具有截断功能的线锯.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201010198180.0

申请日:

2010.06.10

公开号:

CN102126261A

公开日:

2011.07.20

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):B28D 5/04申请公布日:20110720|||实质审查的生效IPC(主分类):B28D 5/04申请日:20100610|||公开

IPC分类号:

B28D5/04

主分类号:

B28D5/04

申请人:

常州天合光能有限公司

发明人:

刘振淮; 王少锋; 周涛; 金鑫

地址:

213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号

优先权:

专利代理机构:

常州市维益专利事务所 32211

代理人:

王凌霄

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内容摘要

本发明涉及硅片切割设备技术领域,特别是一种具有截断功能的线锯。该线锯包括左右导轮、切割线和切割台,切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网,切割线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同,每段切割线网对应一块硅块,并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位,切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网,将硅块的头尾端与中间的可用部位切割开并且中间的可用部位被切割成硅片。使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断,缩短制作时间,硅棒切缝只有0.16mm,没有斜面损失,可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损失,破片损失可从1%降低到0.3%。

权利要求书

1: 一种具有截断功能的线锯, 其特征是 : 包括左右两个导轮 (1)、 切割线 (2) 和切割台 (3), 其特征是 : 所述的切割线 (2) 在导轮 (1) 上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网 (4), 切割线网 (4) 的段数与固定于切割台 (3) 上的未截断头尾的硅块 (5) 的块数相同, 每 段切割线网 (4) 对应一块硅块 (5), 并且每段切割线网 (4) 的切割范围仅限硅块 (5) 中的去 除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位 (6), 切割台 (3) 带动硅块 (5) 垂直通过运动 的切割线网 (4), 将硅块 (5) 的头尾端与中间的可用部位 (6) 切割开并且中间的可用部位 (6) 被切割成硅片。
2: 根据权利要求 1 所述的具有截断功能的线锯, 其特征是 : 所述的每两段相邻切割线 网 (4) 之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮 (7), 前一段切割线网 (4) 末端引 出的切割线 (2) 通过在该切割线 (2) 一侧的滑轮 (7) 引出, 然后通过该组中位于另一侧的 滑轮 (7) 导入至后一段切割线网区域, 并通过在两个导轮 (1) 上缠绕, 形成后一段切割线网 (4)。
3: 根据权利要求 2 所述的具有截断功能的线锯, 其特征是 : 所述的未截断头尾的硅块 (5) 的块数为三块, 通过两组滑轮 (7) 形成三段切割线网 (4)。

说明书


具有截断功能的线锯

    【技术领域】
     本发明涉及硅片切割设备技术领域, 特别是一种具有截断功能的线锯。背景技术 多晶硅锭经过开方后成为多晶硅棒, 多晶硅棒的头尾段在切片前需要截取, 现在 国产截断机截断一块需要 20min/ 根, 并且会产生 2mm 的锯缝损失和 3mm 左右的斜面。
     发明内容 本发明要解决的技术问题是 : 使用现有的截断机截断多晶硅棒的头尾段, 截断速 度慢, 截断损耗多。故需要对现有的硅棒切片用线锯进行改造, 使其具有截断功能, 并且可 以减少截断损耗。
     本发明解决其技术问题所采用的技术方案是 : 一种具有截断功能的线锯, 包括左 右两个导轮、 切割线和切割台, 切割线相互平行的缠绕在两个导轮上形成水平的切割线网, 对现有线锯的改进在于, 切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网, 切割 线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同, 每段切割线网对应一块硅 块, 并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可 用部位, 切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网, 将硅块的头尾端与中间的可用部位切 割开并且中间的可用部位被切割成硅片。
     使切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网的一种具体实现方 式是 : 每两段相邻切割线网之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑 轮, 前一段切割 线网末端引出的切割线通过在该切割线一侧的滑轮引出, 然后通过该组中位于另一侧的滑 轮导入至后一段切割线网区域, 并通过在两个导轮上缠绕, 形成后一段切割线网。
     未截断头尾的硅块的块数为三块, 通过两组滑轮形成三段切割线网。
     本发明的有益效果是 : 使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断, 降低制 作时间, 硅棒切缝只有 0.16mm, 没有斜面损失, 可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损 失, 破片损失可从 1%降低到 0.3%。
     附图说明 图 1 是本发明的俯视状态结构示意图 ; 图 2 是本发明的主视状态结构示意图 ; 图 3 是本发明的侧视状态结构示意图 ;
     图中 : 1、 导轮 ; 2、 切割线 ; 3、 切割台 ; 4、 切割线网 ; 5、 硅块 ; 6、 可用部位 ; 7、 滑轮。
     具体实施方式
     如图 1、 2、 和 3 所示, 一种具有截断功能的线锯, 包括左右两个导轮 1、 切割线 2 和 切割台 3, 切割线 2 相互平行的缠绕在两个导轮 1 上形成水平的切割线网 4, 切割线 2 在导轮 1 上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网 4, 切割线网 4 的段数与固定于切割台 3 上 的未截断头尾的硅块 5 的块数相同, 每段切割线网 4 对应一块硅块 5, 并且每段切割线网 4 的切割范围仅限硅块 5 中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位 6, 切割台 3 带 动硅块 5 垂直通过运动的切割线网 4, 将硅块 5 的头尾端与中间的可用部位 6 切割开并且中 间的可用部位 6 被切割成硅片。
     使切割线网分为对段的一种具体实现方式是 : 所述的每两段相邻切割线网 4 之间 设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮 7, 前一段切割线网 4 末端引 出的切割线 2 通 过在该切割线 2 一侧的滑轮 7 引出, 然后通过该组中位于另一侧的滑轮 7 导入至后一段切 割线网区域, 并通过在两个导轮 1 上缠绕, 形成后一段切割线网 4。
     下面以切割三块多晶硅棒为例进行说明 :
     三块未截断头尾的硅块 4 一字排列固定在切割台 3, 设置两组四个滑轮 7, 第一段 切割线网 4 末端引出的切割线 2 通过在该切割线 2 一侧的滑轮 7 引出, 然后通过另一侧的 滑轮 7 导入至第二段切割线网区域, 并通过在两个导轮 1 上缠绕, 形成第二段切割线网 4 ; 第二段切割线网 4 末端引出的切割线 2 通过在该切割线 2 一侧的滑轮 7 引出, 然后通过另 一侧的滑轮 7 导入至第三段切割线网区域, 并通过在两个导轮 1 上缠绕形成后第三段切割 线网 4, 每段切割线网 4 都对应一块硅块 5 的中间可用部分 6。

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资源描述

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1、10申请公布号CN102126261A43申请公布日20110720CN102126261ACN102126261A21申请号201010198180022申请日20100610B28D5/0420060171申请人常州天合光能有限公司地址213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号72发明人刘振淮王少锋周涛金鑫74专利代理机构常州市维益专利事务所32211代理人王凌霄54发明名称具有截断功能的线锯57摘要本发明涉及硅片切割设备技术领域,特别是一种具有截断功能的线锯。该线锯包括左右导轮、切割线和切割台,切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网,切割线网的段数与固定于切割台上的未。

2、截断头尾的硅块的块数相同,每段切割线网对应一块硅块,并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位,切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网,将硅块的头尾端与中间的可用部位切割开并且中间的可用部位被切割成硅片。使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断,缩短制作时间,硅棒切缝只有016MM,没有斜面损失,可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损失,破片损失可从1降低到03。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图2页CN102126266A1/1页21一种具有截断功能的线锯,其特征是包括左右两个导轮1、切割线2和切割台。

3、3,其特征是所述的切割线2在导轮1上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网4,切割线网4的段数与固定于切割台3上的未截断头尾的硅块5的块数相同,每段切割线网4对应一块硅块5,并且每段切割线网4的切割范围仅限硅块5中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位6,切割台3带动硅块5垂直通过运动的切割线网4,将硅块5的头尾端与中间的可用部位6切割开并且中间的可用部位6被切割成硅片。2根据权利要求1所述的具有截断功能的线锯,其特征是所述的每两段相邻切割线网4之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮7,前一段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出,然后通过该组中位于另一侧的滑轮7。

4、导入至后一段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕,形成后一段切割线网4。3根据权利要求2所述的具有截断功能的线锯,其特征是所述的未截断头尾的硅块5的块数为三块,通过两组滑轮7形成三段切割线网4。权利要求书CN102126261ACN102126266A1/2页3具有截断功能的线锯技术领域0001本发明涉及硅片切割设备技术领域,特别是一种具有截断功能的线锯。背景技术0002多晶硅锭经过开方后成为多晶硅棒,多晶硅棒的头尾段在切片前需要截取,现在国产截断机截断一块需要20MIN/根,并且会产生2MM的锯缝损失和3MM左右的斜面。发明内容0003本发明要解决的技术问题是使用现有的截断机截断多晶硅棒的。

5、头尾段,截断速度慢,截断损耗多。故需要对现有的硅棒切片用线锯进行改造,使其具有截断功能,并且可以减少截断损耗。0004本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种具有截断功能的线锯,包括左右两个导轮、切割线和切割台,切割线相互平行的缠绕在两个导轮上形成水平的切割线网,对现有线锯的改进在于,切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网,切割线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同,每段切割线网对应一块硅块,并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位,切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网,将硅块的头尾端与中间的可用部位切割开并且中间的可用部位。

6、被切割成硅片。0005使切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网的一种具体实现方式是每两段相邻切割线网之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮,前一段切割线网末端引出的切割线通过在该切割线一侧的滑轮引出,然后通过该组中位于另一侧的滑轮导入至后一段切割线网区域,并通过在两个导轮上缠绕,形成后一段切割线网。0006未截断头尾的硅块的块数为三块,通过两组滑轮形成三段切割线网。0007本发明的有益效果是使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断,降低制作时间,硅棒切缝只有016MM,没有斜面损失,可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损失,破片损失可从1降低到03。附图说明0008图1是本发明。

7、的俯视状态结构示意图;图2是本发明的主视状态结构示意图;图3是本发明的侧视状态结构示意图;0009图中1、导轮;2、切割线;3、切割台;4、切割线网;5、硅块;6、可用部位;7、滑轮。具体实施方式0010如图1、2、和3所示,一种具有截断功能的线锯,包括左右两个导轮1、切割线2和切割台3,切割线2相互平行的缠绕在两个导轮1上形成水平的切割线网4,切割线2在导说明书CN102126261ACN102126266A2/2页4轮1上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网4,切割线网4的段数与固定于切割台3上的未截断头尾的硅块5的块数相同,每段切割线网4对应一块硅块5,并且每段切割线网4的切割范围仅限硅。

8、块5中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位6,切割台3带动硅块5垂直通过运动的切割线网4,将硅块5的头尾端与中间的可用部位6切割开并且中间的可用部位6被切割成硅片。0011使切割线网分为对段的一种具体实现方式是所述的每两段相邻切割线网4之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮7,前一段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出,然后通过该组中位于另一侧的滑轮7导入至后一段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕,形成后一段切割线网4。0012下面以切割三块多晶硅棒为例进行说明0013三块未截断头尾的硅块4一字排列固定在切割台3,设置两组四个滑轮7,第一段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出,然后通过另一侧的滑轮7导入至第二段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕,形成第二段切割线网4;第二段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出,然后通过另一侧的滑轮7导入至第三段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕形成后第三段切割线网4,每段切割线网4都对应一块硅块5的中间可用部分6。说明书CN102126261ACN102126266A1/2页5图1图2说明书附图CN102126261ACN102126266A2/2页6图3说明书附图CN102126261A。

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