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1、10申请公布号CN101965417A43申请公布日20110202CN101965417ACN101965417A21申请号200980101398522申请日2009010411/968,18820080101US12/142,73020080619USC23C16/513200601C23C16/50200601C23C16/455200601H01L31/18200601H01L31/04220060171申请人东莞宏威数码机械有限公司地址523081中国广东省东莞市南城区石鼓村大龙路6号72发明人范振华74专利代理机构广州三环专利代理有限公司44202代理人张艳美郝传鑫54发明名称等。
2、离子增强化学气相沉积的方法及系统57摘要一种处理基片或工件108的装置,其中,基片或者工件108用于制造太阳能电池板。所述装置包括多个细长电极103以及具有多个孔的喷射板104。每个孔对应一个细长电极103,并在所述孔与所述细长电极103之间留有空隙112。因此,当给所述电极103和喷射板104施加射频源时,化学物质可通过所述空隙112喷射。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2010061386PCT申请的申请数据PCT/CN2009/0700052009010487PCT申请的公布数据WO2009/082986ZH2009070951INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书0页说明书0页。