CN200410023639.8
2004.02.25
CN1560321A
2005.01.05
撤回
无权
发明专利申请公布后的视为撤回|||地址不明的通知收件人:赵志刚文件名称:视为撤回通知书（实审）|||地址不明的通知收件人:赵志刚文件名称:第一次审查意见通知书|||实质审查的生效|||公开
C23C26/00
赵志刚;
赵志刚
264003山东省烟台市莱山区迎春大街133号
精密雾化沉积镀膜仪，由机箱14内的仪表控制系统组成，其特征在于在机箱14上通过托架5支撑雾化仓4，在雾化仓4的顶端设有进料仓2，在雾化仓4的底部设有沉积窗16，在机箱14上设有连接杆15，通过连接杆15连接一样品台6。该仪器实现了对材料表面的涂层的密镀，重量，均匀性和范围等条件的精密控制。避免的现有的一些手工涂层的弊病或大型设备涂层的浪费。
1、精密雾化沉积镀膜仪，由机箱(14)内的连接计算机的仪表控 制系统组成，其特征在于在机箱(14)上通过托架(5)支撑雾化仓(4)， 在雾化仓(4)的顶端设有进料仓(2)，在雾化仓(4)的底部设有沉 积窗(16)，在机箱(14)上设有连接杆(15)，通过连接杆(15)连 接一可以滑动的样品台(6)。 2、按照权利要求1所述的精密雾化沉积镀膜仪，其特征在于雾 化仓(4)的每一角安装有微型雾化驱动风扇(3)。 3、按照权利要求1或2所述的精密雾化沉积镀膜仪，其特征在于 样品台(6)由样品托盘(10)和通过上升螺杆(9)支撑的密封圈(7) 及重量计(8)组成。 4、按照权利要求3所述的精密雾化沉积镀膜仪，其特征在于在进 料仓(2)上设有进料仓顶盖(1)。 5、按照权利要求4所述的精密雾化沉积镀膜仪，其特征在于沉积 窗(16)为四边形或多边形或圆形。 6、按照权利要求1所述的精密雾化沉积镀膜仪，其特征在于机箱 (14)上设有开关(12)、仪表盘(13)及支撑轮(11)。
精密雾化沉积镀膜仪(一)技术领域：本发明涉及一种镀膜仪，尤其是一种采用雾化 方法实现涂层施加和控制的精密雾化沉积镀膜仪。 (二)背景技术：燃料电池生产中的一个关键问题是降低成本。在 燃料电池的生产中，催化剂铂金属是相对较昂贵的原料之一。因此， 降低催化剂的用量，既最大程镀的降低单位反应面积上的催化剂用量 是降低成本的关键之一。同时，如何均匀的应用催化剂使其达到尽可 能高的比表面积，是获得高性能膜电极的关键。本精密雾化沉积镀膜 仪可以通过计算机控制单位面积上的催化剂用量，通过采用悬浮雾化 沉积技术使催化剂的反映面积达到最大。目前，国际上仅有几家大规 模的公司采用自动化生产线以实现精密控制催化剂使用量。存在着仪 器投资成本高，规模大及初始催化剂使用量大等缺点。不适合推广应 用。 (三)发明内容：本发明的目的在于克服上述已有技术的不足而 提供一种简单，经济，精确和快捷的小型的精密雾化沉积镀膜仪。 本发明的目的可以通过如下措施来达到：、精密雾化沉积镀膜仪， 由机箱14内的连接计算机的仪表控制系统组成，其特征在于在机箱14 上通过托架5支撑雾化仓4，在雾化仓4的顶端设有进料仓2，在雾化 仓4的底部设有沉积窗16，在机箱14上设有连接杆15，通过连接杆 15连接一可以滑动的样品台6。雾化仓4的每一角安装有微型雾化驱 动风扇3。样品台6由样品托盘10和通过上升螺杆9支撑的密封圈7 及重量计8组成。进料仓2上设有进料仓顶盖1。机箱14上设有开关 12、仪表盘13及支撑轮11。沉积窗16为四边形或多边形或圆形。 本发明与已有技术相比具有如下积极效果：精密雾化沉积镀膜仪， 一种小型，快捷，经济，精密的材料表面涂层仪器。该仪器实现了对 材料表面的涂层的密镀，重量，均匀性和范围等条件的精密控制。避 免的现有的一些手工涂层的弊病或大型设备涂层的浪费。技术采用将 施加的涂层材料雾化后沉积的原理，以达到所要求的目的。由于采用 差额重量法来确定涂层的密镀，精镀，鼓舞均匀性等性能远远高于普 通手工操作。本设备是目前燃料电池开发生产中催化剂施加的关键设 备。同时也适用于其他领域的表面涂层应用。精密雾化沉积镀膜仪通 过其巧妙的设计，将复杂大型或简陋粗造的手工工作省掉。变为单一 的完整的系统。大大增加了工艺的精镀和效率。同时降低了成本，降 低的手工操作带来的污染和对人体的危害。 (四)附图说明：图1为精密雾化沉积镀膜仪结果示意图 图2为多边形沉积窗16 图3为圆形沉积窗16 (五)具体实施方式：下面结合附图详细说明本发明并给出一个实施 例：精密雾化沉积镀膜仪的工作原理是利用风动系统将所涂/镀材料在 雾化仓内雾化以达到空间均匀分布的状态，再利用自然沉积方法使材 料表面均匀涂层，首先将样品放置于样品台6的样品托盘10上，然 后将样品台推入沉积窗16的下部，并调节上升螺杆9使密封圈7与沉 积窗16相触并完全密封，密封圈7是可调节的活动密封圈。可根据样 品的形状更换，其作用是将雾化仓4与外界隔离，样品台6上的自动 重量计8开始工作，计算机记录样品初始重量，沉积窗16开放，整个 系统都为计算机自动化控制，可以通过机箱14上的开关12 自动控制沉积窗16的大小与样品所需涂层的面积范围相等，沉积开始， 计算机跟踪沉积重量至要求重量为止，雾化仓4下部的沉积窗16关闭， 可移动样品台6将样品下移使样品雾化仓4分离，样品太平移出，整 个过程可由计算机自动控制，亦可以手动人工控制。
(一)技术领域：本发明涉及一种镀膜仪，尤其是一种采用雾化 方法实现涂层施加和控制的精密雾化沉积镀膜仪。
(二)背景技术：燃料电池生产中的一个关键问题是降低成本。在 燃料电池的生产中，催化剂铂金属是相对较昂贵的原料之一。因此， 降低催化剂的用量，既最大程镀的降低单位反应面积上的催化剂用量 是降低成本的关键之一。同时，如何均匀的应用催化剂使其达到尽可 能高的比表面积，是获得高性能膜电极的关键。本精密雾化沉积镀膜 仪可以通过计算机控制单位面积上的催化剂用量，通过采用悬浮雾化 沉积技术使催化剂的反映面积达到最大。目前，国际上仅有几家大规 模的公司采用自动化生产线以实现精密控制催化剂使用量。存在着仪 器投资成本高，规模大及初始催化剂使用量大等缺点。不适合推广应 用。
(三)发明内容：本发明的目的在于克服上述已有技术的不足而 提供一种简单，经济，精确和快捷的小型的精密雾化沉积镀膜仪。
本发明的目的可以通过如下措施来达到：、精密雾化沉积镀膜仪， 由机箱14内的连接计算机的仪表控制系统组成，其特征在于在机箱14 上通过托架5支撑雾化仓4，在雾化仓4的顶端设有进料仓2，在雾化 仓4的底部设有沉积窗16，在机箱14上设有连接杆15，通过连接杆 15连接一可以滑动的样品台6。雾化仓4的每一角安装有微型雾化驱 动风扇3。样品台6由样品托盘10和通过上升螺杆9支撑的密封圈7 及重量计8组成。进料仓2上设有进料仓顶盖1。机箱14上设有开关 12、仪表盘13及支撑轮11。沉积窗16为四边形或多边形或圆形。
本发明与已有技术相比具有如下积极效果：精密雾化沉积镀膜仪， 一种小型，快捷，经济，精密的材料表面涂层仪器。该仪器实现了对 材料表面的涂层的密镀，重量，均匀性和范围等条件的精密控制。避 免的现有的一些手工涂层的弊病或大型设备涂层的浪费。技术采用将 施加的涂层材料雾化后沉积的原理，以达到所要求的目的。由于采用 差额重量法来确定涂层的密镀，精镀，鼓舞均匀性等性能远远高于普 通手工操作。本设备是目前燃料电池开发生产中催化剂施加的关键设 备。同时也适用于其他领域的表面涂层应用。精密雾化沉积镀膜仪通 过其巧妙的设计，将复杂大型或简陋粗造的手工工作省掉。变为单一 的完整的系统。大大增加了工艺的精镀和效率。同时降低了成本，降 低的手工操作带来的污染和对人体的危害。
(四)附图说明：图1为精密雾化沉积镀膜仪结果示意图
图2为多边形沉积窗16
图3为圆形沉积窗16
(五)具体实施方式：下面结合附图详细说明本发明并给出一个实施 例：精密雾化沉积镀膜仪的工作原理是利用风动系统将所涂/镀材料在 雾化仓内雾化以达到空间均匀分布的状态，再利用自然沉积方法使材 料表面均匀涂层，首先将样品放置于样品台6的样品托盘10上，然 后将样品台推入沉积窗16的下部，并调节上升螺杆9使密封圈7与沉 积窗16相触并完全密封，密封圈7是可调节的活动密封圈。可根据样 品的形状更换，其作用是将雾化仓4与外界隔离，样品台6上的自动 重量计8开始工作，计算机记录样品初始重量，沉积窗16开放，整个 系统都为计算机自动化控制，可以通过机箱14上的开关12 自动控制沉积窗16的大小与样品所需涂层的面积范围相等，沉积开始， 计算机跟踪沉积重量至要求重量为止，雾化仓4下部的沉积窗16关闭， 可移动样品台6将样品下移使样品雾化仓4分离，样品太平移出，整 个过程可由计算机自动控制，亦可以手动人工控制。
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精密雾化沉积镀膜仪，由机箱14内的仪表控制系统组成，其特征在于在机箱14上通过托架5支撑雾化仓4，在雾化仓4的顶端设有进料仓2，在雾化仓4的底部设有沉积窗16，在机箱14上设有连接杆15，通过连接杆15连接一样品台6。该仪器实现了对材料表面的涂层的密镀，重量，均匀性和范围等条件的精密控制。避免的现有的一些手工涂层的弊病或大型设备涂层的浪费。 。
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