糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法 【技术领域】
本发明涉及在涂敷对象物上涂敷糊料的糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法。背景技术 糊料涂敷装置用于制造液晶显示面板等各种装置而使用。 该糊料涂敷装置具备对 涂敷对象物涂敷糊料的涂敷头， 使该涂敷头一边移动一边涂敷糊料， 在涂敷对象物上形成 规定的糊料图形 ( 例如， 参照专利文献 1)。特别是， 在液晶显示面板的制造中， 为了贴合两 张基板， 糊料涂敷装置对作为涂敷对象物的基板包围液晶显示板的显示区域地涂敷密封剂 等具有密封性及粘接性的糊料。
这种糊料涂敷装置构成为， 支撑涂敷头的支柱或沿该支柱可移动的涂敷头由使用 了滚珠螺杆的移动机构或使用了直线电动机的移动机构分别进行移动。此时， 支柱或涂敷 头的位置控制使用直线尺来进行。 作为该直线尺， 为了避免热引起的变形， 所以可以使用热 膨胀系数小的玻璃刻度尺。然而， 伴随着近年来基板的大型化， 动作行程 ( 移动范围 ) 变 长， 直线尺也变得长大， 由于很难将作为该直线尺的玻璃刻度尺高精度地大型化， 因此作为 直线尺使用不锈钢等金属制的直线尺。
专利文献 1 ： 日本特开 2002-346452 号公报。
然而， 由于金属制直线尺因周围环境 ( 气温等 ) 的变化而膨胀或收缩地变形， 因此 直线尺的刻度间隔发生变化， 产生位置检测误差而导致涂敷精度下降。 尤其是， 滚珠螺杆或 直线电动机随着糊料涂敷装置的运转逐渐发热， 该热向周围扩展并传递到直线尺， 直线尺 进行线膨胀， 因此直线尺的刻度间隔扩展导致发生位置检测误差。 另外， 伴随着近年来基板 的大型化， 动作行程 ( 移动范围 ) 变长， 直线检测尺也变得长大， 从而由于刻度间隔因直线 尺的热膨胀而扩展引起的累积误差也变大。
发明内容
本发明鉴于上述问题而提出， 其目的在于提供能够抑制涂敷精度因周围环境的变 化而降低的糊料涂敷装置及糊料涂敷方法。
本发明的实施方式的第一特征是， 在涂敷装置中具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料 的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使支撑部件沿着涂敷对象物的表面移动的移动机构 ； 设置在支撑部件上的反射部 ； 朝向反射部在支撑部件的移动方向射出激光并接受由反射部 件反射后的激光即反射光， 测定与反射部的分离距离的激光部 ； 以及基于由激光部测定的 分离距离， 控制涂敷头及移动机构以便在涂敷对象物上描绘糊料图形的控制部。
本发明的实施方式的第二特征是， 在涂敷装置中具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料 的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使支撑部件沿着涂敷对象物的表面移动的移动机构 ； 具有沿着支撑部件的移动方向高度逐渐变化的倾斜面的反射部 ； 设置在支撑部件上且朝向 倾斜面射出激光并接受由倾斜面反射后的激光即反射光， 测定与反射部的分离距离的激光 部； 以及基于由激光部测定的分离距离， 控制涂敷头及移动机构以便在涂敷对象物上描绘糊料图形的控制部。
本发明的实施方式的第三特征是， 在涂敷装置中具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料 的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使涂敷头沿着支撑部件移动的移动机构 ； 设置在涂敷 头上的反射部 ； 朝向反射部在涂敷头的移动方向射出激光， 并接受由反射部件反射后的激 光即反射光， 测定与反射部的分离距离的激光部 ； 以及基于由激光部测定的分离距离， 控制 涂敷头及移动机构以便在涂敷对象物上描绘糊料图形的控制部。
本发明的实施方式的第四特征是， 在涂敷装置中具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料 的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使涂敷头沿着支撑部件移动的移动机构 ； 设置在支撑 部件上且具有沿着涂敷头的移动方向高度逐渐变化的倾斜面的反射部 ； 与涂敷头连接且朝 向倾斜面射出激光并接受由倾斜面反射后的激光即反射光， 测定与反射部的分离距离的激 光部 ； 以及基于由激光部测定的分离距离， 控制涂敷头及移动机构以便在涂敷对象物上描 绘糊料图形的控制部。
本发明的实施方式的第五特征是， 在糊料涂敷方法中使用糊料涂敷装置， 该糊料 涂敷装置具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使支撑部件 沿着涂敷对象物的表面移动的移动机构 ； 设置在支撑部件上的反射部 ； 以及朝向反射部在 支撑部件的移动方向射出激光的激光部， 该涂敷方法具有如下工序 ： 由激光部向反射部照 射激光并接受由反射部反射后的激光即反射光， 测定与反射部的分离距离的工序 ； 以及基 于测定的分离距离控制涂敷头及移动机构， 在涂敷对象物上描绘糊料图形的工序。 本发明的实施方式的第六特征是， 在糊料涂敷方法中使用糊料涂敷装置， 该糊料 涂敷装置具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使支撑部件 沿着涂敷对象物的表面移动的移动机构 ； 具有沿着支撑部件的移动方向高度逐渐变化的倾 斜面的反射部 ； 以及设置在支撑部件上且朝向倾斜面射出激光的激光部， 该涂敷方法具有 如下工序 ： 由激光部向倾斜面照射激光并接受由倾斜面反射后的激光即反射光， 测定与反 射部的分离距离的工序 ； 以及基于测定的分离距离控制涂敷头及移动机构， 在涂敷对象物 上描绘糊料图形的工序。
本发明的实施方式的第七特征是， 在糊料涂敷方法中使用糊料涂敷装置， 该糊料 涂敷装置具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使涂敷头沿 着支撑部件移动的移动机构 ； 设置在涂敷头上的反射部 ； 朝向反射部在涂敷头的移动方向 射出激光的激光部， 该糊料涂敷方法具有如下工序 ： 由激光部向反射部照射激光并接受由 反射部反射后的激光即反射光， 测定与反射部的分离距离的工序 ； 以及基于测定的分离距 离控制涂敷头及移动机构， 在涂敷对象物上描绘糊料图形的工序。
本发明的实施方式的第八特征是， 在糊料涂敷方法中使用糊料涂敷装置， 该糊料 涂敷装置具备 ： 在涂敷对象物上涂敷糊料的涂敷头 ； 支撑涂敷头的支撑部件 ； 使涂敷头沿 着支撑部件移动的移动机构 ； 设置在支撑部件上且具有沿着涂敷头的移动方向高度逐渐变 化的倾斜面的反射部 ； 以及与涂敷头连接且朝向倾斜面射出激光的激光部， 该糊料涂敷方 法具有如下工序 ： 由激光部向倾斜面照射激光并接受由倾斜面反射后的激光即反射光， 测 定与反射部的分离距离的工序 ； 以及基于测定的分离距离控制涂敷头及移动机构， 在涂敷 对象物上描绘糊料图形的工序。
附图说明
图 1 是表示本发明的第一实施方式的糊料涂敷装置的概略结构的立体图。 图 2 是用于说明环境 ( 气温、 湿度、 气压 ) 和修正值的关系的说明图。 图 3 是表示本发明的第二实施方式的糊料涂敷装置的一部分的概略结构的立体 图 4 是表示图 3 所示的糊料涂敷装置的一部分的变形例的概略结构的立体图。 图 5 是表示本发明的第三实施方式的糊料涂敷装置的一部分的概略结构的立体 图 6 是表示本发明的第四实施方式的糊料涂敷装置的一部分的概略结构的立体 图 7 是表示本发明的第五实施方式的糊料涂敷装置的一部分的概略结构的立体 图 8 是表示本发明的第六实施方式的糊料涂敷装置的一部分的概略结构的立体图。
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图。 具体实施方式 ( 第一实施方式 )
参照图 1 以及图 2 对本发明的第一实施方式进行说明。
如图 1 所示， 本发明的第一实施方式的糊料涂敷装置 1 具备 ： 以水平状态 ( 图 1 中 沿着 X 轴方向和与之正交的 Y 轴方向的状态 ) 放置作为涂敷对象物的基板 K 的基板载置 台2； 将密封剂等具有密封性及粘接性的糊料分别涂敷在该基板载置台 2 上的多个涂敷头 3A ～ 3D ； 在 X 轴方向 ( 图 1 中 ) 可移动地支撑各涂敷头 3A ～ 3D 并使其沿 X 轴方向移动的 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B ； 分别通过这些 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B 支 撑各涂敷头 3A ～ 3D 的支撑部件 5A 及支撑部件 5B ； 在 Y 轴方向 ( 图 1 中 ) 可移动地支撑 这些支撑部件 5A 及支撑部件 5B 并使其沿 Y 轴方向移动的 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机 构 6B ； 测定在支撑部件 5A 的移动方向即 Y 轴方向上的至支撑部件 5A 的分离距离的激光测 距仪 7A ； 测定在支撑部件 5B 的移动方向即 Y 轴方向上的至支撑部件 5B 的分离距离的激光 测距仪 7B ； 检测气温、 湿度及气压的环境检测器 8 ； 支撑基板载置台 2、 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 等的台架 9 ； 以及控制各部分的控制部 10。
基板载置台 2 是固定设于台架 9 上面的放置台。该基板载置台 2 具备吸附基板 K 的吸附机构 ( 未图示 )， 通过该吸附机构将基板 K 固定并保持在上面的放置面上。而且， 作 为吸附机构， 使用例如空气吸附机构等。在这样的基板载置台 2 的放置面上放置玻璃基板 等基板 K。
各涂敷头 3A ～ 3D 分别具有容纳糊料的注射器等容纳筒 3a、 和与该容纳筒 3a 连通 并排出糊料的喷嘴 3b。这些涂敷头 3A ～ 3D 通过气体供给管等分别与气体供给部 ( 均未图 示 ) 连接。各涂敷头 3A ～ 3D 利用向容纳筒 3a 内供给的气体将其内部的糊料分别从喷嘴 3b 排出。
这种涂敷头 3A ～ 3D 通过 YZ 轴移动机构 3c 分别设置在 X 轴移动机构 4A 及 X 轴 移动机构 4B 上。该 YZ 轴移动机构 3c 是支撑一个涂敷头 3A ～ 3B 并使其在 Y 轴方向移动
的移动机构， 并且是在与水平面正交的 Z 轴方向 ( 图 1 中 ) 上即、 使涂敷头 3A ～ 3D 相对于 基板载置台 2 向接近或分离的接近分离方向移动的移动机构。 而且， 作为 YZ 轴移动机构 3c 使用例如使用了滚珠螺杆的进给丝杠机构等。
X 轴移动机构 4A 设于支撑部件 5A 的前面， X 轴移动机构 4B 设于支撑部件 5B 的前 面。X 轴移动机构 4A 沿 X 轴方向可移动地支撑两个涂敷头 3A、 3B， 是使这些涂敷头 3A、 3B 在 X 轴方向即沿着支撑部件 5A 个别地移动的移动机构。同样， X 轴移动机构 4B 也沿 X 轴 方向可移动地支撑两个涂敷头 3C、 3D， 是使这些涂敷头 3C、 3D 在 X 轴方向即沿着支撑部件 5B 个别地移动的移动机构。再有， 作为 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B 例如使用使用 了直线电动机的直线电动机机构或使用了滚珠螺杆的进给丝杠机构等。这种 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B 作为分别使各涂敷头 3A ～ 3D 移动的第二移动机构起作用。在此， 关 于支撑部件 5A、 5B， 将彼此相对的面作为前面， 将背离的面作为背面。
支撑部件 5A 是通过 X 轴移动机构 4A 支撑两个涂敷头 3A、 3B 的支柱， 同样， 支撑部 件 5B 也是通过 X 轴移动机构 4B 支撑两个涂敷头 3C、 3D 的支柱。这些支撑部件 5A 及支撑 部件 5B 分别在与其移动方向 (Y 轴方向 ) 交叉的方向例如正交的方向 (X 轴方向 ) 延伸地 形成。并且， 支撑部件 5A 及支撑部件 5B 例如分别形成为长方体形状， 相对于基板载置台 2 的放置面平行地设置。这种支撑部件 5A 及支撑部件 5B 利用 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动 机构 6B 在 Y 轴方向移动， 将各涂敷头 3A ～ 3D 定位于与基板载置台 2 的放置面相对的位置 上。 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 以从两侧夹住基板载置台 2 的方式分别设置 在台架 9 的上面。这些 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 分别沿 Y 轴方向可移动地支撑 支撑部件 5A 及支撑部件 5B 地进行合作， 是使这些支撑部件 5A 及支撑部件 5B 沿着 Y 轴方 向个别地移动的移动机构。在这些 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 上架设有支撑部件 5A 及支撑部件 5B。而且， 作为 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 例如使用使用了直线电 动机的直线电动机机构或使用了滚珠螺杆的进给丝杠机构等。这种 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 作为使支撑部件 5A、 5B 移动的第一移动机构起作用。
激光测距仪 7A 具备射出激光并接受反射光的激光部 7a1、 和将射出来的激光朝向 激光部 7a1 反射的反射部 7b1。同样， 激光测距仪 7B 也具备射出激光并接受反射光的激光 部 7a2、 和将射出来的激光朝向激光部 7a2 反射的反射部 7b2。这些激光测距仪 7A 及激光 测距仪 7B 作为分别测定与支撑部件 5A、 5B 的第一分离距离 ( 在支撑部件 5A、 5B 的移动方 向上的至支撑部件 5A、 5B 的分离距离 ) 的第一激光测距仪起作用。
此外， 激光测距仪 7A、 7B 具体地说是公知的激光干涉测长仪。激光干涉测长仪利 用检测器 ( 内装于激光部 7a1、 7a2 内 ) 检测使用半透半反镜 ( 内装于激光部 7a1、 7a2) 取 出的射出光的一部分和由反射部 7b1、 7b2 反射的反射光， 利用因射出光和反射光的光程长 度的不同而产生的干涉条纹来检测反射部 7b1、 7b2 的变位， 将通过反射部 7b1、 7b2 的移动 产生的干涉条纹的周期性变化变换成脉冲， 基于该脉冲的计数值测定反射部 7b1、 7b2 的移 动量 ( 移动距离 )。因此， 通过限位传感器等分别机械地决定支撑部件 5A、 5B 在 Y 轴移动机 构 6A 上的原点位置 ( 例如， 将 Y 轴移动机构 6A 上的支撑部件 5A 所在侧的移动端作为支撑 部件 5A 的原点位置， 将支撑部件 5B 所在侧的移动端作为支撑部件 5B 的原点位置 )， 用激光 测距仪 7A、 7B 测定各自距这些原点位置的移动量， 从而可以测定与各支撑部件 5A、 5B 的第
一分离距离。
激光测距仪 7A 的激光部 7a1 以激光的光程平行于 Y 轴方向的方式位于 Y 轴移动 机构 6A 的支撑部件 5A 侧的端部附近， 具体地说， 激光部 7a1 的激光的投光受光面和 Y 轴移 动机构 6A 的支撑部件 5A 侧的端部大致在同一平面上上地排列位于 Y 轴移动机构 6A 的外 侧， 且设置在台架 9 的上面。另外， 激光测距仪 7A 的反射部 7b1 可向激光部 7a1 反射从激 光部 7a1 射出的激光地固定在支撑部件 5A 上， 可与该支撑部件 5A 一起移动地设置。同样， 激光测距仪 7B 的激光部 7a2 也以激光的光程平行于 Y 轴方向的方式位于 Y 轴移动机构 6A 的支撑部件 5B 侧的端部附近， 具体地说， 激光部 7a2 的激光的投光受光面和 Y 轴移动机构 6A 的支撑部件 5B 侧的端部大致在同一平面上地排列位于 Y 轴移动机构 6A 的外侧， 且设置 在台架 9 的上面。另外， 激光测距仪 7B 的反射部 7a2 也可向激光部 7a2 反射从激光部 7a2 射出的激光地定在支撑部件 5B 上， 可与该支撑部件 5B 一起移动地设置。在此， 作为各反射 部 7b1、 7b2， 使用例如棱镜等。
这些激光测距仪 7A 及激光测距仪 7B 分别与控制部 10 电连接， 将测定好的分离距 离作为信号输入到该控制部 10。即、 测定激光部 7a1 与支撑部件 5A 的分离距离、 以及激光 部 7a2 与支撑部件 5B 的分离距离， 并输入到控制部 10。这样， 控制部 10 可以基于这些分离 距离可以把握支撑部件 5A 的位置及支撑部件 5B 的位置。
环境检测器 8 是检测糊料涂敷装置 1 周围的气温、 湿度及气压的传感器。该环境 检测器 8 例如在光程的正下方朝向上方地分别设置在例如台架 9 上的激光测距仪 7A、 7B 的 激光的光程附近。环境检测器 8 与控制部 10 电连接， 将检测出的气温、 湿度及气压作为信 号输入到该控制部 10。这样， 控制部 10 可以基于这些气温、 湿度及气压 ( 环境信息 ) 把握 周围环境例如空气折射率的变化。
台架 9 设置在地面上， 是将基板载物台 2、 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 等 支撑在离地面规定高度位置上的台架。台架 9 的上面形成为平面， 在该台架 9 的上面放置 基板载置台 2、 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 等。
控制部 10 具备集中控制各部的微机、 以及存储与糊料涂敷相关的涂敷信息和各 种程序等的存储部 ( 均未图示 )。涂敷信息包含有关规定的涂敷图形和描绘速度 ( 基板 K 与喷嘴 3b 在水平方向上的相对移动速度 )、 糊料排出量等的信息。 该控制部 10 基于涂敷信 息和各种程序来控制 X 轴移动机构 4A、 X 轴移动机构 4B、 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 等， 使各涂敷头 3A ～ 3D 的喷嘴 3b 和基板载置台 2 上的基板 K 在平行于基板 K 的表面 方向相对移动， 在基板 K 上涂敷规定的涂敷图形的糊料。在该涂敷动作中， 控制部 10 基于 由激光测距仪 7A 测定的分离距离来控制 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 进行支撑部 件 5A 的位置控制， 并且， 基于由激光测距仪 7B 测定的分离距离来控制 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 进行支撑部件 5B 的位置控制。
这里， 在存储部例如存储图 2 所示那样的修正信息。该修正信息是用于基于由环 境检测器 8 检测出的气温、 湿度及气压的环境信息对由激光测距仪 7A 及激光测距仪 7B 测 定的各分离距离进行修正的信息。因此， 控制部 10 从修正信息求出与所检测的气温、 湿度 及气压对应的修正值， 基于该修正值随时进行修正分离距离的修正动作。 若详细地说， 则控 制部 10 指定由所检测的气温、 湿度及气压决定的常数， 从修正信息求出与该指定的常数对 应的修正值。即、 在图 2 所示的修正信息中， 纵轴是修正值， 横轴是由气温、 湿度及气压决定的常数。例如， 以在气温为 20℃、 湿度为 30％及气压为 1000hPa 的场合常数为数值 A， 在气 温为 25℃、 湿度为 40％及气压为 1005hPa 的场合常数为数值 B 的方式设定多个常数， 再有， 设定与这些常数对应的修正值， 生成图 2 所示的修正信息。
以下， 对这种糊料涂敷装置 1 进行的涂敷动作进行说明。
首先， 糊料涂敷装置 1 利用 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 使支撑部件 5A 及 支撑部件 5B 分别在 Y 轴方向移动， 利用 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B 使各涂敷头 3A ～ 3D 在 X 轴方向分别移动， 使各涂敷头 3A ～ 3D 分别与基板载置台 2 上的基板 K 的各 涂敷开始位置对置。接着， 糊料涂敷装置 1 利用各 YZ 轴移动机构 3c 分别使各涂敷头 3A ～ 3D 在 Z 轴方向移动， 使各涂敷头 3A ～ 3D 从待机位置定位于涂敷位置。
这里， 待机位置及涂敷位置是相对基板载置台 2 上的基板 K 隔开规定间隙的高度 位置。涂敷位置是涂敷头 3A ～ 3D 进行涂敷时的高度位置。此时， 在涂敷头 3A ～ 3D 的喷 嘴 3b 的前端与基板 K 的表面之间形成的间隙设定为在基板 K 的表面上以规定的涂敷量涂 敷糊料所需要的大小。而且， 待机位置是涂敷头 3A ～ 3D 不进行涂敷场合的高度位置， 此时 的间隙远远大于涂敷位置的间隙。
其后， 糊料涂敷装置 1 基于涂敷条件 ( 排出压力和移动速度等 )， 一边使糊料从各 涂敷头 3A ～ 3D 的各喷嘴排出， 一边利用 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 使支撑部件 5A 及支撑部件 5B 在 Y 轴方向移动， 利用 X 轴方向移动机构 4A 及 X 轴方向移动机构 4B 使 各涂敷头 3A ～ 3D 在 X 轴方向移动， 在基板载置台 2 上的基板 K 的表面涂敷糊料， 形成 ( 描 绘 ) 规定的糊料图形。这里， 各涂敷头 3A ～ 3D 形成的糊料图形 ( 涂敷图形 ) 相同， 例如是 矩形框状。若规定的糊料图形的形成结束， 则糊料涂敷装置 1 利用各 YZ 轴移动机构 3c 使 各涂敷头 3A ～ 3D 分别在 Z 轴方向移动， 将各涂敷头 3A ～ 3D 从涂敷位置定位于原来的待 机位置。还有， 排出压力是用于使各涂敷头 3A ～ 3D 的容纳筒 3a 内的糊料分别从对应的喷 嘴 3b 排出的气体压力， 移动速度是涂敷糊料场合的喷嘴 3b 与基板 K 的相对移动速度。
最后， 糊料涂敷装置 1 利用 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B 使支撑部件 5A 及 支持部件 5B 移动到 Y 轴方向的退避位置， 即各涂敷头 3A ～ 3D 不与基板载置台 2 上的基板 K 对置的退避位置， 为更换基板载置台 2 上的基板 K 而待机。若基板 K 的更换结束， 则重复 上述涂敷动作。
在这种涂敷动作中， 激光测距仪 7A 及激光测距仪 7B 分别随时测定分离距离， 在该 实施方式中， 时常进行测定， 控制部 10 基于由激光测距仪 7A 测定的分离距离控制 Y 轴移动 机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B， 进行支撑部件 5A 的位置控制， 并且， 基于由激光测距仪 7B 测 定的分离距离控制 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B， 进行支撑部件 5B 的位置控制。由 此， 无需进行使用随着周围环境变化而膨胀或收缩的直线尺的位置控制， 而且， 激光测距仪 7A。 7B 与直线尺相比， 测定精度很难受到周围环境变化的影响， 因此可以不受周围环境变化 的影响地进行各支撑部件 5A、 5B 的位置控制， 因而即使周围环境发生变化也能够以高精度 进行位置控制， 其结果， 能够抑制涂敷精度的降低。再有， 控制部 10 从修正信息求出与所检 测的气温、 湿度及气压对应的修正值， 随时进行基于该修正值修正分离距离的测定值的修 正动作。由此， 可以按照周围环境的变化控制各支撑部件 5A、 5B 的位置， 因而即使周围环境 发生变化也能够以高精度进行位置控制， 其结果， 不仅抑制涂敷精度的降低， 而且还能够提 高涂敷精度。如以上所述明的那样， 根据本发明的第一实施方式， 设置各激光测距仪 7A、 7B 并 基于由这些激光测距仪 7A、 7B 测定的各分离距离控制 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机构 6B， 进行各支撑部件 5A、 5B 的位置控制， 从而与使用了随着周围环境的变化而膨胀或收缩的直 线尺进行位置控制的场合相比， 可以不受环境变化的影响地进行各支撑部件 5A、 5B 的位置 控制， 因此， 即使周围环境发生变化也能够以高精度进行位置控制。因此， 能够抑制因周围 环境变化引起的涂敷精度的下降， 其结果， 可以在基板 K 的表面上准确地形成希望形状的 涂料图形， 能够提高所制造的液晶显示板的质量。
另外， 设置环境检测器 8 并基于由该环境检测器 8 检测出的气温、 湿度及气压来 修正由激光测距仪 7A、 7B 测定出的各分离距离， 基于修正后的各分离距离控制各支撑部件 5A、 5B 的位置， 从而可以按照环境变化控制各支撑部件 5A、 5B 的位置， 因而即使环境发生变 化也能够以高精度进行位置控制， 其结果， 不仅抑制涂敷精度的下降， 而且还能够提高涂敷 精度。
此外， 伴随着近年来的液晶显示板的大型化， 基板 K 的尺寸变大， 存在糊料涂敷装 置 1 大型化的倾向。为此， 支撑部件 5A 及支撑部件 5B 大型化且重量增加， 所以在使用了直 线电动机机构的场合， 便会使用可得到比使这些部件移动的直线电动机更大的驱动力的较 大的机构， 另一方面， 在使用了进给丝杠机构的场合， 会增加对滚珠螺杆的负载。 因此， 在大 型的直线电动机中， 伴随运转的发热也变大， 即使在滚珠螺杆中， 伴随运转的发热也变大。 此外， 基于在较大尺寸的基板 K 上一次形成较多糊料图形来提高生产率的目的， 存在增加 涂敷头 3A ～ 3D 数量的倾向， 若涂敷头 3A ～ 3D 的数量增加， 则可动元件的数量也与之相应 地增加， 因此伴随涂敷头 3A ～ 3D 移动的发热变得更大。即使在这种场合， 根据本发明的实 施方式， 也可以抑制由直线电动机的发热或滚珠螺杆的发热引起的位置检测误差的发生， 能够准确地形成希望形状的糊料图形。
另外， 由于将环境检测器 8 设置在激光测距仪 7A、 7B 的激光的光程附近， 因此可以 在其附近检测激光的光程的周围环境的变化， 从而能够与光程的周围环境的变化相符地准 确修正激光测距仪 7A、 7B 的测定值， 能够进一步提高由激光测距仪 7A、 7B 进行的分离距离 的测定精度。
另外， 由于将测定与支撑部件 5A 的分离距离的激光测距仪 7A 的激光部 7a1 配置 在 Y 轴移动机构 6A 的支撑部件 5A 侧的端部附近， 将测定与支撑部件 5B 的分离距离的激光 测距仪 7B 的激光部 7a2 配置在 Y 轴移动机构 6A 的支撑部件 5B 侧的端部附近， 因此能够尽 可能地缩短这些激光测距仪 7A、 7B 进行的测定距离， 例如， 在用两个支撑部件 5A、 5B 分担将 基板 K 上在 Y 轴方向用两个支撑部件 5A、 5B 二等分的区域并进行糊料涂敷的场合， 可以将 由激光测距仪 7A、 7B 进行的测定距离抑制为基板 K 的 Y 轴方向尺寸的一半左右。由此， 激 光测距仪 7A、 7B 的测定值很难受到周围环境变化的影响， 这样， 由激光测距仪 7A、 7B 进行的 距离测定值的精度提高， 由此还能够提高糊料的涂敷精度。
由于使用激光测距仪 7A、 7B 直接检测与支撑部件 5A、 5B 的分离距离， 所以与使用 了直线尺等的位置检测装置相比， 可防止机械性误差介入测定值， 因而测定精度的可靠性 提高， 由此还可以提高糊料的涂敷精度。
另外， 由于仅在 Y 轴移动机构 6A 侧配置激光测距仪 7A、 7B， 因此在将 Y 轴移动机构 6A 侧作为作业者进行的密封涂敷装置的操作侧的场合， 各激光部 7a1、 7a2 配置在作业者进行的操作侧， 因此可以容易地进行激光测距仪 7A、 7B 的维修。因此可以稳定地维持由激光 测距仪 7A、 7B 继续的距离测定精度。
( 第二实施方式 )
参照图 3 对本发明的第二实施方式进行说明。在本发明的第二实施方式中， 对与 第一实施方式不同的部分进行说明。 再有， 在第二实施方式中， 与在第一实施方式中说明过 的部分相同的部分用同一符号表示， 省略其说明。
本发明的第二实施方式的糊料涂敷装置 1 除了上述各部分以外， 如图 3 所示， 具 备： 测定在涂敷头 3A 的移动方向即 X 轴方向上的至涂敷头 3A 的分离距离的激光测距仪 7C ； 测定在涂敷头 3B 的移动方向即 X 轴方向上的至涂敷头 3B 的分离距离的激光测距仪 7D ； 测 定在涂敷头 3C 的移动方向即 X 轴方向上的至涂敷头 3C 的分离距离的激光测距仪 7E ； 以及 测定在涂敷头 3D 的移动方向即 X 轴方向上的至涂敷头 3D 的分离距离的激光测距仪 7F。这 些激光测距仪 7A ～ 7F 分别设置在支撑部件 5A 及支撑部件 5B 上。因此， 在本实施方式中， 由于设有四个涂敷头 3A ～ 3D， 所以激光测距仪 7C ～ 7F 与之对应地设有四个。这些各激光 测距仪 7C ～ 7F 作为分别测定与涂敷头 3A ～ 3D 的第二分离距离 ( 在涂敷头 3A ～ 3D 的移 动方向上的至涂敷头 3A ～ 3D 的分离距离 ) 的第二激光测距仪起作用。 激光测距仪 7C 具备射出激光并接受反射光的激光部 7a3、 和将射出来的激光向激 光部 7a3 反射的反射部 7b3。同样， 激光测距仪 7D 也具备射出激光并接受反射光的激光部 7a4、 和将射出来的激光向激光部 7a4 反射的反射部 7b4。并且， 激光测距仪 7E 也具备射出 激光并接受反射光的激光部 7a5、 和将射出来的激光向激光部 7a5 反射的反射部 7b5。此 外， 激光测距仪 7F 也具备射出激光并接受反射光的激光部 7a6、 和将射出来的激光向激光 部 7a6 反射的反射部 7b6。
激光测距仪 7C 的激光部 7a3 以激光的光程与 X 轴方向 ( 支撑部件 5A 的延伸方 向 ) 平行的方式定位于支撑部件 5A 的图 3 中的跟前侧 (Y 轴移动机构 6A 侧 ) 的端部， 且设 置在支撑部件 5A 的上面。而且， 激光测距仪 7C 的反射部 7b3 可向激光部 7a3 反射从激光 部 7a3 射出来的激光地固定在涂敷头 3A 用的 YZ 轴移动机构 3c 上， 可与在 X 轴方向移动的 涂敷头 3A 一起移动地设置。同样， 激光测距仪 7D 的激光部 7a4 也以激光的光程与 X 轴方 向 ( 支撑部件 5A 的延伸方向 ) 平行的方式定位于支撑部件 5A 的图 3 中的里侧 (Y 轴移动 机构 6B 侧 ) 的端部， 且设置在支撑部件 5A 的上面。而且， 激光测距仪 7D 的反射部 7b4 也 可向激光部 7a4 反射从激光部 7a4 射出来的激光地固定在涂敷头 3B 用的 YZ 轴移动机构 3c 上， 与在 X 轴方向移动的涂敷头 3B 一起移动地设置。这里， 作为各反射部 7b3、 7b4 例如使 用棱镜等。
激光测距仪 7E 的激光部 7a5 以激光的光程与 X 轴方向 ( 支撑部件 5B 的延伸方 向 ) 平行的方式定位于支撑部件 5B 的图 3 中的跟前侧 (Y 轴移动机构 6A 侧 ) 的端部， 且设 置在支撑部件 5B 的上面。而且， 激光测距仪 7E 的反射部 7b5 可向激光部 7a5 反射从激光 部 7a5 射出来的激光地固定在涂敷头 3C 用的 YZ 轴移动机构 3c 上， 可与在 X 轴方向移动的 涂敷头 3C 一起移动地设置。同样， 激光测距仪 7F 的激光部 7a6 也以激光的光程与 X 轴方 向 ( 支撑部件 5B 的延伸方向 ) 平行的方式定位于支撑部件 5B 的图 3 中的里侧 (Y 轴移动 机构 6B 侧 ) 的端部， 设置在支撑部件 5B 的上面。而且， 激光测距仪 7F 的反射部 7b6 也可 向激光部 7a6 反射从激光部 7a6 射出来的激光地固定在涂敷头 3D 用的 YZ 轴移动机构 3c
上， 可与在 X 轴方向移动的涂敷头 3D 一起移动地设置。这里， 作为各反射部 7b5、 7b6， 例如 使用棱镜等。
这些激光测距仪 7C ～ 7F 分别与控制部 10 电连接， 将测定的分离距离作为信号输 入到该控制部 10。即、 测定激光部 7a3 和涂敷头 3A 的分离距离、 激光部 7a4 和涂敷头 3B 的分离距离、 激光部 7a5 和涂敷头 3C 的分离距离、 以及激光部 7a6 和涂敷头 3D 的分离距离 并输入到控制部 10。这样， 控制部 10 可以基于这些分离距离 ( 位置信息 ) 把握各涂敷头 3A ～ 3D 的位置。
此外， 虽然省略了图示， 但对于这些激光测距仪 7C ～ 7F 也与激光测距仪 7A ～ 7B 一样， 在激光的光程附近例如光程侧方朝向光程侧的水平方向分别配置环境检测器。
控制部 10 基于由各激光测距仪 7C ～ 7F 测定出的各分离距离来控制 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B， 进行各涂敷头 3A ～ 3D 的位置控制。 由此， 可以不受周围环境 ( 温度 等 ) 变化的影响地进行各涂敷头 3A ～ 3D 的位置控制， 所以能够以高精度进行位置控制， 其 结果， 能够抑制涂敷精度的降低。并且， 控制部 10 从修正信息求出与由环境检测器检测出 的气温、 湿度及气压对应的修正值， 随时进行基于该修正值来修正与各涂敷头 3A ～ 3D 的各 分离距离的修正动作。由此， 可以按照周围环境的变化控制各涂敷头 3A ～ 3D 的位置， 所以 即使周围环境发生变化也能够以高精度进行位置控制， 其结果， 不仅抑制涂敷精度的降低， 而且还能够提高涂敷精度。
如以上所述明的那样， 根据本发明的第二实施方式， 能够得到与第一实施方式同 样的效果。并且， 设置用于各涂敷头 3A ～ 3D 的各激光测距仪 7C ～ 7F， 基于由这些激光测 距仪 7A ～ 7F 测定的各分离距离来控制 X 轴移动机构 4A 及 X 轴移动机构 4B， 进行各涂敷 头 3A ～ 3D 的位置控制， 从而相比使用与环境变化相应地膨胀或收缩的直线尺进行位置控 制的场合， 可以不受周围环境变化的影响地进行各涂敷头 3A ～ 3D 的位置控制， 因而能够以 高精度进行位置控制， 其结果， 能够抑制周围环境的变化引起的涂敷精度的降低。
而且， 设置环境检测器 8 并基于由该环境检测器 8 检测出的气温、 湿度及气压修正 各分离距离， 基于修正好的各分离距离来控制各涂敷头 3A ～ 3D， 从而可以随着周围环境变 化控制各涂敷头 3A ～ 3D 的位置， 因而即使周围环境发生变化也能够以高精度进行位置控 制， 其结果， 不仅抑制涂敷精度的降低， 而且还能够提高涂敷精度。
此外， 如图 4 所示， 在支撑两个涂敷头 3A ～ 3D 的支撑部件 5A 上新设置一个涂敷 头 3E 的场合， 设有激光测距仪 7G， 该激光测距仪 7G 测定在该涂敷头 3E 的移动方向即 X 轴 移动方向上的至涂敷头 3E 的分离距离。该激光测距仪 7G 具备激光部 7a7 及反射部 7b7， 是与其他激光测距仪 7C ～ 7F 相同的结构。激光测距仪 7G 位于与激光测距仪 7D 相同的一 侧， 可检测涂敷头 3E 的位置地设置。
( 第三实施方式 )
参照图 5 对本发明的第三实施方式进行说明。在本发明的第三实施方式中， 对与 第一实施方式不同的部分进行说明。 再有， 在第三实施方式中， 与在第一实施方式中说明过 的部分相同的部分用同一符号表示并省略其说明。
如图 5 所示， 支撑部件 5B 是支撑各涂敷头 3C ～ 3D 的门式 ( 门形状 ) 的支柱。该 支撑部件 5B 配置成， 其延伸部沿着 X 轴方向定位， 其腿部设于 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动 机构 6B 上。而且， 支撑部件 5A 也形成同样的结构。再有， 支撑部件 5A 也以相同结构形成。激光测距仪 7B 的反射部 7b2 设置在 Y 轴移动机构 6A 的内侧即、 支撑部件 5B 的腿 部内侧。激光部 7a2 与该反射部 7b2 的位置一致地设置在支撑台 11 上。该支撑台 11 放置 在台架 9 上。而且， 支撑部件 5A 用的激光测距仪 7A 的反射部 7b1 及激光部 7a1 也形成为 同样的结构。
另外， 覆盖部件 12 以隔开放置有基板 K 的基板载置台 2 侧、 和激光测距仪 7A、 7B 侧即、 从激光部 7a1、 7a2 射出的激光的光程侧之间的方式固定设置在 Y 轴移动机构 6A 的内 侧面 ( 位于基板载置台 2 侧的一面 )。尤其是， 覆盖部件 12 形成为不妨碍由激光部 7a2 及 反射部 7b2 进行的分离距离的测定、 由激光部 7a1 及反射部 7b1 进行的分离距离的测定， 并 且不妨碍支撑部件 5A 及支撑部件 5B 的移动。
该覆盖部件 12 防止向基板载置台 2 上吹下来的下流风 ( 空气 ) 通过激光部 7a2 与反射部 7b2 之间以及激光部 7a1 与反射部 7b1 之间， 由此由于可抑制下流风对激光的光 程的周围环境带来使其发生变动等的恶劣影响， 所以可以抑制激光引起的分离距离的测定 精度下降， 其结果， 能够提高涂敷精度。
而且， 下流风是从覆盖台架 9 上的各部整体的箱的上面朝向基板载置台 2 流动并 沿着基板载置台 2 的表面向外侧流动并朝向箱的侧面， 从形成于该侧面的台架 9 侧的多个 流出口向箱外流出的空气流。
这里， 即使在产生了这种下流风的状态下， 由于设有上述覆盖部件 12， 所以可防止 从基板载置台 2 流来的下流风直接通过激光部 7a2 与反射部 7b2 之间以及激光部 7a1 与反 射部 7b1 之间， 因而可以防止激光测距仪 7A、 7B 的激光的光程的周围环境因下流风的通过 而发生变化。因而能够高精度地维持激光测距仪 7A、 7B 的测定精度。
另外， 有在 Y 轴移动机构 6A 的外侧设有配线用的裸电缆 ( ケ一ブルベア )( 注册 商标 )， 但即使在这种情况下， 通过将激光测距仪 7A、 7B 设置在 Y 轴移动机构 6A 的内侧， 从 而激光测距仪 7A、 7B 不会妨碍裸电缆的设置， 而且， 由于仅以设置在内侧的程度变得难以 受到伴随裸电缆移动的该周围环境变化的影响， 因此能够以高精度维持激光测距仪 7A、 7B 的测定精度。
如以上所说明的那样， 根据本发明的第三实施方式， 能够得到与第一实施方式同 样的效果。并且， 在将激光测距仪 7B 及激光测距仪 7A 设置在 Y 轴移动机构 6A 的内侧的场 合， 通过设有覆盖部件 12， 从而可抑制下流风给激光带来恶劣影响， 可以抑制激光引起的分 离距离的测定精度下降。由此， 能够以高精度进行位置控制， 其结果， 能够提高涂敷精度。
( 第四实施方式 )
参照图 6 对本发明的第四实施方式进行说明。在本发明的第四实施方式中， 对与 第一实施方式不同的部分进行说明。在第四实施方式中， 与在第一实施方式中说明过的部 分相同的部分用同一符号表示并省略其说明。
如图 6 所示， 激光测距仪 7H 具备 ： 射出激光并接受反射光的激光部 7a8 及激光部 7a9 ； 以及具有将射出来的激光向激光部 7a8 及激光部 7a9 反射的倾斜面 M 的反射部 7b8。
激光部 7a8 设置在支撑部件 5A 的端部即端面， 朝向反射部 7b8 的倾斜面 M 射出激 光并接受由该倾斜面反射的激光即反射光， 且测定与反射部 7b8 的分离距离。
激光部 7a9 设置在支撑部件 5B 的端部即端面， 与上述激光部 7a8 同样， 朝向反射 部 7b8 的倾斜面 M 射出激光并接受由该倾斜面反射的激光即反射光， 且测定与反射部 7b8的分离距离
反射部 7b8 在 Y 轴移动机构 6A 的外侧沿着该 Y 轴移动机构 6A 设置在台架 9 上。 该反射部 7b8 具有高度在支撑部件 5A 及支撑部件 5B 的移动方向即、 从 Y 轴方向的一个端 部朝向另一个端部逐渐 ( 连续 ) 变低地变化的倾斜面 M。作为反射部 7b8 例如使用镜等。 即、 反射部 7b8 能够做成在上述倾斜面 M 上设置与该倾斜面 M 相同尺寸、 相同形状 ( 四边形 状 ) 且具有厚度均匀的玻璃制的镜的结构。而且， 反射部 7b8 由不锈钢等金属形成上述平 坦的倾斜面 M， 通过进行镜面加工形成该倾斜面 M 也可以。
控制部 10 基于由激光部 7a8 测定的分离距离把握支撑部件 5A 在 Y 轴方向的位置， 并且， 基于由激光部 7a9 测定的分离距离把握支持部件 5B 在 Y 轴方向的位置。此时， 控制 部 10 利用表示支撑部件 5A、 5B 在 Y 轴方向的位置和分离距离的相对关系的分离信息， 并由 测定的分离距离把握支撑部件 5A、 5B 在 Y 轴方向的位置。距离信息预先存储在存储部。
这里， 激光部 7a8 和反射部 7b8 的分离距离的最大值、 以及激光部 7a9 和反射部 7b8 的分离距离的最大值与第一实施方式 ( 参照图 1) 中的激光部 7a1 和反射部 7b1 的分离 距离的最大值、 以及激光部 7a2 和反射部 7b2 的分离距离的最大值相比变得非常小。
该分离距离的最大值越大， 激光的光程变得越长， 因而激光变得容易受到下流风 ( 空气 ) 引起的恶劣影响。因此， 通过尽可能地减小分离距离的最大值， 从而可抑制下流风 引起的恶劣影响。 这样， 可抑制下流风对激光造成恶劣影响， 所以可以防止激光引起的分离 距离的测定精度下降， 其结果， 能够提高涂敷精度。 如以上所说明的那样， 根据本发明的第四实施方式， 能够得到与第一实施方式同 样的效果。再有， 通过在支撑部件 5A 的端部设置激光部 7a8， 在支撑部件 5B 的端部设置激 光部 7a9， 并且沿着 Y 轴移动机构 6A 地设置反射部 7b8， 从而激光部 7a8 和反射部 7b8 的分 离距离的最大值、 以及激光部 7a9 和反射部 7b8 的分离距离的最大值与第一实施方式中的 激光部 7a1 和反射部 7b1 的分离距离的最大值、 以及激光部 7a2 和反射部 7b2 的分离距离 的最大值相比变小， 因此可抑制下流风对激光带来恶劣影响， 可以抑制分离距离的测定精 度下降。由此能够以高精度进行位置控制， 其结果， 能够提高涂敷精度。
( 第五实施方式 )
参照图 7 对本发明的第五实施方式进行说明。在本发明的第五实施方式中， 对与 第四实施方式不同的部分进行说明。 还有， 在第五实施方式中， 与在第四实施方式中说明过 的部分相同的部分用同一符号表示并省略其说明。
如图 7 所示， 支撑部件 5B 是支撑各涂敷头 3C、 3D 的门式 ( 门形状 ) 支柱。该支撑 部件 5B 配置成， 其延伸部沿着 X 轴方向定位， 其腿部设置在 Y 轴移动机构 6A 及 Y 轴移动机 构 6B 上。而且， 支撑部件 5A 也形成为同样的结构。
激光部 7a9 设置在 Y 轴移动机构 6A 的内侧即支撑部件 5B 的腿部的内侧。同样， 激光部 7a8 也设置在支撑部件 5A 的腿部的内侧。反射部 7b8 在 Y 轴移动机构 6A 的内侧沿 着该 Y 轴移动机构 6A 设置在台架 9 上。
另外， 覆盖部件 13 包含激光部 7a9 在内覆盖从该激光部 7a9 至反射部 7b8 的激光 的光程并可与支撑部件 5B 一起移动地设置在支撑部件 5B 上。尤其是， 覆盖部件 13 形成为 不妨碍激光部 7a9 及反射部 7b8 进行的分离距离的测定、 还不妨碍支撑部件 5B 的移动。同 样， 在支撑部件 5A 上也设有激光部 7a8 用的覆盖部件 13。
激光部 7a9 用的覆盖部件 13 抑制下流风 ( 空气 ) 通过激光部 7a9 和反射部 7b8 之间。同样， 激光部 7a8 用的覆盖部件 13 也抑制下流风 ( 空气 ) 通过激光部 7a8 和反射部 7b8 之间。由此， 可抑制下流风对激光带来恶劣影响， 从而可以防止激光引起的分离距离的 测定精度下降， 其结果， 能够提高涂敷精度。
如以上所说明的那样， 根据本发明的第五实施方式， 能够得到与第四实施方式同 样的效果。再有， 在将反射部 7b8 设置在 Y 轴移动机构 6A 的内侧的场合， 通过设置覆盖部 件 13， 从而可抑制下流风对激光带来恶劣影响， 可以抑制分离距离的测定精度下降。 由此能 够以高精度进行位置控制， 其结果， 能够提高涂敷精度。
( 第六实施方式 )
参照图 8 对本发明的第六实施方式进行说明。在本发明的第六实施方式中， 对与 第二实施方式不同的部分进行说明。 还有， 在第六实施方式中， 与在第二实施方式中说明过 的部分相同的部分用同一符号表示并省略其说明。
如图 8 所示， 激光测距仪 7I 具备 ： 射出激光并接受反射光的激光部 7a10 及激光部 7a11 ； 以及具有将射出来的激光朝向激光部 7a10 及激光部 7a11 反射的倾斜面 M 的反射部 7b9。 激光部 7a10 通过连接部件 14a 连接在涂敷头 3C 上， 与涂敷头 3C 一起在 X 轴方向 移动。该激光部 7a10 朝向反射部 7b9 的倾斜面 M 射出激光并接受由该倾斜面 M 反射的激 光即反射光， 测定与反射部 7b9 的分离距离。
激光部 7a11 通过连接部件 14b 连接在涂敷头 3D 上， 与涂敷头 3D 一起在 X 轴方向 移动。该激光部 7a11 与上述激光部 7a10 同样， 朝向反射部 7b9 的倾斜面 M 射出激光并接 受由该倾斜面 M 反射的激光即反射光， 测定与反射部 7b9 的分离距离。
反射部 7b9 沿着该支撑部件 5B 的延伸方向设置在支撑部件 5B 的外侧的面。该反 射部 7b9 具有高度从支撑部件 5B 的延伸方向即 X 轴方向的一个端部朝向另一个端部逐渐 ( 连续 ) 变低地变化的倾斜面 M。作为反射部 7b9 例如使用镜等。即、 反射部 7b8 能够做成 在上述倾斜面 M 上设置与该倾斜面 M 相同尺寸、 相同形状 ( 四边形状 ) 且具有厚度均匀的 玻璃制的镜的结构。而且， 反射部 7b8 由不锈钢等金属形成上述平坦的倾斜面 M， 通过进行 镜面加工形成该倾斜面 M 也可以。
控制部 10 基于由激光部 7a10 测定的分离距离把握涂敷头 3C 在 X 轴方向的位置， 并且基于由激光部 7a11 测定的分离距离把握涂敷头 3D 在 X 轴方向的位置。此时， 控制部 10 利用表示涂敷头 3C、 3D 在 X 轴方向的位置和分离距离的相对关系的分离信息， 基于测定 的分离距离把握涂敷头 3C、 3D 在 X 轴方向的位置。距离信息预先存储在存储部。
这里， 激光部 7a10 和反射部 7b9 的分离距离的最大值、 以及激光部 7a11 和反射部 7b9 的分离距离的最大值与第二实施方式 ( 参照图 3) 中的激光部 7a5 和反射部 7b5 的分离 距离的最大值、 以及激光部 7a6 和反射部 7b6 的分离距离的最大值相比变得非常小。
该分离距离的最大值越大， 激光的光程变得越长， 因而激光变得容易受到下流风 ( 空气 ) 造成的恶劣影响。因此， 通过尽可能地减小分离距离的最大值， 从而可抑制下流风 造成的恶劣影响。 由此， 可抑制下流风对激光带来恶劣影响， 所以可以防止激光引起的分离 距离的测定精度的下降， 其结果， 能够提高涂敷精度。
如以上所说明的那样， 根据本发明的第六实施方式， 能够得到与第二实施方式同
样的效果。再有， 将激光部 7a10 连接在涂敷头 3C 上， 将激光部 7a11 连接在涂敷头 3D 上， 而且沿着支撑部件 5B 地设置反射部 7b9， 从而激光部 7a10 和反射部 7b9 的分离距离的最大 值、 以及激光部 7a11 和反射部 7b9 的分离距离的最大值与第二实施方式中的激光部 7a5 和 反射部 7b5 的分离距离的最大值、 以及激光部 7a6 和反射部 7b6 的分离距离的最大值相比 变小， 因此可抑制下流风对激光带来恶劣影响， 可以抑制分离距离的测定精度下降。由此， 能够以高精度进行位置控制， 其结果， 能够提高涂敷精度。
( 其他实施方式 )
此外， 本发明并不限于上述实施方式， 在不脱离其要旨的范围内可以进行各种变 更。
例如， 在上述实施方式中， 将四个涂敷头 3A ～ 3D 分别各两个地设置在支撑部件 5A 及支撑部件 5B 上， 但并不限于此， 也可以将六个涂敷头分别各三个地设置在支撑部件 5A 及 支撑部件 5B 上， 其数量没有限定。此外， 在上述实施方式中， 设置两个支撑部件 5A 及支撑 部件 5B， 但并不限于此， 其数量没有限定。
另外， 在上述实施方式中， 作为糊料使用了具有密封性及粘接性的密封剂， 但不一 定必须具有密封性及粘接性， 也可以是仅具有密封性及粘接性的任一方的糊料等、 具有其 他形状的糊料。
另外， 在上述实施方式中， 将激光测距仪 7A、 7B 配置在支撑部件 5A、 5B 的一个端部 侧， 但并不限于此， 也可以配置在支撑部件 5A、 5B 的另一个端部侧。这种情况下， 由于在支 撑部件 5A、 5B 的两端部分别测定分离距离， 所以对每个支撑部件 5A、 5B 比较两端部的分离 距离并求出差， 从而能够检测各支持部件在水平面内有无旋转偏移。 因此， 在检测出有支撑 部件 5A、 5B 的旋转偏移的场合， 如果控制 Y 轴移动机构 6A、 6B 以消除该旋转偏移， 则可防止 支撑部件 5A、 5B 在支撑部件 5A、 5B 照旧产生了旋转偏移的状态下在 Y 轴方向移动， 或涂敷 头 3A ～ 3D 在支撑部件 5A、 5B 上移动， 因此可以在基板 K 上以规定的涂敷图形更加高精度 地涂敷糊料。
另外， 在上述实施方式中， 对将基板载置台 2 固定在台架 9 上并使各涂敷头 3A ～ 3D、 支撑部件 5A 及支撑部件 5B 移动在基板 K 的表面上涂敷糊料的方式进行了说明， 但并不 限于此， 也可以构成为可使基板载置台 2 在 Y 轴方向或 X 轴方向、 θ 方向 ( 在包含 X 轴及 Y 轴的平面的旋转方向 ) 等移动， 例如， 也可以构成为可使基板载置台 2 在与支撑部件 5A、 5B 的移动方向 (Y 轴方向 ) 相同的方向移动。该场合， 在使基板 K 和各涂敷头 3A ～ 3D 在 Y 轴 方向相对移动时， 如果使基板载置台 2 和支撑部件 5A、 5B 向互为相反的方向移动， 则与仅进 行支撑部件 5A、 5B 的移动场合相比， 能够使基板载置台 2 及支撑部件 5A、 5B 的移动速度变 为一半。因此， 伴随基板载置台 2 及支撑部件 5A、 5B 的移动的惯性力变小， 所以能够降低由 于基板载置台 2 及支撑部件 5A、 5B 的加速或减速而产生的振动。其结果， 可以以希望的形 状高精度地涂敷沿着 Y 轴方向的糊料图形的始端及终端的形状或转换了涂敷方向的糊料 图形的拐角部的形状， 能够制造质量优良的液晶显示板。
另外， 在上述实施方式中， 作为测定至支撑部件 5A、 5B 的分离距离和至涂敷头 3A ～ 3D 的分离距离的激光测距仪， 以使用了激光干涉测长仪的例子进行了说明， 但是也可 以使用其他激光测距仪， 例如还可以是朝向反射部照射激光并利用反射回来的时间测定至 反射部的距离的方式的激光测距仪。另外， 在上述第一实施方式中， 做成将激光测距仪 7A 的激光部 7a1 配置在 Y 轴移 动机构 6A 中的支撑部件 5A 侧的端部附近， 将激光测距仪 7B 的激光部 7a2 配置在 Y 轴移动 机构 6A 中的支撑部件 5B 侧的端部附近的结构， 但也可以将各激光部 7a1、 7a2 集中配置在 Y 轴移动机构 6A 的一个端部侧。例如， 在将各个激光部 7a1、 7a2 配置在 Y 轴移动机构 6A 中 的支撑部件 5A 侧的端部附近的场合， 在台架 9 的上面配置激光部 7a1， 在其上配置激光部 7a2， 使两个激光部 7a1、 7a2 高度不同而配置， 各个反射部 7b1、 7b2 也与从各激光部 7a1、 7a2 照射的光程对应地使高度不同地固定配置在支撑部件 5A、 5B 的底面上。这样， 在将各个激 光部 7a1、 7a2 集中配置在 Y 轴移动机构 6A 的一个端部侧的场合， 将该端部侧作为作业者进 行的密封涂敷装置的操作侧的场合， 各激光部 7a1、 7a2 配置在作业者进行的操作侧， 因而 可以容易地进行激光测距仪 7A、 7B 的维修。因此可以稳定地维持由激光测距仪 7A、 7B 得到 的距离测定精度。
产业上的可利用性
以上对本发明的实施方式进行了说明， 但只不过例示了具体例子， 尤其不限定本 发明， 各部的具体结构等可以适当变更。 而且， 实施方式所记载的作用及效果只不过列举了 由本发明产生的最合适的作用及效果， 本发明的作用及效果并不限定于本发明的实施方式 所记载的作用及效果。本发明例如可用于在涂敷对象物上涂敷糊料的涂敷装置和涂敷方 法、 或者制造显示板的制造装置和制造方法等中。