一种真空镀膜生产线用运输系统.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201310688767.3

申请日:

2013.12.16

公开号:

CN104711538A

公开日:

2015.06.17

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/56申请公布日:20150617|||公开

IPC分类号:

C23C14/56

主分类号:

C23C14/56

申请人:

湘潭宏大真空技术股份有限公司

发明人:

黄国兴; 孙桂红; 祝海生; 黄乐; 梁红; 吴永光

地址:

411101湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号

优先权:

专利代理机构:

上海精晟知识产权代理有限公司31253

代理人:

冯子玲

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内容摘要

本发明公开了一种真空镀膜生产线用运输系统,包括一传送装置和一安装在传送装置上的装片装置,传送装置包括轨道和至少一个传送车,轨道带电,传送车包括至少两个电极引入件,电极引入件与轨道电连接驱动传送车在轨道上运行。与现有技术相比,采用传送装置和装片装置配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送车高效快速传送,传送车从轨道上引电来驱动在轨道上稳定移动,装片装置结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装,这样整个运输系统适用于多种镀膜生产线,节约资源,因此其应用前景十分广阔。

权利要求书

权利要求书
1.  一种真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于,包括:
一传送装置,所述传送装置包括轨道和至少一个传送车,所述轨道带电,所述传送车包括至少两个电极引入件,所述电极引入件与所述轨道电连接驱动所述传送车在所述轨道上运行;和
一装片装置,所述装片装置安装在所述传送装置上。

2.  根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述轨道包括一阳极导轨和一阴极导轨,所述阳极导轨和所述阴极导轨上通24V电压,两个电极引入件分别与所述阳极导轨和阴极导轨连接形成一个回路。

3.  根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述轨道进一步包括两绝缘座,两绝缘座分别放置在所述阳极导轨和阴极导轨下方,处于所述阳极导轨、阴极导轨与地面之间。

4.  根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述传送车进一步包括一车架、一车轮对、一电驱动件和一升压变压器,所述车轮对在所述轨道上运行,所述车架固定在所述车轮对上,所述电驱动件与所述车轮对电连接,所述电驱动件和所述升压变压器安装在车架上。

5.  根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:两电极引入件安装在车架上,两电极引入件的一端分别与所述阳极导轨和阴极导轨电连接,两电极引入件的另一端与所述升压变压器电连接,所述升压变压器同时与所述电驱动件电连接。

6.  根据权利要求5所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述传送车上进一步包括一传送座,通过所述传送座传送装片装置,所述传送座进一步包括一传送电机、至少两个传送元件和一传送带,所述传送电机与所述电驱动件电连接,所述传送电机与至少一个传送元件电连接,且两个所述传送元件经所述传送带传送驱动,所述传送电机带动所述传送元件同步运动。

7.  根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述装片装置包括一固定组件和一调节组件,所述调节组件安装在所述固定组件上,通过调节所述调节组件的位置安装不同规格的基片。

8.  根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述运输系统进一步包括一导向装置,导向装置包括一定位导向件和一装片导向件,定位导向件和装片 导向件配位,定位导向件和装片导向件分别设置在传送装置和装片装置上。

9.  根据权利要求5所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述车架包括相连的上车架和下车架装片装置安装在上车架上,所述下车架与车轮对固定连接,所述电驱动件与车轮对电连接,所述电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在下车架上。

10.  根据权利要求5所述的真空镀膜生产线用运输系统,其特征在于:所述车轮对分为一主动车轮对和一从动车轮对,所述主动车轮对与所述电驱动件电连接,所述电驱动件驱动所述主动车轮对转动,所述从动车轮对受所述主动车轮对牵引而转动。

说明书

说明书一种真空镀膜生产线用运输系统
技术领域
本发明涉及一种真空镀膜生产线领域,具体说,是涉及一种真空镀膜生产线用运输系统。
背景技术
真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的材料被称为基片,镀的材料被称为靶材。
在真空镀膜生产线中基片一般通过传送车传送,而现有技术中基片传送车的传动需要随着传送车的移动提供足够长的电线与电机连接才能驱动传送车,电线太多和太长,会使整条生产线杂乱五章,给安全生产带来很大安全隐患,且传送车的移动路线不确定,会导致传送车传送不准确,使整条生产线的效率降低。
轨道运输是已知陆上交通方式中较高效的一种,可分为单轨和双轨两类。单轨运输是用支架将轨道悬吊在空中,载运斗悬挂在轨道下部进行运输。双轨运输中的轨道是一种固定在地面上的窄形轨道,载运车在轨道上沿轨道运输。单轨和双规运输中的载运设备可通过人推或电力牵引运动。由于轨道和车轮均为光滑且坚硬的媒介,因此车轮滚动时摩擦力较小,不仅节约了能量,而且载运设备的舒适感也很强。正因为较小的摩擦力,轨道运输在承运相同重量的货物时能比其他路面运输方式节省五至七成能量损耗。进一步地,由于轨道能平均分散载运设备的重量,所以载运设备的载重量比其他路面运输的大。因此,利用轨道进行室内外运输作业受到了广泛的欢迎。
轨道供电是铁路电气化中常用于大众运输系统的供应电力方式。顾名思义,轨道供电的概念就是在运载设备行走的两条路轨上带电,或者在行走的两条路轨以外再另加上一条 或多条带电的铁轨。另增加的带电铁轨通常设于两轨之间或其中一轨的外侧。因为接触网需要支架而带电路轨不用,因此轨道供电的成本往往比接触网低,但暴露在户外的带电轨道由于带有高电压,容易造成触电危险,所以轨道供电在大型厂矿内部的货物也运输受到限制。
申请号为201020541208.1的专利公开了一种低压轨道供电电动平车,为相邻车间的设备移送提供了一种较为可行的运载设备,但是该专利的路轨是三轨道,并带有36V电压,人员接触时电击感明显。因此,大型厂矿内部一般使用人力推运或汽车托运等方式将产品搬运到不同生产线,这样的方式耗费的人力成本巨大。不仅如此,在一些对运输装配有特殊要求的领域,如真空镀膜领域,申请号为201020541208.1的专利中公开的小车结构在运输真空镀膜材料时会对镀膜材料造成损害,破坏镀膜的效果。不仅如此,在真空镀膜领域中,由于运输的玻璃产品都极为相似,很难用肉眼进行区分,在运输时稍不注意就可能将不同的玻璃产品进行了错误的归类。并且,常规运输时很难避免运输设备与被运输的玻璃材料接触。由于真空镀膜对洁净度要求很高,频繁的接触必将影响镀膜产品的质量。
因此怎样在大型生产现场,特别是真空镀膜领域生产线上配置低成本且安全的货物自动运输系统,仍是一个亟待解决的技术难题。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题,本发明的目的是提供一种真空镀膜生产线用运输系统,该运输系统安全传送真空镀膜生产线中基片,且配置成本低,节约人力物力。
为实现上述发明目的,本发明采用的技术方案如下:
一种真空镀膜生产线用运输系统,包括:
一传送装置,传送装置包括轨道和至少一个传送车,轨道带电,传送车包括至少两个电极引入件,电极引入件与轨道电连接驱动传送车在轨道上运行;和
一装片装置,装片装置安装在传送装置上。
优选地,装片装置包括一固定组件和一调节组件,调节组件安装在固定组件上,通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。
优选地,轨道包括一阳极导轨和一阴极导轨,阳极导轨和阴极导轨上通电,两个电极引入件分别与阳极导轨和阴极导轨连接形成一个回路。
优选地,轨道进一步包括两绝缘座,两绝缘座分别放置在阳极导轨和阴极导轨下方,处于阳极导轨、阴极导轨与地面之间,这样阳极导轨和阴极导轨上带电不会 与地面接触,保护人身安全。
优选地,传送车在轨道上运行,传送车进一步包括一车架、一车轮对、一电驱动件和一升压变压器,车轮对在轨道上运行,车架固定在车轮对上,电驱动件与车轮对电连接,电驱动件和升压变压器安装在车架上。
优选地,轨道上通有不高于36V电压,优选为24V电压,两电极引入件安装在车架上,两电极引入件的一端分别与阳极导轨和阴极导轨电连接,两电极引入件的另一端与升压变压器电连接,升压变压器同时与电驱动件电连接。
优选地,车架包括相连的上车架和下车架装片装置安装在上车架上,下车架与车轮对固定连接,电驱动件与车轮对电连接,电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在下车架上。
优选地,车轮对分为一主动车轮对和一从动车轮对,主动车轮对与电驱动件电连接,电驱动件驱动主动车轮对转动,从动车轮对受主动车轮对牵引而转动。
更优选地,车轮对包括车轮和一绝缘内衬,绝缘内衬与车轮连接,车轮在阳极导轨和阴极导轨上行驶,绝缘内衬防止车轮将阳极导轨和阴极导轨上的电传入传送车上。
优选地,传送车上进一步包括一传送座,通过传送座传送装片装置,传送座进一步包括一传送电机、至少两个传送元件和一传送带,传送电机与电驱动件电连接,传送电机与至少一个传送元件电连接,且两个传送元件经所述传送带传送驱动,传送电机带动传送元件同步运动。传送元件优选为传送轮。
优选地,固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板,第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架,第一支撑杆和第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域;调节组件安装在固定组件上,调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件,定位件可拆卸的安装在调节梁上,调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上。
更优选地,导槽区域进一步包括一导槽和一安置区,导槽设置在安置区内,导槽呈竖直方向。
更优选地,安置区的长度不小于导槽的长度,安置区的宽度不小于导槽的宽度。
更优选地,导槽区域包括第一导槽区域和第二导槽区域,第一导槽区域的面积大于第二导槽区域。
更优选地,固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域,中心导位区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中间。
更优选地,调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域,调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁,横梁的两端连接第一端部和第二端部,第一端部和第二端部的厚度小于横梁的厚度,第一端部和第二端部的厚度一致。
优选地,定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件,第一定位元件拆卸安装在一调节梁上,第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上,第一定位元件的安装位置高于第二定位元件。
更优选地,第一定位元件和第二定位元件通过螺钉安装在调节梁上。
更优选地,第一定位元件为一弹性元件;第二定位元件为一卡槽。
优选地,第二挡板上设置有移动轴,移动轴与第二挡板活动连接。
更优选地,移动轴的长度不小于第二挡板的长度。
更优选地,移动轴的长度与第二挡板的长度一致。
本发明的另一目的在于提供一种真空镀膜生产线用运输系统,该运输系统能安全稳固传送基片,基片装置准确安全进入传送装置中,运输系统进一步包括一导向装置,导向装置包括一定位导向件和一装片导向件,定位导向件和装片导向件配位,定位导向件和装片导向件分别设置在传送装置和装片装置上。
更优选地,装片导向件设置在第一挡板上,装片导向件进一步包括一第一导向元件、第二导向元件和第三导向元件,第二导向元件与第一挡板连接,第一导向元件与第二导向元件活动连接,第三导向元件设置在第一导向元件和第二导向元件之间。
更优选地,定位导向件设置在传送装置的上车架上,定位导向件包括一导向支架和一定位元件,定位元件设置在导向支架上,导向支架设置在上车架顶端。
更优选地,装片导向件与定位导向件配位时,定位元件与第三导向元件配合。
更优选地,第三导向元件为磁条。
更优选地,定位元件为磁条。
更优选地,定位元件与第三导向元件相排斥,定位元件与第三导向元件同为磁性元件且同磁极换句话说,两磁性元件同为N极或同为S极。
更优选地,定位元件与第三导向元件相吸引,定位元件与第三导向元件同为磁性元件且磁极相异。
更优选地,定位元件与第三导向元件相吸引,定位元件为磁性元件,第三导向元件为铁制材料制成。
更优选地,定位元件与第三导向元件相吸引,第三导向元件为磁性元件,定位元件为 铁制材料制成。
与现有技术相比,本发明提供的一种真空镀膜生产线用运输系统,该运输系统采用传送装置和装片装置配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送车高效快速传送,传送车从轨道上引电来驱动在轨道上稳定移动,装片装置结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装,这样整个运输系统适用于多种镀膜生产线,节约资源,因此其应用前景十分广阔。
附图说明
图1为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的一种优选实施方式主视图;
图2为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的传送车一种优选实施方式主视图;
图3为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的传送车一种优选实施方式侧视图;
图4为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的一种优选实施方式A-A放大图;
图5为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统装片装置一种优选实施方式主视图;
图6A为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统装片装置装第一种类型基片示意图;
图6B为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统装片装置装第二种类型基片示意图;
图6C为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统装片装置装第三种类型基片示意图。
具体实施方式
下面结合实施方式及对附图对本发明作进一步详细、完整地说明。
图1至图5,为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的一种优选实施方式示意图。真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线,该运输系统应用于真空镀膜生产线的基片传送流水线中,将基片从基片传送流水线传送至镀膜流水线中。如图1至图5所示,该运输系统包括一传送装置10和一装片装置20,装片装置20安装在传送装置10上。图2和图3为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的传送车的示意图。如图2和图3所示,传送装置10包括轨道11和至少一个传送车12,轨道11带电,传送车12包括至少两个电极引入件125,电极引入件125与轨道11电连接驱动传送车12在轨道11上运行。
装片装置20安装在传送装置10上,装片装置20包括一固定组件21和一调节组件22,调节组件22安装在固定组件21上,通过调节调节组件22的位置安装不同规格的基片。
图4为为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统的一种优选实施方式A-A放大图。如图4所示,轨道11包括一阳极导轨111和一阴极导轨112,阳极导轨111和阴 极导轨112上通电,两个电极引入件125分别与阳极导轨111和阴极导轨112连接形成一个回路。轨道11的阳极导轨111和阴极导轨112通有24V电压,24V电压对人体无伤害。
轨道11进一步包括两绝缘座113,两绝缘座113分别放置在阳极导轨111和阴极导轨112下方,处于阳极导轨111、阴极导轨112与地面之间,这样阳极导轨111和阴极导轨112上带电不会与地面接触,保护人身安全。
传送车12在轨道11上运行,传送车12进一步包括一车架121、一车轮对122、一电驱动件123和一升压变压器124,车轮对122在轨道11上运行,车架121固定在车轮对122上,电驱动件123与车轮对122电连接,电驱动件123和升压变压器124安装在车架121上。车轮对122分为一主动车轮对1221和一从动车轮对1222,主动车轮对1221与电驱动件123电连接,电驱动件1223驱动主动车轮对1221转动,从动车轮对1222受主动车轮对牵引而转动。车轮对122包括车轮12201和一绝缘内衬12202,绝缘内衬12202与车轮12201连接,车轮12201在阳极导轨111和阴极导轨112上行驶,绝缘内衬12202防止车轮12201将阳极导轨111和阴极导轨112上的电传入传送车12上。电驱动件123通过皮带带动主动轮对1221一侧的车轮12201从而驱动主动轮对1221转动。
为了安全稳固传送基片,装片装置20准确安全进入传送装置10中,运输系统进一步包括一导向装置30,导向装置30安装在传送装置10和装片装置20上。导向装置30包括一定位导向件31和一装片导向件32,定位导向件31和装片导向件32配合,定位导向件31和装片导向件32分别设置在传送装置10和装片装置20上。
电极引入件125的一端与轨道11电连接,电极引入件124的另一端与升压变压器124电连接,升压变压器124同时与电驱动件123电连接。
车架121包括相连的上车架1211和下车架1212,装片装置20安装在上车架1211上,下车架1212与车轮对122固定连接,电驱动件123与车轮对122电连接,电驱动件123、升压变压器124和电极引入件125安装在下车架1212上。
传送车12上进一步包括一传送座126,通过传送座126传送装片装置20,传送座126进一步包括一传送电机1261、至少两个传送元件1262和一传送带1263,传送电机1261与电驱动件123电连接,传送电机1261与至少一个传送元件1262电连接,且两个传送元件1262经所述传送带1263传送驱动,传送电机1261带动传送元件1262同步运动。传送元件1262优选为传送轮。
当装片装置20上安装基片后,传送车12上的电极引入件125从轨道11上引入电流, 经升压变压器124升压后传递给电驱动件123,电驱动件123将电分给车轮对122和传送电机1261,传送电机1261通过传送带1263带动传送元件1262运动,传送元件1262带动装片装置20移动;当装片装置20移动至传送车12后,电驱动件123驱动传送车12的车轮122在轨道11上滚动,传送车12带动装片装置20在轨道11上移动。
图5为为本发明提供的真空镀膜生产线用运输系统装片装置一种优选实施方式主视图。如图5所示,固定组件21包括第一支撑杆211、第二支撑杆212、第一挡板213和第二挡板214,第一支撑杆211、第一挡板213、第二支撑杆212和第二挡板214两两连接形成一方形框架,第一支撑杆211和第二支撑杆212上分别设有至少两个导槽区域215;调节组件22安装在固定组件21上,调节组件22包括至少两个调节梁221和至少一组定位件222,定位件222可拆卸的安装在调节梁221上,调节梁221安装在第一支撑杆211和第二支撑杆212的导槽区域215上。
导槽区域215进一步包括一导槽2151和一安置区2152,导槽2151设置在安置区2152内,导槽2151呈竖直方向。安置区2152的长度不小于导槽2151的长度,安置区2152的宽度不小于导槽2151的宽度。
导槽区域2151包括第一导槽区域2151A和第二导槽区域2151B,第一导槽区域2151A的面积大于第二导槽区域2151B。
固定组件21的第一支撑杆211和第二支撑杆212上进一步分别设有中心安置区域216,中心导位区域216设置在第一支撑杆211和第二支撑杆212中间。
调节梁221安装在第一支撑杆211和第二支撑杆212的导槽区域215和/或中心安置区域216,调节梁221包括一第一端部2211、一第二端部2212和一横梁2213,横梁2213的两端连接第一端部2211和第二端部2212,第一端部2211和第二端部2212的厚度小于横梁2213的厚度,第一端部2211和第二端部2212的厚度一致。
定位件222包括一第一定位元件2221和一第二定位元件2222,第一定位元件2221拆卸安装在一调节梁221上,第二定位元件2222可拆卸安装在另一调节梁221上,第一定位元件2221的安装位置高于第二定位元件2222。
一组定位件222可拆卸安装在调节梁221上时,第一定位元件2221安装在一调节梁221上,第二定位元件2222安装在另一调节梁221上;换句话说,一个调节梁221上可同时安装第一定位元件2221和第二定位元件2222,第一定位元件2221和第二定位元件2222安装在同一个调节梁221的两侧;在同一调节梁221上,第二定位元件2222安装位置高于第一定位元件2221,然而在一组定位件221时,第一定位元件2221的安装位置高于第二定 位元件2222。第一定位元件2221和第二定位元件2222通过螺钉安装在调节梁221上。第一定位元件2221优选为一弹性元件;第二定位元件2222优选为一卡槽。
第二挡板214上设置有移动轴2141,移动轴2141与第二挡板214活动连接。移动轴2141与第二挡板214通过螺栓连接。移动轴2141的长度不小于第二挡板214的长度,优选,移动轴2141的长度与第二挡板214的长度一致。装片装置20安装在传送小车12上时,移动轴2141在传送车12的传送元件1262上移动,当传送元件1262转动时,装片装置20的移动轴2141移动。
该装片装置20应用于整个镀膜生产线中,基片安装在装片装置20上,通过传送装置10的传送车12从传送流水线运送至镀膜流水线。在将基片安装至装片装置20上时,先测量基片的大小,依据基片的大小,确定调节梁221之间的距离。安装调节梁221至第一支撑架211和第二支撑架212之间时,优选调节梁221从下至上安装。在安装过程中将调节梁221的第一端部2211通过螺栓固定在第一支撑架211的导槽区域215中的导槽2151内,然后将调节梁221的第二端部2212与第二支撑架212的导槽区域215中的导槽2151连通,在保持调节梁221的横梁2213水平时,通过螺栓将调节梁221的第二端部2212固定在第二支撑架212上,同理安装其他的调节梁21。然后在调节梁221上安装定位元件222,通过定位元件222中的第一定位元件2221和第二定位元件2222将基片稳固安装在装片装置20上。图6A为该装片装置20装第一种类型基片示意图;图6B为该装片装置20装第二种类型基片示意图;图6C为该装片装置20装第三种类型基片示意图。
定位导向件31设置在传送装置10的上车架1211上,定位导向件31包括一导向支架311和一定位元件312,定位元件312设置在导向支架311上,导向支架311设置在上车架1211的顶端。装片导向件32设置在装片装置20的第一挡板213上,装片导向件32进一步包括一第一导向元件321、第二导向元件322和第三导向元件323,第二导向元件322与第一挡板213连接,第一导向元件321与第二导向元件322活动连接,第三导向元件323设置在第一导向元件321和第二导向元件322之间。装片导向件32与定位导向件31配位时,定位元件312与第三导向元件323配合。
定位元件312与第三导向元件323相排斥,定位元件312与第三导向元件323同为磁性元件且同磁极换句话说,两磁性元件同为N极或同为S极。
定位元件312与第三导向元件323相吸引,定位元件312与第三导向元件323同为磁性元件且磁极相异。
定位元件312与第三导向元件323相吸引,定位元件312为磁性元件,第三导向元件 323为铁制材料制成。
定位元件312与第三导向元件323相吸引,第三导向元件323为磁性元件,定位元件312为铁制材料制成。
整个基片运输装置的工作过程为:先测量基片大小,调节装片装置20中调节梁221和定位元件222的位置将基片安装在装片装置20上,在装片装置20预备进入传送车12时,传送车12上的电极引入件125从轨道11上引入电流,经升压变压器124升压后传递给电驱动件123,电驱动件123将电分给车轮对122和传送电机1261,传送电机1261通过传送带1263带动传送元件1262运动,传送元件1262带动装片装置20移动;在装片装置20在移动到传送车12的过程中,安装在装片装置20的第一挡板213上的装片导向件32与安装在上车架1211的定位导向元件31配合,保持整个装片装置20竖直状态;当装片装置20移动至传送车12后,电驱动件123驱动传送车12的车轮对122在轨道11上滚动,传送车12带动装片装置20在轨道11上移动。
最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明,不能理解为对本发明保护范围的限制,本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。

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本发明公开了一种真空镀膜生产线用运输系统,包括一传送装置和一安装在传送装置上的装片装置,传送装置包括轨道和至少一个传送车,轨道带电,传送车包括至少两个电极引入件,电极引入件与轨道电连接驱动传送车在轨道上运行。与现有技术相比,采用传送装置和装片装置配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送车高效快速传送,传送车从轨道上引电来驱动在轨道上稳定移动,装片装置结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基。

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