卡匣.pdf

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1、10申请公布号CN102484088A43申请公布日20120530CN102484088ACN102484088A21申请号201080021591022申请日20100517200912155920090520JPH01L21/673200601B65D85/86200601B65G49/0620060171申请人夏普株式会社地址日本大阪府申请人淀川惠德株式会社72发明人松山章男有光资岛田浩幸凑贵行74专利代理机构北京市隆安律师事务所11323代理人权鲜枝54发明名称卡匣57摘要提供能减轻异物向所收纳的基板表面的附着并具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣。收纳基板40的卡匣100具备卡匣主。

2、体部10，其在内部配置基板40；卡匣开口部20，其形成于卡匣主体部10的一部分；以及闸门结构30，其包含封堵卡匣开口部20的封闭板32，在卡匣主体部10中的位于卡匣开口部20的周缘的部位12和闸门结构30的相互相对的面上分别沿着封闭板32的开闭方向50形成有突起14、34，位于卡匣主体部10侧的突起14和位于闸门结构30侧的突起34相互分开。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2011111686PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0582942010051787PCT申请的公布数据WO2010/134492JA2010112551INTCL权利要求书2页说明书11页附图14页19。

3、中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书11页附图14页1/2页21一种卡匣，其收纳基板，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部中的位于上述卡匣开口部的周缘的部位和上述闸门结构的相互相对的面上分别沿着上述封闭板的开闭方向形成有突起，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起相互分开。2根据权利要求1所述的卡匣，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起分别是沿着上述封闭板的开闭方向细长地延伸的肋状的突起。3根据权利。

4、要求1或2所述的卡匣，其特征在于，上述封闭板的开闭方向是上述卡匣主体部的高度方向。4根据权利要求3所述的卡匣，其特征在于，除了沿着上述卡匣主体部的高度方向形成的突起外，还在上述闸门结构上形成有沿着水平方向延伸的突起。5根据权利要求1至4中的任一项所述的卡匣，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起中的任一方突起是多个突起，另一方突起相对于上述一方突起位于上述多个突起之间。6根据权利要求1至4中的任一项所述的卡匣，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起分别具有与上述开闭板的开闭方向垂直的截面是L字状的形状。7根据权利要求1至6中的任一项所述的卡匣，在上述。

5、卡匣主体部设有卡止上述闸门结构的卡止部，在上述闸门结构上形成有引导部，上述引导部收纳设于上述卡匣主体部的上述卡止部。8一种卡匣，其收纳基板，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部设有卡止上述闸门结构的卡止部，在上述闸门结构上形成有引导部，上述引导部收纳设于上述卡匣主体部的上述卡止部，上述卡止部是滚柱轴承，在上述引导部形成有能配置上述滚柱轴承的槽，上述槽相对于上述卡匣主体部的高度方向倾斜地延伸。9根据权利要求7或8所述的卡匣，上述滚柱轴承设于上述卡匣主体部的最上部。10根据权。

6、利要求9所述的卡匣，权利要求书CN102484088A2/2页3上述滚柱轴承除设于上述最上部外，还设于比上述最上部靠下的位置。11根据权利要求8所述的卡匣，上述滚柱轴承在上述卡匣主体部的高度方向的中央部至少设有一个。12根据权利要求8所述的卡匣，其特征在于，上述引导部和上述滚柱轴承的组合沿着上述卡匣主体部的高度方向设有多个，在上述高度方向位于上方的上述引导部的水平方向的长度比位于比其靠下方的上述引导部的水平方向的长度长。13一种卡匣，其收纳基板，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述。

7、闸门结构上设有卡止部，上述卡止部将该闸门结构卡止于上述卡匣主体部，在上述卡匣主体部形成有引导部，上述引导部收纳设于上述闸门结构上的上述卡止部，上述卡止部是滚柱轴承，在上述引导部形成有能配置上述滚柱轴承的槽，上述槽相对于上述卡匣主体部的高度方向倾斜地延伸。14一种卡匣，其收纳基板，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部设有具有楔形形状的部位，在上述闸门结构上与上述具有楔形形状的部位对应地设有具有楔形形状的部位。15根据权利要求1至14中的任一项所述的卡匣，在上述卡匣主体部的内。

8、部排列着多根线，上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述线支撑。16根据权利要求15所述的卡匣，上述卡匣主体部具有箱形形状，上述卡匣开口部形成于上述箱形形状的前面和后面中的至少一面上，在上述箱形形状的底面形成有供搬运上述基板的搬运装置插入的开口部。权利要求书CN102484088A1/11页4卡匣技术领域0001本发明涉及收纳基板的卡匣，特别是涉及收纳在液晶面板的制造方法中使用的玻璃基板的卡匣。0002此外，本申请要求基于2009年5月20日提出申请的日本专利申请2009121559号的优先权，该申请的全部内容被引入到本说明书中作为参照。0003作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对玻璃。

9、基板在确保规定空隙的状态下相对的结构。伴随着液晶面板的大型化、量产化，液晶面板用的玻璃基板逐年大型化。在搬运这样的第二代大型液晶玻璃基板的基板搬运系统中，使用收纳多层液晶玻璃基板的收纳卡匣例如，专利文献13等。0004收纳玻璃基板的收纳卡匣使用于如下情况在净化间内的制造工序中从液晶面板制造装置的载置部向别的制造装置的载置部搬运或者保管玻璃基板。另外，收纳卡匣也使用于如下情况在液晶面板制造装置的载置部与卡匣保管库的保管部之间搬运/保管玻璃基板。0005净化间内的气氛中，确保了充分的空气清洁度，但有时在搬运/保管收纳卡匣时从作业者、地板面等飞散的灰尘等异物附着于基板表面，或者处理基板时的有机气体等。

10、的雾在净化间内漂浮而附着于基板表面。并且，在异物、雾附着的状态下对基板进行工艺处理时，液晶面板的质量有可能降低。0006因此，设成将包括上板和4个侧板的收纳盖覆盖于收纳卡匣的状态进行搬运/保管以使得异物等不附着。在此，收纳卡匣和收纳盖是独立的，因此需要收纳盖的覆盖作业，但每当取放基板时执行覆盖作业较麻烦，并且其自动化较困难。0007在专利文献1中公开了如下结构在具有能取放基板的开口部的箱形的收纳卡匣中，设有为了开放和密闭其开口部而开闭自如地被支撑的门、以及开闭该门的开闭机构，根据专利文献2中公开的收纳卡匣，在搬运/保管时，能减轻异物、雾在所收纳的基板表面的附着，另外，能使门的开闭自动化。000。

11、8现有技术文献0009专利文献0010专利文献1特开平9115997号公报0011专利文献2特开2005142480号公报0012专利文献3特开2005145628号公报发明内容0013发明要解决的问题0014本发明人发现在专利文献1所公开的收纳卡匣中，确实能减轻异物等附着于基板表面，但具有如下问题。该收纳卡匣设有开闭门的开闭机构，在利用开闭机构开闭门的情说明书背景技术CN102484088A2/11页5况下，以开闭机构为中心使门较大地转动，因此需要在收纳卡匣的周围确保较大的空闲空间。即，在该收纳卡匣的情况下，开闭时的占有面积较大，在净化间内的液晶面板的制造工序中普遍使用时有障碍。尤其是，液晶。

12、面板用的玻璃基板逐年大型化，当在收纳这样的玻璃基板的收纳卡匣中采用门的开闭结构时，在收纳卡匣的周围需要非常多的占有面积，实用性更加降低。0015本发明是鉴于这样的方面完成的，其主要目的在于提供能减轻异物、雾附着于所收纳的基板表面并且具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣。0016用于解决问题的方案0017本发明的卡匣是收纳基板的卡匣，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部中的位于上述卡匣开口部的周缘的部位和上述闸门结构的相互相对的面上分别沿着上述封闭板的开闭方向形成有突起，位。

13、于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起相互分开。0018在某优选的实施方式中，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起分别是沿着上述封闭板的开闭方向细长地延伸的肋状的突起。0019在某优选的实施方式中，上述封闭板的开闭方向是上述卡匣主体部的高度方向。0020在某优选的实施方式中，除了沿着上述卡匣主体部的高度方向形成的突起外，还在上述闸门结构上形成有沿着水平方向延伸的突起。0021在某优选的实施方式中，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起中的任一方突起是多个突起，另一方突起相对于上述一方突起位于上述多个突起之间。0022在某优选的实。

14、施方式中，位于上述卡匣主体部侧的上述突起和位于上述闸门结构侧的上述突起分别具有与上述开闭板的开闭方向垂直的截面是L字状的形状。0023在某优选的实施方式中，在上述卡匣主体部设有卡止上述闸门结构的卡止部，在上述闸门结构上形成有引导部，上述引导部收纳设于上述卡匣主体部的上述卡止部。0024本发明的其它卡匣是收纳基板的卡匣，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部设有卡止上述闸门结构的卡止部，在上述闸门结构上形成有引导部，上述引导部收纳设于上述卡匣主体部的上述卡止部，上述卡止部是滚。

15、柱轴承，在上述引导部形成有能配置上述滚柱轴承的槽，上述槽相对于上述卡匣主体部的高度方向倾斜地延伸。0025在某优选的实施方式中，上述滚柱轴承设于上述卡匣主体部的最上部。0026在某优选的实施方式中，上述滚柱轴承除设于上述最上部外，还设于比上述最上部靠下的位置。0027在某优选的实施方式中，上述滚柱轴承在上述卡匣主体部的高度方向的中央部至少设有一个。0028在某优选的实施方式中，上述引导部和上述滚柱轴承的组合沿着上述卡匣主体部的高度方向设有多个，在上述高度方向位于上方的上述引导部的水平方向的长度比位于比其靠下方的上述引导部的水平方向的长度长。说明书CN102484088A3/11页60029本发。

16、明的另一其它卡匣是收纳基板的卡匣，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述闸门结构上设有卡止部，上述卡止部将该闸门结构卡止于上述卡匣主体部，在上述卡匣主体部形成有引导部，上述引导部收纳设于上述闸门结构上的上述卡止部，上述卡止部是滚柱轴承，在上述引导部形成有能配置上述滚柱轴承的槽，上述槽相对于上述卡匣主体部的高度方向倾斜地延伸。0030本发明的另一其它卡匣是收纳基板的卡匣，具备卡匣主体部，其在内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的一部分，用于取放上述基板；以及闸门结构，其包含。

17、封堵上述卡匣开口部的封闭板，在上述卡匣主体部设有具有楔形形状的部位，在上述闸门结构上与上述具有楔形形状的部位对应地设有具有楔形形状的部位。0031在某优选的实施方式中，在上述卡匣主体部的内部排列着多根线，上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述线支撑。0032在某优选的实施方式中，上述卡匣主体部具有箱形形状，上述卡匣开口部形成于上述箱形形状的前面和后面中的至少一面上，在上述箱形形状的底面形成有供搬运上述基板的搬运装置插入的开口部。0033发明效果0034在本发明的卡匣中，在内部配置基板的卡匣主体部的一部分形成有卡匣开口部，并具备闸门结构，上述闸门结构包含封堵该卡匣开口部的封闭板。并且，在卡匣主体。

18、部中的位于卡匣开口部的周缘的部位和闸门结构的相互相对的面上沿着卡匣主体部的高度方向形成有突起，这些突起相互分开，所以能提供如下收纳卡匣其能减轻异物、雾在所收纳的基板表面的附着，并且具有占有面积较小的开闭结构。附图说明0035图1是本发明的实施方式的卡匣100的立体图。0036图2A和B是卡匣100的侧面图。0037图3是本发明的实施方式的卡匣100的侧面图。0038图4是本发明的实施方式的卡匣100的侧面图。0039图5A是闸门结构30和卡匣主体部10的局部放大图，B是沿A中的线VBVB的截面图。0040图6是沿图2B中的线VIVI的截面图。0041图7是本发明的实施方式的卡匣100的立体图。。

19、0042图8A是突起13A的周边的局部放大截面图，B是突起13E13F的周边的局部放大截面图。0043图9是本发明的实施方式的卡匣100的立体图。0044图10是比较例的卡匣1000的立体图。0045图11A和B分别是比较例的卡匣1100的立体图和侧面图。0046图12A和B分别是比较例的卡匣1200的立体图和侧面图。0047图13是比较例的卡匣1300的立体图。0048图14是本发明的实施方式的卡匣100的侧面图。说明书CN102484088A4/11页70049图15是沿图14中的线XX的截面图。0050图16是本发明的实施方式的卡匣100的侧面图。0051图17是示出线卡匣方式的卡匣10。

20、0的构成的截面图。具体实施方式0052下面一边参照附图一边说明本发明的实施方式。在下面的附图中，为了说明的简洁化，用相同的附图标记表示实质上具有相同功能的构成要素。此外，本发明不限于下面的实施方式。0053首先，一边参照图1至图4一边对本发明的实施方式的卡匣100进行说明。0054图1是示意性示出本实施方式的卡匣100的整体构成的立体图。本实施方式的卡匣100能收纳基板40。基板40是例如液晶面板用的玻璃基板。该玻璃基板40既可以是切制成液晶面板的尺寸前的母玻璃，也可以是切制后的液晶面板的尺寸的玻璃。而且，玻璃基板40既可以是其上制作薄膜晶体管TFT的阵列基板或者其制作中途的阵列基板，也可以是。

21、其上形成彩色滤光片CF的CF基板或者其制作中途的CF基板。另外，基板40除了可以是玻璃基板外，也可以是晶片这样的其它薄板。0055而且，不限于液晶面板用的基板40，也可以是在制作PDP、有机EL面板、其它的平板显示器时采用的薄型基板不限于玻璃，能以片状保管于线卡匣中即可。0056本实施方式的线卡匣100包括卡匣主体部10；卡匣开口部20，其形成于卡匣主体部10的一部分；以及闸门结构30，其包含封堵卡匣开口部20的封闭板32。能在卡匣主体部10的内部配置基板40。另外，能从卡匣开口部20取放基板40。0057在卡匣主体部10和闸门结构30各自的相互相对的面上形成有突起14、34。具体地。在卡匣主。

22、体部10中位于卡匣开口部20的周缘的部位12形成有突起14，另一方面，在闸门结构30中与周缘部位12相对的面上形成有突起34。本实施方式的突起14、34沿着封闭板32的开闭方向延伸。另外，在本实施方式的构成中，闸门结构30的开闭方向是卡匣主体部10的高度方向50，即重力方向铅垂方向。0058在该例子中，突起14设于卡匣主体部10中的周缘部位12的左右位置。另一方面，突起34设于闸门结构30的封闭板32的左右边缘部。另外，本实施方式的突起14、34是沿高度方向50细长地延伸的肋状的突起。0059在将闸门结构30设置于卡匣主体部10的情况下参照箭头55，能成为利用闸门结构30的封闭板32封堵卡匣开。

23、口部20的状态。在该状态下，在本实施方式的构成中，位于卡匣主体部10侧的突起14和位于闸门结构30侧的突起34相互分开。设成当封闭板32封堵卡匣开口部20时突起14和突起34相互分开的状态的构成，由此能消除突起14和突起34的相互滑动，或者能减少滑动。0060本实施方式的卡匣主体部10具有箱形形状。例如，能利用框架结构制作卡匣主体部10的边的部分，利用板结构制作卡匣主体部10的面的部分。在该情况下，框架结构的部分能包含金属例如，铝、铁、不锈钢等，板结构的部分能包含树脂板、金属板例如，铝板等。0061在图1所示的构成例中，卡匣主体部10的骨架具有框架结构，并且，卡匣主体部10的侧面左面/右面11。

24、A和上面11B由板结构例如，金属板覆盖。在该例子中，卡匣说明书CN102484088A5/11页8开口部12形成于卡匣主体部10的前面，但也可以形成于前面并且形成于后面。在卡匣主体部10的前面和后面两者形成卡匣开口部12的情况下，能从前后两者取放基板40。0062此外，卡匣主体部10的底面具有由板结构覆盖的形态和不覆盖的形态。在由板结构覆盖卡匣主体部10的底面的情况下，在卡匣开口部20导入例如机器人臂，利用该机器人臂执行基板40的取放。另一方面，在不用板结构覆盖卡匣主体部10的底面而在此处形成开口部的情况下，在该底面的开口部导入升降装置所具备的辊式输送机，能利用该辊式输送机从卡匣开口部20取放。

25、基板40。0063另外，在卡匣主体部10设有卡止闸门结构30的卡止部16。另一方面，在闸门结构30上形成有引导部36，该引导部36收纳设于卡匣主体部10的卡止部16。本实施方式的卡止部16是滚柱轴承。另外，在引导部36形成有槽，在该槽中收纳有滚柱轴承16，因此，闸门结构30固定于卡匣主体部10。此外，在卡匣主体部10设置引导部36，另一方面，也能在闸门结构30上设置卡止部16。0064在卡匣主体部10的下部设有支撑闸门结构30的下面的支撑构件15。具体地，在卡匣主体部10中位于卡匣开口部20的周缘的部位下部位置形成有支撑构件15。在该例子中，支撑构件15是在水平方向相对于高度方向50呈直角的方。

26、向延伸的细长地延伸的突起，支撑闸门结构30的封闭板32的下面。此外，只要能支撑闸门结构30的下部即可，支撑构件15可以是其它形式，例如可以是较短长度的突起矩形的突起、圆形的突起等。0065图2A和B示意性地示出本实施方式的卡匣100的侧面构成。此外，在图2所示的构成中，与图1所示的比较，不同点主要在于卡止部16和引导部36的组合16A和36A，16B和36B沿着高度方向50设有多个。但是，在图2所示的构成中，也能如图1那样将卡止部16和引导部36的组合例如，16A和36A沿高度方向50设置1个。0066在图2A所示的构成中，卡止部1616A、16B是滚柱轴承。并且，在引导部3636A、36B形。

27、成有槽37，能在该槽37内配置滚柱轴承16。另外，该槽37相对于卡匣主体部10的高度方向50倾斜地延伸。0067闸门结构30连接于例如其它的上下移动机构机器人臂、升降机等，能在与高度方向50平行或者实质上平行的上下方向52移动。当从图2A所示的状态起使闸门结构30向下方参照箭头52移动时，在引导部36的槽37内收纳滚柱轴承16。0068于是，如图2B所示，滚柱轴承16仅仅在槽37内稍微旋转，闸门结构30的封闭板32就按箭头55进行移动，封堵卡匣开口部20。与此同时，闸门结构30固定于卡匣主体部10，所以能从连接于闸门结构30的上下移动机构断开。因此，能移动由闸门结构30和卡匣主体部10一体化的。

28、卡匣100。在该例子中，闸门结构30由卡匣主体部10的滚柱轴承1616A、16B和支撑构件15进行固定。0069此外，在本实施方式的构成中，使上方的引导部36A的长度比下方的引导部36B的长度更长，以使得当使闸门结构30持续上升时闸门结构30容易从卡匣主体部10脱离。另外，滚柱轴承16和引导部36的组合不限于图2所示的构成的2个，可以是3个或者4个以上。在该情况下也优选上方的引导部的长度比下方的引导部的长度更长。0070此外，在滚柱轴承16和引导部36的组合是1个的情况下，如图3所示，滚柱轴承16能设于卡匣主体部10的最上部例如图2B的尺寸L的区域。在图3所示的滚柱轴说明书CN10248408。

29、8A6/11页9承16位于最上部的状态下，闸门结构30由支撑构件15在重力铅垂方向支撑，但在水平方向不固定。于是，闸门结构30容易以引导部36为支点振动。因此，如图4所示，也能将滚柱轴承16和引导部36的组合设于卡匣主体部10的中央部。这样，与图3所示的结构比较能减小闸门结构30的振幅。但是，在图4所示的结构中，要求确保闸门结构30中位于比引导部16靠上的部位的强度。0071当然，如图2所示的构成那样，当将滚柱轴承16和引导部36的组合设为多个时，能使闸门结构30和卡匣主体部10的固定更加稳定，所以优选。但是，在多个构成的情况下，构成卡匣100的部件个数增加。因此，如果卡匣100的开闭动作和密。

30、闭性良好，则即使滚柱轴承16和引导部36的组合是1个，也具有成本方面制造成本、部件/材料成本等的优点。0072图5A是从图2A向图2B转移时的支撑构件15的周边的放大图。突起34从闸门结构30的封闭板32向卡匣主体部10的方向延伸而形成。另一方面，突起14从卡匣主体部10的周缘部位12向闸门结构30的封闭板32的方向延伸而形成。如上所述，闸门结构30能沿上下方向52移动，当闸门结构30向下方移动而向支撑构件15的方向靠近时，封闭板32封堵卡匣开口部20。0073图5B是沿图5A或者图2B中的线VBVB的截面示意图。在该例子中，突起34设有2个34A、34B，突起14设有1个，突起14配置于突起。

31、34A与突起34B之间。并且，突起14和突起3434A、34B相互分开，所以成为即使闸门结构30沿上下方向52移动，突起14和突起34相互也不滑动或者实质上不滑动的构成。0074如图5A和B所示，突起14和突起34的组合以当从该突起的侧面方向水平方向观看时各突起的一部分重叠的方式配置。通过这样配置，即使卡匣100的周围的外界气体想要按箭头51参照图5B所示进入卡匣100的内部，也很难进入。即，突起14与突起34之间的间隙的路径弯曲，这成为阻碍，因此外界气体难以侵入卡匣100的内部。由此，即使突起14和突起34相互分开，也能相对于卡匣100周围的外界气体提高卡匣100内部的密闭性。0075突起1。

32、4和突起34的组合不限于图5B所示的例子，可以是其它构成例。例如，可以将突起14设为2个，将突起34设为1个，使这些突起啮合。或者，可以将突起14设为多个，将突起34设为多个，使这些突起啮合。突起14、34的个数越多，突起14与突起34之间的间隙的路径越弯曲而阻碍增加，外界气体难以侵入卡匣100的内部即，相对于外界气体的密闭性提高。0076此外，即使突起14和突起34分别是1个，但如果以从该突起的侧面方向水平方向观看时各突起的一部分重叠的方式配置，则能相对于卡匣100周围的外界气体提高卡匣100内部的密闭性，所以也能采用这样的构成例。在此，气体空气的通道即使是1个但如果具有弯曲的地方，则其成为。

33、气体行进的较大阻碍，所以在该意义上，即使突起14和突起34分别是1个，也能确保相对于外界气体空气灰尘的密闭性。0077本实施方式的突起14、突起34包含例如树脂。另外，突起14、突起34可以包含其它材料例如，金属。当假设液晶面板用的玻璃基板40的尺寸是3M3M程度的情况时，图5B所示的构成中的突起14与突起34的间隔G是例如1020MM。此外，突起14和突起34的材料、尺寸、配置等能适当采用合适的。说明书CN102484088A7/11页100078图6是沿图2B中的线VIVI的截面示意图。在该例子中，引导部36从闸门结构30的封闭板32延伸，在形成于引导部36上的槽37中收纳有卡止部滚柱轴承。

34、16。滚柱轴承16通过支撑部17与卡匣主体部10连结。此外，在该例子中，作为卡止部16，采用滚柱轴承，但也可以采用其它结构。0079根据本实施方式的卡匣100，在卡匣主体部10的一部分形成有卡匣开口部20，具备闸门结构30，该闸门结构30包含封堵该卡匣开口部20的封闭板32。并且，在卡匣主体部10中位于卡匣开口部20的周缘的部位12与闸门结构30的相互相对的面上沿着卡匣主体部10的高度方向50形成有突起14、34，这些突起14、34相互分开。0080因此，即便使闸门结构30的封闭板32沿开闭方向或者高度方向50移动而使卡匣主体部10的卡匣开口部20开闭，突起14、34彼此也不会滑动，而能使封闭。

35、板32进行开闭动作。其结果是能抑制伴随封闭板32的开闭动作而产生灰尘，所以能减轻灰尘附着于在卡匣主体部10内部收纳的基板40的表面。0081而且，闸门结构30不是以开闭机构为中心使门较大地转动的方式，而是上下移动的方式。因此，虽然在为门方式时在收纳卡匣的周围需要非常多的占有面积，但在本实施方式的构成中没有此必要，能实现具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣100。0082尤其是，因为在引导部36中具备倾斜延伸的槽37内收纳卡止部16滚柱轴承的结构，所以仅仅使闸门结构30的封闭板32向下方参照图2A中的箭头52移动，就能使封闭板32在封堵卡匣开口部20的方向滑动参照图2B中的箭头55。因此，即使不。

36、采用复杂的控制机构，也能利用简便的机构机械结构进行卡匣开口部20的封闭。另外，滚柱轴承16仅仅在收纳于槽37中时稍微旋转，就能完成封闭板32对卡匣开口部20的封闭，所以能将由滚柱轴承16产生的灰尘量抑制得非常少。因此，在卡止部滚柱轴承16的结构方面，也能减轻伴随封闭板32的开闭动作而产生灰尘。0083而且，如果将配置滚柱轴承16的卡匣主体部10的上部区域的尺寸L图2B中的尺寸L设计得较小，例如，设成当搬运卡匣时闸门结构30不会因振动等而脱落的尺寸、且能确保滚柱轴承16具有充分强度的直径的尺寸，为数十MM程度，则能使进行闸门开闭动作时滚柱轴承16旋转的角度非常小。如果这样，能进一步使原来滑动强的。

37、由于摩擦引起的灰尘产生较少滚柱轴承16的动作为最小，其结果是能使由于滑动引起的灰尘产生极其减少。0084此外，在本实施方式中，如图1所示，示出在高度方向50延伸的突起14和突起34的组合的构成，但除此之外，如图7所示，也能在闸门结构30的上部形成在水平方向延伸的突起13A。在图7所示的例子中，在闸门结构30的封闭板32的上部设置在水平方向延伸的突起13A。另外，与突起13A对应地，在卡匣主体部10的上部也形成在水平方向延伸的突起13B。而且，如图7所示，可以在水平方向延伸的突起13不形成于卡匣主体部10侧，仅形成于闸门结构30侧。0085而且，如图8A所示，可以改变在水平方向延伸的突起13的形。

38、状。图8A示出在闸门结构30的封闭板32的上部设置的突起13A的周边的局部放大截面图。0086在图8A所示的构成中，在水平方向细长地延伸的突起13A连接着同样在水平方向延伸的突起13C。另外，在卡匣主体部10的上面11B设有在水平方向延伸的突起13D。突起13D向上方延伸，突起13C以包围该突起13D的方式形成。这样，通过组合突起13A、13C、说明书CN102484088A108/11页1113D，能抑制空气从卡匣主体部10的上部侵入。0087另外，如图8B所示，可以在闸门结构30的封闭板32的下部安装突起13E和13F。图8B示出在闸门结构30的封闭板32的下部设置的突起13E、13F的周。

39、边的局部放大截面图。突起13E和突起13F在水平方向延伸。突起13F设于卡匣主体部10的一部分在此是底板，向上方延伸。突起13E以包围该突起13F的方式形成。突起13E安装于闸门结构30上。这样，通过组合突起13E、13F，能抑制空气从卡匣主体部10的下部侵入。0088对于图8A和B所示的构成，可以采用两者即，上部和下部，并且可以是任一方即，上部或者下部。此外，图8A和B所示的构成当然能适当变更为合适的构成。例如，在图8A所示的构成中，突起13A和突起13C可以由一体的构件制作，也可以由多个构件制作突起13C。而且，也能与引导部36连续地形成在水平方向延伸的突起13。在图9中示出使突起13与引。

40、导部36一体化的构成例。0089另外，在本实施方式中，对闸门结构30的封闭板32的开闭方向是卡匣主体部10的高度方向50即，铅垂方向的例子进行了说明，但封闭板32的开闭方向可以是水平方向。在该情况下，突起14和突起34分别为在水平方向延伸的构成。0090在此，对本实施方式的卡匣100和其它基板收纳卡匣比较例进行比较研究。图10示出具备滑动部140的滑动式的卡匣1000。在图10所示的卡匣1000中，在设于卡匣主体部110上的卡匣开口部120的周围形成有滑动结构滑动部140。封堵卡匣开口部120的盖130一边在滑动结构140上滑动一边进行上下动作箭头152。在该情况下，在取放基板40的卡匣开口部。

41、120的附近，该滑动结构140成为灰尘产生源，因此，在此不适于在净化间使用。0091图11A和B示出具备钩挂结构150的拆卸式的卡匣1100。图11A和B分别是卡匣1100的立体图和侧面图。图11所示的卡匣1100具有从上方挂住拆卸式的盖130的结构。在该结构的情况下，能避免盖130与卡匣主体部110的滑动而抑制灰尘产生，但是难以确保盖130与卡匣主体部110之间箭头155的气密。在此，当要确保气密时，则在盖130与卡匣主体部110之间设置密封件等，于是，在该密封件等上产生滑动，其结果是产生了灰尘。另外，也具有当盖130与卡匣主体部110之间箭头155的匹配差时容易产生松动的缺点。0092图1。

42、2A和B示出具备嵌入结构161、162的拆卸式的卡匣1200。图12A和B分别是卡匣1200的立体图和侧面图。图12所示的卡匣1200具有从侧方嵌入拆卸式的盖130的结构。在该结构的情况下，盖130与卡匣主体部110之间的气密比较容易确保。但是，每当从卡匣主体部110取放基板40时，需要从卡匣主体部110卸下盖130或者向卡匣主体部110嵌入盖130，需要较大地保持用于盖130的开闭动作例如，箭头154、箭头156的空间。该卡匣1200不是具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣。0093图13示出板135为门式开闭的卡匣1300。与上述的专利文献1所公开的门式的卡匣同样，图13所示的门式的卡匣1。

43、300不是具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣。即，如图13所示，即使是双开式的卡匣1300，也需要在板135的开闭中确保转动空间158，因此，是需要较多占有面积的卡匣。0094如上所述，与本实施方式的卡匣100比较，卡匣10001300均具有缺点，难以在结构上解决该缺点。另一方面，本实施方式的卡匣100能避免这样的缺点。说明书CN102484088A119/11页120095即，根据本实施方式的卡匣100，位于卡匣主体部10侧的突起14和位于闸门结构30侧的突起34相互分开，且利用这两者的突起14、34确保相对于外界气体空气的密闭性，所以能实现如下收纳卡匣其能减轻异物、雾附着于所收纳的基板表。

44、面，并且具有占有面积较小的开闭结构。在此，所谓突起14和突起34分开的状态只要不是以突起14和突起34滑动而产生灰尘的形态密闭即可。即，如果以突起14和突起34相互分离的方式进行设计/构成，则结果是即使产生突起14和突起34接触的部位，也不会从突起14、34产生灰尘或者实质上不产生灰尘，所以可以是这样的状态。因此，这样的结果是即使在产生接触状态的情况下，该状态也能包含于突起14和突起34分开的状态。0096此外，本实施方式的卡匣100也能进行如下变更。图14是本实施方式的变更例的卡匣100。将闸门结构30固定于卡匣主体部10的方式不限于图2等所示的方式，如果是闸门结构30随着因重力向下方移动而。

45、向卡匣主体部10的卡匣开口部20的方向靠近的方法，则能适当采用。0097在图14所示的例子中，在卡匣主体部10的上部形成有楔形形状的部位18。与此对应，在闸门结构30上也形成有楔形形状的部位38。闸门结构30的楔形形状的部位38通过支撑构件39连接于封闭板32。0098根据图14所示的构成，当封闭板32向下方移动时参照箭头52，两者的楔形形状的部位18、38接触。接着，闸门结构30一边按楔形形状向下方移动一边向卡匣主体部10的卡匣开口部20的方向靠近，封闭板32能封堵卡匣开口部20。即使使用该构成，也能使滑动动作为最小，并且能进行卡匣开口部20的开闭。而且，该构成也能不使用复杂的机构就简便地进。

46、行卡匣开口部20的开闭。而且，能以与突起14和突起34不同的构成，得到伴随封闭板32向下方移动而能自动地封堵卡匣开口部20的效果，并且，该效果自身具有技术价值。0099而且，外界气体难以向卡匣主体部10的内部空气侵入的结构不限于图5所示的水平方向与高度方向50垂直的方向的截面是矩形或者大致矩形的突起。例如，如图15所示，位于卡匣主体部10侧的突起14和位于闸门结构30侧的突起34分别具有L字型的截面形状，利用两者形成为钥匙状的形状。在这样的构成中，突起14与突起34之间的间隙的路径也弯曲，这成为阻碍，因此外界气体难以侵入卡匣100的内部。此外，图15所示的突起结构14、34不但适用于图14所示。

47、的构成，当然可以在例如图5所示的构成中采用。0100另外，虽然突起14形成于卡匣主体部10的卡匣开口部12的周缘部位12，但只要是能确保与外界气体空气的密闭性的结构，则形成突起14的周缘部位12不限于卡匣主体部10的前面，可以是侧面11A的位置。在该情况下，将与形成于该位置的突起14相对的面设置于闸门结构30，在该面上设置突起34。0101图16是本实施方式的又一变更例的卡匣100。在图16所示的例子中，引导部3636A，36B的槽37的形状与图2所示的不同。图16所示的引导部36为导入滚柱轴承1616A，16B的方式的结构，其槽37为上部窄底部宽的形状。当使闸门结构30下降时，进入槽37的底。

48、部的滚柱轴承16接着被导入到槽37的内部，滚柱轴承16在挂住槽37的内壁的位置进行固定。0102在图16所示的构成中，能在封闭板32与卡匣主体部10之间产生一些间隙。但说明书CN102484088A1210/11页13是，在该情况下，如果采用图7或者图8A、图9所示的在闸门结构50的上部具有遮蔽结构突起13的结构，则能由突起13遮蔽该间隙。而且，在图2所示的结构中，在将引导部36和滚柱轴承16的组合设为多个的情况下，为易于拆卸而优选变更各引导部3636A、36B的长度，但在图16所示的导入方式的结构的情况下，具有不特别限制这样的长度变更的优点。0103另外，在使用将支撑玻璃基板4的单片设于卡匣。

49、主体部10的内壁上的伸出形式的收纳卡匣的情况下，支撑玻璃基板40的单片的面积小，因此有可能伴随近年来的玻璃基板的大型化，玻璃基板挠曲而产生变形。因此，在收纳/搬运大型的玻璃基板的情况下，有时在抑制这样的变形方面优选使用在卡匣主体部10的内壁上前后并列地配置多层线的线卡匣。0104图17是示出本实施方式的卡匣100具有线卡匣方式的构成的情况下的一例的示意图。在卡匣主体部10的内部排列着支撑基板40的线60。具体地，由多根线60支撑一张基板40，该多根线线60排列成多层。由于线60排列成多层，从而能在卡匣主体部10的内部收纳多层玻璃基板40。0105在此，闸门结构30连接于例如升降机65的一部分，能在上下方向52移动。另外，卡匣主体部10的下面形成有开口部下面开口部22，在该开口部22插入与升降框架62连结的辊式输送机61。辊式输送机61从线60之间与基板40接触，并且，从卡匣开口部20送出基板40。从卡匣开口部20送出的基板40移动到搬运装置64上，然后，基板40被供给需要的工序，或者被保管于需要的场所。0106另外，在利用闸门结构30的封闭板32封堵卡匣开口部20的情况下，使用升降机65使封闭板32向下方移动参照箭头52，例如图2A和B所示的那样，只要由封闭板32封堵卡匣开口部20即可。在线卡匣方式的情况下也在闸门结构30上形成有突起34，在卡匣主体部10形成有突起14，所以。