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1、10申请公布号CN101936433A43申请公布日20110105CN101936433ACN101936433A21申请号201010234393422申请日20100723F16L21/00200601F16L55/24200601H01L31/1820060171申请人中电电气南京光伏有限公司地址211100江苏省南京市江宁经济技术开发区佛城西路123号72发明人刘军54发明名称一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头57摘要本发明公开了一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头，包括接头体。接头体的内孔分为尾气管结合段和大石英管的尾管结合段，大石英管的尾管结合段的内径大于尾气管结合。
2、段的内径；在接头体上开有保护气孔，保护气孔与大石英管的尾管结合段在接头体内部的端部联通。本发明尾气管接头，结构简单，制备方便，能够有效防止大石英管的尾管与排气的尾气管粘结，接头拆卸更换方便。经过现场工艺的多次验证，此结构对产品质量不会产生任何负面影响。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图2页CN101936433A1/1页21一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头，包括接头体3，其特征是接头体的内孔分为尾气管结合段4和大石英管的尾管结合段5，大石英管的尾管结合段的内径大于尾气管结合段的内径；在接头体上开有保护气孔6，保护气孔与大石英管的。
3、尾管结合段在接头体内部的端部7联通。权利要求书CN101936433A1/2页3一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头技术领域0001本发明涉及一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头。背景技术0002目前成熟商业化生产的晶体硅太阳电池以其工艺流程简单，便于大规模生产等优点而迅速发展起来。这种商业化生产晶体硅太阳电池的一个极其重要的工序是采用扩散技术在硅片表面掺杂，控制一定扩散深度，形成电池的PN结，具有工艺简单、设备技术发展成熟、自动化程度高、被扩散产品的产能高等优点，从而能够降低生产成本，使晶体硅太阳电池迅速走向商业化生产。但是，由于扩散副产物的形成，导致排放尾气的尾气管1与大石英管。
4、的尾管2粘结，当尾气管堵塞，造成尾气排放不畅时，更换不方便，耗时耗力，这不仅影响了扩散工艺的均匀性和稳定性，还延长了设备当机时间，影响生产产能。0003目前太阳电池行业所使用的扩散炉尾气管接口均为普通的直通或变径PVDF或PFA等耐高温材料的接头，这种接头不能解决尾气管粘结问题，如图1所示，反应副产物容易在尾气管1与大石英管的尾管2之间的区域沉积，把大石英管的尾管与排气的尾气管粘结在一起。发明内容0004本发明所要解决的技术问题在于，克服了现有普通接头仅有的简单的连接密封作用，提供了一种可以引入气体保护，防止反应副产物在尾管处冷凝、造成尾气管粘结的接头。本发明将气体动力学引入，起到隔离反应副产。
5、物于局部空间之外的作用，从而避免副产物在局部空间沉积，有效防止了尾气管的粘结。0005本发明为了解决上述技术问题，所采用的技术方案是晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头简称尾气管接头，包括接头体，其特征是接头体的内孔分为尾气管结合段和大石英管的尾管结合段，大石英管的尾管结合段的内径大于尾气管结合段的内径；在接头体上开有保护气孔，保护气孔与大石英管的尾管结合段在接头体内部的端部联通。0006使用时，将尾气管接头内孔的尾气管结合段与尾气管结合，将大石英管的尾管结合段与大石英管的尾管结合，将保护气孔与保护气源接通。由保护气孔通入保护气，使大石英管的尾管与排气的尾气管区域处于保护气气体的氛围下，阻止。
6、反应副产物沉积在此处，以达到防止两管粘结的目的。0007本发明尾气管接头，结构简单，制备方便，能够有效防止大石英管的尾管与排气的尾气管粘结，接头拆卸更换方便。经实验验证，此结构对产品质量不会产生任何负面影响，相反，对产品质量参数的提升和工艺稳定都有一定的好处。附图说明0008图1是现有技术的尾气管接头结构示意图；说明书CN101936433A2/2页40009图2是本发明晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头结构示意图；0010图3是本发明晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头使用状态示意图。具体实施方式0011下面结合附图和实施例对本发明作详细说明。0012实施例0013如图2所示，晶体硅太。
7、阳电池生产用扩散炉的尾气管接头，包括接头体3，其特征是接头体的内孔分为尾气管结合段4和大石英管的尾管结合段5，大石英管的尾管结合段5的内径大于尾气管结合段4的内径；在接头体上开有保护气孔6，保护气孔与大石英管的尾管结合段在接头体内部的端部7联通。0014如图3所示，使用时，将尾气管接头内孔的尾气管结合段与尾气管结合，将大石英管的尾管结合段与大石英管的尾管结合，将保护气孔与保护气源接通。由保护气孔通入保护气，使大石英管的尾管与排气的尾气管区域处于保护气气体的氛围下，阻止反应副产物沉积在此处，以达到防止两管粘结的目的。说明书CN101936433A1/2页5图1图2说明书附图CN101936433A2/2页6图3说明书附图。