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1、(10)申请公布号 CN 103562962 A (43)申请公布日 2014.02.05 CN 103562962 A (21)申请号 201280026187.1 (22)申请日 2012.03.29 61/470,083 2011.03.31 US G06T 7/00(2006.01) G01N 25/72(2006.01) H01L 31/20(2006.01) (71)申请人 赛智电致变色公司 地址 美国明尼苏达州 (72)发明人 史蒂夫帕姆 让克利斯朵夫吉龙 菲利普雷托卡特 杰罗姆卢瑟拉德 奥利维尔塞列斯 卡佳维尔纳 (74)专利代理机构 广州粤高专利商标代理有限 公司 44102。
2、 代理人 倪小敏 (54) 发明名称 用于使用热成像检测和修复电致变色装置中 的缺陷的系统和方法 (57) 摘要 用于检测和修复电致变色装置 (30)中的缺 陷的系统 (1) 和方法 (100) , 可以包含获取所述装 置处于运行状态时所述电致变色装置 (30) 的热 图像。另外, 所述系统和方法可以包含处理代表 所述热图像的热成像数据, 通过将在所述热图像 的一个或多个像素检测到的热幅度和预定的值相 比较, 检测所述电致变色装置中的缺陷, 并且确定 所述电致变色装置中与检测到的缺陷相对应的位 置。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2013.11.29 (86)PCT。
3、国际申请的申请数据 PCT/US2012/031182 2012.03.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2012/154320 EN 2012.11.15 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 12 页 附图 19 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书12页 附图19页 (10)申请公布号 CN 103562962 A CN 103562962 A 1/2 页 2 1. 一种用于检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统, 所述系统包含 : 热成像单元, 用于获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像 ; 以及 控制。
4、单元, 用于使用代表所述热图像的热成像数据, 通过将在所述热图像的一个或多 个像素检测到的热幅度与预定的值相比较, 检测所述电致变色装置上的缺陷, 并且确定所 述装置中与检测到的缺陷相对应的位置。 2. 根据权利要求 1 所述的系统, 所述系统进一步包含 : 激光装置单元, 用于发射激光, 从而烧蚀所述装置中与检测到的缺陷相对应的位置。 3. 根据权利要求 1 所述的系统, 所述系统进一步包含 : 冷却器单元, 用于控制获取热图像时所述装置的温度。 4. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中当在一个或多个像素检测到的热幅度不小于预定 的值时, 所述控制单元确定所述一个或多个像素对应于所述装置上。
5、缺陷的位置。 5. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中所述控制单元处理所述热成像数据, 以提高信号 噪声比, 所述信号噪声比是对应于检测到的缺陷的热图像部分的热幅度, 与对应于检测到 的缺陷的热图像部分附近的热图像部分的热幅度的比。 6. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中所述控制单元用于控制设有所述装置的表面的热 状态, 该表面与得到所述热图像的所述装置的表面相反。 7. 根据权利要求 6 所述的系统, 其中所述控制单元用于控制所述表面的热状态, 从而 提高信号噪声比, 所述信号噪声比是对应于检测到的缺陷的热图像部分的热幅度, 与对应 于检测到的缺陷的热图像部分附近的热图像部分的热幅度的。
6、比。 8. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中所述预定的值不同于从所述电致变色装置的热图 像确定的热幅度。 9. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中所述预定的值对应于从所述热图像数据确定的热 幅度。 10. 根据权利要求 1 所述的系统, 其中所述控制单元使用锁定方法, 处理分别代表由 所述热成像单元得到的一系列热图像的所述热成像数据, 以提高检测到的缺陷的信号噪声 比。 11. 根据权利要求 1 所述的系统, 所述系统进一步包含 : 修复单元, 用于向所述装置施加电流, 从而修复检测到的缺陷。 12. 根据权利要求 11 所述的系统, 其中所述控制单元根据所述热成像数据控制所述修 复单元。
7、。 13. 一种使用热成像检测和修复电致变色装置中的缺陷的方法, 所述方法包含 : 获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像 ; 以及 处理代表所述热图像的热成像数据, 通过将在所述热图像的一个或多个像素检测到的 热幅度与预定的值相比较, 检测所述电致变色装置上的缺陷, 并且确定所述电致变色装置 中与检测到的缺陷相对应的位置。 14. 根据权利要求 13 所述的方法, 所述方法进一步包含 : 根据被确定的位置, 控制所述电致变色装置上检测到的缺陷的修复。 15. 根据权利要求 14 所述的方法, 其中所述修复包含 : 发射激光, 从而烧蚀所述装置中 与检测到的缺陷相对应的位置。 权 。
8、利 要 求 书 CN 103562962 A 2 2/2 页 3 16. 根据权利要求 14 所述的方法, 所述方法进一步包含 : 在从包含多个电致变色装置中的所述电致变色装置的面板切割所述电致变色装置之 前, 进行所述修复。 17. 根据权利要求 13 所述的方法, 所述方法进一步包含 : 控制获取热图像时所述电致变色装置的温度。 18. 一种用于检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统, 所述系统包含 : 热成像单元, 用于获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像 ; 控制单元, 用于处理所述热图像的热成像数据, 从而检测所述电致变色装置上的缺陷, 并且确定所述装置中与检测到的缺陷相。
9、对应的位置 ; 激光装置单元, 用于发射激光, 从而烧蚀所述装置中与检测到的缺陷相对应的位置 ; 以 及 冷却器单元, 用于控制获取热图像时所述装置的温度 ; 其中所述控制单元将在所述热图像的像素检测到的热幅度与预定的值相比较, 以确定 该像素是否对应于所述装置中缺陷的位置。 权 利 要 求 书 CN 103562962 A 3 1/12 页 4 用于使用热成像检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统 和方法 0001 相关申请的交叉引用 本专利申请要求申请号为 61/470,083、 提交日为 2011 年 3 月 31 日、 名称为 “用于使用 热成像检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统和方法。
10、” 的美国临时专利申请的申请日的 利益, 其内容通过引用被加入本文中。 技术领域 0002 本发明涉及电致变色装置, 该装置能够通过将电势施加至电致变色装置而改变电 磁辐射的透射或反射。更具体地, 本发明涉及使用热成像检测和修复电致变色装置中的缺 陷。 背景技术 0003 电致变色装置包含电致变色材料, 这些材料已知根据施加的电势改变它们的光学 特性, 从而使得装置例如或多或少是透明的或反光的, 或者具有所需的颜色。 0004 电致变色 (EC) 装置的制造通常包含在基底 (例如玻璃) 上形成电致变色薄膜叠 层, 该薄膜叠层包含导电的和电致变色的材料的多个层。例如参看美国专利号 5,321,5。
11、44、 6,856,444、 7,372,610 和 7,593,154, 它们通过引用加入本文中。在制造过程期间, 有时会 在 EC 薄膜叠层的一个或多个层中形成缺陷, 当通过向装置施加电势以运行装置时, 这些缺 陷使得电致变色装置在该缺陷的所在之处或其附近的光学性能与所需的不同, 或者缺少所 需的光学性能。该缺陷可能是 EC 薄膜叠层的导电层之间的短路 (short) , 其例如由 EC 薄膜 叠层的一个或多个层中材料的外来污染物或不均匀性而引起, 并使得该 EC 装置在运行时 在缺陷的位置的光学性能与所需的不同, 并且呈现在该缺陷附近的位置。 因此, 所述缺陷可 能会使得 EC 装置在运。
12、行时具有不希望的美学外观。 0005 用于检测和修复电致变色装置中的缺陷的一些目前的技术依赖于这些缺陷的光 学检测。但是, 使用光学检测来检测电致变色装置中缺陷的位置, 然后修复检测到的缺陷, 可能是相对耗时的过程, 并且也可能不会总是令人满意地修复 EC 装置运行时造成不希望 的美学外观的这些缺陷。 0006 通常, 在已经为特定的用途 (例如以EC装置的形式附着至一块绝缘玻璃) 而将基底 (上面已经制造有 EC 薄膜叠层) 切割成较小尺寸的 EC 薄膜叠层部分之后、 在已经在基底上 制造EC薄膜叠层之后、 或者在基底上的EC薄膜叠层层压至另一块玻璃之后, 使用光学成像 系统进行 EC 装置。
13、的光学成像。将合适的电势施加至 EC 薄膜叠层或叠层部分至启动时间间 隔 (例如约 15 至 20 分钟) , 使得 EC 薄膜叠层或叠层部分可以达到运行状态, 其中 EC 薄膜叠 层或叠层部分的光学特性依赖于 EC 装置的设计。进行 EC 薄膜叠层或叠层部分的光学成像 以检测缺陷的时间段基于光学发射的不同位置, 而这些位置对应于 EC 装置的制造期间的 缺陷, 因此, 通常包含启动时间间隔。 0007 此外, EC 薄膜叠层可能具有记忆特性, 这使得 EC 薄膜叠层在向 EC 薄膜叠层施加 说 明 书 CN 103562962 A 4 2/12 页 5 电势之后储存电荷, 并且储存的电荷消耗。
14、得相当缓慢。 其结果是, 如果没有等待足够的时间 (可能达到两个小时或更长) , 以使任何聚集的电荷 (其可能从施加电荷至 EC 薄膜叠层的制 造期间的早期测试步骤中残留) 从 EC 薄膜叠层消散, 就在 EC 装置的制造期间进行光学成像 以检测缺陷的位置的话, 被鉴定为具有缺陷的 EC 装置的位置可能是不准确的。 0008 进一步地, 在 EC 装置制造期间, 希望在 EC 装置上进行功率循环 (power cycling) 之前修复一些缺陷 (例如导电层之间的短路) 。如果这些短路没有在进行功率循环之前修 复, 则包含该短路的 EC 薄膜叠层的相对较大的区域可能不能运行, 使得这些短路不会。
15、变得 可检测, 并因此不能够在 EC 装置的功率循环之后修复。此外, 一些短路如果没有在功率循 环之前修复, 可能会作为功率循环的结果而损坏 EC 薄膜叠层。 0009 此外, 已经观察到的是, EC 薄膜叠层中的一些短路在对 EC 装置进行功率循环之前 可能不具有这样的光学发射特性, 使得它们不能够通过光学成像系统而被检测为缺陷。因 此, 在 EC 装置制造期间, 可能需要进行多次光学成像以检测和修复缺陷。 0010 此外, 在光学成像系统中通常需要使用照明装置。所述照明装置被运行来从 EC 薄 膜叠层部分的表面 (该表面与被光学地成像的 EC 薄膜叠层部分的表面相反) 照亮 EC 薄膜叠 。
16、层部分。提供这样的照明是为了确保通过光学成像系统得到的 EC 薄膜叠层部分的光学图 像中有足够的对比, 以使得包含缺陷的 EC 薄膜叠层部分的位置上的光学发射和不具有缺 陷的位置的不同。照明装置的使用对于通过光学成像系统在 EC 装置中检测和修复缺陷增 加了复杂性和额外的费用。 0011 或者, EC 装置中的缺陷可能由人类视觉地检测, 例如用于制造 EC 装置的装配线的 操作人员。这些缺陷的人工检测通常耗费 20 至 40 分钟。此外, 由人类鉴定 EC 装置上缺陷 的位置并不具有非常大的可重复性, 使得在后续的修复步骤中不能得到令人满意的缺陷的 修复结果。所以, 由操作人员视觉地检测缺陷然。
17、后修复检测到的缺陷的步骤可能需要在 EC 装置的制造期间重复一次或多次。 0012 因此, 有需要以高水平的准确率、 快速地、 相对容易地、 以较低的成本检测和修复 电致变色装置中的缺陷。 发明内容 0013 根据一个实施例, 一种用于检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统可以包含热 成像单元, 以获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像。 另外, 所述系统可 以包含控制单元, 以使用代表所述热图像的热成像数据, 通过将在所述热图像的一个或多 个像素上检测到的热幅度 (thermal amplitude) 与预定的值相比较, 检测电致变色装置上 的缺陷, 并以确定所述装置中与检测到的缺。
18、陷相对应的位置。 0014 根据另一个实施例, 一种使用热成像检测和修复电致变色装置中的缺陷的方法可 以包括 : 获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像。 另外, 所述方法可以包 括 : 处理代表所述热图像的热成像数据, 以通过将在所述热图像的一个或多个像素上检测 到的热幅度与预定的值相比较, 检测电致变色装置上的缺陷, 并以确定所述电致变色装置 中与检测到的缺陷相对应的位置。 0015 根据另一个实施例, 一种用于检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统可以包含 热成像单元, 以获取所述装置处于运行状态时所述电致变色装置的热图像。 另外, 所述系统 说 明 书 CN 10356296。
19、2 A 5 3/12 页 6 可以包含控制单元, 以处理所述热图像的热成像数据, 从而检测所述电致变色装置上的缺 陷, 并确定所述装置中与检测到的缺陷相对应的位置。 进一步地, 所述系统可以包含激光装 置单元, 以发射激光, 从而烧蚀 (ablate) 所述装置中与检测到的缺陷相对应的位置。所述 系统还可以包含冷却器单元, 以控制获取热图像时所述装置的温度。 并且, 所述控制单元还 可以将在所述热图像的像素上检测到的热幅度与预定的值相比较, 以确定该像素是否对应 于所述装置中缺陷的位置。 附图说明 0016 图 1 是根据本发明的一个方面的、 用于使用热成像检测电致变色装置中的缺陷的 系统的方。
20、块图。 0017 图 2 是根据本发明的一个方面的、 用于使用热成像检测和修复电致变色装置中的 缺陷的系统的方块图。 0018 图 3 是根据本发明的一个方面的、 沿用于制造电致变色装置的装配线的、 用于使 用热成像检测和修复电致变色装置中的缺陷的系统的方块图。 0019 图 4 是根据本发明的一个方面的、 用于使用热成像检测电致变色装置中的缺陷的 处理流程。 0020 图 5 是根据本发明的一个方面的、 用于使用热成像检测和修复电致变色装置中的 缺陷的处理流程。 0021 图 6 是根据本发明的一个方面的、 用于制造电致变色装置的处理流程, 其中热成 像被用来检测和修复电致变色装置中的缺陷。。
21、 0022 图 7 是处于运行状态的示例性的电致变色装置的光学图像。 0023 图 8A 和 8B 是根据本发明的一个方面的获得的图 7 的电致变色装置的热图像。 0024 图 8C 和 8D 分别是图 8A 和 8B 的热图像的三维图。 0025 图 8E 和 8F 分别是图 8A 和 8B 的热图像的三维图。 0026 图 9A 和 9B 是根据本发明的一个方面的获得的图 7 的电致变色装置的热图像。 0027 图 9C 和 9D 分别是图 9A 和 9B 的热图像的三维图。 0028 图 9E 和 9F 分别是图 9A 和 9B 的热图像的三维图。 具体实施方式 0029 根据本发明的一。
22、个方面, 热成像可以被用来检测和定位电致变色装置中的缺陷 (例如短路) , 并修复电致变色装置的检测到的缺陷和验证该修复。 0030 图 1 示出了根据本发明的一个方面的、 用于使用热成像检测电致变色装置 中的缺陷的系统 1。参照图 1, 系统 1 可以包含与输入装置 12 电互连 (electrically interconnect) 的控制单元 10、 显示装置 14、 电源 (electrical source) 单元 16、 冷却器单 元 18、 真空单元 20、 空气供应单元 22 和热图像处理器单元 24。另外, 系统 1 还可以包含与 热图像处理器单元 24 电互连的热摄像机单元。
23、 26、 以及和电源单元 16 电互连的接触器单元 28A 和 28B。 0031 所述输入装置 12 是可以由用户操作以向控制单元 10 提供输入信息的常规装置, 例如小键盘、 键盘、 鼠标、 开关等。所述输入信息可以用来控制系统 1 以检测电致变色装置 说 明 书 CN 103562962 A 6 4/12 页 7 中 (例如电致变色装置的电致变色薄膜叠层中) 的、 包含在面板 31(设于系统 1 的板 32 上) 中的缺陷。所述面板 31 可以是基底 (例如玻璃) , 在其上已经形成有电致变色薄膜叠层和与 电致变色薄膜叠层的部件电互连的导电母线。 EC薄膜叠层和母线可以被设于面板1的基底。
24、 上, 使得可以通过分别将面板切割成一个或多个部分来得到一个或多个电致变色装置。为 了便于参考, 以下参照可以由切割面板 31 而得到的电致变色装置 30, 描述根据本发明的、 使用热成像的缺陷检测和修复。 0032 所述显示装置 14 可以是任何显示器或显示屏 (例如 LCD 或 LED 显示器) , 它能够显 示由控制单元 10 提供的信息。 0033 所述冷却器单元 18 可以是这样的任何装置, 它能够被控制 (例如由控制单元 10) 来供给一定温度和流量的气体 (例如空气、 氮气、 氩气或氦气) 或液体, 以使板32的温度降低 至或稳定在预定的温度 (例如约 65 F) 或之下。根据冷。
25、却器单元的操作的控制, EC 装置 30 (设于板 32 上) 的温度可以被降低至并且稳定在所需的温度 (例如约 50 F) 。 0034 所述板 32 可以是壳体的形式, 该壳体具有基本上平坦的外表面 36, 该外表面具有 足够的尺寸以保持其上的面板31。 板32可以进一步包含在外表面36开出的一个或多个孔 38、 以及从孔 38 延伸至输入端口 42 的管道 40。 0035 空气供应单元 22 可以是这样的装置, 它能够被控制 (例如由控制单元 10) 来供应 所需流量的压缩空气。所述压缩空气可以通过管道 21(终止于板 32 的输入端口 42) 供应。 0036 所述真空单元 20 可。
26、以是这样的任何装置, 它能够被控制 (例如由控制单元 10) 来 制造真空。所述真空可以通过管道 21 供应至板 32 的输入端口 42。 0037 所述热摄像机单元 26 可以包含具有镜头 27 的热成像摄像机 (例如红外摄像机) 。 所述摄像机的镜头 27 可以是可控制的, 以在三个自由度 (x, y, z) 中移动, 并且所述热成 像摄像机可以是可控制的, 以获得热图像并提供代表得到的热图像的热成像数据。所述镜 头 27 可以例如是红外的 f/1.4、 25mm 物镜或红外的 f/3.0 Marco 1x 镜头。应该理解的是, 本领域技术人员可以选择具有合适的光圈和焦距的红外镜头, 以获。
27、得能够被用来如下所述 地检测和定位 EC 装置中的缺陷的热图像。 0038 根据从控制单元提供的控制数据, 所述热图像处理器单元 24 可以控制热摄像机 单元 26 的运行, 使得热摄像机单元 26 的镜头 27 被移动至相对于板 32 的所需位置, 并且通 过摄像器单元 26 得到板 32 上的 EC 装置 30 的热图像。另外, 所述热图像处理器单元 24 可 以处理来自摄像机单元 26 的热成像数据, 并且向控制单元 10 提供处理的热成像数据和来 自摄像机单元的热成像数据。 0039 所述接触器单元 28 可以是包含接触元件 29 的装置, 所述接触元件可以被控制来 在三个自由度 (x。
28、, y, z) 中移动。接触器单元 28 相对于板 32 设置, 从而接触元件 29 可以 被移动至与 EC 装置 30 的所需位置接触, 该位置例如是装置 30 的 EC 薄膜叠层的母线或相 似的接触点, 在该点可以施加电势来以 EC 装置切换至运行状态。当电势被施加至 EC 装置 的负极端和正极端时, EC 装置 30 可以从非运行状态切换至运行状态, 在后者 EC 薄膜叠层 (以及因此涉及的装置 30) 的光学特性可以达到所需的、 预定的状态 (例如彩色的或有色的 状态) 。 0040 所述电源单元 16 可以是这样的装置, 它能够被控制 (例如由控制单元 10) 来向接 触器 28 提。
29、供位置控制数据, 以使接触元件 29 移动至与 EC 装置 30 的所需位置接触。进一 说 明 书 CN 103562962 A 7 5/12 页 8 步地, 所述电源单元 16 可以通过控制器 28A 和 28B 的接触元件控制被施加至 EC 装置 30 的 低压电信号的特性。 0041 所述控制单元 10 是数据处理装置, 它包含处理器和用于储存可以由处理器 (例如 计算机或相似的装置) 执行的数据和指令的储存器。所述控制单元 10 适用于处理由输入装 置12提供的输入数据, 并向冷却器单元18、 真空单元20、 空气供应单元22、 热图像处理器单 元 24 和电源单元 16 提供控制数据。
30、, 以进行处理来根据本发明的方面通过热成像检测电致 变色装置中的缺陷。在一个实施例中, 所述控制单元 10 可以被配置来执行由本文所述的系 统 1 的其他单元执行的一个或多个功能。 0042 图 4 示出了根据本发明的方面的、 检测电致变色装置中的缺陷的示例性流程 100。 为了进行说明, 与由上述图 1 的系统 1 的部件进行的操作相关地描述流程 100。 0043 参照图4, 在方块102中, 控制单元10可以向空气单元22提供控制数据, 使得通过 管道 21 由空气单元 22 供应压缩空气。在压缩空气的供应开始之后, 电致变色装置 30(可 以是面板的一部分, 所述面板包含包覆有电致变色。
31、薄膜叠层的玻璃板并且具有形成于其上 的导电母线, 所述导电母线与电致变色薄膜叠层电互连) 可以被移动至板 32 的表面 36 之 上。所述压缩空气可以是干净的和干燥的空气或氮气。 0044 在EC装置设于板32上之后, 可以停止压缩空气的供应, 控制单元可以控制真空单 元 20 以在管道 21 中制造真空。所述真空被提供来使 EC 装置维持基本上不能够在板 32 的 表面 36 上移动。 0045 在一个实施例中, 所述板 32 可以包含输入端口 44, 所述输入端口与管道 46(在板 32 的内部延伸) 连通并且靠近表面 36 设置。控制单元可以控制冷却器 18 通过管道 23 向 输入端口。
32、 44 供应液体或气体 (例如冷却的空气或液体) 并进入管道 46, 从而降低板 32 的温 度。板 32 的冷却 (例如冷却至约 65 F 的温度) 反过来使得与板表面 36 接触的 EC 装置 30 冷却至所需的、 均匀的温度。 通过在施加合适的电势使EC装置切换至运行状态之前冷却EC 装置 30, 可以增强使用热成像的 EC 装置 30 的 EC 薄膜叠层中缺陷 (例如短路) 的检测。被 冷却的 EC 装置 30 可以被维持在稳定的、 均匀的温度, 使得通过使用热成像, EC 装置的从具 有缺陷 (例如短路) 的区域产生的热量, 会容易与 EC 装置的不具有缺陷 (其产生热量) 的缺 陷。
33、周围或附近的区域区分出来。另外, 通过冷却板 32, 所以它对于 EC 装置作为均匀的热背 景, 可以提高对EC薄膜叠层的包含短路的部分检测到的热幅度, 与对EC薄膜叠层的不具有 缺陷的、 在包含缺陷的部分周围或附近的部分检测到的热幅度的信号噪声比。 0046 在方块 104 中, 根据在输入装置 12 接收的输入信息, 控制单元 10 可以向电源单元 16 提供控制数据, 使接触器单元 28A 和 28B 移动它们各自的接触元件 29A 和 29B 至与 EC 装 置 30 的各个正母线和负母线 (未示出) 接触。在一个实施例中, 根据储存于控制单元的储存 器中的数据 (该数据表示 EC 装。
34、置 30 的尺寸、 EC 装置上母线的位置、 以及板 32 的表面 36 上 保持 EC 装置的位置) , 可以自动地控制接触元件的定位。 0047 在方块106中, 热图像处理器单元24可以控制热摄像机单元26, 以将镜头27移动 至 EC 装置 30 的面向镜头 27 的表面上预定的位置。 0048 在方块 108 中, 控制单元 10 可以控制电源单元 16, 以跨过 EC 装置 30 的接触各个 接触元件29A和29B的母线供应预定的电势 (例如方波) 。 根据来自控制单元的控制数据, 其 中所述控制数据是从储存于控制单元的储存器中的数据或者由输入装置 12 提供的输入信 说 明 书 。
35、CN 103562962 A 8 6/12 页 9 息中确定的, 可以控制施加的电势的工作周期 (duty cycle) 、 持续时间、 频率和功率电平。 0049 进一步地, 在方块108中, 当电势被施加至EC装置时, 热图像处理器单元可以控制 热摄像机单元, 以获得在预定的频率并且与电势的施加相同步的 EC 装置的热图像。可以将 代表得到的热图像的热成像数据从热图像处理器单元提供至控制单元, 然后和将得到的热 图像关联至施加的电势的时机的信息一起, 储存在控制单元的储存器中。 0050 在方块 110 中, 控制单元 10 可以处理热成像数据, 以确定在热图像中的不同像素 检测到的热幅度。
36、的差异, 以检测并鉴定 EC 薄膜叠层中缺陷的位置。所述缺陷可以包括例如 EC薄膜叠层的两个导体之间的短路, 当EC装置处于运行状态时, 与具有短路的区域附近EC 薄膜叠层的的区域相比, EC 薄膜叠层中该短路的区域会吸引更多电流。在短路处 EC 薄膜 叠层中电流的增加会产生热量或热辐射, 这可以通过热成像摄像器检测。 在一个实施例中, 可以通过热图像处理器单元, 确定由热成像摄像机得到的、 在 EC 装置的热图像的每个像素 检测到的热辐射的幅度。 0051 在一个实施例中, 可以在预定的频率调制施加至 EC 装置的电势, 并且可以从热图 像得到热成像数据, 以使用高水平的精度来鉴定缺陷的位置。
37、。由流经 EC 薄膜叠层的短路的 较高水平的电流产生的升高的温度, 可以使得能够通过使用热成像检测 EC 薄膜叠层中短 路的位置。在一个实施例中, 可以通过以下方法检测和定位缺陷 : 迭代地分析分别代表得 到的一系列热图像的热成像数据, 并在将缺陷定位于热图像的中心的同时, 减少 EC 装置的 热成像的区域的尺寸, 从而锁定 (lock in) 缺陷及其在 EC 装置中的位置, 有利地提高缺陷 的信号噪声比。例如参看 Huth, S., et al., “Lock-in Thermography a novel tool for material and device characteriza。
38、tion,“ Solid State Phenomena, Vol. 82-84, pp. 741-746 (2002), 其通过引用被加入本文中, 描述了一种锁定热成像技术。 0052 在一个实施例中, 在方块 110 中, 可以在热图像的各个像素的热幅度之间进行比 较, 以鉴定热图像中具有可能与 EC 薄膜叠层中的缺陷 (例如短路) 相关的热幅度的像素。被 鉴定的像素被确定为对应于 EC 装置的 EC 薄膜叠层上的缺陷的位置。 0053 在一个实施例中, 例如如上所述地通过使用迭代过程锁定缺陷, 控制单元 10 可以 控制镜头27的位置的定位, 以及施加至EC装置以提高信号噪声比的电势, 。
39、所述信号噪声比 是对EC薄膜叠层的包含缺陷的部分检测到的热幅度, 与对EC薄膜叠层的不具有缺陷的、 在 包含缺陷的部分周围或附近的部分检测到的热幅度的比。 0054 在一个实施例中, 可以处理热图像的热成像数据, 从而在显示屏上对应于被热成 像的EC装置二维地显示热幅度, 并通过标记 (例如着色、 阴影等) 显示热幅度, 使得能够在显 示屏上容易地区分具有缺陷的区域和 EC 装置不具有缺陷的其他区域。例如, 所述热幅度可 以被显示为具有与它们的绝对值成正比的亮度。 0055 在方块 112 中, 对于每个热图像, 控制单元 12 可以储存在每个像素检测到的热幅 度, 以及与该热图像的每个像素相。
40、对应的 EC 装置上的位置。 0056 在方块114中, 控制单元12可以处理储存的热成像数据, 以提供过滤功能, 其中与 EC 装置的热图像的像素 (具有低于预定阈值的热幅度) 相对应的 EC 装置上的位置, 不被鉴 定为对应于缺陷。进一步地, 在方块 114 中, 所述控制单元可以在其储存器中储存这样的数 据, 该数据表示与过滤后保留下来的缺陷相对应的 EC 装置上的位置, 以用于缺陷的后续修 复。 说 明 书 CN 103562962 A 9 7/12 页 10 0057 在方块 116 中, 控制单元可以控制真空单元以停止制造真空, 然后控制空气单元 供应压缩空气, 使得包含装置 30。
41、 的面板 31 可以被从板 32 移除。 0058 在本发明的一个实施方式中, 具有与上述系统 1 相同或相似的部件和功能的示例 性系统, 被用来进行包含 EC 薄膜叠层的示例性 EC 装置的热成像。该 EC 薄膜叠层的长和宽 分别为 35 mm 和 41 mm, 被放置于厚度为 2 mm 的玻璃基底上。图 7 是从处于运行状态的这 个 EC 装置得到的光学图像。参照图 7, 可以从光学图像中观察到, 该 EC 装置具有多个作为 缺陷的短路, 包含图像中心的附近和右边的明显短路。 0059 使用示例性系统的热摄像机单元获得该示例性 EC 装置的热图像, 该热摄像机单 元具有置于 EC 装置上的。
42、 25 mm IR 物镜, 以提供 80 m/ 像素的分辨率, 并使用置于 EC 薄膜 装置上的 Macro 1X IR 物镜, 以提供 10 m/ 像素的分辨率。图 8A 和 8B 示出了分别使用 25 mm 和 Macro 1X 镜头得到的图 7 的整个 EC 装置的热图像。 0060 另外, 分别如图 8C 和 8E、 图 8D 和 8F 所示, 处理热成像数据, 以在三维中显示图 8A 和 8B 中显示的热图像的每个像素的热幅度, 以突出对应于缺陷的热区域。可以发现, 如图 8C和8E所示, 使用25 mm镜头进行的热成像在短路处形成约350千开尔文 (milleKelvins) (0。
43、.35 C) 的峰, 而如图 8D 和 8F 所示, 使用 Macro 1X 镜头进行的热成像在相同的短路处 形成约 16,000 千开尔文 (16 C) 的峰。对于相同的短路, 两个不同镜头各自的峰值热幅 度 (温度) 之间出现不同, 是因为每个像素平均于来自多个区域的热发射, 而含有短路的 EC 装置的区域通常很小, 例如约10 m。 结果, 对于相同的短路, 如果一个像素对应的EC薄膜 叠层的区域更大, 则与 EC 薄膜叠层的背景 (基线) 温度相比, 该像素的热成像数据的温度差 异会更小。换句话说, 随着每个像素代表的 EC 装置的区域尺寸的增加, EC 薄膜叠层中缺陷 的热幅度 (温。
44、度) 与没有缺陷的 EC 薄膜叠层的部分的热幅度的信号噪声比会降低。 0061 在系统 1 的一些实施例中, 可以改变得到的热图像的像素尺寸, 以使视野更大, 以 增加对于EC装置制造期间的缺陷的EC装置的测试期间的吞吐量, 其中灵敏度相应减少, 反 之亦然。 0062 图 9A-9B 示出了通过分别使用 25 mm 镜头和 Macro 1X 镜头的热成像得到的图 7 的相同 EC 装置的热图像, 其中热图像是示例性 EC 装置的 4 mm 4 mm 区域的, 包含 EC 薄 膜叠层中位于区域中心的缺陷。图 9C 和 9E 以及图 9D 和 9F 分别示出了图 9A 和 9B 的热成 像数据的。
45、三维显示。 0063 在系统 1 的操作的一个实施例中, 电势可以以方波的形式被施加至电致变色装 置, 并且可以如下得到热图像 :(1) 电势是 -3 伏特施加 100 秒, 然后 0 伏特施加 100 秒, 最 后 -3 伏特施加 100 秒, 在 2.2 Hz 的频率下得到热图像 ;(2) 电势是 -2 伏特施加 100 秒, 然 后 0 伏特施加 100 秒, 最后 -2 伏特施加 100 秒, 在 2.2 Hz 的频率下得到热图像 ;(3) 电势 是 3 伏特施加 100 秒, 然后 -2 伏特施加 100 秒, 最后 3 伏特施加 100 秒, 在 2.2 Hz 的频率 下得到热图像。
46、 ;(4) 电势是 -2 伏特施加 100 秒, 然后 0 伏特施加 100 秒, 最后 -2 伏特施加 100 秒, 在 2.2 Hz 的频率下得到热图像 ;(5) 电势是 -2 伏特施加 10 秒, 然后 0 伏特施加 10 秒, 最后-2伏特施加10秒, 在22 Hz的频率下得到热图像 ;(6) 电势是-2伏特施加3.3秒, 然后 0 伏特施加 3.3 秒, 最后 2 伏特施加 3.3 秒, 在 80 Hz 的频率下得到热图像 ;(7) 电势 是 3 伏特施加 3.3 秒, 然后 0 伏特施加 3.3 秒, 最后 3 伏特施加 3.3 秒, 在 80 Hz 的频率下 得到热图像 ;(8)。
47、 电势是 5 伏特施加 3.3 秒, 然后 0 伏特施加 3.3 秒, 最后 5 伏特施加 3.3 说 明 书 CN 103562962 A 10 8/12 页 11 秒, 在 80 Hz 的频率下得到热图像 ;(9) 电势是 7 伏特施加 3.3 秒, 然后 0 伏特施加 3.3 秒, 最后 7 伏特施加 3.3 秒, 在 80 Hz 的频率下得到热图像 ; 以及 (10) 使用两个如下的连续的 200 秒脉冲施加电势 400 秒 : 首先 3 伏特施加 50 秒, 然后 0 伏特施加 50 秒, -2 伏特施加 50 秒, 在 2.2 Hz 的频率下得到热图像。 0064 在另一个方面, 。
48、参照图 2, 系统 200 可以用于使用热成像检测和修复电致变色装置 中的缺陷。 参照图2, 系统200可以包含与上述系统1相同或相似的部件, 并且进一步地, 还 包含与控制单元 10 和激光装置 212 电互连的激光控制单元 210。 0065 激光装置 212 可以是光学能量发射装置 (例如激光器) , 它能够被控制来发射充足 能量下的光束, 以烧蚀与激光器的距离小于约20 mm的、 小于约15平方微米的集中区域。 另 外, 激光装置 212 可以被控制来在三个自由度 (x, y, z) 中移动。 0066 根据由控制单元10提供的控制数据, 激光控制单元210可以运行来控制射出的激 光的。
49、发射和强度、 以及激光装置 212 的移动。 0067 在一个实施例中, 激光装置 212 可以被固定至热摄像机单元 26(优选构成一体) 。 0068 图 5 示出了示例性的流程 250, 它可以与系统 200 联合进行, 以使用热成像检测 EC 装置中的缺陷、 修复检测到的缺陷, 并且然后使用热成像鉴定检测到的缺陷是否已经被满 意地修复。流程 250 可以包含与上述流程 100 的方块 102、 104、 108 和 110(在图 5 中未示 出) 相同的功能。 0069 参照图5, 在如上述地进行方块102、 104、 108和110之后, 在方块240中, 控制单元 可以控制激光装置 212 的移动, 以将激光装置相对于 EC 装置而设置, 使得从激光装置 212 发射的激光可以射到EC装置上的位置, 该位置对应于EC装置的热图像的、 被确定为具有超 过预定阈值的热幅度的一个或多个像素, 其对应于检测到的短路的位置。可以使用储存于 控制单元的储存器中的、 表示。