蒸发装置的固定构件 【技术领域】
本发明涉及将蒸发材料予以加热而使其蒸发的蒸发装置的固定构件。
背景技术
以各种物质形成薄膜时，常用技术多是利用蒸镀(真空蒸镀(vacuum deposition)。其中，有一种被视为替代液晶显示器的次世代制品的「平面显示器(flat display)」受人注目，而为实用化而进行研究中的电致发光(electro luminescence，EL)显示器，即是利用上述真空蒸镀技术，形成使用于显示器面板的有机EL元件发光层等的有机薄膜，及金属电极层的形成。
真空蒸镀装置，是在真空蒸镀室内配置具有优异耐热性及化学安定性的坩埚，将置于坩埚内的蒸镀材料(蒸发材料)予以加热蒸发，使在被蒸镀物上形成蒸镀层。但在常用公知的真空蒸镀装置，是使用单一且点状蒸镀源作为蒸镀源，由该蒸镀源(蒸发装置)以放射状向被蒸镀物表面飞溅蒸镀材料，形成被蒸镀物表面层。
然而，在显示器大型化的强型要求，在有机EL显示器亦不能例外，为此，用于有机EL显示器的蒸镀装置，亦需对应于形成元件的面板大面积化，也就是说：有需对应蒸镀面积的增大。
另一方面，例如在中型、小型面板等，通常亦进行以一枚大型基板(主基板)同时形成多个显示面板，然后，在后续工序分割为多个面板的所谓多片面板制取法。而在由该多片面板制取法制成中.小型面板中，为使制造成本更为降低，有将一枚主基板更予以大型化，同时，亦有要求增加其可制取的面板片数。为此，蒸镀作业即须对应于大型主基板整体施行，以对应蒸镀面积的扩大。
如上所述，有须进行大面积蒸镀作业时，若使用上述单一点状蒸镀源，即因由蒸镀源至膜形成位置的距离，将由于被蒸镀对象基板地所在位置而有显著差异，因此，均匀蒸镀层的形成于基板上，有其困难性。对此，例如有下述专利文献1主张采用长形蒸镀源的所谓「线型蒸镀源(linear source)」。由采用该所谓的「线型蒸镀源」，在原理上，可使基板各位置与线型蒸镀源的距离差减少，因而可对大面积基板的蒸镀条件予以均匀化。
<专利文献1>日本.特开2001-247959号公报。
【发明内容】
(发明所欲解决的问题)
在显示器中，因发光亮度及发光颜色的偏差必将严重损害显示品质，因而在有机EL显示器亦强烈要求该发光亮度等的均匀化。但如上述，在有机EL显示器的制造时，对发光层、电荷输送层、电荷植入层等有机层及金属电极等形成上，虽是采用真空蒸镀法，但只因有机层为一相当薄的薄膜层，又因薄膜厚度的参差不齐，予以发光亮度及发光颜色不均匀的影响甚巨，且因有机层是形成于阳极及阴极的层间，其厚度的不均匀有使阳.阴极间容易造成短路而发生显示缺陷。因此，用于制造该有机EL显示器等的蒸镀装置亦被要求为，能对宽大面积可形成精度优异的蒸镀层。
在有机EL元件的制造，若采用上述线型蒸镀源，虽可使大面积基板的蒸镀容易。但单纯地使用线型蒸镀源在形成元件有机层等蒸镀，获得的有机EL元件特性偏差大，因而，无法满足有机EL显示器的实用化要求的均匀性。
本发明人对该元件特性的偏差原因，予以详细调查研究的结果，发现若将蒸镀源作为纵长形的线型蒸镀源时，无法在纵长方向予以均匀地释放蒸镀物质的影响至大。因此，为对宽大蒸镀面形成均匀蒸镀层，须使线型蒸镀源能在其长方向的全位置释出均匀蒸镀材料为不可或缺条件，且需要因应对策。
为此，本发明是以提供一种可由纵长形坩埚各位置，释放均匀蒸镀材料的蒸发装置为目的。
(解决问题的手段)
本发明是在具有：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚；覆盖上述长形坩埚之上部开放部，由通电而发热，以对上述长形坩埚内的上述蒸发材料加热，且具有使因加热而气化的上述蒸发材料可通过之开口的电热加热器；将该电热加热器对上述长形坩埚予以按压，即可予以固定的蒸发装置的固定构件中，上述固定构件具备：以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部；由上述弯曲部两端分别向上折曲，使之成为竖立的侧面部，及由上述侧面部的上端部，向内侧折成略直角的爪部，且通过上述弯曲部的顶点按压在上述长形坩埚底面产生弹性按压力，使分别紧贴在上述电热加热器上缘部的各上述爪部内面按压上述电热加热器对上述长形坩埚，而将上述长形坩埚与上述电热加热器固定。
如上述，通过电热加热器覆盖长形坩埚上方，且对电热加热器通电，将坩埚内蒸发物予以加热的构造，可将蒸发物由上方加热而使之气化，因而，得以进行极有效率的加热作业。再以利用弹性材料制成的夹具固定电热加热器及长形坩埚，可将长形坩埚与电热加热器间的密贴性得以均匀地维持，又因夹具按压力是由夹具的形状决定，故每一夹具的按压力必然一定，因而，可使组装时的按压力得以一定。
例如亦可考虑以绳索或钢线紧是坩埚及电热加热器为一体，但在这种情况下，因电热加热器与绳索的紧贴部几乎都为「点接触」状态，又因金属板制成的电热加热器具有其塑性，故在该紧贴部以外区域，可能在坩埚与电热加热器间产生空隙。况且以绳索是紧电热加热器对坩埚的按压力，是受作业员的绳索捆绑方式所左右，故在坩埚纵长方向，由多个绳索捆圈予以紧系的按压力容易形成差异。如依本发明，则不会发生不妥的情形，因此，得以改善电热加热器与坩埚间的密贴性。
并且，上述爪部，是以将紧贴在侧面部而固定的另外与夹具本体不成一体的另外构件的爪板上端部予以折曲而成为佳。使其为另一构件，可对弯曲部附与充分弹性，而使爪部具有其充分强度。
上述弯曲部与侧面部，及包含上述爪部的爪板，是以使用不同的板厚度者为宜。
上述弯曲部及侧面部，是以「因可耐尔Inconel(注册商标，音译)」等耐高热耐蚀合金构成为宜。
而在上述弯曲部及侧面部的至少任何一方，以具备开口为宜。由开口的大小、位置、数量等，可调整该固定构件的弹性，及导热性。本发明的其它方面，是有关于利用上述蒸发装置固定构件的蒸发装置，以由该蒸发装置所蒸发的蒸发物为对象物，予以进行蒸镀的蒸镀装置。
(发明的效果)
如上述，依本发明，是将长形坩埚上方，以电热加热器予以覆盖，且在电热加热器通电加热坩埚内的蒸发物的构成中，将蒸发物由上方予以加热气化，因此，可进行较具效率的加热作业。且是使用以弹性材料制成的夹具予以固定电热加热器及长形坩埚，可维持长形坩埚与电热加热器间的密贴为均匀状。且因夹具按压力是由夹具形状决定，故该每一夹具按压力为一定，因而，可使每次组装时的按压力为一定。
【附图说明】
图1是表示有关本发明实施形态的蒸发装置的全体构成图；
图2是覆盖坩埚开口的电热加热器构造剖面图；
图3是扩大表示图22中坩埚与电热加热器的吃合部图；
图4是L字型角材的电热加热器12侧端部(角部)配置图；
图5是L字型角材形状的斜视图；
图6是以夹具钳夹坩埚、电热加热器及L字型角材的示意剖面图；
图7是夹具形状的斜视图；
图8是施以金属涂覆的坩埚斜视图；
图9表示施加的坩埚的金属涂覆膜高度的坩埚侧面图；
图10是真空室内的蒸发装置构成图；
图11是通过连接板电气连接电热加热器的示意图；
(元件符号说明)
10 长形坩埚(长立方体状坩埚)
12 电热加热器 12a 器体
12b 缘部 12c 阻板
12e 开口 12f 舌部
14 纸状材料 20L 字型角材
22 钢丝索 24 夹具
24a 弯曲部 24b 侧面部
24c 臂部 24d 开口
24e 开口 24f 爪部
25 金属涂覆层 26 电极
28 连接板 28a 电阻发热金属板
28b 良质导电金属板 30 加热器支具
32 板 34 螺钉
100 承台 102 脚架
【具体实施方式】
兹以附图就本发明的实施例说明如下：
图1是表示有关实施形态的蒸发装置整体构成图。长形坩埚10为上方开放的收容蒸发材料容器。坩埚10是整体例如由石英形成的长方体，掏去内部予以构成。亦可将棒状石英掏除内部予以构成，由模具成型亦可。其尺寸例如约为长：60cm，高：4cm，宽：4cm。但其尺寸得视蒸镀对象(如，有机EL基板)的尺寸予以对应决定。
该坩埚10上方是由电热加热器12覆盖及封闭。电热加热器12是由钽(Ta)形成，由延伸在长方向两端的舌部12f连接于电源，其结果以流过电流使之发热。通常为直流电流，亦可为交流电流。且在电热加热器12的宽度方向中央部，沿长方向设置所定的多个裂缝状开口12e，可由该裂缝释出蒸发物。
电热加热器12，如图2所示，具有：由具有其周边部向下折曲的侧壁的器体12a；为该器体12a的周边部，且在侧壁的所定距离内侧，形成与侧壁一样向下形成的缘部12b及由器体12a只离开一定距离形成的挡板(baffle plate)12c。其中，缘部12b是由器体12a的周边部突出下方般予以焊接。也就是说，由缘部12b及器体12a的侧壁，在器体周边部形成沟部，而在该沟部内部可插入坩埚10上端部。
又在坩埚10上端部的沟部及电热加热器12间，如图3所示，由被称作「右拉或尔grafoil」(音译，注册商标)的织布或无纺布所成的碳质纸状材料14作为填料(packing)。
且在器体12a中央部分形成一定个数的开口12e。在坩埚10的纵长方向，将开口12e以直线排成多个方式的配置。该开口12e为极细长的裂缝形状。由此，可将蒸发的材料蒸镀在基板上的预定范围。
又在电热加热器12长方向的侧端部上，如图4所示，配置L字型角材20。角材20例如是由同在坩埚10的石英构成，且配置为覆盖电热加热器12侧端部(角部)状，角材20例如长度约为9cm，上、侧两面的宽度各为5mm，厚度形成为1mm。由此，得以适合电热加热器12的上面侧部及侧面(对应在坩埚10的侧面上端部)。
在图标的例子中，角材20是对坩埚10的一侧设有4个、两侧共设有8个。但因实际上的坩埚10较长，通常设6个或8个角材20。亦可对应于装置，变动角材20的个数。该角材20是将坩埚10予以均匀按压，因此，予以均等分配。也就是说：在坩埚10纵长方向侧面，以大致相同之间隔配置角材20，而该纵长方向两侧的角材20，是配置在纵长方向的同一位置。又在实施例中，在位于该纵长方向端部的角材20与坩埚10端部间，留有该角材20与其内侧角材20之间隔的1/2间隔，但亦适以将角材20端部与坩埚10端部相互对齐配置。
坩埚10、电热加热器12及角材20是由夹具24，向坩埚10上方按压固定。在此实施例中，是使用较坩埚10纵长方向长度的角材20为略短的夹具24。而该夹具24的详细状况，如后述。
如上述，若使用多个角材20及做为固定构件的夹具24，将长形坩埚10及电热加热器12予以密贴，以对应作为蒸镀对象的基板等的尺寸，即使在变更长形坩埚10长方向尺寸时，亦能容易以变更该使用数予以对应，因而，态样的变更容易，亦因操作容易而可提升该作业性。亦能仅调整角材及夹具24的配置位置，得以迂回形成于电热加热器12上部的释放蒸镀材料开口12e位置、及设在电热加热器12的热电偶等。尤在角材20，是以避开热电偶的组装位置为宜。
在电热加热器12长方向侧端部上，夹具24是通过L字型角材20按压电热加热器12，故夹具24的按压力是分散在L字型角材20的长方向，而将全面均匀的按压力施加在电热加热器12。尤因L字型角材20，呈如图5所示的形状，其紧贴在电热加热器12的内侧面20a极为平坦，因此，在L字型角材20的紧贴面，使电热加热器12可向坩埚10施行均匀按压。
又，角材20是如图标，以设置偶数个为宜。如在长度为60cm的坩埚10，是以设置6或8个(一边的数目)左右为宜。其作为固定构件的夹具24亦将为6或8个(总数)。如上述，由设置偶数个角材20，可在中央部及端部配置热电偶，测量中央部坩埚10内的温度。但亦可使用单数个的角材20。
兹将使用蒸发装置的顺序说明于后：
首先，在坩埚10内收容蒸发材料，然后，以电热加热器12覆盖，再将L字型角材20配置成密贴在电热加热器12的角部，而以此状态将坩埚10及电热加热器12，以夹具24固定。由此，除设在电热加热器12的开口12e处之外坩埚10予以封闭，即可完成蒸镀的准备工作。形成薄膜时，是在减压的真空室(chamber)内使电流流过电热加热器12，以使电热加热器12的温度上升。因电热加热器12是由均匀材料构成，且因覆盖坩埚10纵长方向部分为均匀构造，由电热加热器12发出的热量，将均匀地遍布在坩埚10纵长方向。
在电热加热器12产生的热量，由紧贴在电热加热器12的坩埚10上缘传导于坩埚10。因电热加热器12均匀地按压在坩埚10，故该热量将均匀地传递在坩埚10长方向。该电热加热器12的热量，亦可能以辐射方式传递于坩埚10及蒸发材料。又因电热加热器12是在纵长方向具有均匀温度，故能在坩埚10及蒸发材料的纵长方向施行均匀的热辐射。
由坩埚10上缘，所紧贴传导的热量，将以传递或辐射扩散在整个坩埚10，与由电热加热器12的直接辐射热一并使坩埚10温度在纵长方向，以大致均匀方式上升。收容在坩埚10内的蒸镀材料即因由坩埚10传入热量的紧贴传导及热辐射而升温。当蒸发材料达到一定温度以上时，该蒸发材料气化造成坩埚10内的气压上升，且由电热加热器12的开口12e释出该气体蒸发材料。又因蒸镀材料的温度是均匀地遍布在坩埚10内纵长方向，故由电热加热器12开口12e释出的蒸发材料，亦将遍布在纵长方向，而均匀地在直线状进行。在此状态，若在电热加热器12开口12e附近配置欲形成薄膜的基板，对该基板，将该蒸发装置以坩埚10长方向为垂直的方向相对移动，即可以同一条件在基板上的全面接触蒸发材料气体，因而，能在基板上形成平面状的均匀薄膜。
尤其是不将坩埚10蒸发的蒸发材料直接蒸镀在基板上，而经由掩模蒸镀的情况，如：有机EL面板在该发光层蒸镀时，多采用每一像素(pixel)设一开口的掩模。而在利用掩模(mask)时，当因蒸发源与掩模的角度不同时，将致使掩模背后面积相异，有导致蒸镀层的型样精度下降的问题。但是，使纵长的坩埚10在配置有掩模的基板下方相对移动，则不论基板上的任何位置，能使在该位置蒸镀时的蒸镀源对基板及掩模的位置关系为大致在同一条件，故得以达成均匀蒸镀目的。
如上述，在本实施例在长形坩埚10纵长方向中，是在电热加热器12及夹具24间配置角材20，再由夹具24固定坩埚10及电热加热器12，即可使坩埚10与电热加热器12的密贴性，由角材20的作用而能维持沿坩埚10的纵长方向均匀一致。于是，可将电热加热器12与坩埚10内的蒸镀材料的距离、加热条件、蒸镀物的释放予较均匀化地进行。也就是说，可将置入坩埚10内的蒸镀材料，能在坩埚10纵长方向的任何位置予以均匀加热，同时，亦能由坩埚10开口部确实释放该蒸发物。
以上的说明中，是将L字型角材20以石英构成之例说明，但可为具绝缘性的传热率较小材料，如，陶瓷(ceramic)材料亦可。其与电热加热器12紧贴的内面20a平坦度，虽依电热加热器的材质及厚度等而定，但该凹凸山谷的差距，是以±100μm以下为宜。因此，能使L字型角材20与电热加热器12紧贴的全区域的按压力均匀化。
因是以传热率较小的材料构成角材20，可防止来自传热性的电热加热器1 2的热量由角材20传导在夹具24等的固定构件故可防止在坩埚10长方向的配置夹具24的位置，引起放热而导致坩埚10内温度的部分变动。
又在角材20，至少是使其表面为绝缘性，以使上述电热加热器12与导电性的夹具24绝缘。
作为固定构件使用的上述夹具24等为导电性时，当在电热加热器12与固定构件导通时，将有电流流过固定构件中而产生发热，而在长时间的使用状况下，该固定构件亦有变质等的可能性。而在本实施例中，是使固定构件经由角材20而使电热加热器12密贴在坩埚10的构成，故如上述使角材20为绝缘性，即可将夹具24与电热加热器12予以确实绝缘。又若为将坩埚10内更均匀加热，在坩埚10外周配置金属层(如后述)时，亦可由角材20使固定构件与电热加热器12绝缘，而可防止接触固定构件的上述金属层与电热加热器12形成电气连接。因而，可防止在该金属层流通电流而产生发热或变质等现象。
又在坩埚10，是如上述以石英形成，此时，若亦由石英形成角材20，即可使热膨胀率等相等而较佳。
其次，就作为固定电热加热器12在坩埚10的固定构件的夹具24，说明如下：
如图6所示，由坩埚10及电热加热器12长方向的垂直剖面观看，夹具24是由弹性材料形成，并且由：紧贴在坩埚10底的曲面部24a；由该曲面部24a两端沿坩埚10侧壁延伸至坩埚10上缘附近的一对侧面部24b，及重叠在该侧面焊接而成的2枚臂部24c所构成。且在臂部24c重叠在侧面部24b部分的上端部，具有向内侧延伸的爪部24f，而由该爪部24f紧贴在L字型角材20上面。图6中，夹具24的下部与坩埚10侧壁的距离，是予以较夸大方式绘描，但因夹具对侧面部24b内侧的力量并不需要那么强，因此，夹具与坩埚10侧壁的距离，可比图标者更小。
曲面部24a是将其中央部向上方鼓出的形状，且较坩埚10宽度为大。其在没有组装在坩埚10状态下，由该爪部24f至曲面部24a最上部的距离，是较坩埚10高度小。因此，夹具24组装在坩埚10的状态时，是由爪部24f及曲面部24a对坩埚10底面与角材20上面之间施加按压力。而且，因曲面部24a的变形而使臂部24c上端部向角材20侧面内侧产生按压力，由此使角材20向坩埚10按压，但该力道较小。实际上未将夹具组装的不使力状态下，不含爪部24f的臂部24c上端部间的距离是较坩埚10的宽度为小，因而在组装状态中，必然会使侧面部24b上端产生向内施加的力量。
如上述，组装在坩埚10的状况下，夹具24是因曲面部24a的作用而由坩埚10底面向外(下方)变形，使角材20向电热加热器12按压。
为使夹具曲面部24a及侧面部24b在坩埚加热时的按压力不会改变，通常是使用弹性系数的温度变化较小的材料，如：厚度约0.4mm的镍(Ni)合金「因可耐尔Inconel(注册商标)」等耐高温耐蚀合金构成为宜。其紧贴L字型角材上面的臂部24c较不需弹性，且以较高强度者为宜。在本实施例是使用厚度0.7至0.8mm的「因可耐尔(注册商标)」材料。
夹具24的坩埚10、电热加热器12及L字型角材20组装，是将以弹性材料加压在内侧的2枚臂部24c向外侧张开，在该状况下，将设有电热加热器12及L字型角材20插入在夹具内部的坩埚10。然后，保持2枚臂部24c张开状态，将曲面部24a按压在坩埚10底面使之变形，在此状态将2枚臂部24c关闭，之后将向坩埚10底面的按压力解除，即可完成组装作业。但在组装该夹具24时，使用组装用的专用组装器具为宜。
夹具如图7所示，在侧面具开口24d，在底面亦具备开口24e为宜。通过设置开口24d及开口24e，可使夹具24表面积减少，而可减少由夹具24的散热。结果，能以电热加热器12的最小限度的加热，使蒸镀材料气化，因而，能抑制坩埚内温度的不匀状态到最小。开口24e具有调整夹具24按压力的效能。若将开口24e加大，即可使按压力变小，将开口24e缩小则可使按压力变大，因此，可依电热加热器12强度、L型夹具的大小等调整为以电热加热器12闭塞坩埚10开口成为最适宜程度。
夹具24表面，是以喷砂(sandblast)加工、散射颗粒(shotblasting)加工等施行粗面加工为宜。通过该粗面加工，可将夹具24制造过程附着在表面的杂物去除，由此，即使在蒸镀时的高温环境下亦得以防止杂物气体的释出。亦可通过粗面加工，使在蒸镀制程中与附着的蒸发材料的密贴性提升，而得以防止附着在夹具24的蒸镀材料剥离而落在真空室内。
如上述，在本实施例中，是由夹具24使电热加热器12对坩埚10进行按压固定。并且可制造多个同一夹具24作为备用。故得以任意使用备用的夹具24，亦可获得大略一致的按压力而固定。若不用夹具24而以钢索固定时，容易造成因作业者的每次作业情形不同而造成按压力的不同，但使用夹具24即能解决该问题。且因使用作业器具的作业本身较为简单，亦可谋求该作业更有效率。
取下夹具24即可由坩埚10将电热加热器12取下，在此状态可将蒸镀材料收容在坩埚10内，再一次设定夹具24即可予以固定。若是使用钢索，要再利用先经过解除的钢索(用过的钢索)的效果不大，但在使用夹具24的情况，即可重复多次使用。
夹具24的爪部24f具有与角材20上面大致同样面积。由此，得以使按压力均匀作用。
图8是表示坩埚10的纵长方向侧面，图9是表示短方向的侧面。如图所示在坩埚10外侧亦可施行金属涂覆25，金属涂覆25是以大略均匀厚度，在坩埚底面及坩埚10侧面涂覆至略均匀的高度。
如依上述构成，在电热加热器12产生以辐射或紧贴的热传递而传递于坩埚的热能，可通过红外线反射率及导热率较高的金属涂覆层25，再进行热辐射及热扩散，因而可将坩埚10内的温度予以均匀化。
坩埚侧壁的金属涂覆层25边缘，是高于置入坩埚10的蒸镀材料的高度位置，且低于坩埚10的上缘为宜。这种构成可使蒸镀材料的加热效率化，且可防止覆盖坩埚开口部的电热加热器12与金属涂覆层25形成电气接触。在本实施例中，坩埚10侧壁上的金属涂覆层是高度4cm与电热加热器12下端保持约2mm的距离。
而该金属涂覆层25是用红外线反射率及导热率优异的铝为宜。申请人也试过铜及铝的涂覆层，但铝涂覆层较容易进行均匀的蒸镀材料成膜。
铝涂覆作业是以熔射方法直接在坩埚实施涂覆为宜。也就是说：由熔射方法形成的涂覆层，可直接堆积在坩埚10壁面，而能维持坩埚10内的均匀温度。该铝涂覆层厚度例如为约150μm。
使用上述夹具24时，该金属制夹具24的曲面部24a是紧贴在坩埚10底面。而在该部分亦形成金属涂覆层25，但如上述，因有角材20存在于夹具24及电热加热器12间，故可防止电流流于金属涂抹25。
上述蒸发装置，如图10所示，是配置于真空室内。
在真空室内坩埚10是通过脚架102载置在承台100上。且以加热器支具30将电热加热器12两端的舌部12f与连接板28分别电气连接，而该连接板28是由蒸镀装置本体延伸，在加热器支具30的上面高度附近与弯向加热器支具30侧的一对电极26分别予以电气连接。而该一对电极26亦随承台100、坩埚10等一起移动。本实施例中，是在向加热器支具30侧屈折的电极26上面，由加热器支具30侧延设连接板28，且在电极26及连接板28重叠的位置，由螺钉将该电极26及连接板28予以螺紧连接。
承台100是与电极26一起，平行移动在坩埚10长方向的垂直方向。在坩埚10上方固定应予以蒸镀的基板。坩埚10是向垂直在坩埚10长方向的方向水平移动，将蒸发物予以堆积在基板上(面对在坩埚的配置面，在此为下面)。由此，可在固定的基板全面形成均匀的蒸镀层。
若需将多种蒸镀材料由不同坩埚10予以蒸镀时，先将该多个坩埚10予以整列配置，然后予以适宜移动即可进行蒸镀。
图11为加热器支具30的部分扩大图。电热加热器的舌部12f及连接板28是在加热器支具30通过铜板32，以螺钉34予以重叠固定。由此将舌部12f与连接板28予以面接触为电气连接。并通过解除该加热器支具30的固定，可解除加热器12与连接板28的连接，在该状况下，可将电热加热器12由坩埚10拆出。然后在拆除状态下再予以去除夹具24等的固定机构，将电热加热器12由坩埚10取出，以便于定期补充坩埚10内的蒸镀材料。
连接板28，是以电阻发热金属板28a及良质导电金属板28b构成为宜。
通过电阻发热金属板28a及良质导电金属板28b的组合，可使温度向坩埚10纵长方向均匀分布。换言之，其在坩埚10端部的温度，将与由坩埚10端部的辐射、电热加热器12舌部12f及连接板28产生的焦耳热(joule heat)，由电热加热器舌部12f传递在加热器支具30，及由连接板28至电极26的传递热等有关。因此，在电热加热器12中央部分与端部的温度并不一样。在本实施例中，是采用以该连接板28组合电阻发热金属板28a及良质导电金属板28b。由此，得以调整连接板28产生的热量，与通过连接板28的热传递。以使坩埚10温度沿纵长方向均匀分布。
依发明人的实验，该电阻发热金属板28a通过钽(Ta)金属构成，而良质导电金属板28b使用铜，即可将坩埚10的长方向温度予以均匀化。
更在良质导电金属板28b的与电热加热器舌部12f的面接触区域施行金镀金为宜。因作为电热加热器12使用的钽(Ta)较硬，故例如在以铜构成的良质导电金属板28b的接触区域中，该实效接触面积较小，或在电热加热器12组装时，其与连接板28的接触电阻将有极大变化。通过在该接触区域施行金镀金，可对应于电热加热器12舌部12f表面的凹凸，使金(Au)变形以增加实效接触面积，且可提高接触电阻的安定性。
连接板28为一种可挠状薄板，藉此构成，在电热加热器12流通电流时，虽因电热加热器温度上升而使电热加热器12产生热膨胀，亦仅使加热器支具30往纵长方向移动，而能保持坩埚10上部的关闭状态，及电热加热器12与连接板28的电气连接。
在上述实施例中，对电热加热器12是以电阻发热金属板28a在上，而将良质导电金属板28b重叠于下。但其上下关系可对调。但在此时，为使由蒸镀装置本体供给电流的电极26直接接触在流通较多电流的良质导电金属板28b，使连接板28的弯曲方向相反为宜。
如上述，依本实施例，是将连接板28以多种金属构成，即可将连接板28的电阻值调整为适宜数值，且亦可调整连接板28的发热量。由此，可将电热加热器12端部的温度可调整为适宜温度，因而，坩埚10内的蒸发材料得以均匀地予以加热气化。由此亦可由电热加热器12的多个开口12e向其纵长方向释放均匀蒸发物。蒸发材料通常为粉状物，有由加热熔融而蒸发，及升华而气化的两种形式。亦有液状蒸发材料，此时，是以加热蒸发予以气化。
因此，例如将该蒸发装置使用在有机EL面板等较大基板的蒸镀作业时，通过向坩埚10纵长方向的垂直方向移动，可在基板上形成均匀薄膜。
而且，通过在与电热加热器12的面接触区域施行金镀金，可使两者的面接触更为确实。因此，可于补充蒸镀材料时，使装卸电热加热器12前后的接触电阻不会变动而维持在小值。
尤在作为电阻发热金属板28a而使用与电热加热器12相同的钽(Ta)，且在良质导电金属板28b使用镀金铜，即可通过电热加热器12进行适当的蒸发物质加热作业。