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本发明公开了一种在电镀装置中的供电方法及其供电装置，主要防止因现有技术中的电镀装置中的供电方法无法解决由电解所产生出数十μ～数百μ的金属粉末。本发明的解决手段是具备以下构件：供电滑轨，沿着电镀装置的处理槽来加以配置；运送吊架，安装有被处理物而将该被处理物放入到前述处理槽或从前述处理槽拉上及运送；供电构件，可从所述供电滑轨将电力供应到前述被处理物；以及切换开关机构，如果在所述运送吊架上安装有被处理物情况时会将前述供电构件切换到供电位置上，将电力供应给被处理物，而如果无安装被处理物情况时则将前述供电构件切换到非供电位置而不会将电力供应给被处理物。

1.  一种在电镀装置中的供电方法，其特征在于：
当安装有被处理物情况时供电，若无安装任何被处理物时则不供应电。

2.  如权利要求1所述的在电镀装置中的供电方法，其特征在于：所述供电方法是否要切换供应电力将会依据传感器来感测运送吊架上是否安装有被处理物，而依据前述传感器的信号来进行切换。

3.  一种在电镀装置中的供电装置，其特征在于：包括：
供电滑轨，沿着电镀装置的处理槽来加以配置；
运送吊架，安装有被处理物而且能将该被处理物放入到所述处理槽或从前述处理槽拉上来运送；
供电构件，可从所述供电滑轨将电力供应到前述被处理物；以及
切换开关机构，如果在于前述运送吊架上安装有被处理物情况时会将前述供电构件切换到供电位置上而将电力供应给被处理物，而如果无安装任何被处理物情况时则将前述供电构件切换到非供电位置而不会将电力供应给被处理物者。

4.  如权利要求3所述的电镀装置中的供电装置，其特征在于：所述切换开关机构依据在运送吊架上是否安装有被处理物的感测信号来判断进行切换动作。

电镀装置中的供电方法及其供电装置
技术领域
本发明涉及一种在电镀装置中的供电方法及其供电装置，尤其涉及一种对安装在运送吊架的电镀对象的被处理物供给阴极电压的供电方法及其供电装置。
背景技术
传统上在印刷电路配线板之类的被处理物进行电镀时，一般会将运送吊架放置到运送滑轨上，然后将印刷电路配线板吊勾到此运送吊架上而浸泡到电镀槽内，再由输送传送带以及链条的驱动来运送且进行电镀。
如果要在电镀槽内电镀铜时，譬如，就会在钛制的篮子中配置放入铜球且事先在电镀槽内装满电解液。而且，将数伏左右的阳极电压施加到铜球上，将阴极电压也施加到吊在运送吊架的被处理物，其中阳极端的铜球所溶解出的铜阴离子会接收来自阴极端被处理物的电子而变为金属铜，由附着到被处理物来进行铜电镀。
另外，最近也开始使用非溶解性阳极板来取代在钛篮子中置入铜球而在非溶解性阳极电极板施加阳极电压，同时注入事先溶解铜的电解液以作为电镀槽内的电镀液。
这种情况下的阳极端，由于固定在电镀槽内，因此要施加阳极电压可由直接固定连接到非溶解性阳极板来进行就可以，但是要将阴极电压施加到被处理物，要让被处理物沿着运送吊架与运送滑轨在电镀槽内部移动，而且因浸渍于配置成直列的多个电镀槽或者清洗槽内来进行处理，因此要施加阴极电压就必须从沿着电解装置所配置的供电滑轨透过供电滑动部来进行。
譬如特开2005-248300号公报的专利文献1所记载，能够从悬吊被处理物的支撑柄(运送吊架)由弹簧所产生的弹力将供电接触端板(相当于供电活动部)抵接到供电接点滑轨(供电滑轨)而使阴极电压施加到被处理物上。另外，在特开平10-204691号公报的专利文献2上揭示在电镀槽内浸渍的被处理物的治具本身能够横跨到阴极条(供电滑轨)而将阴极电压供应给被处理物。
然而，运送吊架的目的在于悬吊被处理物而将电力供应给被处理物，因此，此运送吊架的前端部将具有能悬吊被处理物的夹持固定夹或者治具，且前述夹持固定夹或者治具连同被处理物都浸渍到电解溶液中。由于运送吊架为持续性运送，因此即使无挂钩任何被处理物的情况时也会持续性输送且浸渍到电镀槽中，所以就算无吊住被处理物的情况时也能够将夹持固定夹或者治具浸渍到处理液中。
因此，如果在电镀槽中浸渍有被处理物的状态下来施加阴极电压的话，就算运送吊架无挂钩任何被处理物也会施加电压。
从通过施加阴极电压来流动的阳极电流，将倾向于集中到较小面积部分，其中当有吊住被处理物的吊架与无吊住被处理物的吊架为混合状态时，则被处理物内部的夹持固定夹或者治具电解面积变极小而电流形成集中。譬如，即使夹持固定夹或者治具的表面涂布有一层树脂也无法防止电流集中到接触点部。
结果将会于电流集中的部分来产生焦黑(电镀烧焦)且也会附着数十μ～数百μ的金属粉末。
这种金属粉末会因为电镀槽内部的液体循环以及空气搅拌来污染电镀槽内部及附着到被处理物。本来就会附着在被处理物表面、及在通孔内等发生附着而产生有害的突起物或信赖性差的覆盖薄膜而显著降低质量的价值性。
在现今的电解装置中，为了要预防在电镀槽内部形成固态之类的物体，将会花时间来预防从电镀槽周边掉落灰尘或者油质东西，另外，液体循环系统的过滤网细微化且增加循环次数，进而预防电镀槽内部堆积固态物质等等。
但是，不管上述专利文献1、2所记载是否有悬吊被处理物，将必须将电力供应给被处理物的夹持固定夹或者治具，这种情况下即使如何地将过滤网细微化来改善电镀槽的环境，也会持续沉淀及游离金属粉末，因此较不易去除让金属粉末无问题的程度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在电镀装置中的供电方法及其供电装置，其防止因现有技术中的电镀装置中的供电方法无法解决由电解所产生出数十μ～数百μ的金属粉末。
为了达到上述目的，本发明提供一种在电镀装置中的供电方法，当安装有被处理物情况时供电，若无安装任何被处理物时则不供应电。
本发明提供的供电方法是否要切换供应电力将会依据传感器来感测运送吊架上是否安装有被处理物，而依据前述传感器的信号来进行切换。
本发明还提供一种在电镀装置中的供电装置，
供电滑轨，沿着电镀装置的处理槽来加以配置；
运送吊架，安装有被处理物而且能将该被处理物放入到所述处理槽或从前述处理槽拉上来运送；
供电构件，可从所述供电滑轨将电力供应到前述被处理物；以及
切换开关机构，如果在于前述运送吊架上安装有被处理物情况时会将前述供电构件切换到供电位置上而将电力供应给被处理物，而如果无安装任何被处理物情况时则将前述供电构件切换到非供电位置而不会将电力供应给被处理物者。
在该供电装置中，所述切换开关机构依据在运送吊架上是否安装有被处理物的感测信号来判断进行切换动作。
本发明的有益效果是：
(1)从供电滑轨将电力供应给被处理物的供电构件，当安装有被处理物时，利用切换开关机构将供电构件切换到供电位置供应电力，反之，无安装有被处理物时，利用切换开关机构将供电构件切换到非供电位置不供应电力。因此就算发生悬吊有被处理物的吊架和无挂钩被处理物的吊架混合状态，也不会将电流集中到无挂钩被处理物的夹持固定夹或者治具，因此就可以防止金属粉末的产生进而提高产品价值性以及其可靠性。
(2)可依据传感器及其产生的感测信号来判断出是否有安装被处理物并进行切换开关机构的动作，如此就可以降低作业性的复杂度。
附图说明
图1为本发明实施例中在电镀装置中的供电装置形态的电镀槽剖面图。
图2为图1所示的供电装置部件的分解图。
图3为本发明第二实施例中在电镀装置中的供电装置的形态图。
图4为本发明第三实施例中在电镀装置中的供电装置的形态图。
图5为本发明第四实施例中在电镀装置中的供电装置的形态图。
图6为除上述本发明的在电镀装置中的供电装置外，其他实施例中的形态图。
图7为同样地除了上述本发明的在电镀装置中的供电装置外，其他实施例的形态图。
其中，附图标记说明如下：
1 电镀装置                       2 电镀槽
3 阳极板                         4 电镀液
10 供电装置                      12 运送吊架
12a 固定板                       12b 导引棒
12c 绝缘材料                     12d 绝缘体
14 被处理物                      16 夹持固定夹/治具
18 供电构件                      18a 供电滑动部
18b 线圈弹簧                     18c 突起物
18d 电线                         18e 旋转臂
18f 旋转柄                       18g 升降柄
20 供电滑轨                      20a 凹槽
30 切换开关机构                  32 升降用气压缸
32a 杆子                         34、35 移位用气压缸
34a、35b 杆子                    34b、35b 嵌合板
40 传感器
具体实施方式
以下将附图说明来描述有关本发明在电镀装置中的供电方法及其供电装置的实施形态。
图1为本发明在电镀装置中的供电装置的形态与电镀槽的剖面图。
如图1所示，其中此电镀装置1具有一电镀槽2且沿着电镀槽(处理槽)2的左右壁面各配置有施加阳极电压的非溶解性阳极板3，而在电镀槽2的内部中注入有溶解金属铜的电镀液4。
另外，供电装置10具有以导电构件所形成的运送吊架12，前述运送吊架12的前端部安装有一可悬吊被处理物(印刷电路配线板等)14的夹持固定夹16。接着，运送吊架12安装有一供电构件18且前述供电构件18的供电滑动部18a利用线圈弹簧18b向下方产生一作用力。
其次，供电装置10包含有多个沿着电镀槽2且涵盖整体装置所配置的供电滑轨20，如果在前述运送吊架12的夹持固定夹16中悬吊有被处理物14而让此被处理物被浸渍到电镀槽2时，则供电构件18的供电滑动部18a将形成接触到供电滑轨20的凹槽20a的状态，其中施加到供电滑轨20的阴极电压将从供电滑动部18a依序加到运送吊架12、夹持固定夹16以及到被处理物14。通过将阳极电压施加到非溶解性阳极板3，让存在电镀液4中的铜离子能够与来自被处理物14的电子离子相结合而成为金属铜来附着到被处理物14以进行电解铜。
另外，如果在运送吊架12的夹持固定夹16上无挂钩任何被处理物14的情况时，就依据图2所说明的切换开关机构30让供电构件18往图2的B方向运送吊架12的面滑动，就算前述运送吊架12的夹持固定夹16为浸渍到电镀槽2内部的状态，供电构件18的供电滑动部18a不会接触供电滑轨20的凹槽20a，在供电滑轨20所施加的电压不会呈现由供电滑动部18a送至运送吊架12以及送至夹持固定夹16的状态。
再者，将参考图2来说明利用在运送吊架12上安装被处理物14的情况和无安装任何被处理物14的情况下，来切换从供电滑轨20来的电力的切换开关机构30。
切换开关机构30具有一安装到图未示的固定物的升降专用的气压缸32，在从该气压缸32往下方延伸出去且伸缩自如的2根杆子32a前端安装有一供电移位用的气压缸34。另外，在从供电移位用的气压缸34往水平方向延伸出去且伸缩自如的2根杆子34a前端安裝有一嵌合板34b，其下端部形成有凹部的コ字状。前述嵌合板34b的凹部宽度稍宽于运送吊架12的宽度。
另外，在前述运送吊架12的左右两侧面各安裝有一固定板12a，且在此1对的固定板12a中间配置有导引棒12b，同时在所述导引棒12b中滑动自如地嵌入有供电构件18。另外，在运送吊架12左右两侧面的所述供电构件18设置有一供电滑动部18a，其中所述供电滑动部18a由线圈弹簧18b往下方来产生一作用力。
另外，此时的升降用气压缸32的杆子32a收缩而将移位用气压缸34收纳到上端部的待机状态，且移位用气压缸34的杆子34a也处于收缩中的状态。
而且，设置于运送吊架12前端的吊架专用的治具或者夹持固定夹16悬吊被处理物14的情况时，则传感器40就会检测出被处理构件的存在而将此信号传送到切换开关机构30。利用这个信号来延伸升降用气压缸32的杆子32a，然后让上端部正处于待机中的移位用气压缸34下降。移位用气压缸34的嵌合板34b呈现一横跨运送吊架12的状态而且配置在供电构件18的前方(被处理物端)。因此，就会延伸移位用气压缸34的杆子34a而将供电构件18设定成供电端A方向。升降用气压缸32的杆子32a再次收缩而将移位用气压缸34回归到上端部，接着收缩移位用气压缸34的杆子34a而进入待机状态。这种状态即为图1的实线所示状态，施加到供电滑轨20的阴极电压将从供电滑动部18a依序施加给运送吊架12、夹持固定夹16以及被处理物14。而且，用光偶合器作为上述传感器40较为便利。
再者，设置在运送吊架12前端的吊架用的治具或者夹持固定夹16无挂钩任何被处理物14的情况时，传感器40将会检测出被处理物不存在而将此信号传送给切换开关机构30。利用这个信号来延伸升降用气压缸32的杆子32a，然后让上端部正处于待机中的移位用气压缸34下降。移位用气压缸34的嵌合板34b呈现一横跨运送吊架12的状态而且配置在供电构件18的后方。因此，收缩移位用气压缸34的杆子34a而将供电构件18设定成非供电端B方向。升降用气压缸32的杆子32a再次收缩而将移位用气压缸34回归到上端部而进入待机状态。这种状态即为图1的点虚线所示状态，施加到供电滑轨20的阴极电压将不会施加到此夹持固定夹16。而且，不管任何一种状态，运送吊架12将被处理物14放入到电镀槽2之前都会进行上述动作。
如此一来，用来从供电滑轨供电给被处理物的供电构件，在运送吊架安装有被处理物的情况时，利用切换开关机构将供电构件切换到供电位置使电力供应给被处理物，反之，如果运送吊架无安装有任何被处理物的情况时，就可利用切换开关机构将供电构件切换到非供电位置而不会将电力供应给被处理物，因此就不会将电流集中到无悬吊被处理物的夹持固定夹或者治具，且也可以防止金属粉末的产生进而提高产品的可靠性。
如图3所示，图3为本发明在电镀装置中的供电装置的第二种形态图，该形态为第一种形态的变形实施例。。在运送吊架12滑动自如地嵌入有一导电性的供电构件18，且在该供电构件18的上端部形成有一突起物18c。另外，运送吊架12的中间一部分由绝缘材料12c来构成，其它部份则利用导电构件所形成。如果运送吊架12的位置处于将被处理物14放入到电镀槽2内部的话，则运送吊架12的前端部务必会接触到供电滑轨20。图3中的12d为一绝缘体，且用来预防运送吊架12与电镀装置的框体形成为导通状态。
设置在运送吊架12前端的吊架用的治具或者夹持固定夹16有挂钩被处理物14的情况时，则传感器40就会检测出被处理物的存在且会将此信号传送给切换开关机构30。再利用这个信号来伸出移位用气压缸35的杆子35a，且让设置在杆子35a的嵌合板35b能够推压出供电构件18的突起物18c，使得供电构件18能够横跨供电构件18的绝缘部12c来让运送吊架12的两侧成为导通的状态。因此，来自接触有运送吊架12端部的供电滑轨20的阴极电压就可不受绝缘体12c的影响而透过供电构件18将电压施加给被处理物14上。
另外，设置在运送吊架12前端的吊架用的治具或者夹持固定夹16无挂钩任何被处理物14的情况时，则传感器40就会检测出被处理物的不存在且会将此信号传送给切换开关机构30。再利用这个信号来收缩移位用气压缸35的杆子35a，而让设置在杆子35a的嵌合板35b能够拉引供电构件18的突起物18c，使得供电构件18可从运送吊架12的绝缘部12c位置脱离，进而让运送吊架12的两侧成为无法导通的状态。因此，来自接触运送吊架12端部的供电滑轨20利用绝缘体12c来遮断，而使被处理物14不会施加阴极电压。
如第4图所示，图4为本发明在电镀装置中的供电装置的第三种形态图，该形态为第一或者第二种形态的变形实施例。与第一种形态相同，其中供电构件18配置在运送吊架12的导引棒12b上滑动自如，故供电构件18以电线18d与固定被处理物14的治具16连接。
设置在运送吊架12前端的吊架用治具或者夹持固定夹16有挂钩被处理物14的情况时，则传感器40就会检测出被处理物的存在且会将此信号传送给切换开关机构30。再利用这个信号，在电镀处理前，收缩移位用气压缸35的杆子35a，让设置在杆子35a的嵌合板35b能够将供电构件18的供电滑动部18a设定为供电滑轨20的某一位置，其中当被处理物14放置到电镀槽2内时，就会依序施加电力给供电滑轨20、供电构件18、电线18d、治具16以及被处理物14。
当无挂钩任何被处理物14的情况时，就会延伸移位用气压缸35的杆子35a，让设置在杆子35a的嵌合板35b能够推压出供电滑动部18a，且让设置在杆子35a的嵌合板35b能够将供电构件18的供电滑动部18a从供电滑轨20的某一位置往破折线所示的位置来脱离，其中当被处理物14被浸渍到电镀槽2内时，则供电滑轨20的阴极电压就不会施加到治具16上。
如第5图所示，图5为在电镀装置中的供电装置的第四种形态图，该形态为第二种形态的变形实施例。在运送吊架12上配置具有供电性的供电构件18，其中该供电构件18设置有一具有导电性且能够旋转自如的旋转臂18e。另外，运送吊架12的一部份利用绝缘材料12c所构成，至于其它部份利用导电构件来形成。当运送吊架12将被处理物14浸渍到电镀槽2内部时，则运送吊架12的端部就会接触到供电滑轨20。
如果在运送吊架12有挂钩被处理物14的情况时，就会延伸移位用气压缸35的杆子35a，且让设置在杆子35a的嵌合板35b能够带动供电构件18的旋转臂18e的旋转柄来旋转，供电构件18将横跨运送吊架12的绝缘部12c，让运送吊架12的两侧形成导通状态。因此，来自接触运送吊架12端部的供电滑轨20的阴极电压就会透过供电构件18将电压施加到被处理物14上。
另外，如果在运送吊架12无挂钩任何被处理物14的情况时，就会收缩移位用气压缸35的杆子35a，且让设置在杆子35a的嵌合板35b能够带动供电构件18的旋转臂18e来旋转，且让供电构件18的旋转臂18e的其中一端从运送吊架12脱离，进而让运送吊架12的两侧形成为非导通状态。因此，来自接触运送吊架12端部的供电滑轨20的阴极电压就不会将电压施加到被处理物14上。
如图6所示，图6为除了上述形态之外的其它的实施形态。也可设置一供电构件18，其在运送吊架12面上附加一旋转柄18f来形成有能够与旋转柄18f整体转动的供电滑动部18a。其中当无挂钩任何被处理物14的情况时，会在送入电镀槽之前让移位用气压缸35的杆子35a收缩，且由转动旋转柄18f来让供电滑动部18a旋转移动如破折线所示，此为送入电镀槽的状态，且不会让供电滑动部18a接触到供电滑轨20。
如果有挂钩被处理物的情况时，会在送入电镀槽之前让移位用气压缸35的杆子35a来延伸，且由转动旋转柄18f来让供电滑动部18a旋转移动如实线所示，此为送入电镀槽的状态且会让供电滑动部18a接触到供电滑轨20。
另外，如图7所示，图7为除了上述形态之外的另一种实施形态。可以在运送吊架12面上设置一供电构件18，此供电构件18附加一升降柄18g且形成有能够与该升降柄18g整体升降的供电滑动部18a。其中当无挂钩任何被处理物14的情况时，会在送入电镀槽之前让移位用气压缸35的杆子35a来收缩，且通过上升升降柄18g来让供电滑动部18a上升如破折线所示，此为送入电镀槽的状态且不会让供电滑动部18a接触到供电滑轨20。
如果有挂钩被处理物的情况时，会在电镀处理之前让移位用气压缸35的杆子35a来延伸，且由下降升降柄18g来让供电滑动部18a下降如实线所示，此为放入电镀槽的状态且会让供电滑动部18a接触到供电滑轨20。