硅氧烷树脂的合成相关申请的相互参考
本申请要求下列美国专利申请的权益：1997年4月21日提交的
美国临时申请60/044,481；1998年3月20日提交的美国临时申请
09/044,831和1998年3月20日提交的美国临时申请09/044,798，
在此引入这些专利的全部公开内容作为参考。
发明背景
发明领域
本发明涉及用于集成电路制造的基底的制备方法。具体而言本发
明提供了制备硅氧烷树脂的新型改进方法，所述硅氧烷基树脂包括氢
化硅氧烷和有机氢化硅氧烷，并且没有从前制备这类材料所伴随的许
多缺点。更具体而言本发明涉及利用可避免从前使用的要求危险的催
化试剂的催化剂体系缺点的相转移催化剂的合成方法。本发明还涉及
可避免迄今一直认为是生产这类树脂所要求的另外的洗涤并纯化步
骤的合成方法。
现有技术描述
硅氧烷基树脂在电子和半导体领域用于涂敷硅片和其它类似的
元件在该领域是已知的。这种涂敷保护了基底表面并在集成电路的电
导体之间形成绝缘层。这种涂敷可用作保护涂层、中间绝缘层、上漆
绝缘层以生产晶体管型设备、含硅的负载颜料粘合剂体系以生产电容
器和电容器型设备、多层设备、三维设备、绝缘设备上的硅、超导体
涂层、超晶格设备等。这些树脂包括氢化硅氧烷和含有一定比例的有
机部分的有机氢化硅氧烷。
硅氧烷树脂，如倍半硅氧烷树脂的生产方法是本领域所熟知的。
例如，美国专利5,486,564描述了用于电子涂敷的聚氢化倍半硅氧烷
熟知的生产方法。但是，该方法使用了危险的发烟硫酸/硫酸作为生
产聚氢化倍半硅氧烷的催化剂。尽管在多个步骤中用含有低百分含量
硫酸的水清洗，随后通过共沸蒸馏除去所有痕量的水，产物还是被相
当量的痕量金属污染。在改正这些缺点的尝试中，美国专利
5,416,190描述了使用极性和非极性溶剂对倍半硅氧烷产物进行分
级的方法。其它修正这些在生产倍半硅氧烷化合物中的缺陷的尝试在
纯化过程中使用了超临界液体提取方法，如美国专利5,063,267所述
以及使用了发烟/浓硫酸并用CaCO3中和的方法，如美国专利
5,010,159所述。
也已知这类绝缘薄膜的介电常数是要求集成电路或IC具有低能
耗、串音和信号延迟的重要因素。随着IC尺寸持续缩小，这一因素
的重要性在增加。因此，能够提供介电常数低于3.0的绝缘薄膜的硅
氧烷基树脂材料以及制备这类材料的方法是非常需要的。此外，需要
可提供这类还具有高抗裂性的低介电常数的薄膜的硅氧烷基树脂材
料以及制备这类材料的方法。也要求这种薄膜在形成约1.0微米(μm)
或更厚的厚度时具有低应力。也要求这种硅氧烷基树脂及其制备方法
通过标准加工技术提供低介电常数薄膜。以这种方式就避免了要求氨
或氨衍生型气氛(参见美国专利5,145,723，1992年9月8日，
Ballance等人)、臭氧气氛(参见美国专利5,336,532，Haluska等人)
的处理方法或其它非标准型半导体方法。
因此需要通过既有效又不使用有毒催化试剂的方法生产有用的
硅氧烷涂敷组合物，如氢化硅氧烷和有机氢化硅氧烷树脂。现在已经
令人惊讶地发现使用相转移催化剂的反应可生产所要求的硅氧烷树
脂并避免了从前方法中的所有上述缺点。
发明概述
本发明方法提供了通过催化水解并缩合具有通式R1SiX3的单体
前体高产率生产硅氧烷树脂，例如氢化硅氧烷和氢化倍半硅氧烷以及
有机氢化倍半硅氧烷和有机氢化硅氧烷的方法。在所述通式中，X为
卤素或OR2，并且R1和R2独立地为H或烷基或芳基官能团。当R1和/
或R2不为H时，其一或两者均独立地为取代或未取代的直链或支链
烷基、环烷基和/或芳基、或其组合物。因此在上述起始化合物或单
体前体的水解和缩合中使用一种，或任选一种以上的相转移催化剂来
形成所要求的硅氧烷树脂。
因此本发明方法包括下列步骤：在包括非极性溶剂如烃、极性溶
剂如醇和水的反应混合物存在下，于可有效将硅烷单体催化转化为氢
化硅氧烷和有机氢化硅氧烷的条件下，使硅烷单体与相转移催化剂接
触；并随后回收所生产的氢化硅氧烷和有机氢化硅氧烷。
本发明过程优选使用双相溶剂体系进行。而且，该过程优选在无
氧气氛中进行，例如，反应在已除去氧并保持惰性气体流如氮气(N2)
的容器中进行。特别地，该过程是通过将一种或多种上述的单体前体
如三氯硅烷和/或一种或多种有机三氯硅烷，或其它本领域已知的硅
烷单体加入到包括但不限于相转移催化剂、烃溶剂、醇和水的混合物
中而进行的。反应完成后，将反应混合物通过例如过滤、静置或离心
以除去任何可过滤的杂质或沉淀并通过相分离如通过水相分离除去
相转移催化剂。然后将留下的烃溶剂如己烷干燥并蒸发得到产物，一
般为白色固体。其后，可选择性地将回收的固体在适当的烃溶剂中淤
浆化以除去残余的低分子量组分，并随后蒸走溶剂得到所要求的产
物。可通过本领域熟知的方法将所得产物配制在适当的溶剂中以用作
自旋聚合物。
所制备的聚合物的重均分子量(“Mw”)可为约400-约300,000原
子质量单位(“amu”)。在另外的实施方案中，依反应条件，所制备的
聚合物的Mw可为约10,000-约80,000amu。在更具体的实施方案
中，所制备的聚合物的Mw可为约4,500-约75,000amu。只为举例
而非旨在限制，已经证明用本发明方法制备的Mw为约20,000、约
40,000和约60,000amu的材料具有良好的涂敷性能。
因此，本发明提供了通过使用适当的起始原料和溶剂制备有用的
硅氧烷如氢化硅氧烷和有机氢化硅氧烷的方法。特别是已令人惊奇地
发现本发明的过程被相转移催化剂有效地催化了。根据本发明的催化
剂包括季铵盐(R4N+X-)。有利的是季铵盐在极性溶剂如水相溶剂中是
可溶的，并且在非极性溶剂如烃或有机溶剂中也是微溶的。
优选实施方案详述
因此，本发明提供了新型且出人预料的制备有用的化合物如上述
树脂的方法。而且，虽然参考各种实施方案说明本发明，但应理解为
这些实施方案是为了举例而非为了限制的目的而提出的。因此，对各
种具体材料和方法的更改或修改对本领域技术熟练人员是显而易见
的。所有如此处实施方案所描述的基于本发明教义的这类更改、修改
或变更均属于本发明精神和范围。
前体
任何符合上面所给通式的前体均可用于本发明的方法中。因此，
前体一般为R1SiX3，其中X为卤素或OR2，R1和R2独立地为H或烷基
或芳基官能团，并且当R1和/或R2不为H时，其一或两者独立地为取
代或未取代的直链或支链烷基、环烷基和/或芳基、或其组合物。因
此，在一个实施方案中，X为卤素且优选为氯。更优选三个X是相同
的，如HSiCl3。在另一个优选实施方案中，R1如上述而X为OR2，其
中R2为挑选的可提供所要求反应产物的烷基和/或芳基取代基。仅为
举例，R2烷基取代基为C1-C20或长度更长者，并且可以是直链、支链
或环形的。而芳基取代基可以包括直链或支链烷基、芳基和杂芳基取
代基，优选为C5-C20或长度更长者，并且其本身可选择性地被烷基和
/或芳基取代。在一个优选实施方案中，所有的R2都是相同的，且在
另一个优选实施方案中均为C2H5-。在其它的选择性实施方案中，X
为X1，X2和X3并且X1，X2和X3中的每一个独立地选自卤素和/或OR2，
其中R2定义如上。根据本发明有用的硅烷前体的实例包括但不限于
三氯硅烷、甲基三氯硅烷、乙基三氯硅烷、丙基三氯硅烷、正丁基三
氯硅烷、环己基三氯硅烷、苯基三氯硅烷和三乙氧基硅烷，这仅为其
中的一部分。当然，技术人员会理解可以使用任何其它本领域已知的
硅烷单体和/或衍生物作为本发明过程中的前体，并且选择性地根据
所要求的终产物前体可单独使用或合用。
溶剂
任何适宜的溶剂体系可用于本发明的过程中。本发明过程优选使
用包括连续相非极性溶剂和极性溶剂的双相溶剂体系。
非极性溶剂
用于本发明过程中的非极性溶剂包括但不限于任何适宜的脂族
或芳族化合物或者任何或全部这类适宜化合物的混合物，在本发明上
下文中“适宜”的可行性定义包括下列功能特性：
1)溶解前体，如单体三卤代硅烷化合物，
2)在反应期间随着聚合产物形成及分子量增长溶解聚合产物，
3)稳定溶剂中的聚合产物，及
4)使不希望的反应产物在非极性溶剂中不溶以易于除去。
实例性非极性溶剂包括但不限于戊烷、己烷、庚烷、环己烷、苯、
甲苯、二甲苯、卤代溶剂如四氯化碳及其混合物。
极性溶剂
溶剂的极性相基本不与非极性溶剂相混溶，并且包括任何适宜的
本领域已知的极性溶剂，包括但不限于水、醇和水醇混合物。醇的存
在量优选足以保证反应中间体的溶解性。特别地，适用于极性相的实
例性醇和其它极性溶剂包括但不限于水、甲醇、乙醇、异丙醇、甘油、
乙醚、四氢呋喃、二甘醇二甲醚及其混合物。在一个实施方案中，极
性溶剂包括水/醇混合物，其中水以足以优先溶解不溶于醇的离子型
杂质，和/或排除可另外溶于醇的产物化合物的溶剂提取物的量存
在。极性溶剂相有利地保留了盐酸(HCl)浓缩产物和可存在的任何金
属盐或其它离子型污染物。因为基本所有的离子型污染物都保留在了
极性溶剂相中，本发明的氢化硅氧烷和/或有机氢化硅氧烷产物是高
纯度的并且基本不包含离子型污染物。
已经发现极性溶剂对非极性溶剂的比例约为5％(w/w)-80％
w/w是必须的，约9％(w/w)-约40％w/w是优选的。
方法
为了防止反应混合物暴露在氧气氛中，反应优选通过适当的封装
和/或足够量的任何非反应性，即化学惰性气体如氩气和氮气保护流
在隔绝空气下进行。对于本发明的过程，由于其最低的成本效能比，
氮气一般是优选的。而且，在开始反应过程以前优选通过惰性气体流
来清除反应容器的气氛污染，即氧。更优选例如当反应在开口容器中
进行时，在反应过程中在反应混合物上方保持惰性气体流覆盖层。
在进行本发明的反应过程中，将单独使用或与一种或多种不同的
硅烷前体合用的硅烷前体，例如在某些实施方案中为三氯硅烷加入到
催化剂、非极性溶剂和极性溶剂的混合物中形成反应混合物。优选在
搅拌下让聚合反应进行。聚合反应完成之后，例如过滤反应混合物以
除去不希望的沉淀，分离极性溶剂，移走溶解的相转移催化剂，干燥
溶液并随后蒸发得到白色固体。然后任选将该固体在烃溶剂中淤浆化
以除去残留的低分子量材料，并最后蒸发得到所要求的产物。这样得
到的硅氧烷聚合物适用于任何本领域已知的应用，如配制在适当的溶
剂中用作自旋绝缘薄膜(Spin-on-dielectric film)。
本发明过程可在任何适当的温度下进行，例如温度为约10℃-
约40℃。例如反应可在外部加热或冷却的反应容器如水夹套反应容
器中进行。技术人员会理解反应温度将依据任何具体要求的反应过程
的放热(如果存在)水平而改变。因此，任选可将反应容器冷却或加
热以获得最佳反应温度范围，这由具体要求的过程的常规试验所显示
的时间过程和产率所决定。优选本发明过程在室温，一般认为约25
℃进行。
反应时间
本发明的过程任选在很宽的时间范围内进行。当所有其它参数恒
定时，基本上反应混合物搅拌的时间越长，由该反应得到的产物的Mw
将越高。例如，本发明的反应过程进行的时间为约1-4分钟至约12
小时，或更长。
催化剂
出人意料地发现本发明的过程可由相转移催化剂如季铵盐
(R4N+X-)催化，该季铵盐在水相或极性溶剂中可溶并且在非极性溶剂
如烃或有机溶剂中是微溶的。这一溶解性使催化反应过程在双相溶剂
体系中进行，反应不仅发生在两个溶剂相的界面，而且发生在非极性
或有机溶剂层中。季铵盐为碱性催化剂并且催化本发明过程中所用的
硅烷前体的水解和缩合反应，例如催化氯硅烷反应形成所要求的本发
明的硅氧烷树脂。任何具有催化活性的本领域已知的季铵盐均可用于
本发明的过程中。因此，对于具有R4N+X-结构的季铵盐，每个R可以
相同或不同，并且每个R可以独立地为直链烷基、支链烷基、环烷基、
芳基和/或这些要素的组合物或变更物。每个R可以是任何适于此目
的的尺寸，只要所得季铵盐在极性如水溶液中保持可溶而在非极性如
烃溶液中微溶并且保持有用的催化活性。X是任何适宜的阴离子部
分，例如包括卤素和硫酸盐，未尽其详。
技术人员会理解催化剂的量或浓度将依赖于例如所要催化的具
体反应、所选择的具体催化剂及所要求的产物分子量和所要求产物的
产率。
仅举例而言，一般季铵盐在反应混合物中将以催化有效量存在，
例如催化剂与硅烷前体的比例为约0.1-约10(mol/mol)或催化剂
与硅烷前体的比例为约0.1-约5(mol/mol)。当然，依据所感兴趣
的具体反应条件，这些量可例行改变。
下面的实施例提供了几种季铵盐在本发明过程中催化效果的证
明。技术人员会理解其它的季铵盐也可用于进行本发明的过程。例
如，另外的季铵盐的催化性能可通过在所感兴趣的季铵盐存在下进行
所要求的反应过程并用本领域已知的方法化验所要求硅氧烷树脂的
产量而容易地确定，如下面给出的实施例所示。无论如何，在本发明
过程中起催化作用的季铵盐包括例如四丁基铵、苄基三甲基铵、四乙
基铵、苄基三丁基铵、十六基三甲基铵的氯化物，以及四丁基溴化铵、
甲基三辛基溴化铵和其它不胜枚举的化合物。优选四丁基氯化铵和苄
基三甲基氯化铵用来催化本发明过程。
由本发明方法制备的聚合物
由本发明方法有效地制备的聚合物示例性地而非限制性地包括
氢化硅氧烷如氢化倍半硅氧烷和有机氢化硅氧烷树脂如氢化甲基硅
氧烷、氢化乙基硅氧烷、氢化丙基硅氧烷、氢化丁基硅氧烷、氢化叔
丁基硅氧烷、氢化苯基硅氧烷、氢化甲基倍半硅氧烷、氢化乙基倍半
硅氧烷、氢化丙基倍半硅氧烷、氢化丁基倍半硅氧烷、氢化叔丁基倍
半硅氧烷和氢化苯基倍半硅氧烷，这里只列出了一部分。
因此，由本发明方法生产的氢化硅氧烷树脂可以具有例如下列六
个通式之一的结构式：
[H0.5-1.0SiO1.5-1.8]p 式1
[HSiO1.5]n[SiO2]w 式2
[HSiO1.5]n[R1SiO1.5]m 式3
[H0.5-1.0SiO1.5-1.8]n[R10.5-1.0SiO1.5-1.8]m 式4
[H0-1.0SiO1.5-2.0]n[R1SiO1.5]m 式5
其中：
p为约8-约5000的整数；n和w的和为约8-约5000的整数；
n和m的和为约8-约5000，并且选择m以使有机取代基以约1-约
99mol％或更多的量存在。在另一实施方案中，选择m，以便有机取
代基以约4-40mol％的量存在。在另一个实施方案中，选择m以使
有机取代基以约4-约20mol％的量存在。在又一个实施方案中，选
择m以使有机取代基以约40-约90mol％的量存在。
[HSiO1.5]x[R1SiO1.5]y[SiO2]z 式6
其中：
x，y和z的和为约8-约5000并且选择y以使有机取代基以约
1-99mol％或更多的量存在。在另一个实施方案中，选择y以使有
机取代基以约4-约40mol％的量存在。在又一个实施方案中，选择
y以使有机取代基以约4-约20mol％的量存在。在另外一个实施方
案中，选择y以使有机取代基以约40-约90mol％的量存在。
在另外的实施方案中，R1选自取代和未取代的包括正链和支化的
烷基、环烷基、芳基及其混合物的有机基团；有机或含碳取代基的具
体mol％是起始材料用量比的函数。
在本发明方法的一些实施方案中，产物将包含取代和未取代的含
有约1-20个碳原子的正链和支链烷基；产物将包含取代和未取代的
含有约4-10个碳原子的环烷基并且产物将包含取代和未取代的含
有约6-20个碳原子的芳基。
例如，其中R1为烷基，R1包括但不限于甲基、氯甲基和乙基、正
链和支链的丙基、2-氯丙基、丁基、戊基和己基。其中R1为环烷基，
R1包括但不限于环戊基、环己基、氯代环己基和环庚基；其中R为芳
基，R包括但不限于苯基、萘基、甲苯基和苄基。应该理解为根据本
发明任何具体的有机氢化硅氧烷树脂的具体碳含量是所用有机三卤
代硅烷与氢化三卤代硅烷起始材料摩尔比的函数。
有利的是由本发明方法制备的产物是聚合物骨架包含交替的硅
和氧原子的具有笼形结构的聚合物。特别是每个骨架硅原子与至少三
个骨架氧原子相连形成上述的笼形结构。基本所有的加成硅键只与氢
邻近并且如果存在有机取代基，则其定义如式1、2、3、4、5和6。
因此，本发明的聚合物基本不包含与骨架硅原子相连的羟基或烷氧基
并且抑制了交联反应。
相反，从前已知的有机硅氧烷树脂含有高含量的与骨架硅原子相
连的烷氧基，因此观察到显著的水解形成硅醇基团。该水解反应导致
由从前已知树脂形成的已固化聚合物薄膜的介电常数较高，并且缩短
了这些树脂溶液的保存期。据报道后一结果是由不希望的链增长和交
联引起的。
因此，本发明方法通过只提供氢和有机基团直接与骨架硅原子相
连而有利地避免了由羟基或硅醇基团的缩合所引起的不希望的链增
长和交联。所以，另一个优点是与类似的由从前所用方法制备的树脂
溶液相比，由本发明方法制备的有机氢化硅氧烷树脂溶液的保存期显
著延长了。
产率
聚合物组分一般是由本发明方法以占起始原料约20-约90mol
％的量制备的。特别地，产物是以占起始原料约35-约75mol％的
产率制备的。
聚合物应用
下列特性包括说明由本发明的新方法制备的上述有机氢化硅氧
烷聚合物树脂性能的非限制性测定方法。所用测定方法如下：
1)薄膜厚度(A)：薄膜厚度是使用购自Nanometrics，Co.的
已校准NanospecAFT-Y CTS-102 010-180型薄膜厚度测定体系测
量的。将薄饼上五个位置的平均测量值报告为每个样品的薄膜厚度。
2)分子量(“MW”)：分子量是使用Waters公司(Milford，麻省)
的配有Waters 510泵、Waters 410差示折光计和Waters 717自动
取样器的凝胶相色谱(“GPC”)系统以聚苯乙烯为参照标准测定的。所
用方法是由S.Rosen在“聚合物材料的基本原则”53-81页(1993
年第2版)中建立的，在此引入该文献作为参考。
实施例
下列非限制性实施例用于说明本发明。
实施例1 氢化硅氧烷树脂的合成
向1L装有氮气进气管、干冰冷凝管和机械搅拌器的夹套反应器
中加入1000ml己烷。在烧杯中混合80mL乙醇、25mL水和2.0g
作为催化剂的四丁基氯化铵直到固体全部溶解。将该混合物加入到反
应器中的己烷中并在25℃搅拌平衡0.5h。使用蠕动泵在30分钟内
将三氯硅烷(69ml，0.68mol)加入到反应器中。加完硅烷后，经管
道泵人己烷10min。将反应物搅拌21h，随后经Whatman#4过滤器
过滤。将滤液置于分液漏斗中并随后除去水/乙醇层。将己烷溶液经4
A分子筛(170g)干燥3h并随后通过1μm过滤器过滤。使用旋转蒸
发器除去己烷得到白色固体产物(15.3g)，产率52％。参照聚苯乙
烯标准，该产物的GPC给出Mw＝23,019amu。
实施例2 甲基氢化硅氧烷树脂的合成
向1L装有氮气进气管、干冰冷凝管和机械搅拌器的夹套反应器
中加入1000ml己烷。在烧杯中混合80mL乙醇、42.7mL水和1.0
g作为催化剂的四丁基氯化铵直到固体全部溶解。将该混合物加入到
反应器中的己烷中并在25℃搅拌平衡0.5h。使用蠕动泵在90分钟
内将三氯硅烷(114.7m1，1.136mol)和甲基三氯硅烷(33.3ml，
0.284mol)的混合物加入到反应器中。加完硅烷后，经管道泵人己烷
10min。将反应物搅拌2小时50分钟，随后经Whatman#4过滤器过
滤。将滤液置于分液漏斗中并随后除去水/乙醇层。将己烷溶液经4A
分子筛(220g)干燥3h并随后通过1μm过滤器过滤。使用旋转蒸
发器除去己烷得到白色固体产物(37.8g)，产率56％。参照聚苯乙
烯标准，该产物的GPC给出Mw＝25,179amu，Mn＝1216，多分散性
为20.7。
实施例3 甲基氢化硅氧烷树脂的合成
向1L装有氮气进气管、干冰冷凝管和机械搅拌器的夹套反应器
中加入1000ml己烷。在烧杯中混合80mL乙醇、50mL水和4.0g
作为催化剂的四丁基氯化铵直到固体全部溶解。将该混合物加入到反
应器中的己烷中并在25℃搅拌平衡0.5h。使用蠕动泵在90分钟内
将三氯硅烷(114.7ml，1.136mol)和甲基三氯硅烷(33.3ml，0.284
mol)的混合物加入到反应器中。加完硅烷后，经管道泵人己烷10
min。将反应物搅拌1小时，随后经Whatman#4过滤器过滤。将滤液
置于分液漏斗中并随后除去水/乙醇层。将己烷溶液经4A分子筛(220
g)干燥2.5h并随后通过1μm过滤器过滤。使用旋转蒸发器除去己
烷得到白色固体产物(24.2g)，产率36％。参照聚苯乙烯标准，该
产物的GPC给出Mw＝7,508amu，Mn＝743，多分散性为10.1。
实施例4 甲基氢化硅氧烷树脂的合成
向6L装有氮气进气管、干冰冷凝管和机械搅拌器的夹套反应器
中加入4500ml己烷、720mL乙醇、63mL水和180g10重量％溶
于水中的苄基三甲基氯化铵催化剂。将该混合物在25℃搅拌平衡0.5
h。使用蠕动泵在73分钟内将三氯硅烷(96g，0.7mol)和甲基三
氯硅烷(471g，3.15mol)的混合物加入到反应器中。加完硅烷后，
经管道泵人己烷10min。将反应物搅拌15.3小时，除去乙醇/H2O层
并随后通过3微米的过滤器、再用1微米的过滤器过滤己烷溶液。让
滤液在2.5h通过4A分子筛柱(800g)进行干燥并随后通过0.05μm
过滤器过滤。使用旋转蒸发器除去己烷得到白色固体产物(161g)，
产率52％。参照聚苯乙烯标准，该产物的GPC给出Mw＝29,251amu，
Mn＝2595，多分散性为11.27。
实施例5 甲基氢化硅氧烷树脂的合成
向6L装有氮气进气管、干冰冷凝管和机械搅拌器的夹套反应器
中加入4500ml己烷、720mL乙醇、63mL水和180g 10重量％溶
于水中的四丁基氯化铵催化剂。将该混合物在25℃搅拌平衡0.5h。
使用蠕动泵在73分钟内将三氯硅烷(96g，0.7mol)和甲基三氯硅
烷(471g，3.15mol)的混合物加入到反应器中。加完硅烷后，经
管道泵人己烷10min。将反应物搅拌15.3小时，除去乙醇/H2O层并
随后通过3微米的过滤器、再用1微米的过滤器过滤己烷溶液。让滤
液在2.5h通过4A分子筛柱(800g)进行干燥并随后通过0.05μm
过滤器过滤。使用旋转蒸发器除去己烷得到白色固体产物(225g)，
产率73％。参照聚苯乙烯标准，该产物的GPC给出Mw＝33,589amu，
Mn＝2616，多分散性为12.84。
实施例6 实施例结果比较
下面的表1总结了上述实施例的结果。
表1
实施例#
产物Mw
Mn
多分散性
产率％
催化剂
1
23,019
NA
NA
52％
TBAC
2
25,179
1216
20.7
56％
TBAC
3
7,508
743
10.1
36％
TBAC
4
29,251
2595
11.27
52％
BTAC
5
33,589
2616
12.84
73％
TBAC
TBAC：四丁基氯化铵
BTAC：苄基三甲基氯化铵
NA：未得到数据
从上表可见季铵盐可靠地催化了由硅烷单体前体生产硅氧烷树
脂的反应，以高产率得到了具有所需要分子量和多分散性的产物。