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1、10申请公布号CN104134623A43申请公布日20141105CN104134623A21申请号201410377345922申请日20140801H01L21/67200601H01L21/6620060171申请人上海华力微电子有限公司地址201210上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号72发明人倪棋梁陈宏璘龙吟74专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所特殊普通合伙31275代理人吴世华林彦之54发明名称量测群组设备及量测方法57摘要本发明提供一种量测群组设备及量测方法，包括分析模块和运输模块，通过分析模块控制待量测产品在量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将。
2、待量测产品运输到后续设备；运输模块，与分析模块相连，用于向后续设备中搬运待量测产品。本发明的量测方法，包括在量测群组设备的分析模块中设定量测群组设备的最大量测数量；分析模块判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量；判断结果为是，则分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力；后续工艺设备出现闲置情况，则分析模块向所述运输模块发送跳站指令；运输模块接收到跳站指令，将待量测产品搬运到后续工艺设备中，从而加快产品流通。51INTCL权利要求书2页说明书6页附图2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书6页附图2页10申请公布号CN104134623ACN10。
3、4134623A1/2页21一种集成电路生产工艺中的量测群组设备，其特征在于，所述量测群组设备包括分析模块，用于控制待量测产品在所述量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将所述待量测产品运输到所述后续设备；运输模块，与所述分析模块相连，用于向所述后续设备中搬运所述待量测产品。2根据权利要求1所述的量测群组设备，其特征在于，所述分析模块，用于判断所述待量测产品的数量是否超过所述量测群组设备的最大量测数量，并分析所述后续工艺设备的生产能力。3根据权利要求1所述的量测群组设备，其特征在于，所述分析模块，用于对所述待量测产品进行选择性分配根据前续工艺设备的种类，将每种所述前续工艺设备出。
4、来的所述待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品都至少有一件被量测到。4根据权利要求1所述的量测群组设备，其特征在于，所述分析模块还包括计算单元，用于计算所述待量测产品的数量与所述量测群组设备的最大量测数量的差值；并将所述差值信号发送给所述运输模块；所述运输模块将多出来的所述差值数量的所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。5根据权利要求1所述的量测群组设备，其特征在于，所述待量测产品为向所述量测设备进行运输途中的待量测产品，则所述分析模块还包括速度探测单元，用于探测向所述运输途中的量测群组设备输送所述待量测产品的速度；距离探测单元，用于探测所述运输途中的待。
5、量测产品与所述量测群组设备之间的距离；时间判断单元，用于根据所述运输途中的待量测产品与所述量测群组设备之间的距离以及所述运输途中的待量测产品的速度，并判断正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；并判断所述运输途中的待量测产品到达所述量测群组设备的时间是否大于或等于所述正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；当判断结果为否时，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力。6一种采用权利要求1所述的集成电路生产工艺中的量测群组设备进行的量测方法，包括对产品进行量测的过程，其特征在于，还包括在量测群组设备的分析模块中设定所述量测群组设备的最大量测数量；所述分析模块判断所述待量测产品的数量是否超过。
6、所述量测群组设备的最大量测数量；判断结果为是，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力；后续工艺设备出现闲置情况，则所述分析模块向所述运输模块发送跳站指令；所述运输模块接收到所述跳站指令，将所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。7根据权利要求6所述的量测方法，其特征在于，所述分析模块还包括计算单元，所述运输模块接收到所述跳站指令，将所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中的步骤，具体包括所述运输模块接收到所述跳站指令后，所述计算单元计算待量测产品的数量比所述量测群组设备的最大量测数量所多出来的数量，并将所述差值信号发送给所述运输模权利要求书CN104134623A2/2页3块；所述运输。
7、模块将所述多出来的数量的所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。8根据权利要求6所述的量测方法，其特征在于，所述分析模块向所述运输模块发送跳站指令的步骤，还包括根据前续工艺设备的种类，所述分析模块发送选择性跳站指令将每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品都至少有一件被量测到。9根据权利要求6所述的量测方法，其特征在于，所述分析模块还包括速度探测单元、距离探测单元、和时间判断单元，所述判断结果为是，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力的步骤中，所述待量测产品为向所述量测设备进行运输途中的待量测产品，具体包括分析模块判。
8、断所述运输途中的待量测产品的数量超过所述量测群组设备的最大量测数量之后，所述分析模块根据所述运输途中的待量测产品与所述量测群组设备之间的距离以及所述运输途中的待量测产品的速度，判断所述待量测产品到达所述量测群组设备的时间是否大于或等于所述正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；当判断结果为否时，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力。权利要求书CN104134623A1/6页4量测群组设备及量测方法技术领域0001本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种集成电路生产工艺中的量测群组设备及量测方法。背景技术0002集成电路的制造工艺是一个十分复杂的过程，尤其是先进集成电路制造工艺一般包含。
9、几百步的工序，简单地说，就是通过薄膜生长、光刻、刻蚀、离子注入等方法在衬底材料如硅衬底上，形成半导体器件的过程。在实际的生产过程中由于工艺的细小的变化都有可能导致薄膜生产厚度的变化、图形尺寸的变化等异常等现象，这都会导致芯片最终电学性能的失效，但是如果需要等到最后电学性能测试的反馈到生产线上的异常工事，势必会造成大量产品的失效，所以在实际的生产过程中都会配置大量的各种量测的设备对漫长的生产线进行监控。一般工艺生产流程如图1所示，为现有的产品生产和量测工艺流通的流程示意图，左边的三个方块表示工艺1、2、3，右边的三个方块表示工艺4、5、6，中间的方块表示量测群组设备A，此时其具有3台检测设备，产。
10、品的流通都是围绕着一个生产执行系统进行，从而可以实现不同产品按照不同的生产工序进行流通。但是，由于量测设备是非常昂贵的，在建立生产线上时，对量测设备产能的配置会比较保守。因此，在图1中的量测群组设备A中，由于其中一台用来进行工程实验4个小时，再加上前道生产的产品持续地进入到这个量测群组设备A所在的量测站点中，就会造成这个量测站点等待量测的产品大量地增加如图2所示，图2为量测群组设备中产生待量测的产品堆积的示意图；由于一个工艺可能会有一百多道的量测工序，那么如果不同的量测站点在生产是均发生不同程度的堆货，从而就会使得产品的生产周期大大延长,使得昂贵的生产设备的使用效率偏低，导致生产成本的增加。发。
11、明内容0003为了克服以上问题，本发明旨在提供一种集成电路生产工艺中的量测群组设备及量测方法，从而改善现有的待量测产品大量堆积导致生产周期增加和成本增加的问题。0004为了实现上述目的，本发明提供了一种集成电路生产工艺中的量测群组设备，其包括0005分析模块，用于控制待量测产品在所述量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将所述待量测产品运输到所述后续设备；0006运输模块，与所述分析模块相连，用于向所述后续设备中搬运所述待量测产品。0007优选地，所述分析模块，用于判断所述待量测产品的数量是否超过所述量测群组设备的最大量测数量，并分析所述后续工艺设备的生产能力。0008优选地，。
12、所述分析模块，用于对所述待量测产品进行选择性分配根据前续工艺设备的种类，将每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品都至少有一件被量测到。说明书CN104134623A2/6页50009优选地，所述分析模块还包括计算单元，用于计算所述待量测产品的数量与所述量测群组设备的最大量测数量的差值；并将所述差值信号发送给所述运输模块；0010所述运输模块将多出来的所述差值数量的所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。0011优选地，所述待量测产品为向所述量测设备进行运输途中的待量测产品，则所述分析模块还包括0012速度探测单元，用于探测向所。
13、述运输途中的量测群组设备输送所述待量测产品的速度；0013距离探测单元，用于探测所述运输途中的待量测产品与所述量测群组设备之间的距离；0014时间判断单元，用于根据所述运输途中的待量测产品与所述量测群组设备之间的距离以及所述运输途中的待量测产品的速度，并判断正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；并判断所述运输途中的待量测产品到达所述量测群组设备的时间是否大于或等于所述正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；0015当判断结果为否时，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力。0016本发明还提供了采用上述集成电路生产工艺中的量测群组设备进行的量测方法，包括对产品进行量测的过程，其还包括。
14、0017在量测群组设备的分析模块中设定所述量测群组设备的最大量测数量；0018所述分析模块判断所述待量测产品的数量是否超过所述量测群组设备的最大量测数量；0019判断结果为是，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力；0020后续工艺设备出现闲置情况，则所述分析模块向所述运输模块发送跳站指令；0021所述运输模块接收到所述跳站指令，将所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。0022优选地，所述分析模块还包括计算单元，所述运输模块接收到所述跳站指令，将所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中的步骤，具体包括所述运输模块接收到所述跳站指令后，所述计算单元计算待量测产品的数量比所述量测群组设备。
15、的最大量测数量所多出来的数量，并将所述差值信号发送给所述运输模块；所述运输模块将所述多出来的数量的所述待量测产品搬运到所述后续工艺设备中。0023优选地，所述分析模块向所述运输模块发送跳站指令的步骤，还包括根据前续工艺设备的种类，所述分析模块发送选择性跳站指令将每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种所述前续工艺设备出来的所述待量测产品都至少有一件被量测到。0024优选地，所述分析模块还包括速度探测单元、距离探测单元、和时间判断单元，所述判断结果为是，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力的步骤中，所述待量测产品为向所述量测设备进行运输途中的待量测产品，。
16、具体包括0025分析模块判断所述运输途中的待量测产品的数量超过所述量测群组设备的最大量测数量之后，所述分析模块根据所述运输途中的待量测产品与所述量测群组设备之间的距离以及所述运输途中的待量测产品的速度，判断所述待量测产品到达所述量测群组设备说明书CN104134623A3/6页6的时间是否大于或等于所述正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；当判断结果为否时，则所述分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力。0026本发明的集成电路生产工艺中的量测群组设备及量测方法，通过改进现有的量测群组设备，在其中增加了分析模块和运输模块，通过分析模块判断待量测产品的数量超过量测群组设备的最大量测数量、并控。
17、制运输模块将待量测产品运输到后续设备，从而能够及时将待量测产品进行分配，避免造成待量测产品产生大量堆积，加快了产品的流通速度，提高了生产效率。附图说明0027图1为现有的产品生产和量测工艺流通的流程示意图0028图2为量测群组设备中产生待量测的产品堆积的示意图0029图3为本发明的实施例一的量测群组设备的方块图0030图4为本发明的实施例二的量测方法的流程示意图具体实施方式0031为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。0032实施例一0033以下将结合附图3和。
18、具体实施例对本发明的实施例一的量测群组设备作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。0034本发明的集成电路生产工艺中的量测群组设备，可以单独使用，也可以组群使用，其可以包括现有的检测设备的结构，比如，检测功能部分，一台量测群组设备可以对产品进行批量检测，在此对现有检测设备的结构不再赘述；在本发明中，其还包括分析模块和运输模块；相比于现有的量测群组设备，增设了该分析模块和运输模块，通过分析模块可以及时调整待量测产品的运输路径，从而及时对待量测产品进行分配，避免产生大量的堆积，从而提高了产品的流通速度以及生产效率。0。
19、035本发明中，分析模块，用于控制待量测产品在所述量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将所述待量测产品运输到所述后续设备；0036运输模块，与分析模块相连，用于向后续设备中搬运待量测产品。0037请参阅图3，为本发明的实施例一的量测群组设备的方块图；在本发明实施例中，分析模块用于判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量、并分析后续工艺设备的生产能力、以及控制运输模块将待量测产品运输到后续设备；这里，量测群组设备的最大量测数量可以根据实际工艺要求而不同；例如，当待量测产品数量超过量测群组设备的最大量测数量时，则分析模块会分析后续工艺设备的生产能力；当后续工艺设备未。
20、超出其最大生产值时，则分析模块向运输模块发送跳站指令，运输模块将待量测产品搬运到后续工艺设备中。0038本实施例中，分析模块，还可以用于对待量测产品进行选择性分配根据前续工艺说明书CN104134623A4/6页7设备的种类，将每种前续工艺设备出来的待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种前续工艺设备出来的待量测产品都至少有一件被量测到。0039分析模块还包括计算单元，用于计算待量测产品的数量与量测群组设备的最大量测数量的差值；0040当待量测产品数量超过量测群组设备的最大量测数量时，计算单元计算待量测产品的数量比量测群组设备的最大量测数量所多出来的数量，并将差值信号发送给运输模块；运输模块将。
21、多出来的数量的待量测产品搬运到后续工艺设备中。0041由于采用了计算单元，计算单元可以计算出单元计算待量测产品的数量比量测群组设备的最大量测数量所多出来的数量，这样，可以避免当待量测产品的数量大于量测群组设备的最大量测数量时，将该批待量测产品全部移送到后续工艺设备中，进一步避免出现量测群组设备在检测完一批次的产品后，因待量测产品未及时输送到位而造成量测暂时中断，从而确保了量测过程的连续性，提高了量测效率。0042在本实施例中，待量测产品可以为向量测设备进行运输途中的待量测产品，则分析模块还包括0043速度探测单元，用于探测向运输途中的量测群组设备输送待量测产品的速度；0044距离探测单元，用于。
22、探测运输途中的待量测产品与量测群组设备之间的距离；0045时间判断单元，用于根据运输途中的待量测产品与量测群组设备之间的距离以及运输途中的待量测产品的速度，并判断正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；并判断运输途中的待量测产品到达量测群组设备的时间是否大于或等于正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间；0046当判断结果为否时，则分析模块开始分析后续工艺设备的生产能力。0047这里，采用了速度探测单元、距离探测单元、以及时间判断单元后，使得分析模块可以在待量测产品向量测群组设备运输的路途中，对待量测产品到量测群组设备的数量进行预先估测，从而避免待量测产品到达量测群组设备后再进行判断的滞后性，进。
23、一步节约了时间，提高了分析模块对待量测产品的分配效率，以及提高了整个工艺的产品流通速度和生产效率。0048需要说明的是，从图1中可以看到，当产品从后续工艺设备中完成后续工艺后，还可以返回到量测群组设备进行检测，此时检测的产品只相比于前次应当进行的检测多了一个工艺，然而并不影响对整个产品性能的检测，因此不必过于考虑产品少了一次检测过程。0049实施例二0050以下将结合附图4和具体实施例对本发明的实施例二的量测方法作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。0051总的来说，本发明的一种集成电路生产工艺中的量测方法，包。
24、括对产品进行量测的过程，由于对产品进行量测的过程为本领域技术人员可以知晓的，本发明对此不再赘述；在本发明中，该量测方法还包括0052在量测群组设备的分析模块中设定量测群组设备的最大量测数量；0053分析模块判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量；0054判断结果为是，则分析模块开始分析工艺设备的生产能力；说明书CN104134623A5/6页80055后续工艺设备未超出其最大生产值，则分析模块向运输模块发送跳站指令；0056运输模块接收到跳站指令，将待量测产品搬运到后续工艺设备中。0057请参阅图4，为本发明的实施例二的量测方法的流程示意图，本实施例的量测方法采用实施例一中的量。
25、测群组设备，本实施例的量测方法具体的包括以下步骤0058步骤S01在量测群组设备的分析模块中设定量测群组设备的最大量测数量；0059具体的，对最大量测数量的大小可以根据实际的工艺要求来设定而不同，最大量测数量也即是量测群组设备一次量测过程所能承受的最大数量，当然，也可以是在待量测产品到达量测群组设备之前的过程中，量测群组设备所能量测完成的产品数量。0060步骤S02分析模块判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量；0061具体的，分析模块可以检测待量测产品数量，然后与所设定的最大量测数量进行比较，从而作出判断。在此，可以判断已经到达量测群组设备的待量测产品，也可以判断在向量测设备。
26、进行运输途中的待量测产品。0062步骤S03判断结果为是，则分析模块开始分析后续工艺设备的生产能力；0063具体的，针对已经到达量测群组设备的待量测产品，如果判断结果为是，则分析模块开始分析后续工艺设备的生产能力；然则，针对在向量测设备进行运输途中的待量测产品，由于上述实施例一中的量测群组设备还包括速度探测单元、距离探测单元、和时间判断单元，则该步骤具体还包括0064分析模块判断运输途中的待量测产品的数量超过量测群组设备的最大量测数量之后，分析模块根据运输途中的待量测产品与量测群组设备之间的距离以及运输途中的待量测产品的速度，并判断运输途中的待量测产品到达量测群组设备的时间是否大于或等于正在进。
27、行的量测过程距离结束所剩余的时间；当判断结果为否时，则分析模块开始分析后续工艺设备的生产能力。0065也就是说，本步骤S03中，针对所说的运输途中的待量测产品数量大于量测群组设备的最大量测产品数量的情况，并不是立即作出将运输途中的待量测产品全部分配到后续工艺设备中的指令，而是对运输途中的待量测产品的实时速度进行测量，再根据运输途中的待量测产品与量测群组设备之间的距离判断出运输途中的待量测产品到达量测群组设备的时间，并将该时间与正在进行的量测过程距离结束所剩余的时间进行比较，如果正在进行的量测过程结束之前，运输途中的待量测产品到达量测设备，则分析模块就要将此待量测产品进行分配了，很明显，否则会造。
28、成待量测产品的堆积。0066后续工艺设备的生产能力，是指后续工艺设备是否出现闲置，也即是未进行生产工艺。0067步骤S04后续工艺设备出现闲置情况，则分析模块向运输模块发送跳站指令；0068具体的，如果后续工艺设备闲置，则可以将待量测产品先输送到该后续工艺设备中进行生产工艺，避免待量测产品产生大量堆积；需要说明的是，如果后续工艺设备都处在生产过程中，无闲置状态，则分析模块暂不作出跳站指令；并可以在后续工艺设备和量测设备之间进行实时轮流监控，哪里先出现闲置状态，就将待量测设备分配到哪里。比如，在判断无闲置状态后，隔5秒对量测设备判断一次，再隔5秒对后续工艺设备判断一次，然后再隔5秒再对量测设备判。
29、断一次，如此循环。说明书CN104134623A6/6页90069在本实施例中的本步骤中，还包括根据前续工艺设备的种类，分析模块发送选择性跳站指令将每种前续工艺设备出来的待量测产品中均保留至少一件，从而确保每种前续工艺设备出来的待量测产品都至少有一件被量测到；而将其余的待量测产品分配到后续工艺设备中；例如，量测群组设备的最大量测数量为6个，有前续工艺设备A和B，从A出来的待量测产品有6个，从B出来的待量测产品有4个，此时64为10大于6，则分析模块选择A出来的待量测产品中的5个和B出来的的待量测产品中的3个作为进行跳站的待量测产品，也即是将他们分配到后续工艺设备中，而将A出来的待量测产品中的1。
30、个和B出来的的待量测产品中的1个保留在量测群组设备处，等待量测，这样就可以确保不同的前续工艺设备出来的待量测产品都至少有一个被检测到，从而可以对前续工艺进行充分的检测，不遗漏任何一个。0070步骤S05运输模块接收到跳站指令，将待量测产品搬运到后续工艺设备中。0071具体的，由于上述实施例一中的量测群组设备还包括计算单元，则本步骤具体包括运输模块接收到跳站指令后，计算单元计算待量测产品的数量比量测群组设备的最大量测数量所多出来的数量，并将差值信号发送给运输模块；运输模块将多出来的数量的待量测产品搬运到后续工艺设备中。0072这里，针对到达量测设备的待量测产品或者在运输途中的待量测产品的，都可以。
31、采用计算单元将待量测产品的数量与量测群组设备的最大量测数量的差值计算出来，然后将多出来的该差值数量的待量测产品分配到后续工艺设备中。这样，可以避免待量测产品全部分配到后续工艺设备中而可能导致量测设备出现闲置的情况，从而确保量测过程的连续性，提高量测效率，进一步提高产品的流通速度和生产效率。0073本发明的集成电路工艺中的量测方法，通过分析模块判断待量测产品的数量超过量测群组设备的最大量测数量、并控制运输模块将待量测产品运输到后续设备，从而能够及时将待量测产品进行分配，避免造成待量测产品产生大量堆积，加快了产品的流通速度，提高了生产效率。0074虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。说明书CN104134623A1/2页10图1图2说明书附图CN104134623A102/2页11图3图4说明书附图CN104134623A11。