多晶硅铸锭梯度冷却升降机构.pdf

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摘要
申请专利号:

CN200810242499.1

申请日:

2008.12.26

公开号:

CN101498039A

公开日:

2009.08.05

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的撤回|||公开

IPC分类号:

C30B29/06; C30B28/06

主分类号:

C30B29/06

申请人:

苏州市万泰真空炉研究所有限公司

发明人:

顾啸强

地址:

215200江苏省吴江市吴江松陵(八坼)开发区苏州市万泰真空炉研究所有限公司

优先权:

专利代理机构:

代理人:

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内容摘要

多晶硅铸锭梯度冷却升降机构属太阳能光伏行业领域,特别是一种冶炼法制造多晶硅定向凝结的坩埚升降机构。目前的多晶硅制造大部分是采用改良西门子的方法,投资规模较大,一般都在几个亿人民币以上,且有有害气体产生,环保处理投入也相当困难。该装置是经过冶炼的金属硅通过升降机构的下拉,使坩埚的冷却温度形成梯度,从而达到定向凝固的目的。该装置主要有升降导柱、升降导向套、升降螺杆、升降减速机等组成。在升降过程中,有升降电机上的丝杆旋转,推动升降导柱上的螺母从而使升降导柱上升或下降,升降导向套起到一个导向和密封的作用,保证坩埚的上下正常运行,且上下的速度可通过减速电机和电机变频器实现可调,保证了定向凝结的效果。

权利要求书

1.  采用水冷托盘的方式来对多晶硅铸锭炉坩埚的温度形成梯度冷却,从而来达到定向凝固的目的。

2.
  通过单根丝杆来实现对坩埚的匀速下降。

说明书

多晶硅铸锭梯度冷却升降机构
技术领域
本发明属太阳能光伏行行业领域,特别是一种冶炼法制造多晶硅定向凝结的坩埚升降机构。
背景技术
目前的多晶硅制造大部分是采用改良西门子的方法,投资规模较大,一般都在几个亿人民币以上,且有有害气体产生,环保处理投入也相当困难。该装置是经过冶炼的金属硅通过升降机构的下拉,使坩埚的冷却温度形成梯度,从而达到定向凝固的目的。
发明内容
该装置主要是通过在真空状态下熔融状态下的坩埚的匀速下降,由于坩埚底部的水冷作用,使坩埚在冷却的过程中温度形成梯度,从而达到定向凝固的目的,该装置采用单根丝杆在中心升降的方法,克服了多根丝杆升降不同步而产生较劲的缺点。
具体实施方式
该装置主要有升降导柱、升降导向套、升降螺杆、升降减速机等组成。在升降过程中,有升降电机上的丝杆旋转,推动升降导柱上的螺母从而使升降导柱上升或下降,升降导向套起到一个导向和密封的作用,保证坩埚的上下正常运行,且上下的速度可通过减速电机和电机变频器实现可调,保证了定向凝结的效果。

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多晶硅铸锭梯度冷却升降机构属太阳能光伏行业领域,特别是一种冶炼法制造多晶硅定向凝结的坩埚升降机构。目前的多晶硅制造大部分是采用改良西门子的方法,投资规模较大,一般都在几个亿人民币以上,且有有害气体产生,环保处理投入也相当困难。该装置是经过冶炼的金属硅通过升降机构的下拉,使坩埚的冷却温度形成梯度,从而达到定向凝固的目的。该装置主要有升降导柱、升降导向套、升降螺杆、升降减速机等组成。在升降过程中,有升。

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