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1、(10)申请公布号 CN 101992924 A (43)申请公布日 2011.03.30 CN 101992924 A *CN101992924A* (21)申请号 201010254935.4 (22)申请日 2010.08.13 10-2009-0074900 2009.08.13 KR B65G 1/04(2006.01) B08B 17/00(2006.01) (71)申请人 三星移动显示器株式会社 地址 韩国京畿道 (72)发明人 郑基菜 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 代理人 罗正云 王诚华 (54)发明名称 储料器 (57)摘要 本 发 明 涉。
2、 及 一 种 储 料 器 和 一 种 具 有 机 械 臂 的 储 料 器 的 集 尘 单 元。 该 储 料 器 包 括 ： 具 有 多 个 接 纳 搁 板 的 主 体 单 元 ； 将 待 移 动 的 接 纳 材 料 传 递 到 所 述 主 体 单 元 的 传 递 单 元 ； 将 通 过 所 述 传 递 单 元 传 递 的 接 纳 材 料 堆 叠 在 所 述 主 体 单 元 的 所 述 多 个 接 纳 搁 板 中 的 其 中 一 个 上 的 机 械 臂 ； 以 及 和 所 述 机 械 臂 一 起 移 动 从 而 将 微 粒 从 所 述 主 体 单元内除去的集尘单元。 (30)优先权数据 (51)。
3、Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 3 页CN 101992927 A 1/1 页 2 1. 一种储料器， 包括 ： 具有多个接纳搁板的主体单元 ； 将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元 ； 机 械 臂， 将 通 过 所 述 传 递 单 元 传 递 的 所 述 接 纳 材 料 堆 叠 在 所 述 主 体 单 元 的 所 述 多 个 接 纳搁板中的其中一个上 ； 以及 和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。 2. 根据权利要求1 所述的储料器， 其中所述集尘单元包括 ： 和所述机械。
4、臂一起移动的集尘管 ； 以及 布置在所述传递单元上从而通过所述集尘管抽吸所述主体单元的内部空气的真空泵。 3. 根据权利要求2 所述的储料器， 其中所述机械臂通过所述机械臂的一个端部移动所 述 接 纳 材 料， 并 且， 所 述 集 尘 管 具 有 形 成 在 所 述 机 械 臂 的 所 述 一 个 端 部 处 的 第 一 开 口 以 及 连接到所述真空泵的第二开口。 4. 根据权利要求2 所述的储料器， 其中所述集尘单元进一步包括布置在所述集尘管与 所述真空泵之间的净化过滤器。 5. 根 据 权 利 要 求 1 所 述 的 储 料 器， 进 一 步 包 括 清 洁 垫， 该 清 洁 垫 具 。
5、有 底 基 板 和 形 成 在 该底基板的边缘处的吸收单元， 其 中 所 述 清 洁 垫 被 堆 叠 在 所 述 主 体 单 元 上， 使 得 所 述 吸 收 单 元 接 触 所 述 主 体 单 元 的 所 述多个接纳搁板中的另一个。 6. 根据权利要求1 所述的储料器， 其中所述集尘单元包括 ： 提供将微粒从所述主体单元内移动到所述主体单元外的路径的集尘管， 和 经由所述集尘管将空气从所述主体单元内抽吸到所述主体单元外的真空泵。 7. 一种具有机械臂的储料器的集尘单元， 该集尘单元包括 ： 布置在所述机械臂的第一端处的真空泵 ； 其中所述机械臂的所述第一端是与所述机械臂的第二端相对的端部。 。
6、8. 如权利要求7 所述的具有机械臂的储料器的集尘单元， 进一步包括和所述机械臂一 起移动的集尘管。 9. 如权利要求8 所述的具有机械臂的储料器的集尘单元， 进一步包括布置在所述集尘 管与所述真空泵之间的净化过滤器。 权 利 要 求 书 CN 101992924 ACN 101992927 A 1/4 页 3 储料器 技术领域 0001 本发明的各方面涉及一种储料器(stocker)。 更具体而言， 本发明涉及一种接纳各 种基板的储料器。 背景技术 0002 储料器临时容纳或存储用在显示器面板制造过程中的各种基板。 该显示器面板制 造过程需要高精度， 并且在显示器面板中由于微粒而容易发生缺陷。
7、。 因此， 储料器的内部空 间 应 该 被 保 持 清 洁。 特 别 地， 储 料 器 的 搁 板 直 接 接 触 基 板， 因 此， 搁 板 上 的 微 粒 能 够 容 易 地 移动到基板上。 0003 作 为 一 种 用 于 保 持 储 料 器 的 内 部 清 洁 的 一 般 方 法， 人 直 接 进 入 到 储 料 器 中 进 行 清 洁。 然 而， 微 粒 随 着 进 入 储 料 器 中 的 人 一 起 被 携 带 到 储 料 器 内， 并 且， 储 料 器 的 操 作 在 储 料 器进行清洁时必须被中止。 0004 在 该 背 景 技 术 部 分 中 公 开 的 上 述 信 息 只 。
8、是 用 来 增 进 对 本 发 明 的 背 景 的 理 解， 因 此， 上述信息可能包含不构成在该国家中本领域技术人员已知的现有技术的信息。 发明内容 0005 本 发 明 的 各 方 面 已 致 力 于 提 供 一 种 储 料 器， 该 储 料 器 具 有 有 效 地 保 持 该 储 料 器 的 内部环境清洁的优点。 0006 本 发 明 的 各 方 面 提 供 一 种 储 料 器， 该 储 料 器 包 括 ： 具 有 多 个 接 纳 搁 板 的 主 体 单 元 ； 将 待 移 动 的 接 纳 材 料 传 递 到 所 述 主 体 单 元 的 传 递 单 元 ； 将 通 过 所 述 传 递 单。
9、 元 传 递 的 接 纳 材 料 堆 叠 在 所 述 主 体 单 元 的 所 述 多 个 接 纳 搁 板 中 的 其 中 一 个 上 的 机 械 臂 ； 以 及 和 所 述 机 械 臂 一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。 0007 根 据 本 发 明 的 一 方 面， 所 述 集 尘 单 元 可 包 括 ： 和 所 述 机 械 臂 一 起 移 动 的 集 尘 管 ； 以及布置在所述传递单元上从而通过所述集尘管抽吸所述主体单元的内部空气的真空泵。 0008 根 据 本 发 明 的 一 方 面， 所 述 机 械 臂 可 通 过 所 述 机 械 臂 的 一 个 端 部 移 动 所 述。
10、 接 纳 材 料， 并 且， 所 述 集 尘 管 可 以 具 有 形 成 在 所 述 机 械 臂 的 所 述 一 个 端 部 处 的 第 一 开 口 以 及 连 接 到所述真空泵的第二开口。 0009 根 据 本 发 明 的 一 方 面， 所 述 集 尘 单 元 可 以 进 一 步 包 括 布 置 在 所 述 集 尘 管 与 所 述 真 空泵之间的净化过滤器。 0010 根 据 本 发 明 的 一 方 面， 所 述 储 料 器 可 以 包 括 清 洁 垫， 该 清 洁 垫 具 有 底 基 板 和 形 成 在 该 底 基 板 的 边 缘 处 的 吸 收 单 元， 其 中 所 述 清 洁 垫 被 。
11、堆 叠 在 所 述 主 体 单 元 上， 使 得 所 述 吸 收单元接触所述主体单元的所述多个接纳搁板中的另一个。 0011 根 据 本 发 明 的 另 一 方 面， 提 供 一 种 具 有 主 体 单 元 的 储 料 器， 该 储 料 器 包 括 将 接 纳 材 料 堆 叠 到 所 述 主 体 单 元 中 的 机 械 臂 以 及 将 微 粒 从 所 述 主 体 单 元 内 除 去 的 集 尘 单 元， 其 中 所述集尘单元和所述机械臂一起移动。 0012 根 据 本 发 明 的 又 一 方 面， 提 供 一 种 具 有 机 械 臂 的 储 料 器 的 集 尘 单 元， 该 集 尘 单 元 说。
12、 明 书 CN 101992924 ACN 101992927 A 2/4 页 4 具 有 ： 布 置 在 所 述 机 械 臂 上 的 集 尘 管 ； 布 置 在 所 述 机 械 臂 的 第 一 端 处 的 真 空 泵 ； 以 及 布 置 在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。 0013 本 发 明 的 另 外 的 方 面 和 / 或 优 点 部 分 地 将 陈 述 在 下 述 描 述 中， 部 分 地 根 据 该 描 述 变得明显， 或通过实施本发明而获悉。 附图说明 0014 本 发 明 的 这 些 和 / 或 其 它 方 面 和 优 点 将 根 据 结 合 附 图 的 各 实 施 例。
13、 的 以 下 描 述 变 得明显并更易于理解， 其中 ： 0015 图 1 为根据本发明第一示例性实施例的储料器的示意图。 0016 图 2 为图1 的主体部分的内部结构的放大示意图。 0017 图 3 为根据本发明第二示例性实施例的储料器的示意图。 具体实施方式 0018 现 在 将 详 细 参 照 本 发 明 的 当 前 实 施 例， 其 实 例 图 示 在 附 图 中， 其 中 相 似 的 附 图 标 记自始至终表示相似的元件。各实施例在下文中进行描述， 以通过参照附图解释本发明。 0019 并 且， 对 于 本 发 明 的 示 例 性 实 施 例， 通 过 对 相 同 的 构 成 元 。
14、件 使 用 相 同 的 附 图 标 记， 结 合 相 关 附 图， 对 于 第 一 示 例 性 实 施 例 中 的 构 成 元 件 给 出 详 细 描 述， 而 在 其 它 示 例 性 实 施 例中只描述与第一示例性实施例相关的构成元件不同的构成元件。 0020 为 了 清 楚 地 描 述 本 发 明， 与 描 述 无 关 的 部 分 被 省 去， 并 且 相 似 的 附 图 标 记 在 整 个 申请文件中指代相似的元件。 0021 而 且， 由 于 附 图 中 所 示 的 各 个 结 构 部 件 的 尺 寸 和 厚 度 为 了 解 释 方 便 而 被 随 意 示 出， 因此本发明并非必须限于。
15、所提供的图示。 0022 在 附 图 中， 层、 膜、 面 板、 区 域 等 的 厚 度 为 了 清 楚 和 解 释 方 便 被 夸 大。 应 理 解， 当 诸 如层、 膜、 区域或基板等元件被提及为在另一元件“ 上” 或“ 形成于” 另一元件“ 上” 时， 其能 够直接位于另一元件上， 或者也可存在中间元件。相反， 当元件被提及为 “ 直接位于” 或 “ 直 接形成于” 另一元件“ 上” 时， 不存在中间元件。 0023 本 发 明 的 各 方 面 提 供 一 种 储 料 器， 该 储 料 器 具 有 主 体 单 元 以 将 基 板 存 储 到 多 个 接 纳搁板上。 邻 近所述主体单元布置。
16、的传递单元通过机械臂从所述传递单元带走基板并将该 基板堆叠到所述主体单元的所述接纳搁板上， 从而将基板传递到所述主体单元。 另外， 所述 储料器具有和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。 该集尘 单 元 具 有 ： 将 灰 尘 从 所 述 主 体 单 元 内 传 递 到 所 述 主 体 单 元 外 的 集 尘 管、 经 由 所 述 集 尘 管 将 空 气 抽 吸 到 所 述 主 体 单 元 外 的 真 空 泵 以 及 对 从 所 述 主 体 单 元 抽 吸 的 空 气 进 行 过 滤 的 净 化 过滤器。 0024 在下文中， 将结合图1 和图2 描述根据本发明的第一示。
17、例性实施例的储料器101。 0025 参见图1 和图2， 储料器101 包括主体单元20、 传递单元30、 机械臂40 以及具有集 尘管50、 净化过滤器55 和真空泵60 的集尘单元。 0026 主体单元20 包括多个接纳搁板， 每个接纳搁板均用于接纳材料MS。 在此， 接纳材 料MS 可以是用在显示器面板制造过程中的各种基板。 0027 传 递 单 元 30 将 接 纳 材 料 MS 从 外 部 移 动 到 主 体 单 元 20 的 前 部 用 于 运 输。 更 详 细 说 明 书 CN 101992924 ACN 101992927 A 3/4 页 5 地， 传递单元30 能够通过使用形。
18、成在其下部的滚筒移动接纳材料MS， 并能够通过与滚筒形 成在一起的升降机上下移动接纳材料MS。 然而， 传递单元30 的结构并不限于上述结构。 也 就 是， 用 于 传 递 接 纳 材 料 MS 的 传 递 单 元 30 的 结 构 可 以 在 能 够 由 本 领 域 技 术 人 员 容 易 实 现 的范围内进行各种改进。 0028 机械臂40 将传递单元30 传递到主体单元20 前面的接纳材料MS 堆叠在主体单元 20 的接纳搁板22 上。 机械臂40 可以将堆叠在接纳搁板22 上的接纳材料MS 移回到传递单 元30。在此情况下， 机械臂40 使用其一个端部来移动接纳材料MS。 0029 集。
19、 尘 单 元 包 括 集 尘 管 50、 真 空 泵 60 和 净 化 过 滤 器 55。 集 尘 管 50 随 着 机 械 臂 40 移动。 也就是， 集尘管50 与机械臂40 整体形成， 或紧密附接到机械臂40 并随着机械臂40 一起移动。 在此， 集尘管50 具有布置在使接纳材料MS 移动的机械臂40 的一个端部处的第 一开 口51， 以及连接到真空泵60 的第二开口52。 0030 真 空 泵 60 与 集 尘 管 50 的 第 二 开 口 52 连 接 在 一 起， 用 于 通 过 集 尘 管 50 的 第 一 开 口51 抽吸主体单元20 的内部空气。 如所述， 当真空泵60 抽吸。
20、空气时， 主体单元20 内的微 粒也被抽吸然后被除去。 0031 净 化 过 滤 器 55 被 布 置 在 集 尘 管 50 与 真 空 泵 60 之 间， 用 于 过 滤 通 过 集 尘 管 50 抽 出的微粒。 0032 现更详细描述根据本发明的第一示例性实施例的储料器101 的操作效果。 0033 集 尘 管 50 随 着 机 械 臂 40 移 动。 因 此， 在 临 时 中 止 接 纳 材 料 MS 的 堆 叠 之 后， 通 过 使机械臂40 四处移动， 主体单元20 内的微粒能够被集尘管50 被有效地除去。 0034 因 此， 集 中 在 主 体 单 元 20 的 一 部 分 中 的。
21、 微 粒 能 够 被 有 效 地 除 去。 特 别 地， 接 纳 搁 板 22 是 直 接 接 触 接 纳 材 料 MS 的 部 分， 因 此， 接 纳 搁 板 22 上 的 微 粒 能 够 被 容 易 地 移 动 到 放 置 在 接 纳 搁 板 22 上 的 接 纳 材 料 MS 上。 然 而， 抽 吸 微 粒 和 空 气 的 集 尘 管 50 的 第 一 开 口 51 位于机械臂40 的一个端部， 该机械臂40 将接纳材料MS 堆叠在主体单元20 的接纳搁板22 上， 因而， 接纳搁板22 周围的微粒能够被有效地除去。 0035 进一步， 在通过移动机械臂40 将接纳材料MS 堆叠到主体单。
22、元20 的接纳搁板22 上 的 同 时， 主 体 单 元 20 内 的 微 粒 能 够 通 过 集 尘 管 50 被 除 去， 而 不 用 临 时 中 止 接 纳 材 料 MS 的 堆叠。 0036 采用这种构造， 通过有效地除去储料器101 中的微粒， 储料器101 能够保持用于接 纳接纳材料MS 的主体单元20 的内部环境。 0037 在下文中， 将参见图1 和图3 描述本发明的第二示例性实施例。 0038 如 图 1 和 图 3 所 示， 根 据 本 发 明 的 第 二 示 例 性 实 施 例 的 储 料 器 102 进 一 步 包 括 清 洁垫80。该清洁垫80 包括底基板81 和形成。
23、在该底基板81 的边缘处的吸收单元82。 0039 类 似 于 接 纳 材 料 MS， 清 洁 垫 80 由 机 械 臂 40 移 动。 清 洁 垫 80 被 堆 叠 在 主 体 单 元 20 中， 使 得 吸 收 单 元 82 接 触 主 体 单 元 20 的 接 纳 搁 板 22。 因 而， 清 洁 垫 80 的 吸 收 单 元 82 通过吸收能够除去通过具有集尘管50、 净化过滤器55 和真空泵60 的集尘单元而未被除去 并 因 而 该 停 留 在 接 纳 搁 板 22 上 的 微 粒。 也 就 是， 清 洁 垫 80 除 去 被 牢 固 地 附 着 在 接 纳 搁 板 22 上 并 且。
24、 不 能 通 过 集 尘 管 50、 净 化 过 滤 器 55 和 真 空 泵 60 除 去 的 微 粒， 从 而 防 止 微 粒 移 动 到接纳材料MS 并将其污染。 0040 另外， 机械臂40 将清洁垫80 放置到接纳搁板22 上的同时， 空气通过集尘管50 被 说 明 书 CN 101992924 ACN 101992927 A 4/4 页 6 抽吸， 使得主体单元20 内的微粒能够被除去。 0041 更详细地， 根据本发明的第二示例性实施例的储料器102 相继将清洁垫80 放下到 相应接纳搁板22 上并将其提升。 同时， 主体单元20 内的微粒通过集尘管50 被抽吸并然后 被除去。 。
25、通过以上过程， 不能被集尘管50、 净化过滤器55 和真空泵60 除去的微粒能够被除 去。 0042 一旦附着到接纳搁板22 的微粒通过清洁垫80 被充分地除去， 则机械臂40 将清洁 垫80 从主体单元20 向外移出， 并将接纳材料MS 堆叠在接纳搁板22 上。 在接纳材料MS 的 堆叠期间， 主体单元20 内的微粒能够被持续地除去。 0043 采 用 上 述 构 造， 储 料 器 102 进 一 步 有 效 地 除 去 接 纳 接 纳 材 料 MS 的 主 体 单 元 20 内 的微粒， 从而保持主体单元20 的清洁内部环境。 0044 尽 管 已 显 示 和 描 述 了 本 发 明 的 。
26、一 些 实 施 例， 本 领 域 技 术 人 员 应 理 解 的 是， 在 不 脱 离 本 发 明 的 原 理 和 精 神 的 情 况 下， 可 以 在 该 实 施 例 中 进 行 改 变， 其 中 本 发 明 的 范 围 由 权 利 要求及其等同设置所限定。 说 明 书 CN 101992924 ACN 101992927 A 1/3 页 7 图1 说 明 书 附 图 CN 101992924 ACN 101992927 A 2/3 页 8 图2 说 明 书 附 图 CN 101992924 ACN 101992927 A 3/3 页 9 图3 说 明 书 附 图 CN 101992924 A。