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1、(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202223536028.6(22)申请日 2022.12.27(73)专利权人 广东天域半导体股份有限公司地址 523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼(72)发明人 冯禹鲁青司桐旭郭军强(74)专利代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245专利代理师 李盛洪(51)Int.Cl.C30B 29/36(2006.01)C30B 23/02(2006.01)C30B 25/12(2006.01)C30B 19/00(2006.01)(54)实用新型名称一种提高生。
2、产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置(57)摘要本实用新型公开了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其涉及碳化硅外延生产领域，其包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，本技术方案结构简单，在取料的过程中可以减少外延片划伤导致不良，节约原材料成本；同时减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，本实用新型解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高。
3、，机械设备取料成本高的技术问题。权利要求书1页 说明书4页 附图3页CN 218989481 U2023.05.09CN 218989481 U1.一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座(1)，顶部设置有水平承载部(11)，其特征在于，所述托盘基座(1)内设置有容纳腔，所述水平承载部(11)上设置有第一开槽(111)，装设在第一开槽(111)内并与水平承载部(11)水平面平齐的驱动块(2)，所述驱动块(2)的一端与水平承载部(11)的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置(3)，所述升降装置(3)与驱动块(2)活动的一端传动连接。2.根据权利要求1所述的一种提。
4、高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆(31)，水平布置的驱动杆(32)，所述驱动杆(32)的一端套设有齿轮(33)并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮(33)与升降杆(31)传动连接。3.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述驱动杆(32)上设置有旋转圆柄(34)。4.根据权利要求3所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述旋转圆柄(34)上设置有刻度。5.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降杆(31)顶。
5、起的高度范围为1.22.2cm。6.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降杆(31)的顶端并靠近驱动块(2)与水平承载部(11)的一侧设置有弧形倒角(311)。7.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述水平承载部(11)的边缘处设置有环形凸起部(112)。8.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述驱动块(2)的活动端设置有倾斜尖端(22)，所述第一开槽(111)的结构与驱动块(2)外形大小相适应，所述倾斜尖端(22)搭载在第一开槽(111)上。9.根据权利要求18任。
6、一项所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，还包括装设在托盘基座(1)上的托盘(4)，所述托盘(4)上设置有与驱动块(2)外形大小相适应的第二开槽(41)，装设在第二开槽(41)内并与托盘(4)水平面平齐的顶起块(42)，所述顶起块(42)的外形大小与驱动块(2)相适应并与托盘(4)铰接连接。10.根据权利要求9项所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述托盘(4)的顶部设置有容纳槽(43)，所述第二开槽(41)和顶起块(42)均设置在容纳槽(43)内，所述容纳槽(43)的顶部设置有水平向外延展的环形部(44)。权利要求书1/1 页2CN 2189。
7、89481 U2一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置技术领域0001本实用新型涉及碳化硅外延生产技术领域，尤其涉及一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置。背景技术0002在碳化硅外延片的生产过程中需要进行取料移料等操作，请参阅图1图2，现有的托盘一般在边缘处设置有凸起部，使得碳化硅外延片始终位于托盘内，便于固定，但这样使得取料的时候比较困难，现有一般的取料方式有两种，0003一种是选取特殊材料的镊子，利用其尖端扁平优势，插入到碳化硅外延片底部来抬起碳化硅外延片从而进行取片，这种人工取料效率低下，而且要极其小心来避免镊子的尖端划伤碳化硅外延片的表面，0004另外一种采用机械设备，例如L。
8、PE公司的其他机型，其中，PE1O6机型是纯手动操作，没有撬取外延片的专用工具，造成外延片划伤概率多达7左右，并且撬取外延片操作平均15秒/片，这样既浪费成本又降低生产效率。而改进后的PE1O6A设备，为自动传取晶片操作，较比PE1O6多出一套机械手传递装置，该机械手传递装置成本较高，而且该装置只能识别石墨涂层碳化钽托盘，涂层碳化钽托盘价格是涂层碳化硅的3倍之多，这样大大增加了碳化硅外延片的取料成本。实用新型内容0005本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成。
9、本高的技术问题。0006为实现上述目的，本实用新型提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，便于将碳化硅外延片顶起，使得碳化硅外延片与托盘基座之间具有空隙，进而使得真空吸笔可以插入空隙内并吸取碳化硅外延片的底部。0007上述技术方案中，所述升降装置包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆，水平布置的驱动杆，所述驱动杆的一端。
10、套设有齿轮，并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮与升降杆传动连接，便于手动控制升降杆顶起的高度。0008上述技术方案中，所述驱动杆上设置有旋转圆柄。0009上述技术方案中，所述旋转圆柄上设置有刻度，便于观察和控制升降杆顶起的高度。0010上述技术方案中，所述升降杆顶起的高度范围为1.22.2cm。说明书1/4 页3CN 218989481 U30011上述技术方案中，所述升降杆的顶端并靠近驱动块与水平承载部的一侧设置有弧形倒角。0012上述技术方案中，所述水平承载部的边缘处设置有环形凸起部，便于固定托盘。0013上述技术方案中，所述驱动块的活动端设置有倾斜尖端，所述第一开槽的结构与驱。
11、动块外形大小相适应，所述倾斜尖端搭载在第一开槽上，便于驱动块进行复位。0014上述技术方案中，还包括装设在托盘基座上的托盘，所述托盘上设置有与驱动块外形大小相适应的第二开槽，装设在第二开槽内并与托盘水平面平齐的顶起块，所述顶起块的外形大小与驱动块相适应并与托盘铰接连接。0015上述技术方案中，所述托盘的顶部设置有容纳槽，所述第二开槽和顶起块均设置在容纳槽内，所述容纳槽的顶部设置有水平向外延展的环形部。0016与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：00171、本技术方案结构简单，可以对PE1O6设备进行改造，在取料的过程中通过升降装置和驱动块来对碳化硅外延片顶起，然后采用真空吸笔来吸取碳化硅。
12、外延片的底部，从而将碳化硅外延片进行取料和移料，可以减少外延片划伤导致不良，降低不良成本；另外这种操作方式可以在生产线上稳定操作，本技术方案取放片操作时间可以在5秒钟内完成，较之传统的取放片方式的生产效率可以提升3倍，减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，节约生产成本。00182、本技术方案的驱动块、第一开槽均为平行四边形结构，这样既能满足驱动块与托盘机座铰接连接，而且复位时驱动块可以搭载在第一开槽内，提高驱动块与托盘机座水平面的平行精度，本技术方案还设计了托盘结构，托盘上设置有与驱动块相适应的顶起块和第二开槽，主要是用于隔开碳化硅外延片和托盘基座，便于更换托盘，从而提高碳化硅外延片的生长。
13、环境的洁净度。附图说明0019为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。0020图1是现有技术中的一种碳化硅外延炉托盘的俯视图；0021图2是现有技术中的一种碳化硅外延炉托盘的侧视图；0022图3是本实用新型提供的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置的俯视图；0023图4是托盘基座和升降装置的侧视图；0024图5是本实用新型提供的一种托盘的侧视图；0025图6是托盘基座和、。
14、托盘升降装置的侧视图。0026附图的标记为：1、托盘基座；11、水平承载部；111、第一开槽；112、环形凸起部；2、驱动块；311、弧形倒角；22、倾斜尖端；3、升降装置；31、升降杆；32、驱动杆；33、齿轮；34、旋转圆柄；4、托盘；41、第二开槽；42、顶起块；43、容纳槽；44、环形部。说明书2/4 页4CN 218989481 U4具体实施方式0027下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获。
15、得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。0028需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。0029在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体。
16、情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。0030另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用。
17、新型要求的保护范围之内。0031如图3图6所示，本实施例提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其包括托盘基座1、驱动块2和升降装置3。0032托盘基座1的顶部设置水平承载部11，内部设置有容纳腔。其中，水平承载部11的边缘处设置有环形凸起部112，水平承载部11上设置有第一开槽111，驱动块2装设在第一开槽111内并与水平承载部11水平面平齐，驱动块2的一端与水平承载部11的中部铰接连接，另一端活动连接，升降装置3装设在容纳腔内并与驱动块2的活动端传动连接。作为优选的，驱动块2的活动端设置有倾斜尖端22，第一开槽111的结构与驱动块2外形大小相适应，倾斜尖端22在自然的重力下搭载在。
18、第一开槽111上便于驱动块2复位时搭在托盘基座1上并固定在第一开槽111内，提高驱动块2和水平承载部11的水平面平齐的精度。0033请参阅图4，作为优选的，升降装置3包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆31，水平布置的驱动杆32和齿轮33。齿轮33套设在驱动杆32的一端，此时齿轮33的轴心为水平布置。驱动杆32设置有齿轮33的一端设置在容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，其中，齿轮33与升降杆31传动连接，升降杆31的外壁上设置有与齿轮33相啮合的外螺纹(图中未示出)。其中，驱动杆32从容纳腔中探出的一端设置有旋转圆柄34。旋转圆柄34上设置有刻度，便于观察转动旋转圆柄34的数值，从而便于确定升降。
19、杆31升起的高度，进而控制驱动块2顶起的高度。本技术方案的升降装置3成本便宜，便于手动控制升降精度，当然于其他实施例中也可以为直线电机等设备。0034作为优选的，本技术方案还包括装设在托盘基座1上的托盘4，托盘4上设置有与驱说明书3/4 页5CN 218989481 U5动块2外形大小相适应的第二开槽41，装设在第二开槽41内并与托盘4水平面平齐的顶起块42，顶起块42的外形大小与驱动块2相适应并与托盘4铰接连接。本技术方案多设计一个托盘4结构，可以便于更换托盘4，便于更换碳化硅外延片的生长环境，例如：托盘4表面如果具有赃污或者划痕等等，可以将托盘4移出并清洗，或者更换新的托盘4。另外，托盘4。
20、的顶部优选设置有容纳槽43，第二开槽41和顶起块42均设置在容纳槽43内，容纳槽43的顶部设置有水平向外延展的环形部44，环形部44可以充当把手，便于将托盘4放在托盘基座1上或者取出。使用时，将托盘4在托盘基座1的水平承载部11上，环形凸起部112即可将托盘4固定在水平承载部11上，然后将顶起块42与驱动块2在竖直方向上重合，在驱动块2被升降装置3顶起的过程中，顶起块42也可以随着驱动块2的顶起而顶起，因此，作为优选的，托盘4或者托盘基座1上设置定位装置，以便于顶起块42与驱动块2重合，定位装置可以为定位柱、定位孔或者限位块等等。0035综上所述，本技术方案的工作流程为：用手扭动旋转圆柄34，。
21、从而带动驱动杆32进行转动，齿轮33随着驱动杆32的转动而转动，此时升降杆31上与齿轮33相啮合的外螺纹随着齿轮33转动的转动，进而使得升降杆31进行升起或下降。当升降杆31顶起时，驱动块2活动的一端将会被顶起，进而使得托盘4上的顶起块42被顶起，使得位于容纳槽43内的碳化硅外延片被顶起，作为优选的，升降杆31的顶端并靠近驱动块2与水平承载部11的一侧设置有弧形倒角311，使得升降杆31和驱动块2在铰接活动的过程中不易磨损，而且弧形倒角311表面的光滑可以提高驱动块2铰接活动时的顺畅度。另外，升降杆31顶起的高度范围为1.22.2cm。碳化硅外延片被顶起的过程中，顶起块42、托盘4和碳化硅外延。
22、片之间将会存在三角形空隙，真空吸笔则可通过空隙插入到碳化硅外延片底部并吸取碳化硅外延片，这样即可完成碳化硅外延片的取料作业。当用手反方向扭动旋转圆柄34时，升降杆31即会下降，此时驱动块2即可复位，并位于第一开槽111内，顶起块42即可一起复位，并位于第二开槽41内。本技术方案结构简单，可以对PE1O6设备进行改造，在取料的过程中可以减少外延片划伤导致不良，节约原材料成本；同时稳定生产线操作，减少人员在取片时浪费的时间，形成标准化，提高生产效率。0036上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。说明书4/4 页6CN 218989481 U6图1图2说明书附图1/3 页7CN 218989481 U7图3图4说明书附图2/3 页8CN 218989481 U8图5图6说明书附图3/3 页9CN 218989481 U9。