缸36，位于输送机的搬送滚轮的下侧，并固定于被撑条(stay)构件41(其与该输送机的支架连结)支撑的活动台板42。
于上述上下机构31的气压缸36的壳外周透过轴承39安装有能旋转自如的旋转体32，横跨该旋转体32的凸缘32a、与往前述安装筒38外侧径向伸出并突出形成的凸缘38a，沿周方向隔着间隔设有多个引导体40(图中有4个)，用以引导安装筒38的上升/下降并将旋转体32的旋转传递至前述安装筒38。
将旋转体32驱动旋转的驱动部33，如图12及图17所示，于该旋转体32的外周面有弯曲性好的2条带状体，例如有正时皮带43、43’，一正时皮带43是将基端部固定于旋转体32的上半部的外周面并从该固定处沿反时针方向卷绕，另一正时皮带43’是将基端部以与前述带状体43的基端部的固定位置相同的位置错开固定于旋转转32的下半部的外周面并从该固定处沿顺时针方向卷绕，两带状体43、43’的终端侧是于左右的折返滑轮45、45’(透过滑轮安装框44可旋转地安装于前述活动台板42上)卷绕并折返，该折返的两带状体43、43’的终端部是固接于直线移动的移动体46。由此，以上下两段卷绕于旋转体32的带状体43、43’，成为无端(环状)状态，由移动体46的直线移动，便使前述旋转体32往左右方向旋转，左右的折返滑轮45、45’，为透过张力调整机构50安装于滑轮安装框44，能将带状体43、43’的卷绕调整在最佳的张力状态。此外，带状体43、43’的卷绕方向，亦可与上述实施形态相反。
用以连结固定两带状体43、43’的终端部的移动体46，是固定于被马达47驱动的滚珠螺杆机构48的螺帽构件48a，再者，螺帽构件48a连结于引导体49，该引导体49以与前述滚珠螺杆机构48平行的方式配置于前述滑轮安装框44上。由此，移动体46，是通过滚珠螺杆机构48的作动及引导体49，使无端状带状体43、43’在左右的折返滑轮45、45’间作直线移动，而将旋转力施加于旋转体32(参照图17、18、19)。
此外，旋转体32，是通过上述旋转机构能旋转90°、180°、270°，另外，其旋转角度的检测是由配置于该旋转体的周围的传感器51a、51b、51c、及安装于旋转体32的旗标(flag)52来进行。此外，旋转角度的检测，并不限于图示的形态，亦可通过目前采用的其他方法来进行。
根据图18及图19来说明旋转机构E1产生的玻璃基板a的旋转，在使以图18(a)所示0°的方向搬入梭式输送机D的交付专用输送机D2的玻璃基板a往顺时针方向旋转90°的情形下，若使滚珠螺杆机构48作动而使移动体46往图面上的右方移动，旋转体32便往顺时针方向旋转90°，被玻璃基板承接件30支撑的玻璃基板a便旋转图18(b)所示的90°。90°旋转的检测，是固接于旋转体32的旗标52与旋转体32的旋转一起往顺时针方向移动、并位于配置在旋转体周围的90°检测用的传感器51a上来检测。再者，若使滚珠螺杆机构48作动而使旋转体32往顺时针方向旋转90°，旗杆52便与传感器51b对应，玻璃基板a便从原点位置的状态成为已旋转180°的图19(a)所示的状态，再者，若往顺时针方向旋转90°，旗标52便与传感器51c对应，玻璃基板a便成为已旋转270°的图19(b)所示的状态。此外，旋转动作，并不限于图示的方式，即，使0°时的移动体46的位置位于折返滑轮45侧，使移动体从该位置移动至相反侧的折返滑轮45’侧来进行旋转。亦可例如，将滚珠螺杆的行程3等分来将0°时的移动体46的位置作3等分，从1∶2的位置向能2移动的方向旋转来作90°、180°的旋转，回到起始位置往反方向移动来作270°的旋转。
作为对准装置E的另一个机构的微调整机构E2，是如图12所示，用来将藉接受专用输送机D1或交付输送机D2搬送的玻璃基板a沿该等输送机的搬送方向的正交方向(图面中左右方向)作微调整的机构，且包含玻璃基板承接件30，使承载保持前述旋转机构E1的活动台板42作直线移动。
有关上述具体的构成，于与输送机支架连结的撑条构件41安装有活动台板42，透过引导体5 3将活动台板42安装成能沿输送机搬送方向的正交方向滑动，并将该活动台板42由滚珠螺杆机构54、及驱动该滚珠螺杆机构54的伺服马达55来构成。
又，由上述构成来滑动的活动台板42的移动极限的检测，是于活动台板42上沿滑动方向隔有间隔设置原点检测传感器56a、左极限检测传感器56b、右极限检测传感器56c，另一方面，于固定的撑条构件41对准前述传感器的移动线上安装旗标57a，57b，57c，活动台板42从原点位置开始移动，左极限检测传感器56b或右极限检测传感器56c被旗标遮住，便能进行检测。
另外，使前述旋转机构E1的移动体46移动的滚珠螺杆机构48与马达47的连结、及微调整机构E2的滚珠螺杆机构54与伺服马达55的连结，均使用无齿隙的联结器来连结，即使两者的轴芯偏位，仍能将马达的旋转传递至滚珠螺杆。
通过上述构成般的搬送系统来将索式匣F内的玻璃基板a搬送供应至生产线P侧的作业、及从生产线P侧接受处理完毕的玻璃基板并搬送收容至索式匣F的作业，在无对准装置的情形下，是如图24的流程图所示。
例如，就将索式匣F内的玻璃基板a搬送供应至生产线P侧的作业而言，当收容有玻璃基板a的索式匣F由堆高式起重机B而被插入定位在左端的交换器C时，便由该交换器C内的滚轮式输送机3、及使索式匣F上下的升降单元2的动作来将玻璃基板a以每次1片的方式卸载，将该经卸载的玻璃基板a由梭式输送机D的交付专用输送机D2的旋转来搬送至该输送机上的既定位置(中央位置)，搬送动作在定位置停止。玻璃基板a在交付专用输送机D2上搬送停止后，该交付专用输送机D2本身往右方(输入位置)行进移动并在生产线P侧的中心线O’线上停止，将输送机驱动，将承载的玻璃基板a透过搬送输送机G搬送至生产线P侧，交付动作完成。此外，于上述梭式输送机D配置有异于上述交付专用输送机D2的接受专用输送机D1，且该接受专用输送机D1配置成在交付专用输送机D2的上方且与其隔有间隔，而使两者能互不干扰、独立行进，因此，异于上述搬送，在生产线P侧处理完成的玻璃基板a，是在梭式输送机D的左端由接受专用输送机D1从输出位置的搬送输送机G来接受，接受后，该接受专用输送机D1便往右方行进移动并在右端的交换器C的中心线O线上停止，将输送机驱动而将玻璃基板搬送至交换器C内的索式匣F内，由交换器C内的使索式匣F上下的升降单元2、及滚轮式输送机3的动作来装载。向索式匣的装载完成后，该索式匣F便由堆高式起重机B从交换器C往自动仓库移载。
依据如上述构成般的搬送系统，将索式匣F内的玻璃基板a以每次1片的方式搬出至生产线侧的卸载作业、及将从生产线侧搬出的处理完毕的玻璃基板a收容至索式匣F的装载作业，能由梭式输送机D的接受专用输送机D1及交付专用输送机D2，在不管交换器的时机、生产线侧的时机之下，吸收前述时机的偏差，消除待机状态，来高效率地进行。
此外，若必须使待卸载及待装载的玻璃基板a旋转，便能由配备于前述梭式输送机D的接受专用输送机D1及交付专用输送机D2的对准装置E，在接受专用输送机D1、交付专用输送机D2的移动中进行旋转、左右微调整的作业，而能节省工作时间。因此，能对于生产率的提高有大的贡献。
本发明的搬送系统，相较于现有搬送系统，过程数目少，相对减轻对玻璃基板造成的损伤，时间缩短，这些本发明的优点从现有与本发明的流程图的比较也容易得知。
上述实施形态中，旋转机构E1的带状体虽使用正时皮带，但只要是钢带、链条等弯曲的传递构件均能使用来代替正时皮带。