长晶炉内具有加热器的支撑桌体.pdf

一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，其以多数根支撑柱分别电性连接至电热器，并同时支撑上方桌板。其中，每一支撑柱是以其石墨电极支柱对应螺锁于金属电极柱的螺母座上，金属电极柱再通过固定座以固定于炉壁上。固定座的固定法兰先焊固于炉壁，固定座内并设有弹性垫圈，通过弹性垫圈弹力的调整，使每一支撑柱得以平均施力于支撑桌体。本发明由多数根支撑柱将支撑桌体的重量分散且平稳地固定于长晶炉的炉壁上，不易倾倒可防止安全事故发生；又可将桌板作薄，有利于加热时能均匀直接传热至坩埚内、热散时能使硅浆均匀长晶。

1、  一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包括一桌板、及至少四支撑柱，该桌板是通过该至少四支撑柱以支持固定于一长晶炉的炉壁内；
其中：
该支撑桌体包括有多个电热器，分别设置于该桌板的下方；其中，每一支撑柱包括有：
一石墨电极支柱，包括有一底端、及一顶端，该底端设有一外螺牙，该顶端支撑顶抵于该多个电热器其中的一下方并彼此形成电性连接；
一金属电极柱，包括有一螺母座、及一外螺杆，该螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱的该外螺牙，该螺母座另一端则凸出延伸有该外螺杆、并与该外螺杆之间形成有一肩部；
一固定座，包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一上绝缘垫、一密封衬垫、一弹性垫圈、一固定环、及多个绝缘环，其中，该固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈，该中空圆筒外周固设于该长晶炉侧壁的炉壁上、内部形成有一中央孔，该外环圈开设有多个穿孔；该绝缘轴套套设于该金属电极柱的该螺母座外周并一并容设于该中央孔内；该上绝缘垫包括有一中心穿孔，并于其外环周开设有多个圆孔；该密封衬垫包括有一中心孔，并于其外环周开设有多个逃孔；该弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片，该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间以提供一轴向弹力，该圆心部中央开设有一中孔，该环周部开设有多个贯孔；上述金属电极柱的该外螺杆穿经该密封衬垫的该中心孔与该弹性垫圈的该中孔，并使该肩部顶抵于该密封衬垫上；该固定环外环周开设有多个固定孔；
多个固定螺栓，分别对应穿经该多个固定孔、该多个绝缘环、该多个贯孔、该多个逃孔、该多个圆孔、及该多个穿孔，并通过多个螺帽分别对应锁紧，以将该上绝缘垫、该密封衬垫、与该弹性垫圈一并夹合固定于该固定法兰与该固定环之间，其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该绝缘轴套、该上绝缘垫、与该多个绝缘环而形成电性绝缘；以及
一锁固螺帽，对应锁固于该金属电极柱的该外螺杆，并将该密封衬垫、与该弹性垫圈夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱的该肩部之间。

2、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别与该桌板之间夹设有一绝缘压片，该绝缘压片对应到其下方该石墨电极支柱的该顶端。

3、  如权利要求2所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别凹设有一承坑，该桌板下方凹设有多个承穴，该绝缘压片是容置于该承坑与其对应的承穴内。

4、  如权利要求2所述的支撑桌体，其中，该绝缘压片是一氧化锆压片。

5、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该桌板下方设有一中央凹陷。

6、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该石墨电极支柱的该顶端设有一外螺牙，该石墨电极支柱包括有一调整螺帽，通过该调整螺帽螺合于该外螺牙上以支撑顶抵着该电热器。

7、  如权利要求6所述的支撑桌体，其中，该调整螺帽包括有一石墨调整螺帽。

8、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该金属电极柱包括有一铜电极柱。

9、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该固定法兰下表面凸设有一环凸起，该上绝缘垫上表面凹设有一环凹槽，该环凸起是对应嵌合容置于该环凹槽内。

10、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该固定法兰包括有一不锈钢法兰。

11、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该绝缘轴套包括有一氧化铝纤维轴套。

12、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫包括有一氧化铝纤维衬垫。

13、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫的外周环设有一外凸缘。

14、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该密封衬垫包括有一铜质衬垫。

15、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，该固定座包括有一下绝缘垫，该下绝缘垫夹设于该弹性垫圈与该固定环之间，该下绝缘垫外环周开设有多个通孔。

16、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对应包覆于该多个螺帽上。

17、  如权利要求1所述的支撑桌体，其中，包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对应包覆于该多个固定螺栓上。

长晶炉内具有加热器的支撑桌体
技术领域
本发明是关于一种支撑桌体，尤其是指一种适用于长晶炉内具有加热器的支撑桌体。
背景技术
请参阅图1，其显示为公知的长晶炉9，如图所示的加热室90设置于长晶炉9内，于加热室90内容设有桌板91、与坩埚92，坩埚92中装盛有硅材料。以支撑柱93固设于长晶炉9的炉底盖94，并支撑于桌板91、及坩埚92的下方。
于公知长晶炉9中，为了考虑桌板91能平衡地设置于长晶炉9内，某些广用型长晶炉是以三根支撑柱93来达成平衡的目的。为有效地以三根支撑柱93支撑住坩埚92，因此，其桌板91通常制作的相当地厚实以防断裂，而每一支撑柱93的设计亦相对地粗大，才能承受相当的负荷。
如图所示，电热器95设置于坩埚92四周，是以幅射热对硅材料进行加热。在加热时，桌板91的热容量大，需吸收大量的热量后才能逐渐达到设定温度将硅材料完全熔融成浆；在冷却长晶过程，因桌板91散热不易，使坩埚92内的硅浆上、下冷却不均匀，造成凝固后的晶碇内部存有应力，终致产品的质量不佳。
再者，若于坩埚92细部裂缝泄流出硅浆，此融熔硅浆在不断地累积的下，侵蚀其中一支撑柱93使的产生裂痕，导致断裂则会使坩埚92倾倒，最后发生安全事故。
发明内容
本发明的目的在于提供一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，以期能改善公知技术中存在的缺陷。
为实现上述目的，本发明提供的长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包括一桌板、及至少四支撑柱，该桌板是通过该至少四支撑柱以支持固定于一长晶炉的炉壁内；
其中：
该支撑桌体还包括有多个电热器，分别设置于该桌板的下方；其中，每一支撑柱包括有：
一石墨电极支柱，包括有一底端、及一顶端，该底端设有一外螺牙，该顶端支撑顶抵于该多个电热器其中的一下方并彼此形成电性连接；
一金属电极柱，包括有一螺母座、及一外螺杆，该螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱的该外螺牙，该螺母座另一端则凸出延伸有该外螺杆、并与该外螺杆之间形成有一肩部；
一固定座，包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一上绝缘垫、一密封衬垫、一弹性垫圈、一固定环、及多个绝缘环，其中，该固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈，该中空圆筒外周固设于该长晶炉侧壁的炉壁上、内部形成有一中央孔，该外环圈开设有多个穿孔；该绝缘轴套套设于该金属电极柱的该螺母座外周并一并容设于该中央孔内；该上绝缘垫包括有一中心穿孔，并于其外环周开设有多个圆孔；该密封衬垫包括有一中心孔，并于其外环周开设有多个逃孔；该弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片，该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间以提供一轴向弹力，该圆心部中央开设有一中孔，该环周部开设有多个贯孔；上述金属电极柱的该外螺杆穿经该密封衬垫的该中心孔与该弹性垫圈的该中孔，并使该肩部顶抵于该密封衬垫上；该固定环外环周开设有多个固定孔；
多个固定螺栓，分别对应穿经该多个固定孔、该多个绝缘环、该多个贯孔、该多个逃孔、该多个圆孔、及该多个穿孔，并通过多个螺帽分别对应锁紧，以将该上绝缘垫、该密封衬垫、与该弹性垫圈一并夹合固定于该固定法兰与该固定环之间，其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该绝缘轴套、该上绝缘垫、与该多个绝缘环而形成电性绝缘；以及
一锁固螺帽，对应锁固于该金属电极柱的该外螺杆，并将该密封衬垫、与该弹性垫圈夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱的该肩部之间。
所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别与该桌板之间还夹设有一绝缘压片，该绝缘压片对应到其下方该石墨电极支柱的该顶端。
所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别凹设有一承坑，该桌板下方凹设有多个承穴，该绝缘压片是容置于该承坑与其对应的承穴内。
所述的支撑桌体，其中，该绝缘压片是指一氧化锆压片。
所述的支撑桌体，其中，该桌板下方还设有一中央凹陷。
所述的支撑桌体，其中，该石墨电极支柱的该顶端还设有一外螺牙，该石墨电极支柱还包括有一调整螺帽，通过该调整螺帽螺合于该外螺牙上以支撑顶抵着该电热器。
所述的支撑桌体，其中，该调整螺帽包括有一石墨调整螺帽。
所述的支撑桌体，其中，该金属电极柱包括有一铜电极柱。
所述的支撑桌体，其中，该固定法兰下表面还凸设有一环凸起，该上绝缘垫上表面还凹设有一环凹槽，该环凸起是对应嵌合容置于该环凹槽内。
所述的支撑桌体，其中，该固定法兰包括有一不锈钢法兰。
所述的支撑桌体，其中，该绝缘轴套包括有一氧化铝纤维轴套。
所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫包括有一氧化铝纤维衬垫。
所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫的外周还环设有一外凸缘。
所述的支撑桌体，其中，该密封衬垫包括有一铜质衬垫。
所述的支撑桌体，其中，该固定座还包括有一下绝缘垫，该下绝缘垫夹设于该弹性垫圈与该固定环之间，该下绝缘垫外环周开设有多个通孔。
所述的支撑桌体，其中，还包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对应包覆于该多个螺帽上。
所述的支撑桌体，其中，还包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对应包覆于该多个固定螺栓上。
如此，由上述弹性垫圈的弹力调整下，可使得支撑柱得以平均施力于支撑桌体，又可使支撑柱的数量增加不受限制。除使支撑桌体的重量分散且平稳地固定于长晶炉炉底盖的炉壁，不易倾倒，可防止安全事故发生。又可将支撑桌体的桌板作薄，其热容量相对变小，而使桌板下的电热器加热时即能均匀且直接地传热于坩埚上；相对地，于坩埚冷却时更从底部可有效的达成散热效果，除了有利于硅浆均匀长晶外，更可节省能源的耗费。
附图说明
图1是公知长晶炉的示意图。
图2是本发明一较佳实施例长晶炉炉内的剖视图。
图3是本发明一较佳实施例支撑桌体的剖视图。
图4是本发明一较佳实施例支撑桌体的分解图。
图5是本发明第二较佳实施例支撑桌体的剖视图。
图6是本发明第三较佳实施例支撑桌体的剖视图。
附图中主要组件符号说明：
长晶炉 1，9                炉底盖 12，94             炉壁 121
支撑桌体 2                 坩埚 20，92               桌板 21，91
电热器 22，95              承穴 23                   绝缘压片 24
承坑 25                    中央凹陷 26               支撑柱 3，93
石墨电极支柱 31            底端 32                   外螺牙 321，331
顶端 33                    调整螺帽 34               金属电极柱 4
螺母座 41                  内螺孔 411                外螺杆 42
肩部 421                   固定座 5                  固定法兰 51
中空圆筒 511               外环圈 512                中央孔 513
穿孔 514                   绝缘环 515，562，572      环凸起 516
绝缘轴套 52                上绝缘垫 53               中心穿孔 531
圆孔 532                   外凸缘 533                环凹槽 534
密封衬垫 54                中心孔 541                逃孔 542
弹性垫圈 55                圆心部 551                环周部 552
弹片 553                   中孔 554                  贯孔 555
固定环 56                  固定孔 561                下绝缘垫 57
通孔 571                   固定螺栓 6                螺帽 7
绝缘座 71，81              绝缘盖 72，82             金属垫片 73
锁固螺帽 8                 加热室 90
具体实施方式
本发明的长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包括一桌板、及四根以上的支撑柱，桌板是通过支撑柱以支持固定于一长晶炉其炉底盖的炉壁内。
支撑桌体包括有多个电热器，分别设置于桌板的下方。其中，每一支撑柱包括有一石墨电极支柱、一金属电极柱、一固定座、多个固定螺栓、以及一锁固螺帽。
石墨电极支柱包括有一底端、及一顶端，底端设有一外螺牙，顶端支撑顶抵于多个电热器其中的一的两端下方并彼此形成电性连接。金属电极柱包括有一螺母座、及一外螺杆，螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于石墨电极支柱的外螺牙，螺母座另一端则凸出延伸有外螺杆、并与外螺杆之间形成有一肩部。
固定座包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一上绝缘垫、一密封衬垫、一弹性垫圈、一固定环、及多个绝缘环。其中，固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈，中空圆筒外周系焊接固设于长晶炉炉底盖的炉壁上、内部形成有一中央孔，外环圈开设有多个穿孔。
绝缘轴套套设于金属电极柱的螺母座外周并一并容设于中央孔内。上绝缘垫包括有一中心穿孔，并于其外环周开设有多个圆孔。密封衬垫包括有一中心孔，并于其外环周开设有多个逃孔。
弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片，至少一弹片连结于圆心部与环周部之间以提供一轴向弹力，圆心部中央开设有一中孔，环周部开设有多个贯孔。
上述金属电极柱的外螺杆穿经密封衬垫的中心孔与弹性垫圈的中孔，并使肩部顶抵于密封衬垫上。又，固定环外环周开设有多个固定孔。
多个固定螺栓，分别对应穿经多个固定孔、多个绝缘环多个贯孔、多个逃孔、多个圆孔、及多个穿孔。并通过多个螺帽分别对应锁紧，以将上绝缘垫、密封衬垫、与弹性垫圈一并夹合固定于固定法兰与固定环之间，其中固定法兰与密封衬垫之间因间隔有绝缘轴套、上绝缘垫、与多个绝缘环而形成电性绝缘。
锁固螺帽，对应锁固于金属电极柱的外螺杆，并将密封衬垫、与弹性垫圈夹合固定于锁固螺帽与金属电极柱的肩部之间。
如此，由上述弹性垫圈的弹力调整下，可使得支撑柱得以平均施力于支撑桌体，又可使支撑柱的数量增加不受限制。除使支撑桌体的重量分散且平稳地固定于长晶炉炉底盖的炉壁，不易倾倒，可防止安全事故发生。又可将支撑桌体的桌板作薄，其热容量相对变小，而使桌板下的电热器加热时即能均匀且直接地传热于坩埚上；相对地，于坩埚冷却时更从底部可有效的达成散热效果，除了有利于硅浆均匀长晶外，更可节省能源的耗费。
此外，每一电热器的二端分别与桌板之间更夹设有一绝缘压片，绝缘压片对应到其下方石墨电极支柱的顶端。
而且，每一电热器的二端分别凹设有一承坑，桌板下方凹设有多个承穴，绝缘压片是容置于承坑与其对应的承穴内，更具有稳固桌板与电热器的作用。又，绝缘压片是指一氧化锆压片，或其它等效的耐高温绝缘材料制成压片亦可。
再者，桌板下方还设有一中央凹陷。由此，使桌板中央更薄，可增加电热器加热效率，又可使冷却时先由坩埚底部中央开始长晶再均匀往上往外长晶，可避免内应力产生。
上述石墨电极支柱的顶端可设有一外螺牙，石墨电极支柱可包括有一调整螺帽，通过调整螺帽螺合于外螺牙上以支撑顶抵着电热器。除可以调整支撑桌体的水平度、并可扩大电性连接的接触面积。
而且，调整螺帽包括有一石墨调整螺帽，金属电极柱包括有一铜电极柱。并且，固定法兰下表面还凸设有一环凸起，上绝缘垫上表面还凹设有一环凹槽，环凸起是对应嵌合容置于环凹槽内，以此形成固定作用，使固定法兰与上绝缘垫间不会相互滑动。固定法兰包括有一不锈钢法兰，绝缘轴套包括有一氧化铝纤维轴套，上绝缘垫包括有一硅橡胶或铁氟龙衬垫。
此外，上绝缘垫的外周环设有一外凸缘，以密合于固定环外周进而加强绝缘效果。再者，密封衬垫包括有一铜质衬垫。此外，固定座还包括有一下绝缘垫，下绝缘垫夹设于弹性垫圈与固定环之间，下绝缘垫外环周开设有多个通孔。其中，上述支撑桌体还包括有多个绝缘座、及多个绝缘盖，其可分别对应包覆于多个螺帽或是多个固定螺栓的头部上，以防止水滴进入固定螺栓与固定法兰之间的隙缝。因此，可加强绝缘效果。
下面结合附图作进一步描述。
请参阅图2，为本发明一较佳实施例长晶炉炉内的剖视图。如图所示，本发明为一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，其包括一桌板21、八根支撑柱3。桌板21是通过支撑柱3以支持固定于一长晶炉1炉底盖12的炉壁121内。
请同时参阅图3、及图4，图3为本发明一较佳实施例支撑桌体的剖视图，图4为本发明一较佳实施例支撑桌体的分解图。如图所示，支撑桌体2包括有多个电热器22，分别设置于桌板21的下方。其中，每一支撑柱3包括有一石墨电极支柱31、一金属电极柱4、一固定座5、多个固定螺栓6、及一锁固螺帽8。
如图所示，石墨电极支柱31包括有一底端32、及一顶端33。底端32设有一外螺牙321，顶端33设有一外螺牙331，石墨电极支柱31包括有一调整螺帽34，通过调整螺帽34螺合于外螺牙331上以支撑顶抵着电热器22其中的一的两端下方，并彼此形成电性连接。调整螺帽34除可调整支撑桌体2的水平度、并可扩大电性连接的接触面积以减少电阻。
其中，金属电极柱4为铜电极柱，其包括有一螺母座41、及一外螺杆42。螺母座41一端凹设有一内螺孔411以对应螺锁于石墨电极支柱31的外螺牙321，螺母座41另一端则凸出延伸有外螺杆42、并与外螺杆42之间形成有一肩部421。
如图3及图4所示，固定座5包括有一固定法兰51、—绝缘轴套52、—上绝缘垫53、一密封衬垫54、一弹性垫圈55、一固定环56、及八个绝缘环515。其中，固定法兰51为不锈钢法兰，其包括有一中空圆筒511、及一外环圈512，中空圆筒511外周焊接固设于该长晶炉炉底盖12的炉壁121上、内部形成有一中央孔513。
外环圈512开设有八个穿孔514，而绝缘轴套52为氧化铝纤维轴套，并套设于金属电极柱4的螺母座41外周并一并容设于中央孔513内，上绝缘垫53其为一垂缘绝缘垫，为硅橡胶或铁氟龙衬垫，其包括有一中心穿孔531，并于其外环周开设有八个圆孔532，上绝缘垫53的外周环设有一外凸缘533，以密合于固定环56外周进而加强绝缘效果。其中，密封衬垫54为铜质衬垫，其包括有一中心孔541，并于其外环周开设有八个逃孔542。
弹性垫圈55包括有一圆心部551、一环周部552、及八个弹片553。八个弹片553连结于圆心部551与环周部552之间以提供一轴向弹力，以调整每一支撑柱3能平均受力。圆心部551中央开设有一中孔554，环周部552开设有八个贯孔555。
上述金属电极柱4的外螺杆42穿经密封衬垫54的中心孔541与弹性垫圈55的中孔554，并使肩部421顶抵于密封衬垫54。固定环56外环周开设有八固定孔561。
此外，本例中的八根固定螺栓6，分别对应穿经八个固定孔561、八个贯孔555、八个逃孔542、八个圆孔532、八个穿孔514、八个绝缘环515、八个绝缘座71、及八个金属垫片73，并通过八个螺帽7分别对应锁紧，以将上绝缘垫53、密封衬垫54、与弹性垫圈55一并夹合固定于固定法兰51与固定环56之间，其中固定法兰51与密封衬垫54之间因间隔有绝缘轴套52、上绝缘垫53、与八个绝缘环515而形成电性绝缘。此外，再以八个绝缘盖72包覆于八个螺帽7上，以防止水滴进入固定螺栓6与固定法兰51之间的隙缝，以加强绝缘效果。
又，由于固定法兰51与固定环56皆由不锈钢所制成，为散热的良导体。以固定法兰51与固定环56于支撑柱3底部边缘凸出，以增加散热面积，其可避免绝缘轴套52、上绝缘垫53、、及绝缘环515因炉内的高热而烧毁，失去了电绝缘效果。实具有预防长晶炉1因电路短路而发生安全事件的功效。
如图3所示，固定法兰51下表面还凸设有一环凸起516，上绝缘垫53上表面还凹设有一环凹槽534，环凸起516是对应嵌合容置于环凹槽534内，由此形成固定作用，使固定法兰51与上绝缘垫53间不会相互滑动。
如图3，锁固螺帽8对应锁固于金属电极柱4的外螺杆42，并将密封衬垫54、与弹性垫圈55夹合固定于锁固螺帽8与金属电极柱4的肩部421之间。剩余的外螺杆42用来螺接至一外部电源，以提供电力给炉内的电热器22。
于本发明中，由于支撑柱3超过三根以上，故应考虑支撑桌体2其平均受力、及水平度的调整问题。由上述弹性垫圈55的弹力、及调整螺帽34的调整下，可使得支撑柱3得以平均施力于支撑桌体2，又可使支撑柱3的数量增加不受限制。
除使支撑桌体2的重量分散且平稳地固定于长晶炉1的炉壁121，不易倾倒可防止安全事故发生外，又支撑桌体2的桌板21下方还设有一中央凹陷26。由此，使桌板21中央更薄，可增加电热器22加热效率，又可使冷却长晶时先由坩埚20底部中央开始长晶再均匀往上往外长晶，可避免内应力产生。由于桌板21蓄热量降低，桌板21下的电热器22加热时即能均匀且直接地并高效率地传热于坩埚20上；相对地，于硅浆冷却长晶时，坩埚20底部还可有效的达成散热效果，除了有利于硅浆均匀长晶外，还可节省能源的耗费。
如图3所示，每一电热器22的二端分别与桌板之间更夹设有一绝缘压片24，绝缘压片24对应到其下方石墨电极支柱31的顶端。而且，每一电热器22的二端分别凹设有一承坑25，桌板21下方凹设有多个承穴23，绝缘压片24是容置于承坑25与其对应的承穴23内，还具有稳固桌板21与电热器22的作用。又，绝缘压片24是指一氧化锆压片。
如图5所示，是本发明第二较佳实施例支撑桌体的剖视图。其结构大致与第一实施例大致相同，不同处之一在于八个绝缘座81、及八个绝缘盖82，分别对应包覆于八根固定螺栓6的头部上，并于固定螺栓6的头部与绝缘座81间设有金属垫片73。另一不同处在于绝缘环562分别穿经固定孔561、贯孔555、逃孔542后再密合于上绝缘垫53下表面与绝缘座81上表面之间，以达成固定法兰51与密封衬垫54之间的电绝缘功效。
请参阅图6，为本发明第三较佳实施例支撑桌体的剖视图。如图所示，其结构与第一实施例大致相同，不同处之一在于本实施例的固定座5还包括有一下绝缘垫57，下绝缘垫57夹设于弹性垫圈55与固定环56之间，下绝缘垫57外环周开设有八个通孔571，以利固定螺栓6穿过，另一不同处在于绝缘环572分别穿经贯孔555、逃孔542后再密合于上绝缘垫53的下表面与缘垫57的上表面间，以达成固定法兰51与密封衬垫54之间的电绝缘功效。
上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请的权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。