触摸屏面板及其制造方法.pdf

《触摸屏面板及其制造方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《触摸屏面板及其制造方法.pdf（15页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。

1、10申请公布号CN102346589A43申请公布日20120208CN102346589ACN102346589A21申请号201010557647622申请日20101119102010007201520100726KRG06F3/04120060171申请人三星电机株式会社地址韩国京畿道72发明人陈勇贤金大俊74专利代理机构北京润平知识产权代理有限公司11283代理人桑传标周建秋54发明名称触摸屏面板及其制造方法57摘要公开了一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括基片、多个第一检测图案、多个第二检测图案和多个防连接层。各第一检测图案包括排列在单独的列中的多个第一方向检测单元和用于使彼此相邻的所。

2、述第一检测方向单元连接的多个第一连接线。各第二检测图案包括排列在单独的行中的多个第二方向检测单元和用于使彼此相邻的所述第二方向检测单元连接的多个第二连接线。各防连接层位于每个所述第一连接线和每个所述第二连接线之间的交叉处，并且各防连接层由电绝缘材料制成。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书7页附图5页CN102346609A1/2页21触摸屏面板，该触摸屏面板包括基片；多个第一检测图案，每个所述第一检测图案形成在所述基片上，每个所述第一检测图案设置为包括多个第一检测单元，该多个第一检测单元沿具有同一坐标的第一方向排列在单独的列中；和多。

3、个第一连接线，该多个第一连接线连接彼此相邻的所述第一检测单元；多个第二检测图案，每个所述第二检测图案形成在所述基片上，每个所述第二检测图案设置为包括多个第二检测单元，该多个第二检测单元沿具有同一坐标的第二方向排列在单独的行中；和多个第二连接线，该多个第二连接线连接彼此相邻的所述第二检测单元；以及多个防连接层，每个所述防连接层位于每个所述第一连接线和每个所述第二连接线之间的交叉处，所述第一检测图案的所述第一连接线和所述第二检测图案的所述第二连接线在该交叉处交叉，并且每个所述防连接层由电绝缘材料制成。2根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述防连接层包括第一粘接层，该第一粘接层形成为用于封装所述。

4、第一连接线并由非导电粘接材料制成；和绝缘层，该绝缘层叠置在所述第一粘接层上，并且设置为具有表面，所述第二连接线形成在该表面上，并且所述表面远离与所述第一粘接层接触的表面。3根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第二连接线包括桥形桥接线，该桥形桥接线形成为封装所述防连接层；耦合线，该耦合线设置为具有与所述桥接线连接的一端和与所述第二检测单元中的一个连接的另一端。4根据权利要求3所述的触摸屏面板，该触摸屏面板还包括第二粘接层，该第二粘接层用于将所述桥接线连接于具有导电性的所述耦合线。5根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第二检测单元与所述第一检测单元交替排列，以使每个所述第二检测单元不叠。

5、置在对应的所述第一检测单元上。6根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一检测单元和第二检测单元由透明的电极材料制成。7根据权利要求6所述的触摸屏面板，其中，所述透明的电极材料由导电聚合物制成。8一种制造触摸屏面板的方法，该方法包括A制备基片，该基片设置为包括多个第一检测单元；多个第一连接线，该多个第一连接线连接彼此相邻的所述第一检测单元；和多个第二检测单元，该多个第二检测单元与所述第一检测单元交替排列；B制备板状的输送体，该输送体设置为包括多个防连接层，该多个防连接层以预定的间隔彼此分开，并形成在与相应的所述第一连接线对应的位置上；C将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的相应的所述第。

6、一连接线上；并且D形成多个第二连接线，每个所述第二连接线用于与所述第二检测单元连接，以使所述第二连接线与对应的所述第一连接线交叉，并使每个所述防连接层插入所述第二连接线与对应的所述第一连接线之间。权利要求书CN102346589ACN102346609A2/2页39根据权利要求8所述的方法，其中，制备所述输送体的步骤B包括B1制备板状的输送体；B2在所述输送体上叠置多个绝缘层，该绝缘层构成形成为板状的所述防连接层，所述绝缘层彼此以预定的间隔分开，并且形成在与所述第一连接线对应的位置上；以及B3在所述绝缘层上形成多个粘接层，该粘接层构成所述防连接层。10根据权利要求8所述的方法，其中，叠置所述防。

7、连接层的步骤C包括C1允许所述输送体的所述防连接层朝向所述基片的对应的所述第一连接线；C2将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上；以及C3移除所述输送体。11一种制造触摸屏面板的方法，该方法包括A制备基片，该基片设置为包括多个第一检测单元；多个第一连接线，该多个第一连接线连接彼此相邻的所述第一检测单元；和多个第二检测单元，该多个第二检测单元与所述第一检测单元交替排列并包括朝向彼此突出的结合线；B制备输送体，该输送体设置为包括多个桥接线，每个所述桥接线形成为桥形并具有凹陷，每个所述桥接线彼此以预定的间隔分开，每个所述桥接线包括位于所述凹陷上的防连接层，并且每个所述桥接线形成在。

8、与每个所述第一连接线对应的位置上；以及C将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上，将所述桥接线连接到对应的所述结合线，并使所述桥接线封装所述防连接层。12根据权利要求11所述的方法，其中，制备所述输送体的步骤B包括B1制备板状的输送体；B2在所述输送体上叠置多个桥接线，每个所述桥接线形成为桥形，每个所述桥接线彼此以预定的间隔分开并且形成在与所述第一连接线对应的位置上，且每个所述桥接线具有凹陷；B3在所述桥接线的凹陷中形成构成所述防连接层的绝缘层；B4在所述绝缘层上形成构成所述防连接层的粘接层；以及B5在所述桥接线的两端上形成导电粘接层。13根据权利要求11所述的方法，其中，叠。

9、置所述防连接层的步骤C包括C1允许所述输送体的所述防连接层朝向所述基片的对应的所述第一连接线；C2将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上，以使所述桥接线连接到结合线，并使所述桥接线封装所述防连接层；以及C3移除所述输送体。权利要求书CN102346589ACN102346609A1/7页4触摸屏面板及其制造方法0001相关申请的交叉引用0002本申请要求2010年7月26日提交的、题为“触摸屏面板及其制造方法”的韩国专利申请NO1020100072015的优先权，将该申请的全部内容引入本申请中以作参考。技术领域0003本发明涉及一种触摸屏面板及其制造方法。背景技术0004触。

10、摸屏面板是一种输入设备，该输入设备能够通过使用人手或物体选择显示在图像显示设备上的指令来输入用户的命令。0005为了实现这个目的，此类触摸屏面板设置在图像显示设备的正面上并且将使用人手或物体直接接触的触点的信息转换为电信号。这里，在触点上选择的指令被当作输入信号。因为触摸屏面板能够替代与图像显示设备连接并操作的独立的输入设备例如键盘或鼠标，因此触摸屏面板的适用范围已变得愈加广阔。0006根据触摸屏面板实现方式的不同，触摸屏面板分为电阻触摸屏面板、光感触摸屏面板和电容触摸屏面板。0007当人手或物体接触到触点时，电容触摸屏面板通过感知形成在导电检测图案和另一个相邻检测图案或地线GROUNDELE。

11、CTRODE之间的电容的变化来将触点的信息转化为电信号。0008这里，为了清楚地判定接触面上的触点，检测图案设置为包括沿第一方向连接的第一检测图案X图案和沿第二方向连接的第二检测图案Y图案。0009上述第一检测图案和第二检测图案通常位于同一层。在这种情况下，通过使用形成在检测图案的上绝缘膜中的接触孔形成的单独的连接图案来使沿同一X或Y线布置的检测图案彼此连接。0010这里，所述连接图案例如所述第一检测图案和第二检测图案由透明导电材料形成。因此，由于为了形成所述连接图案需要加入掩模过程MASKPROCESS，由此导致掩模数量增加的问题并使其过程变得复杂。0011此外，所述第一检测图案或第二检测图。

12、案通过所述单独的连接图案电连接，并且，在这种情况下，所述第一检测图案和第二检测图案在形成所述连接图案的位置彼此交叉。0012这里，为了减少由于连接图案产生的寄生电容的影响，通常最大限度地减少各所述连接图案的宽度。相反的，当连接图案的宽度变窄时，线路电阻增加，因而存在感应灵敏度降低的问题。0013特别地，构成第一检测图案和第二检测图案以及连接图案的透明导电材料的电阻很高，从而当所述连接图案的宽度减少时所产生的线路电阻增加会显著地影响感应灵敏度的降低。说明书CN102346589ACN102346609A2/7页5发明内容0014因此，谨记现有技术中出现的上述问题而做出了本发明，并且本发明是为了提。

13、供一种触摸屏面板该触摸屏面板的制造方法，从而通过去除用于形成连接第一连接图案和第二连接图案的连接图案的掩模过程和减小交叉处的寄生电容来防止与位于同一层上的第一连接图案和第二连接图案相关的感应灵敏度的降低。0015根据本发明的一个方面，提供一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括基片；多个第一检测图案，每个所述第一检测图案形成在所述基片上，每个所述第一检测图案设置为包括沿具有相同坐标的第一方向排列在单独的列中的多个第一检测单元，和连接彼此相邻的所述第一检测单元的多个第一连接线；多个第二检测图案，每个所述第二检测图案形成在所述基片上，每个所述第二检测图案设置为包括沿具有相同坐标的第二方向排列在单独的行中的。

14、多个第二检测单元，和连接彼此相邻的所述第二检测单元的多个第二连接线；和多个防连接层，每个所述防连接层位于每个所述第一连接线和每个所述第二连接线之间的交叉处，所述第一检测图案的所述第一连接线和所述第二检测图案的所述第二连接线在该交叉处交叉，并且每个所述防连接层由电绝缘材料制成。0016此外，本发明的所述防连接层包括第一粘接层，该第一粘接层形成为封装所述第一连接线并由非导电粘接材料制成；和绝缘层，该绝缘层叠置在所述第一粘接层上，并且设置为具有表面，所述第二连接线形成在该表面上，并且所述表面远离与所述第一粘接层接触的表面。0017此外，本发明的所述第二连接线包括桥形桥接线，该桥形桥接线形成为封装所述。

15、防连接层；和耦合线，该耦合线设置为具有与所述桥接线连接的一端和与第二检测单元中的一个连接的另一端。0018此外，本发明还包括第二粘接层，该第二粘接层用于使所述桥接线连接于具有导电性的所述耦合线。0019此外，本发明的所述第二检测单元与所述第一检测单元交替排列，以使每个所述第二检测单元不叠置在对应的所述第一检测单元上。0020此外，本发明的所述第一检测单元和第二检测单元由透明的电极材料制成。0021此外，本发明的所述透明的电极材料由导电聚合物制成。0022此外，本发明的一种方法包括A制备基片，该基片包括多个第一检测单元；多个第一连接线，该多个第一连接线连接彼此相邻的所述第一检测单元；和多个第二检。

16、测单元，该第二检测单元与所述第一检测单元交替排列；B制备板状的输送体，该输送体设置为包括多个防连接层，该多个防连接层以预定的间隔彼此分开并形成在与相应的所述第一连接线对应的位置上；C将所述输送体的防连接层叠置在所述基片的相应的所述第一连接线上；以及D形成多个第二连接线，每个所述第二连接线分别用于与所述第二检测单元连接，以使所述第二连接线与对应的所述第一连接线交叉，并使每个所述防连接层插入所述第二连接线与对应的所述第一连接线之间。0023此外，本发明的制备输送体的步骤B包括B1制备所述板状的输送体；B2在所述输送体上层叠多个绝缘层，该绝缘层构成形成为板状的所述防连接层，所述绝缘层彼此以预定的间隔。

17、分开并且形成在与所述第一连接线对应的位置上；以及B3在所述绝缘层上形成多个粘接层，所述粘接层构成所述防连接层。说明书CN102346589ACN102346609A3/7页60024此外，本发明的叠置所述防连接层的步骤C包括C1允许所述输送体的所述防连接层朝向所述基片的对应的所述第一连接线；C2将输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上；以及C3移除所述输送体。0025此外，本发明的一种方法包括A制备基片，该基片包括多个第一检测单元；多个第一连接线，该多个第一连接线连接多个彼此相邻的所述第一检测单元；和多个第二检测单元，所述第二检测单元与所述第一检测单元交替排列并且包括朝向彼此突出。

18、的结合线；B制备输送体，该输送体设置为包括多个桥接线，每个所述桥接线形成为桥形并具有凹陷，每个所述桥接线彼此以预定的间隔分开，每个所述桥接线包括位于所述凹陷上的防连接层并且形成在与每个所述第一连接线对应的位置上；以及C将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上，将所述桥接线连接到对应的所述结合线上，并且使所述桥接线封装所述防连接层。0026此外，本发明的制备输送体的步骤B包括B1制备所述板状的输送体；B2在所述输送体上叠置多个桥接线，每个所述桥接线形成为桥形，每个所述桥接线彼此以预定的间隔分开，每个所述桥接线形成在与每个所述第一连接线对应的位置上并且具有所述凹陷；B3在所述桥接。

19、线的所述凹陷中形成构成所述防连接层的绝缘层；B4在所述绝缘层上形成构成所述防连接层的粘接层；以及B5在所述桥接线的两端上形成导电粘接层。0027此外，本发明的叠置所述防连接层的步骤C包括C1允许所述输送体的所述防连接层朝向所述基片的对应的所述第一连接线；C2将所述输送体的所述防连接层叠置在所述基片的所述第一连接线上，以使所述桥接线连接到所述结合线，并使所述桥接线封装所述防连接层；以及C3移除所述输送体。0028本说明书及权利要求书中所提到的名词及术语不应当解释为限于通常含义或辞典含义，而应当解释为与本发明的技术精神一致的含义和概念，该含义和概念基于如下原则，即发明人能够恰当地限定概念，从而以最。

20、恰当的方式描述发明人自己的发明。附图说明0029通过下文的具体说明和以下结合附图的优选实施方式，本发明的上述和其它目的、优点以及新特征将显而易见，其中0030图1是根据本发明的第一实施方式的触摸屏面板的平面图；0031图2是沿图1的AA线截取的截面图；0032图3是根据本发明的第二实施方式的触摸屏面板的平面图；0033图4是沿图3的BB线截取的截面图；0034图5至图8是显示制造根据本发明的第一实施方式的触摸屏面板的方法的步骤的图；0035图9至图12是显示制造根据本发明的第二实施方式的触摸屏面板的方法的步骤的图。具体实施方式0036应该注意的是，在本说明书中使用附图标记时，在不同的附图中使用。

21、相同的附图说明书CN102346589ACN102346609A4/7页7标记表示相同或相似的部件。另外，如果在描述本发明时，对与本发明相关的已知功能或构造的详细描述会不必要地导致本发明的主旨模糊，则将省略这些描述。0037在下文中，将结合附图对本发明的优选实施方式进行详细的描述。0038图1为根据本发明第一实施方式的触摸屏面板的平面图。0039参照图1，根据本发明第一实施方式的检测图案包括交替排列的多个第一检测图案12和多个第二检测图案14。第一检测图案12形成为用于具有相同的X坐标的各列。第二检测图案14形成为用于具有相同的Y坐标的各行。0040此外，每个第一检测图案12包括第一检测单元1。

22、2和第一连接线12”。第一检测单元12沿具有相同的X坐标的第一方向列向排列在每列中。第一连接线12”设置为连接彼此相邻的第一检测单元12。每个第二检测图案14包括第二检测单元14和第二连接线14”。第二检测单元14沿具有相同的Y坐标的第二方向行向排列在每行中。第二连接线14”设置为连接彼此相邻的第二检测单元14。0041这里，在本发明的第一实施方式中，第一检测图案12和第二检测图案14形成在位于基片11上的同一层中，并且在第一检测图案12和第二检测图案14上形成绝缘层13。0042此外，为了实现触摸屏面板的操作，基片11以及第一检测图案12和第二检测图案14可以使用透明材料，因此优选地第一检测。

23、图案12和第二检测图案14由导电聚合物制成，例如氧化铟锡以下简称ITO，聚乙撑二氧噻吩PEDOT，或镨PA。0043为了使第一检测图案12和第二检测图案14用作检测电极，可以使排列在第一方向上的检测单元电连接，并且可以使排列在第二方向上的检测单元电连接。0044这里，第一检测单元12通过第一连接线12”彼此电连接。但是，由于作为第二检测图案14的组成部分的第二检测单元14与第一检测单元12形成在同一层，为了防止与第一连接线12”相关的短路，不能形成有与任意一个第一连接线12”直接交叉的连接线。0045因此，如图2所示的沿图1的线AA的截取的截面，在本发明第一实施方式中，为了防止在第一检测图案1。

24、2的每个第一连接线12”和与第二检测单元14连接的、对应的第二连接线14”之间形成电连接，第一连接线12”和第二连接线14”形成为彼此交叉并形成用于封装第一连接线12”的防连接层15，该防连接层15插入第一连接线12”和第二连接线14”之间。0046如果各第一连接线12”和对应的第二连接线14”彼此交叉形成，并且每个防连接层15插入第一连接线12”和第二连接线14”之间如上所述，则可以有效地利用空间，而没有形成电连接。0047此外，如果防连接层15由具有高介电强度的绝缘材料制成，则能够使通过第一连接线12”和第二连接线14”的交叉产生的寄生电容最小化。0048当然，为了使第一连接线12”和第二。

25、连接线14”的交叉产生的寄生电容最小化，可以额外地使第二连接线14”的宽度缩小。如果额外地使第二连接线14”的宽度缩小，电阻会降低，从而提高感应灵敏度。0049这里，防连接层15形成为双层。其外层由提供电绝缘的绝缘层15形成，该绝缘层15由绝缘材料制成，其内层由具有粘接性能的粘接材料制成，以在形成绝缘层15的过程中能够与第一连接线12”相连，并且，内层由具有不导电性的不导电粘接层15”制成。0050如果使用上述双层结构的防连接层15，就可以提供充分的电绝缘和期望的粘接强说明书CN102346589ACN102346609A5/7页8度。0051图3所示为根据本发明第二个实施方式的触摸屏面板的平。

26、面图。0052参考图3，根据本发明第二实施方式的检测图案包括交替排列的多个第一检测图案12和多个第二检测图案14。第一检测图案12相互连接，用于具有相同的X坐标的各列。第二检测图案14相互连接，用于具有相同的Y坐标的各行。0053此外，每个第一检测图案12包括第一检测单元12和第一连接线12”。第一检测单元12沿具有相同的X坐标的第一方向列向排列在单独的列中。第一连接线12”设置为连接彼此相邻的第一检测单元12。每个第二检测图案14包括第二检测单元14和第二连接线14”。第二检测单元14沿具有相同的Y坐标的第二方向行向排列在每行中。第二连接线14”设置为连接彼此相邻的第二检测单元14。0054。

27、这里，如图4所示的沿图3的线BB截取的截面图，在本发明第二实施方式中，为了防止在各第一检测图案12的第一连接线12和使第二检测单元14与另外一个第二检测单元14连接的、对应的第二连接线14”之间产生电连接，第一连接线12”和第二连接线14”形成为彼此交叉并形成用于封装第一连接线12”的防连接层15，该防连接层15插入第一连接线12”和第二连接线14”之间。0055此外，第二连接线14”包括两部分，即桥接线BRIDGECONNECTIONLINE14”1，该桥接线14”1形成为桥型并封装防连接层15；和耦合线COUPLINGLINE14”2，该耦合线14”2设置为一端与桥接线14”1连接，另一端。

28、与一个第二检测单元14连接。0056如果第二连接线14”设置为包括如上所述的两部分，在制造过程中，各部分可以使用不同的工艺制造，从而减少制造过程的时间和费用。0057桥接线14”1的宽度可以与耦合线14”2的宽度相同或不同，并且桥接线14”1和耦合线14”2可以使用相同或不同的材料。0058此外，桥接线14”1和耦合线14”2由粘接材料制成，并且可以使用具有导电性的导电粘接层16使彼此连接。0059这里，防连接层15形成为双层。其外层由绝缘材料制成的绝缘层15形成，该绝缘层15提供电绝缘，其内层由具有粘接性能的粘接材料制成，以在形成绝缘层15的过程中能够与第一连接线12”相连，并且，该内层由具。

29、有不导电性的不导电粘接层15”形成。0060如果使用上述双层结构的防连接层15，就可以提供充分的电绝缘和期望的粘接强度。0061另外，由于根据第二实施方式的触摸屏面板的其它部分的设置和操作与第一实施方式的相关内容相同，因此将省略对其详细说明。0062图5到图8所示为根据本发明第一实施方式的触摸屏面板的制造方法。0063首先，如图5所示，提供透明基片110，该透明基片110包括交替排列的多个第一检测图案120和多个第二检测图案140。第一检测图案120彼此连接，以用于具有相同的X坐标的各列。第二检测图案140彼此连接，以用于具有相同的Y坐标的各行。0064这里，每个第一检测图案120包括第一检测。

30、单元120和第一连接线120”。第一检测单元120沿具有相同的X坐标的第一方向列向排列在单独的列中。第一连接线120”设置为连接彼此相邻的第一检测单元120。每个第二检测图案140包括沿具有相同的Y坐标的第二方向行向排列在单独的行中的第二检测单元140。说明书CN102346589ACN102346609A6/7页90065此外，如图6所示，设置用作输送体TRANSPORTER的矩形板状的释放膜RELEASEFILM210。该释放膜210包括多个绝缘层150和多个粘接层150。每个绝缘层150根据预设分开并且形成在与第一检测图样120的每个第一连接线120”对应的位置。每个粘接层150形成在绝。

31、缘层150”上。0066然后，如图7所示，使释放膜210翻转并且叠置在透明基片110上，以使粘接层150粘接到对应的第一连接线120”上并且使绝缘层150”叠置在对应的第一连接线120”上，随后移除释放膜210。0067接着，如图8所示，与第二检测单元140连接的第二连接线140”形成为与对应的第一检测图案120的第一连接线120”交叉，并且将用于防止电连接的防连接层150插入第一连接线120”和第二连接线140”之间。0068当然，尽管未示出第二连接线140”的形成过程，该过程通过铺设干燥薄膜、形成图案、金属镀层、以及然后移除干燥薄膜的方式实现。0069图9到图12所示为根据本发明第二实施方。

32、式的触摸屏面板的制造方法。0070首先，如图9所示，提供透明基片110，该透明基片110包括交替排列的多个第一检测图案120和多个第二检测图案140。第一检测图案120彼此连接，以用于具有相同的X坐标的各列。第二检测图案140彼此连接，以用于具有相同的Y坐标的各行。0071这里，每个第一检测图案120包括第一检测单元120和第一连接线120”。第一检测单元120沿具有相同的X坐标的第一方向列向排列在单独的列中。第一连接线120”设置为连接彼此相邻的第一检测单元120。每个第二检测图案140包括第二检测单元140和耦合线140”2。第二检测单元140沿具有相同的Y坐标的第二方向行向排列在单独的行。

33、中。耦合线140”2用于形成连接彼此相邻的第二检测单元140的第二连接线。0072这里，耦合线140”2形成为在每个第二检测单元140的左右两端突出并延伸，并且通过以下方式彼此电连接。0073接下来，如图10所示，设置矩形板状的释放膜210。该释放膜210包括多个桥接线140”1、多个绝缘层150、多个导电粘接层160和多个粘接层150”。每个桥接线140”1彼此以预定间隔分开，每个桥接线140”1形成在与第一检测图案120的每个第一连接线120”对应的位置上，并且设置为具有凹陷。每个绝缘层150形成在桥接线140”1的凹陷中。每个导电粘接层160叠置在桥接线140”1的两端上。每个粘接层15。

34、0”形成在对应的绝缘层150上。0074然后，如图11所示，使释放膜210翻转并叠置在透明基片110上，以使粘接层150”粘接在对应的第一连接线120”上，并使绝缘层150叠置在对应的第一连接线120”上。然后，如图12所示，导电粘接层160粘接到对应的耦合线140”2上，以使桥接线140”1与位于其两侧的耦合线140”2电连接，并使桥接线140”1叠置在对应的第一连接线120”上，然后移除释放膜210。0075如上所述，当释放膜210被移除后，使与第二检测单元140连接的各第二连接线140”形成为与第一检测图案120的对应的第一连接线120”交叉，并且将用于防止电连接的防连接层150插入第二。

35、连接线140”和第一连接线120”之间。0076根据上述本发明，本发明的优点在于通过移除使第一检测图案和第二检测图案连说明书CN102346589ACN102346609A7/7页10接的掩模过程以及通过减少在交叉处产生的寄生电容来防止形成在同一层的第一检测图案和第二检测图案之间的感应灵敏度降低。0077尽管已经出于说明性目的而公开了本发明的优选实施方式，但本发明并不限于此，本领域技术人员能够理解的是，在不脱离公开在附带的权利要求中的本发明的主旨的情况下各种修改都是可能的，而且所述修改不应被解释为脱离了本发明的技术思想。说明书CN102346589ACN102346609A1/5页11图1图2图3说明书附图CN102346589ACN102346609A2/5页12图4图5图6说明书附图CN102346589ACN102346609A3/5页13图7图8说明书附图CN102346589ACN102346609A4/5页14图9图10说明书附图CN102346589ACN102346609A5/5页15图11图12说明书附图CN102346589A。