《用于激光刻后去除流体的设备和方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《用于激光刻后去除流体的设备和方法.pdf（13页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 101970364 A(43)申请公布日 2011.02.09CN101970364A*CN101970364A*(21)申请号 200980109898.3(22)申请日 2009.01.0912/008,892 2008.01.15 USC03B 33/09(2006.01)(71)申请人康宁股份有限公司地址美国纽约州(72)发明人 AA阿布拉莫夫 罗伟炜PA派克斯 RA拉赫曼周乃越(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司 31100代理人顾峻峰 李丹丹(54) 发明名称用于激光刻后去除流体的设备和方法(57) 摘要一种用于在激光刻划过程中干燥衬底表面的装置。
2、。在激光刻划过程中，细冷却液体射流跟随激光束以形成和传播局部孔隙。刻划的精度和工艺的总体稳定性取决于激光束与流体流的对准精度。一方面，该装置具有导管，该导管具有与至少一个喷嘴孔连通的至少一个内腔。该导管构造成与加压气体源连通以将加压气体引入腔内。加压气体形成气体幕，该气体幕用于从衬底的表面清除冷却流体。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国家阶段日2010.09.14(86)PCT申请的申请数据PCT/US2009/000120 2009.01.09(87)PCT申请的公布数据WO2009/091510 EN 2009.07.23(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(。
3、12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 6 页CN 101970364 A 1/1 页21. 一种用于分割板材的激光刻划方法， 包括 ：沿一线将激光束传递到所述板材的表面 ；在 所 述 激 光 束 之 后 将 急 冷 液 体 流 沿 与 所 述 激 光 束 大 致 相 同 的 路 径 传 送 到 所 述 表 面 上 ；以及通 过 将 弯 曲 气 体 幕 引 导 到 所 述 表 面 而 从 所 述 表 面 去 除 所 述 急 冷 液 体， 其 中 所 述 弯 曲 气体幕局部围住所述液体流。2. 如 权 利 要 求 1 所 述 的 激 光 刻 划 方 法， 其 特 征 在 于，。
4、 所 述 弯 曲 气 体 幕 基 本 上 不 改 变 所述液体流在所述表面上的预期行进路径。3. 如权利要求 1 或 2 所述的激光刻划方法， 其特征在于， 所述板材包括玻璃， 且所述急冷液体流包括水。4. 如 前 述 权 利 要 求 中 任 一 项 所 述 的 激 光 刻 划 方 法， 其 特 征 在 于， 所 述 气 体 幕 基 本 上 干燥所述表面。5. 如 前 述 权 利 要 求 中 任 一 项 所 述 的 激 光 刻 划 方 法， 其 特 征 在 于， 通 过 以 下 装 置 将 所 述气体幕传送到所述表面上， 所述装置包括 ：导 管， 所 述 导 管 具 有 外 表 面 并 在 所。
5、 述 外 表 面 的 一 部 分 内 限 定 至 少 一 个 内 腔 和 至 少 一 个喷 嘴 孔， 其 中 所 述 至 少 一 个 喷 嘴 孔 与 所 述 至 少 一 个 腔 连 通， 且 所 述 导 管 具 有 第 一 端 部、 第 二端 部 以 及 大 致 在 所 述 第 一 端 部 与 第 二 端 部 分 之 间 的 中 部， 且 所 述 导 管 的 形 状 做 成 使 所 述 第一端部、 第二端部以及中部不共线 ；其 中 所 述 至 少 一 个 喷 嘴 孔 构 造 成 将 由 所 述 至 少 一 个 内 腔 接 收 的 加 压 气 体 的 层 流 推 向所述衬底的所述表面， 从而形成。
6、大致符合所述导管形状的气体幕。6. 一种用于在激光刻划过程中干燥衬底表面的装置， 包括 ：导 管， 所 述 导 管 具 有 外 表 面 并 在 所 述 外 表 面 的 一 部 分 内 限 定 至 少 一 个 内 腔 和 至 少 一 个喷 嘴 孔， 其 中 所 述 至 少 一 个 喷 嘴 孔 与 所 述 至 少 一 个 腔 连 通， 且 所 述 导 管 具 有 第 一 端 部、 第 二端 部 以 及 大 致 在 所 述 第 一 端 部 与 第 二 端 部 分 之 间 的 中 部， 且 所 述 导 管 的 形 状 做 成 使 所 述 第一端部、 第二端部以及中部不共线 ；其 中 所 述 至 少 一。
7、 个 喷 嘴 孔 构 造 成 将 由 所 述 至 少 一 个 内 腔 接 收 的 加 压 气 体 的 层 流 推 向所述衬底的所述表面， 从而形成大致符合所述导管形状的气体幕。7. 如权利要求 6 所述的装置， 其特征在于， 所述导管是大致 U 形 、 V 形或 C 形的。8. 如权利要求 6 或 7 所述的装置， 其特征在于， 所述至少一个内腔包括多个内腔。9.如权利要求 6至 8中任一项所述的装置， 其特征在于， 所述至少一个内腔包括至少三个 内 腔， 且 所 述 内 腔 中 的 至 少 一 个 限 定 在 所 述 导 管 的 所 述 中 部 内， 所 述 内 腔 中 的 至 少 一 个限。
8、 定 在 所 述 导 管 的 所 述 第 一 端 部 内， 且 所 述 内 腔 中 的 至 少 一 个 限 定 在 所 述 导 管 的 第 二 端 部内。10. 如权利要求 6 至 9 中任一项所述的装置， 其特征在于， 所述至少一个喷嘴孔包括至少 三 个 喷 嘴 孔， 且 所 述 多 个 喷 嘴 孔 中 的 第 一 个 限 定 在 所 述 中 部 的 外 表 面 内 并 与 限 定 在 所 述导 管 的 所 述 中 部 内 的 所 述 至 少 一 个 内 腔 连 通， 所 述 多 个 喷 嘴 孔 中 的 第 二 个 限 定 在 所 述 导 管的 所 述 第 一 端 部 的 外 表 面 内 并。
9、 与 所 述 导 管 的 所 述 第 一 端 部 内 限 定 的 所 述 至 少 一 个 内 腔 连通， 所 述 多 个 喷 嘴 孔 的 第 三 个 限 定 在 所 述 导 管 的 所 述 第 二 端 部 的 外 表 面 内 并 与 与 限 定 在 所述导管的所述第二端部内的所述至少一个内腔连通。权 利 要 求 书CN 101970364 A 1/5 页3用于激光刻后去除流体的设备和方法0001 相关申请0002 本 申 请 要 求 2008 年 1 月 15 日 提 交 的 美 国 专 利 申 请 序 列 号 第 12/00892 号 的 权 益和优先权， 其内容作为依据并以参见的方式纳入本。
10、文。技术领域0003 本 发 明 的 领 域 总 地 涉 及 玻 璃 衬 底 的 激 光 刻 划， 且 更 具 体 地 涉 及 一 种 在 激 光 刻 划 后清除冷却流体的设备和方法。背景技术0004 在 生 产 LCD 玻 璃 时， 必 须 切 割 玻 璃 衬 底。 在 通 过 机 械 划 线 和 断 裂 的 玻 璃 常 规 分 割中， 沿 边 缘 形 成 有 微 裂 缝， 如 果 该 边 缘 没 有 作 进 一 步 的 处 理， 则 其 可 发 展 成 大 裂 缝。 使 用 激光 刻 划 衬 底 表 面 有 助 于 避 免 微 裂 缝 且 显 著 地 改 进 了 激 光 刻 划 边 缘 的。
11、 质 量。 据 测 算， 激 光 切割脆性材料的边缘强度比通过传统方法得到的边缘强度高 30。 此外， 激光切割材料的弯曲强度可提高 100。0005 在 操 作 中， 热 感 应 激 光 分 割 是 无 接 触 方 法， 其 不 会 产 生 颗 粒， 且 由 于 激 光 相 对 于 玻璃定位的 灵活性， 热感应激光分割方法允许生产几乎任何切割轮廓。 通常， 玻璃表面的一个区域通过在红外光谱范围内工作的 CO2激光加热。 激光束相对于玻璃运动且暴露于激光的玻璃表面随后从最优的距离被冷却。一方面， 施加冷却剂使得沿 “加热的 ”切割线的局部表面突然冷却。0006 冷 却 过 程 中 产 生 的 。
12、张 应 力 在 玻 璃 表 面 上 传 播 初 始 流， 这 形 成 了 局 部 孔 隙。 尽 管 可能 使 用 多 种 冷 却 剂， 但 在 刻 划 例 如 LCD 衬 底 具 有 非 常 低 的 膨 胀 系 数 的 玻 璃 的 情 况 中， 冷 却液通常是水或水浮质。 在该方面中， 在过程中很多水由于激光束产生的热而蒸发。 然而， 在一 些 应 用 中， 一 些 冷 却 剂 留 在 衬 底 上 的 刻 划 线 周 围 区 域 中， 必 须 去 除 这 些 冷 却 液 以 保 证 表面保持干燥及清洁。0007 需 要 一 种 非 接 触 且 通 常 不 干 扰 冷 却 剂 射 流 或 导 致。
13、 玻 璃 偏 移 或 振 动 的 设 备。 此 外，需要非常在玻璃表面高速相对运动时高效地包含和去除冷却剂的设备。发明内容0008 本 发 明 涉 及 用 于 激 光 刻 划 板 材 的 装 置 和 方 法。 在 本 发 明 的 工 艺 的 一 些 实 施 例 中，其包含从表面去除急冷液体的步骤。 在一个实施例中， 在激光刻划过程中， 细冷却液体射流跟 随 激 光 束 来 形 成 和 传 播 局 部 孔 隙。 通 常， 刻 划 的 精 度 和 工 艺 的 总 体 稳 定 性 取 决 于 激 光 束与液体射流的对准精度。 考虑到从玻璃表面去除流体应不影响冷却液体射流的位置和稳定性。0009 根据。
14、本发明的第一方面， 提供一种用于分割板材的激光刻划工艺， 包括 ：0010 沿一线将激光束传递到板材的表面 ；0011 在激光束之后将冷却液体流沿与激光束大致相同的路径传送到表面上 ； 以及说 明 书CN 101970364 A 2/5 页40012 通 过 将 弯 曲 气 体 幕 引 导 到 表 面 而 从 表 面 去 除 冷 却 液 体， 其 中 弯 曲 气 体 幕 局 部 围 住液体流。0013 根 据 本 发 明 的 第 二 方 面， 该 装 置 包 括 导 管， 该 导 管 具 有 与 至 少 一 个 喷 嘴 孔 流 体 连通 的 至 少 一 个 内 腔。 该 导 管 构 造 成 与。
15、 加 压 气 体 源 连 通 以 将 加 压 气 体 引 入 内 腔 内。 一 方 面，该 导 管 具 有 连 接 到 中 部 的 相 应 端 的 第 一 端 部 和 第 二 端 部， 该 中 部 可 定 位 在 第 一 和 第 二 端 部之间。 在另一方面中， 该导管的形状可设置成使得相应第一端部、 第二端部以及中部相对于彼此不同轴定位。附图说明0014 本 发 明 较 佳 实 施 例 的 这 些 和 其 它 特 征 将 在 其 中 参 照 附 图 的 详 细 描 述 中 变 得 更 加显而易见， 在附图中 ：0015 图 1 是根据本发明的用于干燥衬底表面的装置的一个实施例的部分透视立体图。
16、。0016 图 2 是图 1 的干燥装置的剖切正视图， 示出多个内腔， 多个喷嘴孔以及出口角。0017 图 3 是图 1 的干燥装置的剖切正视图， 示出大约 90 度的出口角。0018 图 4 是图 1 的干燥装置的剖切左视图， 示出装置中部内的内腔。0019 图 5 是图 1 的干燥装置的俯视平面图。0020 图 6 是 图 1 的 干 燥 装 置 的 一 个 实 施 例 的 立 体 图， 示 出 从 该 装 置 向 衬 底 发 射 的 气 体幕。0021 图 7 是相对于激光束和液体射流定位的图 1 的装置的俯视平面图。0022 图 8 是图 1 的干燥装置的剖切正视图， 示出缩短的细长喷。
17、嘴孔。0023 图 9 是衬底上静压轮廓示意图， 示出图 3 的装置在离衬底大约 4mm 的距离处。0024 图 10 是衬底上静压轮廓示意图， 示出图 3 的装置在离衬底大约 10mm 的距离处。0025 图 11 是衬底上静压轮廓示意图， 示出图 3 的装置在离衬底大约 20mm 的距离处。0026 图 12 是衬底上静压轮廓示意图， 示出图 3 的装置在离衬底大约 20mm 的距离处。具体实施方式0027 参 照 下 面 的 详 细 描 述、 实 例、 附 图 和 权 利 要 求 书、 以 及 其 之 前 和 之 后 的 描 述， 可 更容易地理解本发明。 然而， 在披露和描述本设备、 。
18、系统和 /或方法之前， 应该理解， 除非另外规 定， 本 发 明 并 不 局 限 于 所 披 露 的 特 定 设 备、 系 统 和 / 或 方 法， 而 是 当 然 同 样 可 作 改 变。 还应当理解本文所使用的术语仅为了描述特定的方面而不意味着是限制性的。0028 本 发 明 的 以 下 描 述 被 提 供 为 本 发 明 的 最 好 的 实 现 示 教， 通 常 称 为 实 施 例。 为 此，相 关 领 域 的 技 术 人 员 能 够 认 识 并 理 解， 对 本 文 所 描 述 的 本 发 明 的 各 个 方 面 可 以 作 出 许 多 改变， 并且同样能够获得本发明的有益结果。 同样。
19、不言而喻， 通过选择本发明的一些特征而不利 用 其 他 特 征， 可 以 获 得 一 些 本 发 明 所 需 的 益 处。 因 此， 本 领 域 的 工 作 人 员 可 以 认 识 到， 对本 发 明 作 出 许 多 改 进 和 调 整 是 可 能 的， 在 某 些 情 况 下 甚 至 是 所 希 望 的， 它 们 是 本 发 明 的 一部分。因此， 提供以下描述作为对本发明原理的说明而不构成对本发明的限制。0029 在全文中所使用的单数形式 “一 ”“一个 ”和 “该 ”包括复数指示物， 除非文中清楚地 另 有 说 明。 因 此， 例 如 “一 喷 嘴 孔” 可 以 包 括 两 个 或 更 。
20、多 个 这 样 的 喷 嘴 孔， 除 非 文 中 另 外指明。说 明 书CN 101970364 A 3/5 页50030 在 本 文 中， 范 围 可 表 达 为 从 “约” 一 个 特 定 值 和 / 或 到 “约” 另 一 特 定 值。 当 表 示这样一个范围的时候， 另一个方面包括从一个特定值和 /或到另一特定值。 类似地， 当使用前缀 “约 ”表示数值为近似值时， 应理解， 具体数值形成另一个方面。还应理解， 每个范围的端值无论是与另一个端值联系起来还是独立于另一个端值， 都是有意义的。0031 如 同 这 里 所 使 用 的 那 样， 术 语 “可 供 选 择 的” 或 “可 供 。
21、选 择 地” 是 指 后 述 的 事 件 或情况可能发生或可能不发生， 该描述包括所述事件或情况发生和不发生的情况。0032 本 发 明 涉 及 激 光 刻 划 过 程 中 用 于 干 燥 衬 底 50 表 面 的 装 置 和 方 法。 在 激 光 刻 划 过程 中， 细 冷 却 液 体 射 流 100 跟 随 激 光 束 200 来 形 成 和 传 播 局 部 孔 隙。 刻 划 的 精 度 和 工 艺 的总 体 稳 定 性 取 决 于 激 光 束 与 流 体 流 的 对 准 精 度。 由 此， 从 表 面 去 除 流 体 应 不 影 响 冷 却 液 体射流 100的位置和稳定性。 尽管， 在。
22、一较佳实施例中 ， 在衬底 50保持静止的同时激光束 200与干燥装置大致沿刻划路径 200运动， 但也可考虑到衬底运动而激光保持静止。 此外， 在一方 面， 从 冷 却 液 体 射 流 推 出 的 流 体 是 水。 然 而， 可 考 虑 其 他 冷 却 流 体， 例 如 但 不 限 于， 液 氮、空气 -水混合物、 乙醇与去离子水的混和或二氧化碳。 当激光束被衬底材料吸收时， 将沿行进 路 径 的 区 域 的 温 度 加 热 到 高 的 水 平。 冷 却 液 体 流 用 作 急 冷 介 质， 其 跟 随 激 光 束 的 行 进 路径， 允许沿路径产生和传播裂缝。0033 根据本发明的方法， 。
23、将弯曲气体幕引导到待刻划的衬底的表面。 在某些实施例中，理 想 的 是 该 幕 应 至 少 部 分 地 围 绕 急 冷 液 体。 在 某 些 实 施 例 中， 该 气 体 幕 按 与 急 冷 流 体 流 基本 相 同 的 方 向 前 进。 在 某 些 其 它 实 施 例 中， 气 体 幕 相 对 于 衬 底 基 本 上 保 持 静 止。 在 某 些 其它实施例中， 气体幕基本上完全从衬底表面去除急冷液体。 在某些其它实施例中， 气体幕包括空气。0034 在一个方面， 该装置包括具有至少一个内腔 310的导管 300。 与腔 310连通的是导管 300 的外表面 302 的一部分内的至少一个喷嘴。
24、孔 320。 该导管构造成与加压气体源连通以将加压气体引入腔内。 在一方面， 导管具有第一端部 330、 第二端部 340 以及大致在所述第 一 和 第 二 端 部 分 之 间 的 中 部 350。 在 另 一 方 面， 导 管 的 形 状 做 成 使 所 述 第 一 端 部 330、 第二端部 340 以及中部 350 不共线。 同样， 在一示例性方面， 导管 300 呈大致 U 形。 在又一示例 性 方 面， 导 管 呈 大 致 C 形。 在 又 一 示 例 性 方 面， 导 管 呈 大 致 V 形。 然 而， 也 可 考 虑 其 他 导管形状。0035 可理解的是可以有一个喷嘴孔 320。
25、或多个喷嘴孔构造成以形成与导管 300形状大致相符的气体幕 110的方式向衬底的表面推进由内腔接纳的加压气体层流。 “幕 ”指的是气体形成层状分隔。幕 110 可具有连续和间断的部分， 或其可基本上连续或基本上间断。0036 在 一 方 面， 有 多 个 内 腔。 例 如 但 不 限 于， 可 有 3 个 内 腔 310， 内 腔 中 的 至 少 一 个 限定 在 导 管 的 中 部 内， 内 腔 中 的 至 少 一 个 限 定 在 导 管 的 第 一 端 部 内， 且 内 腔 中 的 至 少 一 个 限定 在 导 管 的 第 二 端 部 内。 每 个 腔 310 可 构 造 成 与 加 压 。
26、气 体 源 连 通， 或 它 们 可 互 相 连 通 而 相应腔中的一个与加压气体源连通。 在另一个方面， 每个腔构造成与加压气体源连通， 到每个腔的加压气体流动是单独可控的。 在一示例性方面中， 加压气体包括空气， 但可考虑其它气体。0037 在 另 一 方 面， 该 装 置 包 括 至 少 三 个 喷 嘴 孔。 喷 嘴 孔 中 的 一 个 限 定 在 中 部 的 外 表 面302 内并与限定在导管的中部内的内腔 310 连通。 喷嘴孔中的另一个限定在导管的第一端部 的 外 表 面 内， 并 与 限 定 在 导 管 的 第 一 端 部 内 内 腔 连 通。 第 三 喷 嘴 孔 320 限 定。
27、 在 导 管 300说 明 书CN 101970364 A 4/5 页6的 第 二 端 部 的 外 表 面 内， 并 与 限 定 在 导 管 的 第 二 端 部 内 的 内 腔 连 通。 如 图 所 示， 在 一 方 面，限定有第一、 第二以及第三喷嘴孔的相应外表面大致共面。0038 在 另 一 方 面， 喷 嘴 孔 每 个 形 成 为 限 定 在 导 管 的 大 致 共 面 表 面 部 分 内 的 细 长 狭 缝。如上所述， 每个喷嘴孔构造成将加压气体的层流向衬底表面引导。 在另一示例性方面， 喷嘴孔构造成以大约 30至大约 90范围的出口角 将加压气体的层流向衬底表面引导。 在另 一 方 。
28、面， 喷 嘴 孔 构 造 成 以 大 约 30到 大 约 45范 围 的 出 口 角 将 加 压 气 体 的 层 流 向 衬底 表 面 引 导。 在 又 一 方 面， 喷 嘴 孔 构 造 成 以 大 约 75到 大 约 90范 围 的 出 口 角 将 加 压气 体 的 层 流 向 衬 底 50 表 面 引 导。 在 一 方 面， 从 喷 嘴 的 出 口 角 与 相 对 于 衬 底 表 面 的 入 射角互补。0039 除 了 出 口 角 之 外， 腔 和 喷 嘴 孔 具 体 的 几 何 尺 寸 以 及 外 表 面 形 状 对 流 体 去 除 装 置 的性 能 可 具 有 实 质 性 影 响。 已。
29、 完 成 本 发 明 的 至 少 两 个 方 面 的 原 型 测 试。 在 一 方 面， 如 图 1 所示， 喷嘴孔包括细长狭缝。 用在从大约 30到大约 90的范围内的多个出口角对孔进行测试。结 果， 具 有 从 大 约 75 到 大 约 90 的 出 口 角 的 方 面 对 冷 却 流 体 射 流 的 影 响 最 小， 虽 然 较 小 的出 口 角 提 供 了 较 好 的 清 洁 效 果， 但 与 冷 却 流 体 射 流 有 更 多 干 涉。 如 可 预 期 的 那 样， 图 9-11示 出 衬 底 上 的 静 压 随 着 装 置 进 一 步 远 离 衬 底 定 位 而 减 小。 在 这 。
30、些 图 中， 明 亮 部 分 代 表 较 高静压的区域。 图 9 示出当装置在 4mm 处的静压轮廓 ； 图 10 示出在 10mm 处 ； 且图 11 示出在20mm 处。 如 可 看 到 的 那 样， 当 设 备 进 一 步 远 离 衬 底 定 位 时， 衬 底 上 的 静 压 轮 廓 被 限 定 得 越少。0040 在 另 一 方 面， 如 图 8 所 示， 对 流 体 去 除 装 置 进 行 了 测 试， 这 里 喷 嘴 孔 包 括 了 比 图 2和 3 中 装 置 短 的 细 长 狭 缝。 这 种 几 何 尺 寸 减 小 了 由 腔 内 壁 产 生 的 气 体 流 的 干 扰， 其 。
31、导 致 了在 远 离 流 体 去 除 装 置 处 较 少 的 紊 流 气 流。 这 在 示 出 图 12 中， 图 12 示 出 当 图 8 设 备 在 大 约25mm处定位时， 衬底上的静压轮廓。 如可 看到的那样， 该设备在较长的范围 (即 25mm)呈现比图 2 和图 3 的设备较好的效果， 如图 12 相对于图 11 所表明的那样。 还示出， 在较接近于衬底的距离处 ( 即 10mm)， 包括较长细长狭缝的设备比具有较短细长狭缝的设备效果更好。0041 现 参 考 图 7， 冷 却 液 体 源 大 致 跟 随 激 光 束 200 的 刻 划 路 径 210。 在 一 方 面 中， 导 。
32、管至 少 基 本 包 围 位 于 腔 360 中 的 冷 却 液 体 源， 腔 360 由 导 管 相 应 的 第 一 和 第 二 端 部 以 及 中 部350形成。 在该方面中， 如可理解那样， 气体幕 110部分地围绕冷却液体源， 且当冷却液体源运动时， 气体幕基本清洁衬底上的冷却液体并防止冷却液体进一步弄湿衬底。 在一方面中，装置在使用时远离衬底大约 0.5mm至大约 50mm定位。 另一方面， 装置在使用时远离衬底大约 1mm 至大约 12mm 定位。0042 在 一 方 面， 导 管 可 包 括 多 种 足 够 刚 性 且 耐 用 的 材 料。 例 如 但 不 限 于， 导 管 可 。
33、包 括钢、 铝、 黄 铜、 镍 或 其 它 金 属 合 金， 或 聚 合 物 等。 在 又 一 方 面， 如 图 1 所 示， 外 表 面 是 小 圆 角的， 这 对 产 生 柯 恩 达 (Coand) 效 果 以 沿 气 体 幕 方 向 引 导 一 些 外 部 空 气 流 可 具 有 有 利 的 影响。 已示出的用于导管的一些表面特征是有利的， 包括低的表面粗糙度 (大约 32或更低的AA 粗 糙 度 )、 承 受 激 光 刻 划 工 艺 的 典 型 工 作 环 境 温 度 的 能 力 并 耐 腐 蚀。 本 领 域 具 有 普 通 技术的人员应理解各种材料可能适合或不适合导管。0043 尽 。
34、管 在 前 述 的 说 明 书 中 已 经 披 露 了 本 发 明 的 若 干 实 施 例， 但 是 熟 悉 本 领 域 的 技 术人 员 在 得 益 于 前 述 描 述 和 相 关 附 图 中 所 呈 现 的 说 明 之 后 应 能 理 解， 可 以 想 到 本 发 明 所 适 合的 许 多 改 型 和 其 它 实 施 例。 因 此， 应 能 理 解， 本 发 明 不 限 于 上 文 所 披 露 的 具 体 实 施 例， 许 多说 明 书CN 101970364 A 5/5 页7改 型 和 其 它 的 实 施 例 都 将 包 含 到 附 后 权 利 要 求 书 的 范 围 之 内。 而 且， 尽 管 这 里 以 及 附 后 的权 利 要 求 书 中 采 用 了 特 定 术 语， 但 是 这 些 特 定 术 语 仅 仅 用 作 一 般 描 述 意 义， 而 不 用 来 限 制本发明和附后的权利要求。说 明 书CN 101970364 A 1/6 页8图 1图 2说 明 书 附 图CN 101970364 A 2/6 页9图 3图 4说 明 书 附 图CN 101970364 A 3/6 页10图 5图 6说 明 书 附 图。