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1、10申请公布号CN102101323A43申请公布日20110622CN102101323ACN102101323A21申请号200910262473822申请日20091218B28D1/0820060171申请人绿能科技股份有限公司地址中国台湾台北市72发明人林和龙吕秀正74专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人周国城54发明名称用于硅晶锭开方切割的承载装置57摘要本发明公开了一种用于硅晶锭开方切割的承载装置,主要于承载托架上设置有多个直立撑杆,每一直立撑杆可接受上方硅晶锭的重量下压而分别独立上下移动。多个直立撑杆分别对应插置于多个夹紧块之间,透过锁紧螺杆以穿经多个夹紧块。
2、的贯穿孔,再以锁紧螺杆两端具有螺纹方向相反的螺纹段分别对应螺入二端滑块的螺孔内。据此,当选择式地单向旋转锁紧螺杆时,能促使二滑块向内相对移动以夹紧多个夹紧块,进而夹紧多个直立撑杆使其固定不再上下移动,以稳固支撑上方未切割前的硅晶锭,并且能在开方切割中或切割后针对每一硅晶砖都有多个支撑杆给予随遇平衡支撑。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书4页附图6页CN102101326A1/1页21一种用于硅晶锭开方切割的承载装置,其特征在于包括一承载托架,包括有一底板、及二立墙,该二立墙分别设于该底板上方遥相对应,每一立墙开设有至少一横向通道,其中,分设于该二。
3、立墙的每一横向通道彼此两两相互对应;至少二滑块,分别滑设于该二立墙的每一横向通道内,每一滑块贯穿有一螺孔,其中,分设于该二立墙内且相对应的二滑块的螺孔其螺纹方向相反;多个夹紧块,彼此相邻并排于该承载托架的该底板上,每一夹紧块横向开设有一贯穿孔;多个直立撑杆,分别可动地插置于该多个夹紧块之间,每一直立撑杆能独立上下移动;以及至少一锁紧螺杆,穿经该多个夹紧块的该贯穿孔、及该至少二滑块的该螺孔,该至少一锁紧螺杆的相对二端分别包括有一第一螺纹段、及一第二螺纹段,该第一螺纹段、及该第二螺纹段的螺纹方向相反,并能分别对应螺锁于该至少二滑块的该螺孔内。2如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,该承载托架包括。
4、有一间隔壁,其设置于该底板上并介于该二立墙之间,该间隔壁横向开设有至少一中通道,该至少一锁紧螺杆更对应穿经该至少一中通道。3如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,该承载托架的该底板开设有多个容柱孔,该多个直立撑杆的下端分别对应插设于该多个容柱孔内。4如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,每一夹紧块的侧壁凹设有纵向凹槽,每一直立撑杆可动地容置于相邻二个夹紧块的纵向凹槽内。5如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,该多个直立撑杆分别包括有一头部、及一滑杆,该头部设置于该滑杆的顶端。6如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,该多个直立撑杆分别还包括有一弹性件。7如权利要求6所述的承载装置,其特征。
5、在于,该多个直立撑杆的该弹性件包括有橡胶套环。8如权利要求6所述的承载装置,其特征在于,该多个直立撑杆4的该弹性件包括有螺旋弹簧。9一种用于硅晶锭开方切割的承载装置,其特征在于包括一承载托架;多个夹紧装置,分别设置于该承载托架上;多个直立撑杆,分别可动地设置于该承载托架上并对应至该多个夹紧装置,每一直立撑杆并能独立上下移动;以及一动力源,提供该多个夹紧装置以选择式地夹紧该多个直立撑杆或放松该多个直立撑杆。10如权利要求9所述的承载装置,其特征在于,该多个夹紧装置包括有多个束紧油压缸,该动力源包括有一油压泵浦。权利要求书CN102101323ACN102101326A1/4页3用于硅晶锭开方切割。
6、的承载装置技术领域0001本发明涉及用于硅晶锭开方切割的承载装置,尤指一种适用于硅晶锭开方切割设备中,用以承载支撑切割前的硅晶锭以及切割后的硅晶砖的装置,并能使切割后的硅晶砖得到随遇平衡支撑。背景技术0002请参阅图9,图9是现有硅晶锭切割设备的立体图。现有技术的多晶硅晶锭或其它块状材料要分割切开成晶砖,或将晶砖的头尾料切除,目前多采以带锯机BENDSAW进行切割,如图9所示。带锯机9操作原理简略说明如下,带锯机9的基座上有一加工物放置平台90,加工物91亦即硅晶锭置于加工物放置平台90上,以夹具901夹持固定。0003一环状带锯92张于二飞轮93之上,并以马达带动其中之一飞轮93,以转动环状。
7、带锯92而进行切割。接着,欲进行切割时,带锯92连同飞轮93往下进刀切割。据此,每当完成一刀锯切时,欲进行其它位置锯切时,必须松开夹具901,再移动或转向加工物91,再重复一次夹固。0004另一承载方式,是将硅晶锭以粘胶粘着于可移动的承载平台。该平台可以依预先设定的程序,每切一刀再移动到次一切割位置。完成开方切割之后,必须以人力将晶砖一一拔离平台,并进行除胶的工作。0005因此,现有硅晶锭开方切割承载方式,是以夹持或粘胶粘固,不仅耗时费工,用胶成本高,且除胶过程更是繁琐,也污染环境。发明内容0006本发明为一种用于硅晶锭开方切割的承载装置,包括一承载托架、至少二滑块、多个夹紧块、多个直立撑杆、。
8、及至少一锁紧螺杆。其中,承载托架包括有一底板、及二立墙,而二立墙分别设于底板上方遥相对应。每一立墙开设有至少一横向通道。其中,分设于二立墙的每一横向通道彼此两两相互对应。再者,至少二滑块分别滑设于二立墙的每一横向通道内,又每一滑块贯穿有一螺孔。其中,分设于二立墙内且相对应的二滑块的螺孔其螺纹方向相反。再者,多个夹紧块彼此相邻并排于承载托架的底板上,又每一夹紧块横向开设有一贯穿孔。0007再且,多个直立撑杆分别可动地插置于多个夹紧块之间,每一直立撑杆能独立上下移动。至于,至少一锁紧螺杆穿经多个夹紧块的贯穿孔、及至少二滑块的螺孔。至少一锁紧螺杆的相对二端更分别包括有一第一螺纹段、及一第二螺纹段。其。
9、中,第一螺纹段、及第二螺纹段的螺纹方向相反,并能分别对应螺锁于至少二滑块的螺孔内。据此,当单向旋转锁紧螺杆时,至少二滑块分别受限于横向通道内,使之不致随锁紧螺杆旋转,而促使至少二滑块向内相对移动以夹紧多个夹紧块,进而夹紧多个直立撑杆使其不再上下移动。因此,本发明构造简单、操作简易,除能稳固承载切割前的硅晶锭外,还能提供开方切割后的各别硅晶砖得到稳固随遇平衡支撑RANDOMBALANCESUPPORT。说明书CN102101323ACN102101326A2/4页40008其中,本发明的承载托架可还包括有一间隔壁,其可设置于底板上并介于二立墙之间。而间隔壁横向开设有至少一中通道,至少一锁紧螺杆还。
10、对应穿经至少一中通道。据此,间隔壁可分别挡止二侧的夹紧块,并可避免当夹紧直立撑杆时因夹紧块位移过大,而直立撑杆随之移动导致上方承载的硅晶锭脱落或翻落造成毁损。另外,间隔壁可设于承载托架的中段,但亦可视实际需要调整使其左右侧的空间不对称。0009此外,本发明的承载托架的底板可还开设有多个容柱孔,而多个直立撑杆的下端分别对应插设于多个容柱孔内。其中,容柱孔主要用于容设其上方的直立撑杆因承载硅晶锭重量后而可能产生的向下凸伸长度。另外,本发明每一夹紧块的侧壁可凹设有纵向凹槽,而每一直立撑杆可动地容置于相邻二个夹紧块的纵向凹槽内。其中,纵向凹槽主要用以容置、及固定住直立撑杆,以防止直立撑杆产生不可预期的。
11、径向位移。而纵向凹槽的断面可为弧型槽、方槽或其它几何多边形槽皆可。0010较佳的是,本发明的多个直立撑杆可分别包括有一头部、及一滑杆,其头部设置于滑杆的顶端,又多个直立撑杆可分别包括有一弹性件。而弹性件可为橡胶套环、螺旋弹簧、或其它等效元件,以利于套设在滑杆外,并向上顶抵于头部下缘以提供向上回复力。其主要因欲承载的硅晶锭的下表面并非一定平整,而支撑的直立撑杆须能容许并吸收不平整的公差余隙以直接顶抵在下表面,故而通过弹性件来吸收承载。又弹性件因能提供一向上回复力,故亦可使直立撑杆不受力时能回复至预定高度。0011本发明另一态样,一种用于硅晶锭开方切割的承载装置,包括一承载托架、多个夹紧装置、多个。
12、直立撑杆、及一动力源。其中,多个夹紧装置分别设置于承载托架上。另外,多个直立撑杆,分别可动地设置于该承载托架上并对应至该多个夹紧装置,每一直立撑杆并能独立上下移动。而动力源提供多个夹紧装置以选择式地夹紧多个直立撑杆使其不再上下移动,或放松多个直立撑杆使其能独立上下移动。其中,多个夹紧装置可包括有多个束紧油压缸,而动力源可包括有一油压泵浦,或改用束紧气压缸、及高压泵浦亦可,抑或以电磁束紧器、及电动马达亦可,或者其它等效装置亦可适用于本发明。附图说明0012图1为本发明一较佳实施例硅晶锭切割设备的剖面图;0013图2为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例的立体图;0014图3为本发明用于硅。
13、晶锭开方切割的承载装置第一实施例的俯视图;0015图4为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例AA线段的剖视图;0016图5为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例BB线段的剖视图;0017图6为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置另一直立撑杆实施例的剖视图;0018图7为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第二实施例的立体图;0019图8为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第三实施例的立体图;0020图9为现有硅晶锭切割设备的立体图。0021【主要元件符号说明】0022101,6承载托架10底板11,12立墙0023111,121横向通道13间隔壁131中通道0024141容柱孔21。
14、,22滑块211,221螺孔说明书CN102101323ACN102101326A3/4页500253,33夹紧块31贯穿孔32纵向凹槽00264,43,7,61直立撑杆40头部41弹性件0027411橡胶套环412螺旋弹簧42滑杆00285锁紧螺杆51第一螺纹段52第二螺纹段00298夹紧装置80动力源81气压缸003082空气压缩机83束紧油压缸84油压泵浦00319带锯机90加工物放置平台901夹具003291加工物92环状带锯93飞轮003394,194超音波驱动器95,195切割刀具96硅晶锭003497升降平台98硅晶砖00351硅晶锭承载装置具体实施方式0036请参阅图1,图1为。
15、本发明一较佳实施例硅晶锭切割设备的剖面图。图中显示有一待切割的硅晶锭96,下方有二组切割刀具95,195,一为纵向切割一为横向切割,且分设于上下方。各切割刀具组的一端各连接有一超音波驱动器94,194。此外,有一硅晶锭承载装置1负责承载、及固定硅晶锭96。当进行开方切割时,硅晶锭承载装置1下方的升降平台97逐渐下降,硅晶锭96便先后接触切割刀具95而进行开方切割。0037请同时参阅图2、图3、及图4,图2为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例的立体图,图3为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例的俯视图,图4为本发用于明硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例AA线段的剖视图。图中显示。
16、用于硅晶锭开方切割的承载装置1,其中有一承载托架101包括有一底板10、及二立墙11,12。二立墙11,12分别设于底板10上方遥相对应。在本实施例中,每一立墙11,12开设有五个横向通道111,121。其中,分设于二立墙11,12的每一横向通道111,121彼此两两相互对应。此外,各有一滑块21,22分别滑设于二立墙11,12的每一横向通道111,121内。且每一滑块21,22各贯穿有一螺孔211,221。其中,分设于二立墙11,12内且相对应的相对应的二滑块21,22的螺孔211,221,其螺纹方向相反。0038另外,图中另显示有多个夹紧块3,其彼此相邻并排于承载托架101的底板10上。且。
17、每一夹紧块3横向开设有一贯穿孔31、及其侧壁更凹设有纵向凹槽32。再且,多个直立撑杆4分别可动地插置于相邻二个夹紧块3的纵向凹槽32内,每一直立撑杆4能独立上下移动。其中,纵向凹槽32主要用以容置及固定住直立撑杆4,以防止直立撑杆4产生不可预期的径向位移。此外,图2中所示的硅晶砖98乃是一硅晶锭96经开方切割后,且每一硅晶砖98下方皆有四根直立撑杆4稳固随遇平衡支撑。0039再请一并参阅图5,图5为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第一实施例BB线段的剖视图。图中显示承载托架101的底板10更开设有多个容柱孔141。而多个直立撑杆4的下端分别对应插设于多个容柱孔141内。其中,容柱孔141主要。
18、用于容设其上方的直立撑杆4因承载硅晶锭重量后而可能产生的向下凸伸长度。0040此外,如图所示多个直立撑杆4分别包括有一头部40、及一滑杆42,而头部40设置于滑杆42的顶端,且头部40下端设置有一弹性件41。弹性件41主要目的在于,因硅晶说明书CN102101323ACN102101326A4/4页6锭的下表面并非一定平整,而支撑的直立撑杆4须能容许并吸收不平整的公差余隙以直接顶抵在下表面,故而通过弹性件41来吸收承载。此外,弹性件41因能提供一向上回复力,故亦可使直立撑杆4不受力时能回复至预定高度。在本实施例中,弹性件41为橡胶套环411。当然,弹性件41亦可为螺旋弹簧412,如图6所示,图。
19、6为本发明硅晶锭开方切割承载装置另一直立撑杆实施例的剖视图。0041再者,图中显示有五根锁紧螺杆5,其分别穿经多个夹紧块3的贯穿孔31、及至少二滑块21,22的螺孔211,221。在本实施例中,其组配方法如下,锁紧螺杆5穿经多个夹紧块3的贯穿孔31后,锁紧螺杆5二端再分别螺入滑块21,22,达到适当位置紧度时,再将整组包括锁紧螺杆5、夹紧块3、及滑块21,22置入承载托架101,其中二滑块21,22分别对应置入横向通道111,121内。0042此外,每一锁紧螺杆5的相对二端更分别包括有一第一螺纹段51、及一第二螺纹段52。其中,第一螺纹段51、及第二螺纹段52的螺纹方向相反,并能分别对应螺锁于。
20、二滑块21,22的螺孔211,221内。据此,当单向旋转锁紧螺杆5时,二侧滑块21,22分别受限于横向通道111,121内,使滑块21,22不致随锁紧螺杆5旋转,故能促使二侧滑块21,22分别向内相对移动以推动多个夹紧块3逼进,进而夹紧多个直立撑杆4使其不再上下移动,以稳固支撑上方未切割前的硅晶锭96,尤其是开方切割后的各别硅晶砖98。0043再且,本实施例的承载托架101还包括有一间隔壁13,其设置于底板10上并介于二立墙11,12之间。且间隔壁13横向开设有五个中通道131,一锁紧螺杆5更对应穿经其中之一中通道131。其中,间隔壁13主要用以分别挡止二侧的夹紧块3,使其定位并可避免当夹紧直。
21、立撑杆4时因夹紧块3位移过大,而直立撑杆4随之移动导致上方承载的硅晶锭脱落或翻落造成毁损。另外,较佳的是如图4所示,间隔壁13可设于承载托架101的中段,但亦可视实际需要调整使其左右侧的空间不对称。至于直立撑杆4的数量与分布是依照预定切开的硅晶砖98数量而定,以切开后各硅晶砖98可以获得平衡支撑为原则。0044请参阅图7,图7为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第二实施例的立体图。第二实施例与第一实施例主要差异在于,第二实施例以气压缸81来取代第一实施例的锁紧螺杆5。亦即,欲进行锁固直立撑杆43时,动力源的空气压缩机82进行对气压缸81充气,而气压缸81推挤夹紧块33,进而夹紧直立撑杆43使其。
22、不再上下移动。当然,亦可用油压缸、机电装置、电动机、电磁效应装置、或等效装置或机构来取代气压缸81亦可。0045请参阅图8,图8为本发明用于硅晶锭开方切割的承载装置第三实施例的立体图。图中显示有一承载托架6,其上设置有多个直立撑杆61用以承载硅晶锭。而多个直立撑杆61分别彼此平行排列,并能分别独立上下移动。另有多个夹紧装置8,分别对应多个直立撑杆61地设置于承载托架6上。另外,一动力源80其提供多个夹紧装置8以选择式地夹紧多个直立撑杆61使其不再上下移动,或放松多个直立撑杆61使其能独立上下移动。在本实施例中,夹紧装置8为束紧油压缸83,而动力源80则为油压泵浦84。当然,亦可改用以束紧气压缸。
23、、及高压泵浦亦可,或电动束紧器、及电动马达。0046上述实施例仅为了方便说明而举例而已,本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准,而非仅限于上述实施例。说明书CN102101323ACN102101326A1/6页7图1说明书附图CN102101323ACN102101326A2/6页8图2说明书附图CN102101323ACN102101326A3/6页9图3图4说明书附图CN102101323ACN102101326A4/6页10图5图6图7说明书附图CN102101323ACN102101326A5/6页11图8说明书附图CN102101323ACN102101326A6/6页12图9说明书附图CN102101323A。