一种生长CDO纳米线束的方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN200910113485.4

申请日:

2009.10.19

公开号:

CN101693550A

公开日:

2010.04.14

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

未缴年费专利权终止IPC(主分类):C01G 11/00申请日:20091019授权公告日:20120104终止日期:20121019|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C01G 11/00申请日:20091019|||公开

IPC分类号:

C01G11/00; B82B3/00

主分类号:

C01G11/00

申请人:

新疆大学

发明人:

吴荣; 简基康; 杨林钰; 刘莉丽; 孙言飞; 郑毓峰

地址:

830046 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市胜利路14号

优先权:

专利代理机构:

代理人:

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内容摘要

本发明公开了一种催化剂辅助真空热蒸发生长II-VI族半导体化合物CdO纳米线束的方法,是通过以下工艺过程实现的:将CdO粉末和金属Bi粉末按摩尔比为1∶0.02-1∶0.3的比例均匀混合作为原料,置于钼片为材料制成的电阻加热舟中,并在舟上方3毫米-4厘米处放置各种衬底。密闭蒸发炉,当内置上述蒸发沉积系统的真空蒸发炉腔体达到2×10-2-5×10-3Pa的真空环境后,电阻加热舟通电流为110-180A,保持5-15分钟进行蒸发沉积。本发明制备出的氧化镉纳米棒为晶态的立方相结构的CdO。且所得的氧化镉纳米线束

权利要求书

1: 一种催化剂辅助真空热蒸发生长CdO纳米线束的方法,其特征在于通过以下工艺过程实现:按摩尔比为1∶0.02-1∶0.3的比例将CdO粉末与金属铋粉末均匀混合后置于以钼片为材料做成的电阻加热舟中做蒸发源,将衬底置于蒸发源上方3毫米至4厘米处,密闭腔体,当包含有电阻加热舟和衬底的真空蒸发炉腔体的真空度达到2×10 -2 Pa-5×10 -3 Pa(优选10 -3 Pa)后,加蒸发电流,最大沉积电流为110-180A,最大电流处沉积时间为5分钟-15分钟,衬底上形成黄色或黄褐色的沉积物,即为CdO纳米线束。
2: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,所用生长装置是真空蒸发炉。
3: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述催化剂为金属铋粉末。
4: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述真空度为2×10 -2 -5×10 -3 Pa。
5: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过钼舟加热器的电流大小为110-180A。
6: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述真空蒸发炉的加热方式为电阻加热。
7: 如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述真空蒸发炉的加热器为钼片加热舟。

说明书


一种生长CdO纳米线束的方法

    【技术领域】

    本发明属于纳米结构生长领域,是一种真空热蒸发法生长CdO纳米线束的方法。

    背景技术

    立方结构块体CdO为N型II-VI族半导体材料,其直接禁带宽度为2.5eV,间接带隙宽度为1.98eV。在光电子领域,它是非常重要的一种半导体材料。CdO作为镍镉系列碱性可充电的负极活性物质,其性能的优劣直接影响电池的质量,是制约镍镉电池综合性能的关键材料。近年来,CdO广泛应用于场发射栅板显示器,被认为是最有前途的透明导电氧化物之一。

    由纳米材料的发展显示,纳米尺度的材料可能有更优异的性质,可以制备出性能优异的器件。在纳米材料中,一维纳米材料,包括纳米棒、纳米线等都有重要的技术应用前景,是当前材料科学技术研究的热点之一。同时纳米结构CdO相对其块体材料也具有独特的光学、光电子学和催化性能,在传感器、太阳能电池、透明电极、电池阴极材料、光学晶体管、晶体二级管等领域有广泛应用前景。

    目前已有众多生长一维CdO纳米结构的方法,如电化学沉积法,化学气相沉积法,热蒸发法。

    电化学沉积法:J.J.Xu在2008年用电化学法制备CdO纳米材料,参阅J.Phys.Chem.C第112期第7151页。

    化学气相沉积法:Z.L.Wang小组在未使用催化剂的条件下制备出CdO纳米带及微米级片状物,参阅2001年Science第291期第1947页。2003年C.Zhou小组制备出CdO针状纳米结构。2006年M.H.Huang在金催化下低温制备出CdO纳米线,上述参阅J.Phys.Chem.B第110期第13717页。

    热蒸发法:美国华盛顿大学Y.N.Xia小组采用空气中热氧化法在Cu衬底表面氧化生成了具有均匀阵列密度的CuO纳米线阵列,参阅Nano Lett.第12期第2卷1334-1338页;中科院物理所H.J.Gao小组在2005年使用直径为0.3mm的钨丝为蒸发源采用热蒸发法在(111)Si衬底上生成具有强光致发光性质的氧化钨纳米线,参阅Appl.Phys.Lett.第86期第141901页。

    由以上可以看到,目前用热蒸发法制备纳米棒的典型材料为金属氧化物,没有利用真空热蒸发制备氧化隔纳米线束的相关报道。电化学沉积法成本相对较高,而运用化学气相沉积法制备氧化镉纳米棒时,需要引入氧气和载气,条件不易控制,很难在多种衬底上得到大面积形貌均匀的纳米结构。相对以上方法而言,真空热蒸发法不需要引入载气,制样过程相对较快,操作简单,可重复性好、沉积速率高、利于大面积制备样品、成本低、无环境污染。另外此发明通过对传统的工艺的改进制备得到CdO纳米线束,且此传统工艺目前已经与工业生产相结合,因此在工业化生产应用方面,有很大的发展潜力。

    【发明内容】

    本发明的目的在于提供一种真空热蒸发法生长CdO纳米线束的方法。

    本发明是通过以下工艺过程实现的:

    以金属铋粉末作为催化剂,高纯CdO粉末(99.5%)为原料,按摩尔比为1∶0.02-1∶0.3将CdO粉末与金属铋粉末均匀混合后置于钼片做成的电阻加热舟中作源,将衬底置于蒸发源上方3毫米至4厘米处,当真空蒸发炉腔体的真空度达到2×10-2-5×10-3Pa(优选在5×10-3Pa时)后,加电流开始蒸发,最大沉积电流为110-180A,最大电流处沉积时间为5min-15min,在衬底上发现褐色或灰褐色的沉积物,即为CdO纳米线束。

    所述纳米结构为长度为0.5-1μm,直径为50-60nm的纳米线束和长度为0.5-1μm,直径为50-100的纳米线链。

    所述衬底为ITO玻璃、石英玻璃、硅片、钼片、镍片、蓝宝石片等。

    所述真空蒸发炉为电阻式加热炉,加热器为钼片,优选蒸发源直接放置于钼舟加热器上。

    本发明制备出的CdO纳米线束为晶态的立方相CdO,如图1所示,其表面形貌如图2,图3,图4所示。本发明直接使用混合的Bi和CdO粉为原料,将蒸发源和沉积区域分离,有效的避免了杂质和其他副产物的影响,获得的CdO纳米线束具有沉积面积大、形貌较均匀,结晶性好等特点。同时,本发明的方法简单,易于推广,适合于大规模的工业生产。

    【附图说明】

    图1为实施例1产品的XRD图谱,★表示产物CdO的衍射峰,●表示衬底石墨的衍射峰。

    图2为实施例1产品的扫描电镜图片。

    图3为实施例2产品的扫描电镜图片。

    图4为实施例3产品的扫描电镜图片。

    【具体实施方式】

    实施例1

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.05mol均匀混合后置于钼舟加热器上作源,将钼片作为衬底置于蒸发源上方约2.5cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到8×10-3Pa后,以3A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至110A后保持10分钟。在衬底表面得到褐色沉积物。通过SEM观察沉积物的表面形貌为纳米线束,其组成束的纳米线直径为50-60nm,如图2。XRD分析结果表明产品的主相为立方结构CdO,如图1。

    实施例2

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.1mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼舟加热器之上,石墨片为衬底置于蒸发源上方约3mm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到8×10-3Pa后,以3.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至120A后保持15分钟。在衬底表面有褐色沉积物。SEM观察衬底沉积物的表面形貌为长度为1-2μm,直径为50-80nm的纳米线链,如图3。

    实施例3

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.3mol的比例均匀混合后,将粉末直接放置到钼舟加热器之上,ITO玻璃作为衬底置于蒸发源上方约4cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到6×10-3Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至120A保持15分钟。在衬底表面有褐色沉积物。SEM观察沉积物的表面形貌为分布均匀的长度为1-2μm,直径为60-100nm地纳米棒,如图4。

    实施例4

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.25mol的比例均匀混合后,将粉末直接放置到钼舟加热器之上,镍片为衬底置于蒸发源上方约1cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到5×10-3Pa后,以2A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至130A后保持10分钟。镍衬底上得到的褐色沉积物分析显示制备得到了CdO纳米线束。

    实施例5

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.02mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼舟加热器之上,硅片为衬底置于蒸发源上方约5mm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到7×10-3Pa后,以3.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至130A后保持15min。硅片上得到的褐色沉积物分析显示制备得到了CdO纳米线束。

    实施例6

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.08mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼片加热器之上,石英玻璃为衬底置于蒸发源上方约2cm处。封闭蒸发腔体,当真空度达到1×10-2Pa后,以3A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至130A后保持15min。石英玻璃上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的CdO纳米线束。

    实施例7

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.06mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼舟加热器之上,蓝宝石为衬底置于蒸发源上方约3.5cm处。封闭蒸发腔体,当真空度达到1.5×10-2Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至140A后保持15min。蓝宝石上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米线束。

    实施例8

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.15mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼舟加热器之上,蓝宝石片做为衬底置于蒸发源上方约2cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到2×10-2Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至130A后保持10min。蓝宝石片上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米结构。

    实施例9

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.2mol的比例均匀混合后,将得到的粉末直接放置到钼舟加热器之上,单晶硅片为衬底置于蒸发源上方约4cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到9×10-3Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至120A后保持10min。硅片上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米线束。

    实施例10

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.3mol的比例均匀混合后,将粉末直接放置到钼舟加热器之上,ITO玻璃为衬底置于蒸发源上方约1.5cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到5×10-3Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至150A后保持10min。ITO玻璃上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米线束。

    实施例11

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.25mol的比例均匀混合后,将粉末直接放置到钼舟加热器之上,单晶硅片为衬底置于蒸发源上方约2.5cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到1.5×10-2Pa后,以2.5A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至150A后保持10min。硅片上得到的黄褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米线束。

    实施例12

    采用高纯CdO粉末(99.99%)为原料,高纯金属铋粉为催化剂,两者按1mol∶0.15mol的比例均匀混合后,将粉末直接放置到钼舟加热器之上,单晶硅片为衬底置于蒸发源上方约3.5cm处。密闭蒸发腔体,当真空度达到5×10-2Pa后,以3A/min的电流增加速率使电流逐渐增加至140A后保持10min。硅片上得到的褐色沉积物即为本发明制备得到的纳米线束。

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本发明公开了一种催化剂辅助真空热蒸发生长II-VI族半导体化合物CdO纳米线束的方法,是通过以下工艺过程实现的:将CdO粉末和金属Bi粉末按摩尔比为10.02-10.3的比例均匀混合作为原料,置于钼片为材料制成的电阻加热舟中,并在舟上方3毫米-4厘米处放置各种衬底。密闭蒸发炉,当内置上述蒸发沉积系统的真空蒸发炉腔体达到210-2-510-3Pa的真空环境后,电阻加热舟通电流为110-180A,保持。

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