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本发明涉及一种高精度的吸移装置。本发明的装置包括至少两个缸筒/活塞型泵送单元(1、2),该单元的柱塞杆由一共同的动力单元(MP)驱动。另外,每一泵送单元(1、2)的泵送腔都与一管路相连接,该管路依次包括:一条通到冲洗液容器(RL)中的管道;三个依次排列的电动阀(EV1、EV2、EV3);以及一部分管路,该管路部分将第二电动阀(EV2)与吸取装置(AP)连接起来。最大的工作腔室被连接到管路中用于连接。