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本发明涉及一种基于氟化物的单相铁基超导材料及其制备方法,该材料具有准二维的层状结构,组成用如下公式表示:(Ba1-xREx)FeAsF;其中0.35x0.60;RE为La、Ce、Pr、Nd或Sm。该材料的制备方法,包括首先制备BaAs和LaAs、CeAs、PrAs、NdAs及SmAs前驱体样品;再采用固态化学反应方法和离子掺杂机制,在高温下利用三价的稀土金属离子部分替换二价的Ba离子,制备出基于氟。