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本发明涉及一种净化工业废气中砷化氢气体的方法。先配制酞菁钴溶液与Fe3+、Mn2+和Ni2+中的一种或几种离子的混合改性溶液,将分子筛放入该改性液中,经浸渍,干燥,焙烧得分子筛改性催化剂。将该分子筛改性催化剂放入固定床反应器中,对体积百分含量为80-90的CO,体积百分含量小于2的O2,AsH3浓度5001600mg/m3的工业废气进行固相催化氧化净化,将其中的砷化氢含量降至0.3mg/m3以下。。