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本发明公开了一种铣刀，其主要是在铣刀的断面表面自铣刀缘边以非同心圆方式向断面中心设有适当深度的螺旋槽，并于铣刀的断面表面、外缘面及螺旋槽两侧面通过镀钻或铸钻处理，在进行研磨、钻孔或铣磨过程中用冷却液体冷却时，冷却液体能随着铣刀转动而快速流进螺旋槽并充斥于内及快速排出，不滞留于螺旋槽内，能从事硬材质的加工，延长铣刀的使用寿命。

1.  一种铣刀，其特征在于：该铣刀的刀头断面表面自铣刀缘边以非同心圆方式向断面中心设有适当深度的螺旋槽。

2.  根据权利要求1中所述的铣刀，其特征在于：所述铣刀的断面表面及螺旋槽两侧面通过镀钻或铸钻处理，形成一镀钻膜。

3.  根据权利要求1中所述的铣刀，其特征在于：所述铣刀的刀头外缘镀钻或铸钻有一适当宽度的镀钻膜。

4.  根据权利要求1中所述的铣刀，其特征在于：所述铣刀在加工切削刀面呈现出螺旋圆周线面。

5.  根据权利要求1中所述的铣刀，其特征在于：所述螺旋槽的两侧顶缘设有切面。

6.  根据权利要求5中所述的铣刀，其特征在于：所述切面与螺旋槽的垂直面呈锐角。

铣刀
技术领域
本发明涉及一种铣刀，更具体地说，涉及一种在铣磨面设有螺旋槽的铣刀。
背景技术
半导体在制作过程中，晶圆表面的平整化是重要的一道工序。为了在更小地面积上堆积更密集的线路，晶圆每层的厚度与平整度都有严格要求，平整化过程有赖于抛光磨平，而此一制程又有赖于铣床。
铣床根据加工材质的种类来交换使用铣刀，如前述的晶圆外，石英、钨钢、石材、宝石、氧化锆、氧化硼、氧化硅、陶瓷等均属于硬质材料，在进一步加工需要研磨、钻孔、铣磨等作业，需要具有耐高温、耐磨特性的铣刀才足以负荷，并且于铣刀的铣磨表面部位镀上一层钻石膜，以达到铣磨工具的材质硬度。
如图1所示，铣刀10具有一呈圆柱体的铣磨刀头11，其上设有一刀杆12，用于与铣床结合(图中未示出)，该刀头11表面设有一层镀钻膜13。该铣刀10于铣磨作业时，由于铣床高速旋转而带动铣刀10于物品上铣磨，两者相互摩擦产生的温度极高，必须在铣磨过程中施以水或冷却液降温，以防止铣刀10崩裂。但用于铣磨的刀尖11的圆柱体断面为一平面，且与物品紧密接触，冷却液体无法进入而有效降温，则需停止作业待降温后再进行铣磨，否则崩裂的情况将不因冷却液体而改善，存在使用寿命较短的缺点。
如图2所示，铣刀20具有一呈圆柱体的刀头21，其上设有一刀杆22，用于与铣床结合(图中未示出)，该刀头21表面设有一层镀钻膜23，并自刀头21缘边向内挖设有一具开口的沟槽24，除提供冷却液体自沟槽24进入刀头21内部加以冷却外，还有利于钴孔作业，但由于铣刀20为高速旋转运动，沟槽24为直线型，冷却液体不易于在旋转动作中进入沟槽24，同时已进入沟槽24的冷却液体也不易随着旋转动作而排出，产生冷卸液体滞留于沟槽24内，致使冷却效果不佳，同样存在有崩裂及使用寿命较短的缺点。
发明目的
本发明的主要目的在于提供一种能使冷却液充分冷却铣刀，从而延长使用寿命的铣刀。
本发明中铣刀的断面表面自铣刀缘边以非同心圆方式向断面中心设有适当深度的螺旋槽，该螺旋槽依据铣床的旋转方向而设，使冷却液体能随着旋转动作进入螺旋槽中，且随着旋转动作被带离螺旋槽，不滞留于螺旋槽内，延长使用寿命。
本发明的另一目在于提供一种具有多用途的铣刀。
本发明中的铣刀在断面表面、外缘面及螺旋槽两侧面通过镀钻或铸钻处理，而使其具有表面研磨、钻孔、铣磨、加工切削等用途。
本发明的又一目在于提供一种能增进加工速率与精密度的铣刀。
本发明中的铣刀在研磨、铣磨或加工切削的刀面，呈现螺旋圆周线面，较传统铣刀所呈现的圆周面大，能增进加工速率与精密度。
下面将结合附图对本发明中的具体实施例作进一步详细说明。
图1是第一种传统镀钻石膜铣刀的立体图；
图2是第二种传统镀钻石膜铣刀的立体图；
图3是本发明中铣刀的立体图；
图4是本发明中铣刀另一角度的立体图；
图5是本发明中螺旋槽的局部放大剖视图。
如图3所示，本发明中的铣刀30包括有刀头部31与刀杆部32，刀杆部32供车床挟持并受其控制而转动；刀头部31的缘边设有一开口33。
如图4所示，刀头部31的断面表面自开口33以非同心圆方式向断面中心设有适当深度的螺旋槽34，并于刀头部31的断面表面、螺旋槽34两侧面及于外围表面通过镀钻或铸钻处理，形成有一层镀钻膜35，同时，于刀头外缘镀钻或铸钻有一适当宽度的镀钻膜。
如图5所示，螺旋槽34的两侧顶缘形成有切面341，该切面341与螺旋槽34的垂直面呈一锐角型式，以提供铣刀30具有研磨、铣磨、钻孔等多种用途。
在进行研磨、钻孔或铣磨并用水或冷却液体冷却时，冷却液体随着铣刀30转动，自开口33流入螺旋槽34中，并依循螺旋槽34的路径而流动至螺旋槽34的末端(即刀头部31断面的中心点)，而流入的冷却液体即因已非同心圆方式设计的螺旋槽34旋转产生的离心力带出，使冷却液易于螺旋槽34内形成流动状，能充分冷却铣刀30的每一角落，具有良好的冷却效果，解决传统铣刀热崩裂的缺点，延长铣刀的使用奉命。
另外，本发明中的铣刀30在加工切削刀面呈现出螺旋圆周线面，比一般传统铣刀所呈现的圆周面更大，具有加工速度更快且更精密的特点。
综上所述，本发明中的铣刀能有效解决现有铣刀因铣磨硬质材料产生的高温崩裂、加工速度慢等缺点，进而提升铣刀的使用奉命、加工速度与精密度。
另外，上述虽然对本发明中的较佳实施例作了详细说明，但其并不是本发明的保护范围，基于上述说明可对本发明的具体实施例加以修改或变化，因此，凡是在不脱离本发明的设计精神而所作出的变化与修饰，均应认为落入本发明的保护范围。