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1、10申请公布号CN104145216A43申请公布日20141112CN104145216A21申请号201380011994022申请日20130401201209529620120419JPG03F1/48200601B32B17/10200601C08G59/24200601C08K5/17200601C08L63/00200601C08L83/04200601C09D7/12200601C09D163/00200601C09D183/04200601G03F1/6020060171申请人木本股份有限公司地址日本国琦玉县72发明人根岸朋子74专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司110。
2、21代理人雒运朴54发明名称玻璃掩模用热固化型保护液及玻璃掩模57摘要本发明的玻璃掩模用热固化型保护液在制成保护膜时，保护膜的硬涂覆性优异，不产生裂纹，且可防止因环氧树脂与硅酮树脂的不相容所致的涂膜白化，同时可提高制成保护膜时对玻璃的粘接性与耐光性。另外，本发明提供一种玻璃掩模用热固化型保护液，由于其仅含有胺系化合物作为固化剂，故可提高保护液的保存稳定性。该玻璃掩模用热固化型保护液含有硅酮树脂、环氧树脂及硅酮油，且前述环氧树脂中的50重量以上且100重量以下由氢化芳香族环氧树脂构成。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014090186PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/。
3、0600012013040187PCT国际申请的公布数据WO2013/157382JA2013102451INTCL权利要求书1页说明书9页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书9页10申请公布号CN104145216ACN104145216A1/1页21一种玻璃掩模用热固化型保护液，其特征在于，包含硅酮树脂、环氧树脂及硅酮油，且所述环氧树脂中的50重量以上且100重量以下由氢化芳香族环氧树脂构成。2如权利要求1所述的玻璃掩模用热固化型保护液，其特征在于，所述氢化芳香族环氧树脂的环氧当量为200以上且280以下。3如权利要求1或2所述的玻璃掩模用热固化型保护液，其。
4、特征在于，所述氢化芳香族环氧树脂在25下的粘度为025PAS以上且25PAS以下。4如权利要求13中任一项所述的玻璃掩模用热固化型保护液，其特征在于，所述氢化芳香族环氧树脂通过使芳香族环氧树脂的芳香环氢化而得，且由在碳环上不具有环氧基的氢化芳香族环氧树脂构成，所述芳香环的氢化率为95100。5如权利要求14中任一项所述的玻璃掩模用热固化型保护液，其特征在于，所述硅酮树脂与所述环氧树脂的重量比例为4682。6如权利要求15中任一项所述的玻璃掩模用热固化型保护液，其特征在于，还含有固化催化剂，且该固化催化剂仅由胺系固化催化剂构成。7一种玻璃掩模，其特征在于，所述玻璃掩模在玻璃基板上具有薄膜图案，在。
5、所述薄膜图案面具有由使权利要求16中任一项所述的玻璃掩模用热固化型保护液热固化而得的固化物构成的保护膜。8如权利要求7所述的玻璃掩模，其特征在于，供于形成保护膜的玻璃掩模是玻璃基板上的薄膜图案是由铬材料形成的铬掩模。权利要求书CN104145216A1/9页3玻璃掩模用热固化型保护液及玻璃掩模技术领域0001本发明涉及用于在玻璃掩模的薄膜图案面形成透明保护膜的热固化型保护液、以及具有由下述固化物所形成的透明保护膜的玻璃掩模，所述固化物是将该保护液涂布于薄膜图案面并使其热固化而得的固化物。背景技术0002印制电路布线板或树脂凸版是将光掩模曝光用原稿。以下亦称为“玻璃掩模”的薄膜图案面密合于具有粘。
6、合性的光致抗蚀剂液状光致抗蚀剂等后，通过从非薄膜图案面侧进行曝光而制作。因此，若光掩模的与光致抗蚀剂对置的面以下亦简称为“抗蚀剂的对置面”未施以任何处理时，则在曝光结束后从光致抗蚀剂撕离光掩模时，光致抗蚀剂的一部分附着于光掩模表面，且即使经擦拭也仍会残留在光掩模上，对于下一次对光致抗蚀剂的曝光精度来说会产生导致下降这样的问题。因此，以往均在光掩模的抗蚀剂对置面上设置具有脱模性的表面保护膜，以防止曝光结束后光致抗蚀剂附着于光掩模上专利文献1。0003然而，将比较厚的表面保护膜贴合于光掩模上来使用时，存在因表面保护膜的厚度所导致的曝光精度降低，或因贴合时夹带气泡等而导致的曝光精度降低的问题。000。
7、4因此，替代如上所述的表面保护膜，可考虑在光掩模的抗蚀剂对置面上直接设置保护膜。0005另一方面，为了保护物品表面，而进行贴合具有硬涂覆性的膜，或将具有硬涂覆性的涂膜设置于物品表面上。至于该种具有硬涂覆性的涂膜，已知有使用了环氧树脂或丙烯酸类树脂、硅酮树脂等固化性树脂的涂膜专利文献2。0006现有技术文献0007专利文献0008专利文献1WO2007/074778号公报现有技术0009专利文献2日本特开2005186577号公报权利要求2发明内容0010发明所要解决的课题0011在仅使用硬涂覆性优异的硅酮树脂来形成保护膜时，由于硅酮树脂的折射率接近于玻璃，故在从玻璃侧曝光时光的折射差变少，可防。
8、止曝光精度降低。相反地，由于仅获得脆的保护膜，故容易引起裂纹，会有无法获得作为保护膜的性能的问题。0012在为解决裂纹发生的问题而混合使用环氧树脂时，由于环氧树脂与硅酮树脂的相容性差，故在制成保护膜时会看到因不相容所致的白化，存在妨碍透明性的问题。0013需要说明的是，环氧树脂中，在将硬涂覆性优异的环氧树脂直接设置于光掩模的抗蚀剂对置面上作为具有硬涂覆性的保护膜时，虽可获得硬涂覆性，但第一，对于作为光掩模的基材的玻璃基板的密合性差，其结果，存在无法获得对于光掩模的良好粘接性的问题。说明书CN104145216A2/9页4第二，存在耐光性变差的问题，另外，若提高耐光性，则存在硬涂覆性降低这样的问。
9、题。0014就本发明的一方面而言，提供一种玻璃掩模用热固化型保护液，其可形成与玻璃掩模的粘接性良好，有耐光性、硬涂覆性优异，不发生裂纹的保护膜，以及提供具有使用该保护液而形成的保护膜的玻璃掩模。0015就本发明另一方面而言，提供一种玻璃掩模用热固化型保护液，其可形成不会产生因构成成分的不相容所致的白化的透明保护膜，以及提供具有使用该保护液而形成的保护膜的玻璃掩模。0016用于解决课题的手段0017本发明人等发现通过相对于硅酮树脂及硅酮油而大量含有氢化芳香族环氧树脂作为环氧树脂，从而可提高硅酮树脂与环氧树脂的相容性，且在制成涂膜保护膜时可提高对玻璃掩模的粘接性、和涂膜的耐光性不发生黄变。0018。
10、即，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，包含硅酮树脂、环氧树脂及硅酮油，且环氧树脂中的50重量以上且100重量以下由氢化芳香族环氧树脂构成。0019另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，作为氢化芳香族环氧树脂，使用的是具有下述14中的至少任一种性质的氢化芳香族环氧树脂。00201环氧当量为200以上且280以下。0021225下的粘度为025PAS以上且25PAS以下。00223通过使芳香族环氧树脂的芳香环氢化而得，且在碳环上不具有环氧基。00234芳香环的氢化率为95100。0024另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，硅酮树脂与环氧树脂的重量比例为4682。。
11、另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，仅包含胺系化合物作为固化剂。0025本发明的玻璃掩模的特征在于，所述玻璃掩模在玻璃基板上具有薄膜图案，在所述薄膜图案面具有由使前述任一种保护液热固化而得的固化物构成的保护膜。另外，本发明的玻璃掩模的特征在于，供于形成保护膜的玻璃掩模是玻璃基板上的薄膜图案是由铬材料形成的铬掩模。0026发明效果0027本发明的玻璃掩模用热固化型保护液由于含有特定的环氧树脂氢化芳香族环氧树脂，故不会因环氧树脂与硅酮树脂的不相容而产生涂膜白化，可于玻璃掩模上形成硬涂覆性优异、不发生裂纹的透明保护膜。0028本发明的玻璃掩模用热固化型保护液由于含有大量环氧树脂中的50。
12、重量以上且100重量以下的特定环氧树脂，故可形成与玻璃掩模尤其是铬掩模的粘接性良好，且耐光性优异的保护膜。0029本发明的玻璃掩模由于在玻璃基板上具有薄膜图案的玻璃掩模玻璃掩模主体的薄膜图案面上具有使用本发明的玻璃掩模用热固化型保护液所形成的特定保护膜，故透明性优异，且曝光精度获得提高。另外，特定的保护膜由于是使用本发明的玻璃掩模用热固化型保护液而形成的，故提高了保护膜的粘接性及耐光性。其结果，可增加作为光掩模的重复使用耐性，且有助于最终产物印制电路布线板或树脂凸版等的生产率的提高。说明书CN104145216A3/9页5具体实施方式0030本说明书中，“热固化型保护液”是指各构成成分的混合物。
13、，且由对该“热固化型保护液”进行加热而使其固化而获得的固化物来形成“保护膜”。“热固化型保护液”中亦可含有其他任意成分。即，本说明书中的“热固化型保护液”并不排除存在以下所说明的构成成分以外的成分。另外，称为“固化型”时，是指通过使保护液的树脂成分聚合而固化的性质。0031首先，说明本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的构成例。0032本例的玻璃掩模用热固化型保护液是至少包含硅酮树脂、环氧树脂及硅酮油而构成的。0033硅酮树脂为了使形成保护膜时的该保护膜的折射率接近玻璃的折射率以及为了提高保护膜的硬度而使用。作为此种硅酮树脂，可使用甲基系硅酮树脂、甲基苯基系硅酮树脂、改质硅酮树脂等。作为改质硅酮树。
14、脂，可使用一种或混合使用两种以上的酯改质硅酮树脂、环氧改质硅酮树脂、醇酸改质硅酮树脂、丙烯酸类改质硅酮树脂。尤其是，通过使酯改质硅酮树脂与氢化芳香族环氧树脂后述一起使用，可进一步提高硅酮树脂与环氧树脂的相容性，因而优选。0034此种硅酮树脂具体可列举出例如信越化学工业公司的商品名KR400、KR500、KR510、KR213、ES1001N、ES1002T、KR5206、KR9706、KR5230、KR5234、KR5235、X402308、X409238、KR5230、KR5234、KR5235等。0035环氧树脂为了在形成保护膜时主要防止裂纹发生而使用。本例中至少含有氢化芳香族环氧树脂作为。
15、环氧树脂。本说明书中所谓“氢化芳香族环氧树脂”是指通过使芳香族环氧树脂的芳香环氢化等而获得的环氧树脂，且在碳环上不具有环氧基的氢化芳香族环氧树脂，与在环式饱和烃的碳环上具有环氧基的“脂环式环氧树脂”有所区别。0036本例中，在环氧树脂中包含氢化芳香族环氧树脂的理由在于，为了防止形成保护膜时发生裂纹如前述，进而提高与玻璃的粘接性，提高耐光性，除此以外，为了与前述的硅酮树脂的相容性良好，且在形成保护膜时不会因不相容而造成涂膜白化。此种保护膜的浊度JISK71362000优选低于1。0037供于氢化的芳香族环氧树脂并无特别限制，但就获得高氢化率的环氧树脂方面而言，优选双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树。
16、脂、联酚型环氧树脂，最优选为双酚A型环氧树脂。0038芳香环的氢化率为芳香环变化成脂环构造的比例，以核磁共振分析求得。本例中，芳香族环氧树脂的芳香环的氢化率优选为90100的范围，更优选为95100的范围。氢化率低于90时，形成保护膜时残留的芳香环会因曝光光线而劣化而变色，其结果，存在保护膜的透明性下降的担忧。该氢化率由氢化反应的氢消耗量算出，且可通过反应条件加以控制。0039本例中使用的氢化芳香族环氧树脂在25的粘度通常为01PAS以上，优选为02PAS以上，更优选为025PAS以上，且通常为30PAS以下，优选为27PAS以下，更优选为25PAS以下。在25下的粘度过低时，存在产生硬度不良。
17、无法获得硬涂覆性的担忧。在25下的粘度过高时，存在发生制膜不良无法获得均匀涂膜的担忧。需要说明的是，此处的粘度是使用B型粘度计，以JISK7233、环氧树脂及固化剂的粘度试验方法1986中所记载的单一圆筒旋转粘度计法来确定的值。说明书CN104145216A4/9页60040本例中使用的氢化芳香族环氧树脂的环氧当量WPE通常为150以上，优选为180以上，更优选为200以上，且通常为350以下，优选为300以下，更优选为280以下。环氧当量过低时，交联密度提高，无法防止涂膜产生裂纹，且存在对玻璃的粘接性降低的担忧。环氧当量过高时，与硅酮树脂的相容性恶化，会有涂膜白化而使透明性降低的担忧。004。
18、1需要说明的是，所谓的“环氧当量”被定义为每一个环氧基的环氧树脂的分子量。此处所谓“环氧基”为包含三员环的醚即氧杂环丙烷环氧乙烷环的基团，且除了狭义的环氧基以外，亦为包含缩水甘油基包含缩水甘油醚基及缩水甘油酯基的基团。0042环氧当量以JISK7236、环氧树脂的环氧当量的求得方法2001中所记载的方法高氯酸溴化四乙基铵法等来确定。0043本例中使用的氢化芳香族环氧树脂可通过例如使芳香族环氧树脂在催化剂存在下，以公知的方法使芳香环选择性地氢化而制造。作为更优选的制造例，可列举为将芳香族环氧树脂溶解于有机溶剂中，在将铑或钌担持于石墨上而成的催化剂的存在下，使芳香环选择性地氢化的方法。作为催化剂担。
19、体的石墨，优选使用例如表面积为10400M2/G的范围的石墨。反应通常在压力为130MPA、温度为30150、时间为0520小时的范围内进行。反应结束后，可通过滤过来除去催化剂等，在减压下将有机溶剂蒸馏除去至实质上没有，从而获得本例中使用的氢化芳香族环氧树脂。0044需要说明的是，具有芳香环的化合物的芳香环经氢化后，将环氧基导入该氢化后的芳香环环己基环中而形成环氧化的化合物，所得的环氧化的化合物亦可用作本例的氢化芳香族环氧树脂。0045氢化芳香族环氧树脂具体列举为三菱化学公司制的商品名YX8034WPE270，粘度25028PAS或YX8000WPE205，粘度25185PAS等，NAGASE。
20、CHEMTEX公司制的商品名DENACOLEX252WPE213，粘度2522PAS等均为氢化双酚A型环氧树脂。0046本例中的氢化芳香族环氧树脂可单独使用一种，亦可混合两种以上使用。0047本例中，氢化芳香族环氧树脂在全部环氧树脂中的含量通常为50重量以上，优选为60重量以上，更优选75重量以上，进一步优选为90重量以上，其上限为100重量。即，可以由氢化芳香族环氧树脂构成全部的环氧树脂，为了进一步提高对玻璃掩模的粘接性，自然优选由氢化芳香族环氧树脂构成全部环氧树脂。0048本例中，环氧树脂中含大量氢化芳香族环氧树脂的理由在于，形成保护膜时用于提高对玻璃掩模尤其是铬光掩模后述的粘接性。环氧树。
21、脂中的氢化芳香族环氧树脂的含量愈多，则期待对玻璃掩模的粘接性的提高越多。0049本例中的环氧树脂，除上述氢化芳香族环氧树脂以外可含的其他环氧树脂在全部环氧树脂中的含量低于50重量，优选低于40重量，更优选低于25重量，进一步优选低于10重量，其下限为0零。0050玻璃掩模用热固化型保护液中所含的硅酮树脂与环氧树脂的重量比例优选维护为4682。基于前述比例，若硅酮树脂的比例变多，这涂膜上容易发生裂纹，基于前述比例，若环氧树脂的比例变多，则无法获得保护膜所必须的足够硬度的涂膜。0051硅酮油为了在形成保护膜时对保护膜表面赋予脱模性或防污性而使用。此种硅酮油可使用二甲基硅酮油、甲基氢硅酮油、甲基苯基。
22、硅酮油、环状二甲基硅酮油等硅酮油或将说明书CN104145216A5/9页7有机基团导入到硅酮油中而得的改质硅酮油。0052作为改质硅酮油，可使用烷基改质、聚醚改质、氟改质、氨基改质、巯基改质、环氧基改质、羧基改质、高级脂肪酸酯改质、甲基丙烯酸类改质、卡必醇改质等的改质硅酮油。0053尤其使为了使脱模性及防污性持续，就使用具有与硅酮树脂、环氧树脂反应的基团的反应性硅酮油而言，由于使脱模性及防污性持续而优选。通过如此，可容易地去除保护膜表面的抗蚀剂等附着物。0054作为硅酮油，具体列举为信越化学工业公司的商品名KF96、KF69、KF99、KF54、KF968等。尤其是作为反应性硅酮油，可列举出。
23、KF410、KF412、KF351、KF354、KF618、KF945、KF859、KF858、KF861、KF864、KF880、X22161A、KF1001、KF101、X223701E、X223710、X22160AS、KF6001、KF6003等。0055硅酮油相对于保护液中的树脂成份100重量份，优选为0051重量份。设为005重量份以上的理由在于，可获得充分的脱模性、防污性，设为1重量份以下的理由在于，制成涂布液时的表面张力变小，故可防止涂布液成为粒状而难以形成均匀的涂膜。0056本例的玻璃掩模用热固化型保护液可通过热而使上述硅酮树脂及环氧树脂进行交联反应，由此在保护膜上获得硬涂覆。
24、性。为了通过热使此种树脂引起交联反应，需要固化剂。0057作为该固化剂，可使用胺系固化剂。虽然也可考虑使用一般使用的金属醇盐系催化剂作为硅酮树脂的固化催化剂，但在使用金属醇盐系催化剂时，容易与大气中的湿气反应，故保护液的保存稳定性方面存在问题。另一方面，通过使用胺系化合物，可作为硅酮树脂的固化催化剂的作用来发挥作用，进而，亦可作为环氧树脂的固化剂来发挥作用。因此，可解决金属醇盐系催化剂的缺点即保护液保存稳定性问题。0058作为此种胺系化合物，可使用四国化成工业公司的CUREZOL系列或DIC公司的LUCKAMIDE系列等。0059另外，基于胺系化合物的固化引发温度为了获得液体的保存稳定性而优选。
25、为100度以上。0060胺系化合物相对于保护液中的树脂成份固体成分100重量份，优选为110重量份。设为1重量份以上的理由在于，可充分地进行树脂的固化反应，设为10重量份以下的理由在于，不会使涂膜的硬度降低。0061本例的玻璃掩模用热固化型保护液可以包含氟系硅烷化合物或具有硅烷醇基的聚二甲基硅氧烷。通过在保护液中含有它们中的一种以上，可期待提高所得的保护膜相对于光致抗蚀剂的接触角，且提高曝光结束后的抗蚀剂附着防止效果。0062氟系硅烷化合物具体列举出信越化学工业公司的商品名KBM7103等，或GELEST公司制的商品名SIN659765、SIN65977、SIT81750、SIT81760等。。
26、具有硅烷醇基的聚二甲基硅氧烷具体列举出信越化学工业公司的商品名X215841、KF9701等，以及GELEST公司制的商品名DMSS12、DMSS14、DMSS15、DMSS21等。0063氟系硅烷化合物或具有硅烷醇基的聚二甲基硅氧烷相对于保护液中的树脂成分100重量份可含有0525重量份左右。0064本例的玻璃掩模用热固化型保护液可调配以上说明的硅酮树脂、环氧树脂、硅酮油、固化剂及根据需要的其他成分，且可溶解于适当溶剂中而制备。说明书CN104145216A6/9页80065对于由本例的玻璃掩模用热固化型保护液而获得的保护膜而言，固化时的铅笔硬度JISK5600541999优选为3H以上。0。
27、066接下来，说明本发明的玻璃掩模的构成例。0067本例的玻璃掩模是具有由下述固化物构成的保护膜的玻璃掩模，所述固化物是在供于形成保护膜的玻璃掩模以下简称为“玻璃掩模主体”的薄膜图案面上涂布上述的玻璃掩模用热固化型保护液且对其施加热而使其固化而得的固化物。0068本例中使用的玻璃掩模主体在玻璃基板上形成有用于在印制电路布线板或树脂凸版上形成微细图案的薄膜图案。作为此种玻璃掩模主体，可列举出例如，将混合明胶和卤化银而得的乳液涂布于玻璃基板上而形成薄膜图案的玻璃掩模主体乳液光掩模、或在玻璃基板上形成有由铬材料铬或氧化铬等构成的薄膜图案的玻璃掩模主体铬掩模等。作为薄膜图案的构成材料，除铬材料以外，可。
28、使用例如硅材料硅或氧化硅等、铁材料氧化铁等、钼材料氧化钼或硅化钼等、镍材料镍或氧化镍等等硅掩模、铁掩模、钼掩模、镍掩模等。本例中，尤其在使用铬掩模作为玻璃掩模主体时，保护膜的粘接性高。0069本例的玻璃掩模是在玻璃掩模主体的薄膜图案面整面上涂布上述本例的玻璃掩模用热固化型保护液后，对其施加热，从而使保护液的树脂成分聚合热固化而成为固化物，且将其作为具有硬涂覆性与脱模性的保护膜来加以利用的玻璃掩模。0070通过在保护液中含有硅酮树脂及环氧树脂，从而可制成具有与玻璃掩模主体的粘接性、硬涂覆性及耐光性优异的保护膜的玻璃掩模。若保护膜的粘接性或耐光性被提高，则作为光掩模的重复使用耐性增加，其结果，有助。
29、于最终产物印制电路布线板或树脂凸版等的生产率提高。0071再者，通过含有氢化芳香族环氧树脂作为环氧树脂，从而提高环氧树脂与硅酮树脂的相容性，因此，可抑制保护膜的白化而提高透明性。由此，可提高在印制电路布线板或树脂凸版上形成图案时的曝光精度，可形成微细图案。0072作为在玻璃掩模主体的薄膜图案上形成保护膜的方法，可使用利用了热固化型保护液的旋转涂布或模具涂布、盖胶涂布、棒涂布等公知方法。0073需要说明的是，本例中使用的玻璃掩模主体包括将用于提高对保护膜的粘接性的底涂层设置于玻璃基板上而成的物体。0074实施例0075以下，以实施例进一步说明本发明。需要说明的是，“份”、“”若未特别指明，则为重。
30、量基准。0076实施例14、比较例1、比较例20077通过旋转涂布将下述表1组成的各例的玻璃掩模用热固化型保护液涂布于形成图案后的铬掩模上，在150加热固化70分钟，形成厚度约2M的保护膜，制作各例的玻璃掩模。0078表10079说明书CN104145216A7/9页90080需要说明的是，使用的是硅酮树脂1X402308信越化学工业公司，固体成分100、硅酮树脂2ES1001N信越化学工业公司，固体成分45、硅酮树脂3KR5235信越化学工业公司，固体成分60、环氧树脂1氢化双酚A型环氧树脂氢化芳香族环氧树脂YX8034三菱化学公司，WPE270，粘度25028PAS，氢化率约100，固体成。
31、分100、环氧树脂2EPICLON860DIC公司，固体成分100、环氧树脂3EPPN502H日本化药公司，固体成分100、硅酮油KF6001信越化学工业公司，固体成分100、胺系催化剂CUREZOL2PZCN四国化成工业公司，固体成分100、金属醇盐系催化剂D20信越化学工业公司，固体成分100。0081针对各例中所得的玻璃掩模，进行下列项目的评价。下列项目的评价结果示于表2。0082对玻璃掩模的粘接性0083利用棋盘格胶带法JISK5600561999评价各例中所得的玻璃掩模与保护膜的粘接性。基于棋盘格胶带法进行的剥离试验的结果为，将棋盘格部分发生了剥离的情况记为“”，将棋盘格部分完全未剥。
32、离的情况记为“”。0084裂纹的有无0085目视评价各例中所得的玻璃掩模的保护膜是否发生裂纹。将看到可以以目视确认出的裂纹的情况记为“”，将未看到裂纹的情况记为“”。0086保护膜的白化0087针对各例中所得的玻璃掩模的透明部分，使用浊度计NPH2000日本电色公司，根据JISK71362000来测定浊度。将浊度低于1的情况记为“”，将浊度为1以上且低于5的情况记为“”，将浊度为5以上的情况记为“”。说明书CN104145216A8/9页100088表面硬度0089依据JISK5600541999，测定各例中所得的玻璃掩模上所形成的保护膜的表面的铅笔硬度。其结果，铅笔硬度为3H以上的情况记为“。
33、”，低于3H的情况记为“”。0090液体保存稳定性0091观察各例中使用的玻璃掩模用热固化型保护液的3天后的液体状态。将流动性消失而无法作为涂布液使用的情况记为“”，将有流动性且作为涂布液没有问题的情况记为“”。0092耐光性0093使用UV试验机ISUPERUVTESTERSUVF1岩崎电机公司，对各例所得的玻璃掩模的保护膜侧进行累积曝光量10,000J/CM2的紫外线曝露。在前述紫外线曝露前后，使用分光光度计UV3101岛津制作所公司测定各例所得的玻璃掩模在波长365NM的光线透射率，且以曝露后的光线透射率T2相对于曝露前的光线透射率T1的维持率T2/T1100来评价耐光性。将维持率为5以。
34、下的情况记为“”，将维持率超过5且为10以下的情况记为“”，将维持率超过10的情况记为“”。0094表200950096考察0097实施例14的玻璃掩模由于使用了在环氧树脂中含有氢化芳香族环氧树脂的保护液，故所形成的保护膜未发生白化。另外，由于使用了环氧树脂中所含的氢化芳香族环氧树脂的比例为50重量以上且100重量以下的保护液，故所形成的保护膜与玻璃掩模的粘接性良好，且耐光性优异。另外，由于使用了硅酮树脂与环氧树脂的重量比例在4682的范围的保护液，故所形成的保护膜未发生裂纹，获得了作为保护膜的充分的表面硬度硬涂覆性。0098需要说明的是，实施例1、2、4的玻璃掩模用热固化型保护液由于仅含有胺。
35、系催化剂作为固化剂，故液体保存稳定性优异。相对于此，实施例3的玻璃掩模用热固化型保护液由于除胺系催化剂以外还包含金属醇盐系催化剂作为固化剂，故液体保存稳定性出现问题。0099比较例1的玻璃掩模由于使用了在环氧树脂中包含氢化芳香族环氧树脂、但其比例较少而为环氧树脂中的40重量的保护液，故虽然所形成的保护膜虽未发生白化，但相说明书CN104145216A109/9页11较于实施例14的玻璃掩模来说，与玻璃掩模的粘接性及耐光性劣化。0100比较例2的玻璃掩模由于使用了环氧树脂中不含氢化芳香族环氧树脂的保护液，故所形成的保护液发生白化，而且与玻璃掩模的粘接性及耐光性均比比较例1更加劣化。尤其是比较例2。
36、的玻璃掩模的耐光性与比较例1的玻璃掩模相比较差是由于环氧树脂全部由包含芳香环的环氧树脂构成所致。0101实施例50102除使用环氧树脂4氢化双酚A型环氧树脂氢化芳香族环氧树脂YX8000三菱化学公司，WPE205，粘度25185PAS，固体成分100代替环氧树脂1以外，准备与实施例2相同组成的玻璃掩模用热固化型保护液。接着，利用与实施例2相同的方法，在形成图案后的乳液掩模上形成厚度约2M的保护膜，从而制作出玻璃掩模。其结果，获得了与实施例2相同的评价。0103实施例60104除使用环氧树脂5氢化双酚A型环氧树脂氢化芳香族环氧树脂DENACOLEX252NAGASECHEMTEX公司，WPE213，粘度2522PAS，固体成分100代替环氧树脂1以外，准备与实施例2相同组成的玻璃掩模用热固化型保护液。接着，利用与实施例2相同的方法，在形成图案后的乳液掩模上形成厚度约2M的保护膜，从而制作出玻璃掩模。其结果，获得了与实施例2相同的评价。说明书CN104145216A11。