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1、10申请公布号CN104096980A43申请公布日20141015CN104096980A21申请号201410299397922申请日20140626B23K26/70201401B23K26/3820140171申请人长春光华微电子设备工程中心有限公司地址130033吉林省长春市经开区营口路77号B座72发明人张德龙吴玉彬黄波王忠生刘轩郑福志金钊张男男田玉鑫74专利代理机构长春吉大专利代理有限责任公司22201代理人王淑秋54发明名称激光切割真空吸附平台57摘要本发明涉及一种激光切割真空吸附平台，该平台包括真空吸附平台组件；所述真空吸附平台组件的吸附平台过渡连接板上加工有与旋转气管接头连。
2、接的螺纹孔；吸盘连接座位于吸附平台过渡连接板之上，两者之间带有空腔，且两者接合面处密封；吸盘连接座上表面加工有相互交错的气道；真空吸盘位于吸盘连接座之上，其下表面的加强筋支撑于吸盘连接座的上表面，两者接合面处密封；吸盘连接座上分布有多个将气道与空腔连通的真空孔；真空吸盘的上端面加工有网格状沟槽，将整个真空吸盘的上端面分割成行列排布的方块，各方块处加工有垂直方向的吸附透孔。本发明能够实现对切割工件切割前、切割过程中、以及切割后产品的吸附，保证切割后产品的位置精度。51INTCL权利要求书1页说明书3页附图5页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图5页10申请。
3、公布号CN104096980ACN104096980A1/1页21一种激光切割真空吸附平台，其特征在于包括真空吸附平台组件7；所述真空吸附平台组件7包括吸附平台过渡连接板702，吸盘连接座703，真空吸盘705，吸盘上密封圈707，吸盘下密封圈708；吸附平台过渡连接板702上加工有螺纹孔，旋转气管接头706与该螺纹孔连接；吸盘连接座703位于吸附平台过渡连接板702之上，两者之间带有空腔7021，且在空腔7021的外围两者接合面处由吸盘下密封圈708密封；吸盘连接座703上表面加工有相互交错的气道7032；真空吸盘705位于吸盘连接座703之上，其下表面的加强筋7051支撑于吸盘连接座703。
4、的上表面，两者四周接合面处通过吸盘上密封圈707密封；吸盘连接座703上分布有多个将气道7032与空腔7021连通的真空孔7031；真空吸盘705的上端面加工有网格状沟槽7053，将整个真空吸盘705的上端面分割成行列排布的方块7052，各方块7052处加工有垂直方向的吸附透孔7054。2根据权利要求1所述的激光切割真空吸附平台，其特征在于还包括位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板704；所述吸盘连接座703的上表面中间部分加工有相互交错的气道7032，外围部分为平面；吸盘盖板704与吸盘连接座703的外围部分连接，连接后吸盘盖板704的上端面低于真空吸盘705的上端面。3根据权利要求1所述的激光。
5、切割真空吸附平台，其特征在于所述吸附平台过渡连接板702的顶面带有凸环7022，该凸环7022嵌入吸盘连接座703底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔7021。4根据权利要求1所述的激光切割真空吸附平台，其特征在于还包括X向直线运动机构，Y向直线运动机构，向旋转运动机构，旋转机构连接板715，第一X向拖链固定板721，第二X向拖链固定板722，X向拖链723，第一Y向拖链固定板724，第二Y向拖链固定板725，Y向拖链726；所述X向直线运动机构的可动部件712与Y向直线运动机构的固定部件713连接；向旋转运动机构的固定部件716通过旋转机构连接板715与Y向直线运动机构的可动部件714。
6、连接，向旋转运动机构的可动部件717通过吸附平台底座701与吸附平台过渡连接板702固定连接；X向拖链723的一端通过第一X向拖链固定板721与X向直线运动机构的固定部件711连接，另一端通过第二X向拖链固定板722与X向直线运动机构的可动部件712连接；第一Y向拖链固定板724与X向直线运动机构的可动部件712连接，第二Y向拖链固定板725与Y向直线运动机构的可动部件714连接，Y向拖链726的两端分别与第一Y向拖链固定板724和第二Y向拖链固定板725连接。权利要求书CN104096980A1/3页3激光切割真空吸附平台技术领域0001本发明涉及一种激光切割真空吸附平台。背景技术0002激。
7、光切割是一门发展极快的新技术,已成为发展新兴产业,改造传统制造业的关键技术之一,是激光应用最有发展前途的领域。激光切割以其切割范围广、切割速度高、切缝窄、切割质量好、热影响区小、加工柔性大等优点，在现代工业中等到了极为广泛的应用，激光切割技术也成为激光加工技术最为成熟的技术之一。随着激光加工技术的不断发展，激光加工除了在传统行业应用之外，越来越多的应用到更为广阔的精细加工领域，如军工领域、电子产品加工领域、半导体加工领域等，这些领域对激光切割设备提出了更高的要求。0003激光切割平台是激光切割设备的重要组成部分，尤其是在激光精细切割领域,激光切割平台,直接决定激光切割设备能否切割以及切割质量的。
8、好坏。因此，在激光切割领域，尤其是在激光精细切割领域，对激光切割平台提出了很高的要求。发明内容0004本发明要解决的技术问题是提供一种激光切割真空吸附平台，该平台可将切割工件吸附到平台上，进行完全切割，切割后，产品不会散落，不会移位。能够满足切割的高位置精度要求。0005为解决上述技术问题，本发明的激光切割真空吸附平台包括真空吸附平台组件；所述真空吸附平台组件包括吸附平台过渡连接板，吸盘连接座，真空吸盘，吸盘上密封圈，吸盘下密封圈；吸附平台过渡连接板上加工有螺纹孔，旋转气管接头与该螺纹孔连接；吸盘连接座位于吸附平台过渡连接板之上，两者之间带有空腔，且在空腔的外围两者接合面处由吸盘下密封圈密封；。
9、吸盘连接座上表面加工有相互交错的气道；真空吸盘位于吸盘连接座之上，其下表面的加强筋支撑于吸盘连接座的上表面，两者四周接合面处通过吸盘上密封圈密封；吸盘连接座上分布有多个将气道与空腔连通的真空孔；真空吸盘的上端面加工有网格状沟槽，将整个真空吸盘的上端面分割成行列排布的方块，各方块处加工有垂直方向的吸附透孔。0006当需要真空时，外界真空装置通过气管和旋转气管接头，首先将吸附平台过渡连接板与吸盘连接座之间空腔的气体抽走，使该空腔形成真空，并使真空均化；同时，通过吸盘连接座上的真空孔和气道，将真空孔提供的真空均匀分布在整个真空吸盘下部的工作面上，再通过真空吸盘的吸附透孔均匀地将真空力作用于切割工件上。
10、，实现对切割工件切割前的吸附，切割过程中的吸附以及切割后形成的产品的吸附，能够保证切割后产品的位置精度。由于真空吸盘的上端面加工有网格状沟槽，作为切割和排渣通道，可将工件切割成不同大小规格的产品。由于吸盘连接座上表面加工相互交错的气道，真空吸盘下表面的加强筋支撑于吸盘连接座的上表面，一方面可以将真空均化在真空吸盘的整个工作面，另一方说明书CN104096980A2/3页4面，还可以起到支承真空吸盘的作用，避免工作时，由于真空吸附力的作用，使真空吸盘发生变形。0007进一步，本发明还包括位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板；所述吸盘连接座的上表面中间部分加工有相互交错的气道，外围部分为平面；吸盘盖板。
11、与吸盘连接座的外围部分连接，连接后吸盘盖板的上端面低于真空吸盘的上端面。0008所述吸附平台过渡连接板的顶面带有凸环，该凸环嵌入吸盘连接座底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔。0009更进一步，本发明还包括X向直线运动机构，Y向直线运动机构，向旋转运动机构，旋转机构连接板，第一X向拖链固定板，第二X向拖链固定板，X向拖链，第一Y向拖链固定板，第二Y向拖链固定板，Y向拖链；所述X向直线运动机构的可动部件与Y向直线运动机构的固定部件连接；向旋转运动机构的固定部件通过旋转机构连接板与Y向直线运动机构的可动部件连接，向旋转运动机构的可动部件通过吸附平台底座与吸附平台过渡连接板固定连接；X向拖链的。
12、一端通过第一X向拖链固定板与X向直线运动机构的固定部件连接，另一端通过第二X向拖链固定板与X向直线运动机构的可动部件连接；第一Y向拖链固定板与X向直线运动机构的可动部件连接，第二Y向拖链固定板与Y向直线运动机构的可动部件连接，Y向拖链的两端分别与第一Y向拖链固定板和第二Y向拖链固定板连接。0010本发明X向、Y向直线运动机构垂直安装，向旋转运动机构与Y向直线运动机构连接，吸附平台底座连接在向旋转运动机构上，可实现在激光头固定的前提下，对工件进行两个垂直方向的完全切割。附图说明0011下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。0012图1是工件的俯视图。0013图2是本发明的激光切割真。
13、空吸附平台的立体图。0014图3是真空吸附平台组件的立体图。0015图4是真空吸附平台组件的剖视图。0016图5是真空吸附平台组件的局部剖视图。0017图6是吸盘连接座俯视图。0018图7是本发明的真空吸盘立体图。具体实施方式0019如图1所示，工件9为方形，其上表面带有横向切割标识线92和纵向切割标识线93，切割后得到的多个产品91。0020如图2所示，本发明的激光切割真空吸附平台包括X向直线运动机构，Y向直线运动机构，向旋转运动机构，旋转机构连接板715，第一X向拖链固定板721，第二X向拖链固定板722，X向拖链723，第一Y向拖链固定板724，第二Y向拖链固定板725，Y向拖链726，。
14、真空吸附平台组件7；所述X向直线运动机构的可动部件712与Y向直线运动机构的固定部件713连接；向旋转运动机构的固定部件716通过旋转机构连接板715与Y向直线运动机构的可动部件714连接，向旋转运动机构的可动部件717通过说明书CN104096980A3/3页5吸附平台底座701与真空吸附平台组件7固定连接，可通过X向直线运动机构和Y向直线运动机构实现X向和Y向两个垂直方向的运动，可通过向旋转运动机构实现360度旋转运动。X向拖链723的一端通过第一X向拖链固定板721与X向直线运动机构的固定部件711连接，另一端通过第二X向拖链固定板722与X向直线运动机构的可动部件712连接；第一Y向拖。
15、链固定板724与X向直线运动机构的可动部件712连接，第二Y向拖链固定板725与Y向直线运动机构的可动部件714连接，Y向拖链726的两端分别与第一Y向拖链固定板724和第二Y向拖链固定板725连接。0021如图37所示，所述真空吸附平台组件7包括吸附平台过渡连接板702，吸盘连接座703，位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板704，真空吸盘705，吸盘上密封圈707，吸盘下密封圈708。吸附平台过渡连接板702上加工有螺纹孔，旋转气管接头706与该螺纹孔连接；设计吸附平台过度连接板13，可有效防止漏气，保证吸附的可靠性。吸盘连接座703位于吸附平台过渡连接板702之上，吸附平台过渡连接板702的。
16、顶面带有凸环7022，该凸环7022嵌入吸盘连接座703底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔7021；在空腔7021的外围两者接合面处由吸盘下密封圈708密封，能够防止漏气。吸盘连接座703上表面加工有相互交错的气道7032；真空吸盘705位于吸盘连接座703之上，其下表面的加强筋7051支撑于吸盘连接座703的上表面，一方面可以将真空均化在真空吸盘的整个工作面，另一方面，还可以起到支承真空吸盘的作用，避免工作时，由于真空吸附力的作用，使真空吸盘发生变形。吸盘连接座703和真空吸盘705的四周接合面处通过吸盘上密封圈707密封，能够防止漏气。吸盘连接座703上分布有多个将气道7032与空。
17、腔7021连通的真空孔7031。真空吸盘705的上端面加工有网格状沟槽7053，将整个真空吸盘705的上端面分割成行列排布的方块7052，各方块7052处加工有垂直方向的吸附透孔7054。所述吸盘连接座703的上表面中间部分加工有相互交错的气道7032，外围部分为平面；吸盘盖板704与吸盘连接座703的外围部分连接，连接后吸盘盖板704的上端面低于真空吸盘705的上端面，以防止切割工件9与吸盘盖板704干涉。通过真空吸盘的吸附透孔7054可以均匀地将真空力作用于切割工件9上，实现对切割工件9切割前的吸附，切割过程中的吸附以及切割后形成的产品的吸附，能够保证切割后产品的位置精度。说明书CN104096980A1/5页6图1图2说明书附图CN104096980A2/5页7图3图4说明书附图CN104096980A3/5页8图5说明书附图CN104096980A4/5页9图6说明书附图CN104096980A5/5页10图7说明书附图CN104096980A10。