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本发明提供了一种基于真空紫外灯与放电电离的复合电离源,具体的来讲是将放电电离产生的等离子体通过毛细管导入到紫外灯正下方,在紫外灯照射下,将样品分子电离。该装置包括毛细管、放电腔、紫外灯、离子传输区、腔体和离子质量分析器。其优点是通过毛细管将放电电离产生的等离子体导入到电离区,形成的亚稳态原子及离子可以将位于电离区的样品分子电离。同时通过控制毛细管的长度控制放电区气压,具有电离效率高和能耗小的特点。。