基板载具的挡杆的制造方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN02151935.8

申请日:

2002.11.05

公开号:

CN1498696A

公开日:

2004.05.26

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

IPC分类号:

B05D1/02; B05D7/14; H01L21/68; C03B35/00

主分类号:

B05D1/02; B05D7/14; H01L21/68; C03B35/00

申请人:

鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 沛鑫半导体工业股份有限公司

发明人:

黄俊凯; 张明辉

地址:

518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

优先权:

专利代理机构:

代理人:

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内容摘要

一种用于平面显示器制程中玻璃基板搬运和搬移的基板载具的挡杆的制造方法。该挡杆的制造方法包括:将金属棒置于洁净空间内,加热树脂材料至熔融状态,而后喷洒包覆在金属棒上,反复喷洒使树脂材料在金属棒表面上沉积形成树脂层。该金属棒和该树脂层完全密合形成一体,可阻绝平面显示器制程中化学溶液在该挡杆中的残留。

权利要求书

1: 一种基板载具的挡杆的制造方法,其特征在于:将金属棒置于 一空间内,加热树脂材料至熔融状态,而后喷洒包覆在金属棒上, 反复喷洒使树脂材料在金属棒表面上沉积形成树脂层。
2: 一种基板载具的挡杆的制造方法,其特征在于:将金属棒置于 一模具内,该模具的模腔形状为金属棒外径加上欲包覆树脂材料的 厚度所形成的圆柱腔体,树脂材料被加热至熔融状态而后注入模腔 内,树脂固化后即形成树脂层包覆于金属棒表面。

说明书


基板载具的挡杆的制造方法

    【技术领域】

    本发明是关于一种基板载具,尤其是关于一种基板载具的挡杆的制造方法。

    【背景技术】

    平面显示器制造过程中,会涉及玻璃基板搬运和搬移工作,为更好地搬运和搬移玻璃基板,基板载具设计实为必需。

    目前,玻璃基板的搬运和搬移一般采用具有多重槽体或槽板的基板载具,该基板载具包括两相对设置的框架、设置于两框架间的两侧面、设有挡杆的端面和相对端面的基板出入口。该基板载具的两侧面设置有拘束基板的多重槽体或槽板。可使玻璃基板出入的基板出入口亦可设有挡杆以拘束玻璃基板在载具内不致脱出。现有技术中,挡杆是通过由树脂材料制成的管状物套在一金属圆棒外表面获得,其具有结构强度,且不会损坏玻璃基板的功能。在用具多个槽体的清洗机清洗玻璃基板过程中,装有玻璃基板的基板载具浸于盛有化学溶液的槽体中去污,然后浸于盛有纯水的槽体中以洗净化学溶液,因树脂套管与金属棒之间未达到完全密合而存在缝隙,致使化学溶液渗入树脂套管与金属棒之间无法被洗净,造成后续制程受到化学溶液逸散的污染。另,将树脂套管套在金属圆棒外表面上,操作起来,实为不便。

    【发明内容】

    本发明目的在于提供一种基板载具的挡杆的制造方法,该制造方法操作简便,且制成地挡杆易清洗。

    为实现本发明目的,本发明基板载具的挡杆的制造方法包括:将金属棒置于一空间内,树脂材料被加热至熔融状态,而后喷洒包覆在金属棒上,反复喷洒使树脂材料在金属棒表面上沉积形成树脂层。

    本发明基板载具的挡杆的又一制造方法包括:将金属棒置于一模具内,该模具的模腔形状为金属棒外径加上欲包覆树脂材料的厚度所形成的圆柱腔体,树脂材料被加热至熔融状态而后注入模腔内,树脂固化后即形成树脂层包覆于金属棒表面。

    相较于现有技术,本发明具有如下优点:采用本发明基板载具挡杆的制造方法制造的挡杆,金属棒与树脂层完全密合形成一体,其具有安装简便、易清洗等优点。

    【附图说明】

    图1是本发明基板载具的挡杆的金属棒立体图。

    图2是本发明基板载具的挡杆立体图。

    图3是本发明基板载具的立体图。

    图4是本发明基板载具另一实施例的立体图。

    【具体实施方式】

    请参阅图1和图2,本发明基板载具的挡杆4包括金属棒40及包覆金属棒40的树脂层42,且树脂层42与金属棒40形成一体。金属棒40两端具有凹槽401,可被固持于基板载具(参见图3或图4)的配合位置。金属棒40两端亦可设圆柱突起取代凹槽401,可被固持于基板载具的配合位置。

    挡杆4可采用以下两种方法之一制造:一、表面被覆法:将金属棒40置于一空间内,树脂材料被加热至熔融状态,而后喷洒包覆在金属棒40上,反复喷洒使树脂材料在金属棒40表面上沉积形成厚度至少为500μm的树脂层42。二、射出成形法:将金属棒40置于一模具内,该模具的模腔形状为金属棒40外径加上欲包覆树脂材料的厚度所形成的圆柱腔体,树脂材料被加热至熔融状态而后注入模腔内,树脂固化后即形成具有一定均匀厚度的树脂层42包覆于金属棒40表面。树脂体材料为聚醚醚酮(PEEK)或聚四氟乙烯(PTFE)等材料。采用以上述方法获得的挡杆4的金属棒40表面与树脂层42间完全密合形成一体,可阻绝平面显示器制程中化学溶液在挡杆4中的残留

    请参阅图3,为设置有挡杆4的基板载具的立体图,其包括两相对的框架1、2、相对设置于两框架间的至少两支承体3及至少一挡杆4。挡杆4设置于基板载具一侧且与支承体3、框架1、2界定一收容空间,并与支承体3、框架1、2配合拘束基板(图未示)于基板载具收容空间内。支承体3是具有收容基板边侧的槽(未标示)的槽板。

    挡杆4可通过螺钉(未标示)与框架1、2的螺孔(未标示)及金属棒40的凹槽401配合以固定于框架1、2上。基板可自固有挡杆一侧的相对侧插入,基板边侧顺沿支承体3的槽滑动至基板一侧并抵触挡杆4。基板收容于基板载具内后,基板插入侧亦可设置挡杆4,使基板稳定拘束于基板载具内不致脱落。

    图4是本发明基板载具又一实施例,其包括两相对的框架1’、2’,相对设置于两框架1’、2’间的至少两对支承体3’,及挡杆4。支承体3’、挡杆4及两框架1’、2’相互配合构成为箱形,进而形成收容基板的空间。其中,该支承体3’为设有支承槽(未标示)的槽棒,每对槽棒的支承槽所对应形成的空间可收容一基板。

    挡杆4可通过螺钉(未标示)与框架1’、2’螺孔(未标示)及挡杆4的凹槽401配合以固定于框架1’、2’间。支承体3’具有收容基板边侧的支承槽,基板可自固有挡杆一侧的相对侧插入,基板边侧顺沿支承体3’的支承槽滑动至基板一侧抵触挡杆4。基板收容于基板载具内后,基板插入侧亦可设置挡杆4,使基板稳定拘束于基板载具内不致脱落。

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一种用于平面显示器制程中玻璃基板搬运和搬移的基板载具的挡杆的制造方法。该挡杆的制造方法包括:将金属棒置于洁净空间内,加热树脂材料至熔融状态,而后喷洒包覆在金属棒上,反复喷洒使树脂材料在金属棒表面上沉积形成树脂层。该金属棒和该树脂层完全密合形成一体,可阻绝平面显示器制程中化学溶液在该挡杆中的残留。 。

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