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1、10申请公布号CN104314273A43申请公布日20150128CN104314273A21申请号201410624397122申请日20141107E04F15/024200601E04B1/9820060171申请人上海华力微电子有限公司地址201210上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号72发明人何文蔚张旭升朱骏吕煜坤许青峰74专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所特殊普通合伙31275代理人吴世华林彦之54发明名称承压散重防震脚57摘要本发明提供了一种承压散重防震脚，包括支撑部件，与洁净室底部接触用于支撑洁净室；防震部件，其具有两个侧壁和与两个侧壁相连的一底部，该防震部件的底。
2、部与支撑部件底部相连，且固定于高架地板上，其侧壁与洁净室相固定；防震部件与支撑部件一体成型；利用支撑部件和具有大的底部面积的防震部件共同支撑洁净室，从而增加了防震脚与高架地板的接触面积，进一步分散了防震脚施加于高架地板上的压力，避免了高架地板容易发生形变而无法承受微环境洁净室重量的问题的发生。51INTCL权利要求书1页说明书3页附图1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图1页10申请公布号CN104314273ACN104314273A1/1页21一种承压散重防震脚，应用于微环境洁净室，所述防震脚位于所述洁净室底部用于支撑所述洁净室，高架地板位于防震脚。
3、下方用于支撑所述防震脚，其特征在于，所述防震脚包括支撑部件，与所述洁净室底部接触，用于支撑所述洁净室；防震部件，其具有两个侧壁和与所述两个侧壁相连的一底部，所述底部与所述支撑部件底部相连，且固定于所述高架地板上，所述侧壁与所述洁净室相固定；所述防震部件与所述支撑部件一体成型。2根据权利要求1所述的防震脚，其特征在于，所述防震部件的底部通过螺栓固定于所述高架地板上；所述防震部件的侧壁通过螺栓与所述洁净室相固定。3根据权利要求1所述的防震脚，其特征在于，所述支撑部件为轴对称结构，所述防震部件为轴对称结构，所述支撑部件的对称轴与所述防震部件的对称轴重合。4根据权利要求3所述的防震脚，其特征在于，所述。
4、防震部件的两个侧壁分别竖立于所述防震部件的底部纵截面的1/3处和2/3处。5根据权利要求3所述的防震脚，其特征在于，所述支撑部件为螺旋杆，所述洁净室底部到所述防震部件底部的高度为所述防震部件底部长度的31/3/2。6根据权利要求1所述的防震脚，其特征在于，所述防震部件的底部面积为所述洁净室底部面积的三倍。7根据权利要求6所述的防震脚，其特征在于，所述洁净室的水平宽度为所述防震部件的水平长度的1/3。8根据权利要求7所述的防震脚，其特征在于，所述洁净室的竖直中心轴位于所述防震部件的竖直中心轴上；并且所述支撑部件的竖直中心轴也位于所述防震部件的竖直中心轴上。9根据权利要求1所述的防震脚，其特征在于。
5、，所述洁净室由铝合金框架构成。10根据权利要求1所述的防震脚，其特征在于，所述高架地板为镂空的，所述高架地板下设有支撑体，与所述高架地板构成空腔；所述洁净室的顶部安装有排风机，所述排风机将风往下吹，风带动所述洁净室内的灰尘向下穿过所述高架地板的镂空处而排到所述空腔中。权利要求书CN104314273A1/3页3承压散重防震脚技术领域0001本发明涉及机械设计领域，具体涉及一种承压散重防震脚。背景技术0002微环境是一个超洁净的环境，洁净程度要求达到CLASS1，CLASS1指每平方米01UM的颗粒数不大于35颗。微环境需要存在于洁净室内才能保证微环境的清洁度。通常，洁净室顶部密封，顶部安装有排。
6、风机，采用支撑脚支撑洁净室，支撑脚位于镂空的高架地板上，高架地板下方具有空腔，通过排风机将带有灰尘颗粒的空气吹到高架地板下方，从而保持洁净室内的清洁。0003然而，在实际工作中，洁净室的重量较大，例如可以达到三吨，而支撑脚与高架地板的接触面积较小，导致高架地板承受的压强较大，易造成高架地板变形和损坏；并且，还需要另外添加防震脚来避免洁净室产生振荡，导致安装不变，成本升高。发明内容0004为了克服以上问题，本发明提供了一种承压散重防震脚，将支撑和防震功能合为一体，增加防震脚与高架地板的接触面积，从而分散防震脚施加在高架地板上的压力以及使得防震脚便于安装。0005本发明提供了一种承压散重防震脚，应。
7、用于微环境洁净室，所述防震脚位于所述洁净室底部用于支撑所述洁净室，高架地板位于防震脚下方用于支撑所述防震脚；该防震脚包括0006支撑部件，与所述洁净室底部接触，用于支撑所述洁净室；0007防震部件，其具有两个侧壁和与所述两个侧壁相连的一底部，所述底部与所述支撑部件底部相连，且固定于所述高架地板上，所述侧壁与所述洁净室相固定；所述防震部件与所述支撑部件一体成型。0008优选地，所述防震部件的底部通过螺栓固定于所述高架地板上；所述防震部件的侧壁通过螺栓与所述洁净室相固定。0009优选地，所述支撑部件为轴对称结构，所述防震部件为轴对称结构，所述支撑部件的对称轴与所述防震部件的对称轴重合。0010优选。
8、地，所述防震部件的两个侧壁分别竖立于所述防震部件的底部纵截面的1/3处和2/3处。0011优选地，所述支撑部件为螺旋杆，所述洁净室底部到所述防震部件底部的高度为所述防震部件底部长度的31/3/2。0012优选地，所述防震部件的底部面积为所述洁净室底部面积的三倍。0013优选地，所述洁净室的水平宽度为所述防震部件的水平长度的1/3。0014优选地，所述洁净室的竖直中心轴位于所述防震部件的竖直中心轴上；并且所述支撑部件的竖直中心轴也位于所述防震部件的竖直中心轴上。说明书CN104314273A2/3页40015优选地，所述洁净室由铝合金框架构成。0016优选地，所述高架地板为镂空的，所述高架地板下。
9、设有支撑体，与所述高架地板构成空腔；所述洁净室的顶部安装有排风机，所述排风机将风往下吹，风带动所述洁净室内的灰尘向下穿过所述高架地板的镂空处而排到所述空腔中。0017本发明的承压散重防震脚，通过设置支撑部件和与之一体成型的防震部件，利用支撑部件和具有大的底部面积的防震部件共同支撑洁净室，从而增加了防震脚与高架地板的接触面积，进一步分散了防震脚施加于高架地板上的压力，避免了高架地板容易发生形变而无法承受微环境洁净室重量的问题的发生。附图说明0018图1为本发明的一个较佳实施例的承压散重防震脚的结构示意图具体实施方式0019为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说。
10、明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。0020本发明提供了一种承压散重防震脚，应用于微环境洁净室，防震脚位于洁净室底部用于支撑洁净室，高架地板位于防震脚下方用于支撑防震脚；该防震脚包括与洁净室底部接触且用于支撑所述洁净室的支撑部件；具有两个侧壁和与两个侧壁相连的一底部的防震部件；防震部件的底部与支撑部件底部相连，且固定于高架地板上，其侧壁与洁净室相固定；防震部件与支撑部件一体成型。这样，本发明的承压散重防震脚，由于具有大的底部接触面积，因此可以分散施加于高架地板上的压力，避免高架地板发生形变和损坏；由于防震部件和支撑部件是一体成型的。
11、，简化了安装步骤，降低了成本。0021以下将结合附图1和具体实施例对本发明的承压散重防震脚作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。0022请参阅图1，为本发明的一个较佳实施例的承压散重防震脚的结构示意图。本实施例的承压散重防震脚包括0023支撑部件1，与洁净室4底部接触，用于支撑洁净室4；洁净室4可以由铝合金框架构成。0024防震部件2，其具有两个侧壁21和与两个侧壁21相连的一底部22，防震部件2的底部22与支撑部件1底部相连，且固定于高架地板3上，其侧壁21与洁净室4相固定；防震部件2与支撑部件1一体成型。0。
12、025本实施例中，防震部件2的底部22可以通过螺栓5固定于高架地板3上；其侧壁21可以通过螺栓5与洁净室4相固定。当然，本发明中的防震部件的底部还可以通过其它机械固定方式例如铆接等固定于高架地板上；其侧壁也可以通过其它机械固定方式与洁净室相固定。支撑部件1可以为圆柱体或长方体等轴对称结构，防震部件2可为轴对称结构，也即是其两个侧壁21均匀地竖立于其底部22上；支撑部件1的对称轴与防震部件2的对称轴重合。支撑部件1可以为螺旋杆，洁净室4底部配合有螺纹孔，从而可以使洁净室4相说明书CN104314273A3/3页5对于支撑部件1作上下移动，使洁净室4牢牢地固定于防震脚上。0026为了更加牢固地支撑。
13、固定洁净室4，防震部件2的两个侧壁21可以分别竖立于防震部件2的底部22纵截面的1/3处和2/3处。这样，可以使其侧壁21和底部22受力更加均匀，避免防震部件受力不均匀发生断裂。0027本实施例中，洁净室4的水平宽度可以为防震部件2的水平长度的1/3，且洁净室4的竖直中心轴位于防震部件2的竖直中心轴上；并且支撑部件1的竖直中心轴也位于防震部件2的竖直中心轴上。洁净室4底部到防震部件2的底部22的高度为防震部件2的底部22长度的31/3/2，这样，洁净室4、支撑部件1和防震部件2就构成了稳定的正三角形结构；通过机械力学原理可知，正三角形结构是最为稳定的力学结构，因此，此防震脚能够更加牢固地支撑固。
14、定洁净室4。当洁净室4比较小时，防震部件2的底部22的面积可以为洁净室4的底部面积的三倍，从而有利于形成稳定的三角形结构。0028通常，高架地板3为镂空的，支撑体设于高架地板3下，与高架地板3构成空腔；洁净室4的顶部安装有排风机，排风机将风往下吹，风带动洁净室4内的灰尘向下穿过高架地板3的镂空处而排到空腔中，进而达到净化洁净室4的效果。0029本发明的承压散重防震脚，通过设置支撑部件和与之一体成型的防震部件，利用支撑部件和具有大的底部面积的防震部件共同支撑洁净室，从而增加了防震脚与高架地板的接触面积，进一步分散了防震脚施加于高架地板上的压力，避免了高架地板容易发生形变而无法承受微环境洁净室重量的问题的发生。0030虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。说明书CN104314273A1/1页6图1说明书附图CN104314273A。