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一种应用臭氧催化氧化技术进行己内酰胺污水深度处理的方法,其特征在于工艺流程包括下述步骤:、预处理后的己内酰胺污水通过进水提升泵2提升进入过滤器3;、过滤器3出水自流进入臭氧催化氧化池4,同时向臭氧催化氧化池4内,经臭氧发生器7投加臭氧,进行臭氧催化氧化反应;、氧化出水自流进入清水池5,同时用压缩空气泵8压入空气,反洗泵6将臭氧催化氧化池4流入到清水池5中的清水反冲到臭氧催化氧化池4,使之加快氧化;。