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本发明公开一种面向微型轴承内圆精加工的轴向超声振动高速磨削装置。它包括:底座、丝杠支承、丝杠、工件磨削区、砂轮、砂轮夹具、高速电主轴、弹性支承块、主轴限位板、变幅杆、固定架、超声换能器、工作台、伺服电机、水平导轨、垂直导轨、水平滑台和直线电机。其工艺特征是:高速电主轴驱动砂轮进行高速旋转,由伺服电机驱动实现砂轮的快速轴向定位,通过施加超声振动实现砂轮的轴向微进给运动,由直线电机控制砂轮的精密径向进。